JP2010205875A - ガスセル - Google Patents

ガスセル Download PDF

Info

Publication number
JP2010205875A
JP2010205875A JP2009048922A JP2009048922A JP2010205875A JP 2010205875 A JP2010205875 A JP 2010205875A JP 2009048922 A JP2009048922 A JP 2009048922A JP 2009048922 A JP2009048922 A JP 2009048922A JP 2010205875 A JP2010205875 A JP 2010205875A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alkali metal
gas cell
protrusion
window
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2009048922A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiichi Uchiyama
敏一 内山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2009048922A priority Critical patent/JP2010205875A/ja
Publication of JP2010205875A publication Critical patent/JP2010205875A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)

Abstract

【課題】窓部へのアルカリ金属の析出を十分低減させたアルカリ金属ガスの封入されたガスセルを提供すること。
【解決手段】ガスセル10の容器1に形成された突起部12の凹部16にアルカリ金属2が取り込まれ析出する析出確率が、複数の突起部12の場合、単数の突起部12と比較して高く、アルカリ金属2の窓部11への析出確率を低下できる。したがって、窓部11へのアルカリ金属2の析出を十分低減させたガスセル10を得ることができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、原子のエネルギー準位間の遷移を利用した原子発振器に用いるガスセルに関する。
原子のエネルギー準位間の遷移を利用した原子発振器として、二重共鳴方式またはCPT(Coherent Population Trapping)方式を用いたものが知られている。いずれの方法も、励起用の光を用い、セシウム、ルビジウム等のアルカリ金属の2つの基底準位間のエネルギー差を利用して、基準発振源の周波数を安定制御している。
アルカリ金属は、ガスセル内に封入されている。アルカリ金属の一部は、ガスセル内で気体になっている。両方式共に、ガスセルに入射した光源からの光が、気体のアルカリ金属にどれだけ吸収されたかを、ガスセルを挟んで光源の反対側に設けられた光検出手段で検出することにより原子共鳴を検知し、制御系にて水晶発振器などの基準信号をこの原子共鳴に同期させて出力を得ている。
アルカリ金属が気密封止されたガスセルは、ガスセル内の単位体積当りの気体のアルカリ金属数を一定に保つために、ヒーターによって所定の温度にコントロールされている。しかしながら、光が入射や射出する窓部には、ヒーターを設けるのが難しく、窓部の温度が低くなる傾向の温度分布が生じる。このため、窓部にアルカリ金属が付着しやすくなり、見かけ上光の吸収度合いが変化して原子共鳴の検知に誤差を生じたり、検知できなかったりする問題がある。
ガスセルの窓部である窓板以外の内面表面に、磨りガラス状の凹凸面を付与して実効表面積を広くしてアルカリ金属の析出確率を増加させ、窓板へのアルカリ金属の析出を低減させる構造が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2000−12951号公報(6頁、図2および図3)
しかしながら、凹凸面によって析出確率が変化する程度と比較すると、温度差による析出確率の変化の程度差のほうが大きく、窓部へのアルカリ金属の析出を十分低減させるのは困難である。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
気体のアルカリ金属と、前記アルカリ金属が封入された容器と、前記容器に設けられた窓部と、前記容器内部に向かって凹部を有する複数の突起部と、前記容器を加熱するヒーター部とを備えたことを特徴とするガスセル。
