JP6160065B2 - アルカリ金属セル、原子発振器及びアルカリ金属セルの製造方法 - Google Patents
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Description
また、本実施の形態の他の一観点によれば、一方の面から他方の面に貫通する開口部が形成された基板と、前記基板の他方の面に接合された第1の透明基板と、前記基板の一方の面に接合された第2の透明基板と、を有し、前記基板の開口部において、前記第1の透明基板と前記第2の透明基板とにより囲まれた空間にはアルカリ金属が封入されており、前記基板と前記第2の透明基板とは、第1の接合金属により形成された第1の接合金属層と、第2の接合金属により形成された第2の接合金属層とによる接合により、前記空間が密閉されており、前記第2の接合金属は、前記第1の接合金属よりも溶融温度が高く、前記基板の一方の面には、前記開口部につながる溝部が形成されており、前記基板は、前記溝部において前記第2の接合金属層により前記第2の透明基板と接合されており、前記第1の接合金属及び前記第2の接合金属は、ともにAuSnを含む材料により形成されており、前記第1の接合金属は、前記第2の接合金属よりもSnが多く含まれていることを特徴とする。
第1の実施の形態におけるアルカリ金属セル及びアルカリ金属セルの製造方法について、図2から図14に基づき説明する。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるアルカリ金属セルの製造方法及びアルカリ金属セルは、ダイシングにより切断する場合を考慮して、Si基板110の溝部113に対応する部分の2ヶ所に、第2の接合金属層152を形成するものである。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるアルカリ金属セルの製造方法は、Si基板110を貫通していない開口部にアルカリ金属を含む化合物140を設置するものである。
次に、第4の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるアルカリ金属セルの製造方法は、溝部の形状が第1の実施の形態における溝部113の形状と異なるものである。
次に、第5の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるアルカリ金属セルの製造方法は、1つの原料室に対し、2以上のセルを同時に作製することのできるものである。
次に、第6の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1から第5の実施の形態におけるアルカリ金属セルを用いた原子発振器である。図31に基づき本実施の形態における原子発振器について説明する。本実施の形態における原子発振器は、CPT方式の小型原子発振器であり、光源410、コリメートレンズ420、λ/4板430、アルカリ金属セル440、光検出器450、変調器460を有している。この原子発振器は、光源410より出射されたサイドバンドを含む光のうち、2つの異なる波長の光をアルカリ金属セル440に入射させることにより、2種類の共鳴光による量子干渉効果による光吸収特性により発振周波数を制御するものである。
111 第1の開口部(一の開口部)
112 第2の開口部(他の開口部)
113 溝部
121 第1のガラス基板
122 第2のガラス基板
131 接合部金属膜
132 接合部金属膜
140 アルカリ金属を含む化合物
151 第1の接合金属層
152 第2の接合金属層
410 光源
420 コリメートレンズ
430 λ/4板
440 アルカリ金属セル
450 光検出器
460 変調器
Claims (15)
- 一方の面から他方の面に貫通する開口部が形成された基板と、
前記基板の他方の面に接合された第1の透明基板と、
前記基板の一方の面に接合された第2の透明基板と、
を有し、
前記基板の開口部において、前記第1の透明基板と前記第2の透明基板とにより囲まれた空間にはアルカリ金属が封入されており、
前記基板と前記第2の透明基板とは、第1の接合金属により形成された第1の接合金属層と、第2の接合金属により形成された第2の接合金属層とによる接合により、前記空間が密閉されており、
前記第2の接合金属は、前記第1の接合金属よりも溶融温度が高く、
前記基板の一方の面には、前記開口部につながる溝部が形成されており、
前記基板は、前記溝部において前記第2の接合金属層により前記第2の透明基板と接合されており、
前記第1の接合金属は、AuSnを含む材料により形成されていることを特徴とするアルカリ金属セル。 - 前記第2の接合金属は、AuSn、AuGe、AuSiのうちのいずれかを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項1に記載のアルカリ金属セル。
- 一方の面から他方の面に貫通する開口部が形成された基板と、
前記基板の他方の面に接合された第1の透明基板と、
前記基板の一方の面に接合された第2の透明基板と、
を有し、
前記基板の開口部において、前記第1の透明基板と前記第2の透明基板とにより囲まれた空間にはアルカリ金属が封入されており、
前記基板と前記第2の透明基板とは、第1の接合金属により形成された第1の接合金属層と、第2の接合金属により形成された第2の接合金属層とによる接合により、前記空間が密閉されており、
前記第2の接合金属は、前記第1の接合金属よりも溶融温度が高く、
前記基板の一方の面には、前記開口部につながる溝部が形成されており、
前記基板は、前記溝部において前記第2の接合金属層により前記第2の透明基板と接合されており、