この適用例によれば、ガスセルの容器に形成された突起部の凹部にアルカリ金属が取り込まれ析出する析出確率が、複数の突起部の場合、単数の突起部と比較して高く、アルカリ金属の窓部への析出確率が低下する。したがって、窓部へのアルカリ金属の析出を十分低減させたガスセルが得られる。
[適用例2]
上記ガスセルであって、前記突起部と前記ヒーター部との間には、間隙が設けられていることを特徴とするガスセル。
この適用例では、突起部とヒーター部との間に間隙が設けられているので、突起部の温度が、容器の他の部分と比較して低くなり、より突起部の凹部への析出確率が高まる。したがって、窓部へのアルカリ金属の析出をより低減させたガスセルが得られる。
[適用例3]
上記ガスセルであって、前記突起部は、前記窓部近傍に設けられていることを特徴とするガスセル。
この適用例では、突起部が、窓部近傍に設けられているので、窓部より突起部へ取り込まれるアルカリ金属の数が増え、窓部へのアルカリ金属の析出をより低減させたガスセルが得られる。
[適用例4]
上記ガスセルであって、複数の前記突起部のうち、一つを除いた複数の前記突起部のうちの少なくとも一つの前記凹部に、原子捕獲手段が配置されていることを特徴とするガスセル。
この適用例では、突起部の凹部に原子捕獲手段が配置されていることにより、よりアルカリ金属が突起部の凹部に取り込まれやすくなる。したがって、窓部へのアルカリ金属の析出をより低減させたガスセルが得られる。
第1実施形態におけるガスセルの概略斜視図。 ガスセルの概略拡大断面図。 ガスセルの製造方法を表す概略斜視図。 ガスセルの製造方法を表す概略斜視図。 第2実施形態におけるガスセルの容器の概略斜視図。 第3実施形態における突起部の概略断面図。
以下、実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
(第1実施形態)
図1に、本実施形態におけるガスセル10の概略斜視図を示した。また、図2には、概略拡大断面図を示した。白抜き矢印で、光の入射、射出方向を示した。
図1および図2において、ガスセル10は、容器1とアルカリ金属2および気体のアルカリ金属ガス3とヒーター部4とを備えている。アルカリ金属2および気体のアルカリ金属ガス3は、容器1に封入されている。
容器1は、光が入射や射出する窓部11と複数の突起部12とを備えている。本実施形態では、容器1の外形状は、略円柱形で、窓部11と円筒部13とを備えている。窓部11は、円筒部13の開口部の両側を塞ぐように設けられている。また、複数の突起部12は、側面14に形成されている。本実施形態では、3つの突起部12が容器1に形成されている。
また、突起部12は、容器1の内部15に向かって凹部16を有している。
本実施形態では、アルカリ金属2の塊は、一つの突起部12の凹部16に配置されている。また、図示しないが、アルカリ金属2は、容器1の内面および凹部16の内面にも付着している。
アルカリ金属ガス3は、容器1の内部15に気体として存在している。内部15には、アルカリ金属ガス3のドップラー運動やガスセル10の壁との衝突の影響を少なくするために、アルカリ金属ガス3の他に、緩衝ガスとして窒素、ネオン、ヘリウム等の希ガスが微量含まれていてもよい。
ヒーター部4は、容器1の略全体を包むように密着して設けられているが、窓部11の光が入射、射出する領域には、ヒーター部4は設けられていない。
ヒーター部4と突起部12との間には間隙41が設けられ、直接接触していない。本実施形態では、突起部12の先端付近とヒーター部4との間に間隙41が設けられている。
間隙41は、ヒーター部4と突起部12の側面との間の領域全部に設けられていてもよいし、一部に設けられていてもよい。
ガスセル10の使用時には、ガスセル10の内部15のアルカリ金属ガス3の濃度が変動しないように、ガスセル10はヒーター部4によって温度制御されている。例えば、内部15の気体の温度が、50±0.01℃あるいは80±0.01℃になるように温度制御されている。Csでは30℃程度、Rbでは40℃程度暖めることによって、ガス化させることができる。
内部15の気体の温度が略一定に保たれていても、容器1には温度分布が生じている。具体的には、ヒーター部4に包まれていない窓部11の温度は、容器1のその他の部分より温度が低い。
図3および図4に、ガスセル10の製造方法を表す概略斜視図を示した。(a)はチューブ切断工程、(b)は融着工程、(c)は突起部形成工程、(d)は減圧およびアルカリ金属の導入工程、(e)は封止工程、(f)はヒーター部取り付け工程である。
図3(a)において、チューブ切断工程では、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス等からなる長いチューブ20を切断して円筒部13を得る。
図3(b)において、融着工程では、円筒部13の両側に、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス等からなる窓部11を融着し、セル30を得る。
図3(c)において、突起部形成工程では、円筒部13の3ヶ所に穴31を空け、空けた穴31に細長いチューブ40を融着し、3ヶ所のうち両端の2つの細長いチューブ40の一部を溶断して口を閉じて、突起部12を形成する。
図4(d)において、減圧およびアルカリ金属の導入工程では、残りの細長いチューブ40から真空引きを行い、セル30内を減圧する。この細長いチューブ40からアルカリ金属2をセル30内に送り込む。アルカリ金属2は、非常に活性が高く、空気中では瞬時に酸化等の反応を起こすので、減圧下でこの作業は行う。また、必要に応じて緩衝ガスもこの時点で充填する。
図4(e)において、封止工程では、細長いチューブ40からアルカリ金属2を充填後、減圧したままで細長いチューブ40を溶断して封止し、3ヶ所のうち真中の突起部12を得る。この時点で、アルカリ金属2は、セル30内に散乱しているが、例えば、一つの突起部12を冷却した状態で、窓部11や円筒部13を加熱すれば、冷却した突起部12にアルカリ金属2を集めることができる。
図4(f)において、ヒーター部取り付け工程では、ヒーター部4をセル30に取り付け、ガスセル10が得られる。
例えば、半導体レーザー等から放射された赤外領域のレーザー光は、ガスセル10に入射する。
ガスセル10に入射したレーザー光は、アルカリ金属ガス3と相互作用を起こし、アルカリ金属ガス3のエネルギー準位間の電子遷移を誘起する。
このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
(1)ガスセル10の容器1に形成された突起部12の凹部16にアルカリ金属2が取り込まれ析出する析出確率が、複数の突起部12の場合、単数の突起部12と比較して高く、アルカリ金属2の窓部11への析出確率を低下できる。したがって、窓部11へのアルカリ金属2の析出を十分低減させたガスセル10を得ることができる。
(2)突起部12とヒーター部4との間に間隙41が設けられているので、突起部12の温度が、容器1の他の部分と比較して低くでき、より突起部12の凹部16への析出確率を高めることができる。したがって、窓部11へのアルカリ金属2の析出をより低減させたガスセル10を得ることができる。
(第2実施形態)
図5に、本実施形態におけるガスセルの容器100の概略斜視図を示した。ヒーター部は省略してあるが、突起部12とヒーター部との間に間隙が設けられている点は、第1実施形態と同様である。
本実施形態では、突起部12が、窓部11の近傍の側面および光が入射、射出する窓部11の部分を除いた領域に形成されている。
このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
(3)突起部12が、窓部11近傍に設けられているので、窓部11より突起部12へ取り込まれるアルカリ金属2の数が増え、窓部11へのアルカリ金属2の析出をより低減させたガスセルを得ることができる。
(第3実施形態)
図6に、本実施形態における突起部12の概略断面図を示した。
図6において、突起部12の凹部16には、原子捕獲手段50が配置されている。
原子捕獲手段50は、複数の突起部12のうち、一つを除いた突起部12のうちの少なくとも一つの凹部16に配置されている。原子捕獲手段50が配置されている他は、第1実施形態および第2実施形態と同様の構成である。
原子捕獲手段50は、繊維状の金属等を用いることができる。
このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
(4)突起部12の凹部16に原子捕獲手段50が配置されていることにより、よりアルカリ金属2が突起部12の凹部16に取り込まれやすくできる。したがって、窓部11へのアルカリ金属2の析出をより低減させたガスセルを得ることができる。
上述した実施形態以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
例えば、突起部12および凹部16の形状は各実施形態に示した形状に限らず、例えば、突起部12が略球状で凹部16が袋状であってもよい。この場合、よりアルカリ金属ガス3が捕獲されやすい。
また、突起部12の数は、各実施形態に示した数に限らない。
また、突起部12をペルチェ素子等で温度制御して、さらに温度差を設けてもよい。
さらに、突起部12の配置は、各実施形態に示した規則正しい配置に限らず、ランダムな配置であってもよい。
1…容器、2…アルカリ金属、3…気体のアルカリ金属ガス、4…ヒーター部、10…ガスセル、11…窓部、12…突起部、16…凹部、41…間隙、50…原子捕獲手段。