前記第1の接合金属及び前記第2の接合金属は、ともにAuSnを含む材料により形成されており、前記第1の接合金属は、前記第2の接合金属よりもSnが多く含まれていることを特徴とするアルカリ金属セル。 - 前記溝部は、前記基板の一方の面の表面側が広く、底面側が狭く形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
- 前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
- 前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板のうちのいずれか一方、または、双方がガラス基板であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
- 前記基板の他方の面と前記第1の透明基板とは、陽極接合、または、直接接合により接合されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
- 前記アルカリ金属は、セシウムまたはルビジウムであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
- 請求項1から8のいずれかに記載のアルカリ金属セルと、
前記アルカリ金属セルにレーザ光を照射する光源と、
前記光源より前記アルカリ金属セルに照射されたレーザ光のうち、前記アルカリ金属セルを透過した光を検出する光検出器と、
を有することを特徴とする原子発振器。 - 前記光源より出射されたサイドバンドを含む光のうち、2つの異なる波長の光を前記アルカリ金属セルに入射させることにより、2種類の共鳴光による量子干渉効果による光吸収特性により発振周波数を制御することを特徴とする請求項9に記載の原子発振器。
- 基板に前記基板を貫通する2以上の開口部と、前記基板の一方の面に前記2つの開口部を空間的に接続する溝部を形成する工程と、
前記基板の他方の面に第1の透明基板を接合する工程と、
前記開口部のうちの一の開口部にアルカリ金属を含む化合物を設置する工程と、
前記基板の一方の面の前記2以上の開口部の周囲、または、第2の透明基板の一方の面において前記2以上の開口部の周囲に対応する部分に、第1の接合金属により形成された第1の接合金属層を形成する工程と、
前記基板の溝部、または、前記第2の透明基板の一方の面において前記溝部に対応する部分に、第2の接合金属により形成された第2の接合金属層を形成する工程と、
前記基板の一方の面と前記第2の透明基板の一方の面とを第1の接合金属層により接合する工程と、
前記アルカリ金属を含む化合物よりアルカリ金属を発生させて、前記一の開口部より前記溝部を介し、他の開口部に前記アルカリ金属を供給する工程と、
前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給した後、前記溝部において前記第2の接合金属層により、前記基板と前記第2の透明基板とを接合する工程と、
を有し、
前記第1の接合金属及び前記第2の接合金属は、AuSn、AuGe、AuSiのうちのいずれかを含む材料であることを特徴とするアルカリ金属セルの製造方法。 - 基板の一方の面に前記基板を貫通しない一の開口部と、前記基板を貫通する他の開口部と、前記基板の一方の面に前記一の開口部と前記他の開口部とを空間的に接続する溝部を形成する工程と、
前記基板の他方の面に第1の透明基板を接合する工程と、
前記一の開口部にアルカリ金属を含む化合物を設置する工程と、
前記基板の一方の面の前記一の開口部及び前記他の開口部の周囲、または、第2の透明基板の一方の面において前記一の開口部及び前記他の開口部の周囲に対応する部分に、第1の接合金属により形成された第1の接合金属層を形成する工程と、
前記基板の溝部、または、前記第2の透明基板の一方の面において前記溝部に対応する部分に、第2の接合金属により形成された第2の接合金属層を形成する工程と、
前記基板の一方の面と前記第2の透明基板の一方の面とを第1の接合金属層により接合する工程と、
前記アルカリ金属を含む化合物よりアルカリ金属を発生させて、前記一の開口部より前記溝部を介し、前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給する工程と、
前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給した後、前記溝部において前記第2の接合金属層により、前記基板と前記第2の透明基板とを接合する工程と、
を有し、
前記第1の接合金属及び前記第2の接合金属は、AuSn、AuGe、AuSiのうちのいずれかを含む材料であることを特徴とするアルカリ金属セルの製造方法。 - 前記一の開口部と前記他の開口部の間を切断することにより、前記他の開口部を分離し、前記分離された他の開口部によりアルカリ金属セルの内部が形成されることを特徴とする請求項11または12に記載のアルカリ金属セルの製造方法。
- 前記第2の接合金属は、前記第1の接合金属よりも溶融温度が高いことを特徴とする請求項11から13のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
- 前記アルカリ金属を含む化合物に、レーザ光を照射、紫外光を照射、加熱のいずれかを行うことにより、前記アルカリ金属を発生させることを特徴とする請求項11から14のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
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