Claims (4)

  1. 気体のアルカリ金属と、
    前記アルカリ金属が封入された容器と、
    前記容器に設けられた窓部と、
    前記容器内部に向かって凹部を有する複数の突起部と、
    前記容器を加熱するヒーター部とを備えた
    ことを特徴とするガスセル。
  2. 請求項1に記載のガスセルにおいて、
    前記突起部と前記ヒーター部との間には、間隙が設けられている
    ことを特徴とするガスセル。
  3. 請求項1または請求項2に記載のガスセルにおいて、
    前記突起部は、前記窓部近傍に設けられている
    ことを特徴とするガスセル。
  4. 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のガスセルにおいて、
    複数の前記突起部のうち、一つを除いた複数の前記突起部のうちの少なくとも一つの前記凹部に、原子捕獲手段が配置されている
    ことを特徴とするガスセル。
JP2009048922A 2009-03-03 2009-03-03 ガスセル Withdrawn JP2010205875A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009048922A JP2010205875A (ja) 2009-03-03 2009-03-03 ガスセル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009048922A JP2010205875A (ja) 2009-03-03 2009-03-03 ガスセル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010205875A true JP2010205875A (ja) 2010-09-16

Family

ID=42967102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009048922A Withdrawn JP2010205875A (ja) 2009-03-03 2009-03-03 ガスセル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010205875A (ja)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012154663A (ja) * 2011-01-24 2012-08-16 Seiko Epson Corp 磁場測定装置
JP2012154876A (ja) * 2011-01-28 2012-08-16 Seiko Epson Corp 磁場測定装置
CN102641118A (zh) * 2011-02-16 2012-08-22 精工爱普生株式会社 充气光电池的制造方法及充气光电池
JP2012159351A (ja) * 2011-01-31 2012-08-23 Seiko Epson Corp 磁場測定装置およびセル
JP2013041970A (ja) * 2011-08-15 2013-02-28 Seiko Epson Corp パッケージの封止方法、電子デバイスの筐体及びセル
JP2015096864A (ja) * 2014-12-25 2015-05-21 セイコーエプソン株式会社 ガスセル
CN104734708A (zh) * 2013-12-20 2015-06-24 精工爱普生株式会社 量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体
JP2015154297A (ja) * 2014-02-14 2015-08-24 セイコーエプソン株式会社 原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
US20150270844A1 (en) * 2014-03-20 2015-09-24 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
US20150349791A1 (en) * 2014-06-03 2015-12-03 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
JP2016029362A (ja) * 2014-07-24 2016-03-03 セイコーエプソン株式会社 ガスセルおよび磁気測定装置
CN105406865A (zh) * 2014-09-08 2016-03-16 精工爱普生株式会社 原子室、原子室的制造方法、量子干涉装置
US9350368B2 (en) 2013-09-26 2016-05-24 Seiko Epson Corporation Atomic cell, atomic resonance transition device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
US9515670B2 (en) 2014-10-14 2016-12-06 Seiko Epson Corporation Atomic cell, atomic cell manufacturing method, quantum interference device, atomic oscillator, electronic device, and moving object
US9595973B2 (en) 2013-09-05 2017-03-14 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
JP2017125689A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 セイコーエプソン株式会社 磁気計測装置、ガスセル、磁気計測装置の製造方法、およびガスセルの製造方法
US9755654B2 (en) 2014-03-20 2017-09-05 Seiko Epson Corporation Atomic cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic device and moving object
JP2017208559A (ja) * 2017-07-05 2017-11-24 セイコーエプソン株式会社 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
JP2017215226A (ja) * 2016-06-01 2017-12-07 セイコーエプソン株式会社 ガスセル、磁場計測装置
CN108002343A (zh) * 2017-11-30 2018-05-08 北京大学 一种复眼式堆叠密集型多泡结构的原子气室及其制备方法
JPWO2018096730A1 (ja) * 2016-11-22 2019-04-11 株式会社村田製作所 原子発振器および電子機器

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012154663A (ja) * 2011-01-24 2012-08-16 Seiko Epson Corp 磁場測定装置
JP2012154876A (ja) * 2011-01-28 2012-08-16 Seiko Epson Corp 磁場測定装置
JP2012159351A (ja) * 2011-01-31 2012-08-23 Seiko Epson Corp 磁場測定装置およびセル
CN102641118A (zh) * 2011-02-16 2012-08-22 精工爱普生株式会社 充气光电池的制造方法及充气光电池
CN104188626A (zh) * 2011-02-16 2014-12-10 精工爱普生株式会社 气室的制造方法及气室、磁测定装置的制造方法及磁测定装置
CN102641118B (zh) * 2011-02-16 2014-12-31 精工爱普生株式会社 气室的制造方法及气室
JP2013041970A (ja) * 2011-08-15 2013-02-28 Seiko Epson Corp パッケージの封止方法、電子デバイスの筐体及びセル
US9595973B2 (en) 2013-09-05 2017-03-14 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
US9350368B2 (en) 2013-09-26 2016-05-24 Seiko Epson Corporation Atomic cell, atomic resonance transition device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
CN104734708A (zh) * 2013-12-20 2015-06-24 精工爱普生株式会社 量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体
JP2015122597A (ja) * 2013-12-20 2015-07-02 セイコーエプソン株式会社 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
JP2015154297A (ja) * 2014-02-14 2015-08-24 セイコーエプソン株式会社 原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
US20150270844A1 (en) * 2014-03-20 2015-09-24 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
US9755654B2 (en) 2014-03-20 2017-09-05 Seiko Epson Corporation Atomic cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic device and moving object
US20150349791A1 (en) * 2014-06-03 2015-12-03 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
JP2015231053A (ja) * 2014-06-03 2015-12-21 セイコーエプソン株式会社 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
US9654125B2 (en) * 2014-06-03 2017-05-16 Seiko Epson Corporation Atom cell, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
JP2016029362A (ja) * 2014-07-24 2016-03-03 セイコーエプソン株式会社 ガスセルおよび磁気測定装置
US9467157B2 (en) 2014-09-08 2016-10-11 Seiko Epson Corporation Atomic cell, atomic cell manufacturing method, quantum interference device, atomic oscillator, electronic device, and moving object
JP2016058807A (ja) * 2014-09-08 2016-04-21 セイコーエプソン株式会社 原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
CN105406865A (zh) * 2014-09-08 2016-03-16 精工爱普生株式会社 原子室、原子室的制造方法、量子干涉装置
US9515670B2 (en) 2014-10-14 2016-12-06 Seiko Epson Corporation Atomic cell, atomic cell manufacturing method, quantum interference device, atomic oscillator, electronic device, and moving object
JP2015096864A (ja) * 2014-12-25 2015-05-21 セイコーエプソン株式会社 ガスセル
JP2017125689A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 セイコーエプソン株式会社 磁気計測装置、ガスセル、磁気計測装置の製造方法、およびガスセルの製造方法
JP2017215226A (ja) * 2016-06-01 2017-12-07 セイコーエプソン株式会社 ガスセル、磁場計測装置
JPWO2018096730A1 (ja) * 2016-11-22 2019-04-11 株式会社村田製作所 原子発振器および電子機器
JP2017208559A (ja) * 2017-07-05 2017-11-24 セイコーエプソン株式会社 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
CN108002343A (zh) * 2017-11-30 2018-05-08 北京大学 一种复眼式堆叠密集型多泡结构的原子气室及其制备方法
CN108002343B (zh) * 2017-11-30 2020-06-30 北京大学 一种复眼式堆叠密集型多泡结构的原子气室及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010205875A (ja) ガスセル
US9319056B2 (en) Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object
JP6291768B2 (ja) 原子共鳴遷移装置、原子発振器、電子機器および移動体
CN107024667A (zh) 磁力测量装置及其制造方法以及气室及其制造方法
CN106059580A (zh) 原子室及其制造方法、量子干涉装置、原子振荡器、电子设备和移动体
JP6572528B2 (ja) 原子セルの製造方法
Maurice et al. Microfabricated vapor cells filled with a cesium dispensing paste for miniature atomic clocks
JP2016205984A (ja) 磁気計測装置、磁気計測装置の製造方法、ガスセル、およびガスセルの製造方法
JP5724492B2 (ja) 原子発振器
CN105607014A (zh) 磁计量装置及其制造方法以及气室及其制造方法
JP6435617B2 (ja) 原子セル、量子干渉装置、原子発振器および電子機器
CN105306054A (zh) 原子室、量子干涉装置、原子振荡器、电子设备和移动体
CN105487022A (zh) 磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法
JP6476751B2 (ja) 原子セルの製造方法、原子セル、量子干渉装置、原子発振器および電子機器
US20180003778A1 (en) Manufacturing method for gas cell, manufacturing method for magnetic field measurement apparatus, and gas cell
JP2015119443A (ja) ガスセル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
JP2009231688A (ja) 光学系及び原子発振器
JP2009164332A (ja) 原子発振器
JP6565307B2 (ja) 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器
JP2015228461A (ja) 原子共鳴遷移装置、原子発振器、電子機器および移動体
JP6520039B2 (ja) 量子干渉装置、原子発振器および電子機器
JP6361129B2 (ja) ガスセル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
JP7319623B2 (ja) 量子光学装置
JP6511782B2 (ja) 原子発振器、およびガスセル
JP2017227584A (ja) ガスセルの製造方法および磁気計測装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120605