JPWO2013015301A1 - 化合物結晶製造用のルツボ、化合物結晶の製造装置及びルツボを用いた化合物結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、実施例として、フッ化カルシウム単結晶の製造について説明する。純度99.0%以上の高純度フッ化カルシウム原料粉末に、スカベンジャーとしてフッ化鉛(PbF2)を混合して粉末原料Ppを調製した。そして、この粉末原料Ppを第1部材11と第2部材12が接続された大容積状態のルツボ10Lに充填した(図1(a)、粉末原料の充填工程I)。
日本国特許出願2011年第163031号(2011年7月26日出願)
Claims (8)
- 化合物結晶製造用のルツボであって、
粉状または粒状の化合物原料を前処理炉において融解した後に冷却して固化させて化合物結晶の前処理品を作製し、前記前処理品を結晶育成炉において融解した後に化合物結晶に育成させる化合物結晶の製造に用いられるルツボであって、
底部及び前記底部と繋がる筒部からなる第1部材と、前記筒部に接続した状態と分離した状態の両方の状態とすることが可能な中空筒状の第2部材とからなり、
前記第1部材に前記第2部材が接続された状態となって前処理品作製用の大容積ルツボを形成し、前記第1部材から前記第2部材が分離された状態となって結晶育成用の小容積ルツボを形成するように構成した化合物結晶製造用のルツボ。 - 請求項1に記載の化合物結晶製造用のルツボであって、前記化合物はフッ化物である。
- 化合物結晶の製造装置であって、
真空容器と、前記真空容器の内部でルツボを支持するルツボ支持部材と、前記真空容器の内部に設けられたヒーターとからなり、
前記ルツボは、底部と前記底部と繋がる筒部からなる第1部材と、前記第1部材の前記筒部に接続した状態と分離した状態の両方の状態とすることが可能な中空筒状の第2部材とからなり、
前記ルツボ支持部は、前記ルツボの前記第2部材が前記第1部材に接続された状態で前記ルツボを支持するように構成した化合物結晶の製造装置。 - 請求項3に記載の化合物結晶の製造装置であって、前記化合物結晶はフッ化物結晶である。
- 化合物結晶の製造装置であって、
真空容器と、前記真空容器の内部でルツボを支持するルツボ支持部材と、前記ルツボ支持部材を昇降することにより前記ルツボを上下方向に移動させる昇降駆動機構と、前記真空容器の内部に設けられた上部ヒーターおよび下部ヒーターとからなり、
前記ルツボは、底部と前記底部と繋がる筒部からなる第1部材と、前記第1部材の前記筒部に接続した状態と分離した状態の両方の状態とすることが可能な中空筒状の第2部材とからなり、
前記ルツボ支持部は、前記ルツボの前記第2部材が前記第1部材から分離された状態で前記ルツボの前記第1部材を支持するように構成した化合物結晶の製造装置。 - 請求項5に記載の化合物結晶の製造装置であって、前記化合物はフッ化物である。
- ルツボを用いた化合物結晶の製造方法であって、
前記ルツボは、底部及び前記底部と繋がる筒部からなる第1部材と、前記筒部に接続した状態と分離した状態の両方の状態とすることが可能な中空筒状の第2部材とからなり、
前記第1部材に前記第2部材が固定された状態で、前記ルツボ内に前記粉状または粒状の化合物原料を充填し、融解した後に固化することにより前記化合物結晶の前処理品を前記第1部材内部に形成する前処理工程と、
前記化合物結晶の前処理品が前記第1部材内部に形成された状態で、前記第2部材を前記第1部材から分離するルツボ分離工程と、
前記第1部材内部に形成された前記化合物前処理品を融解した後に固化して前記化合物の結晶を育成させる結晶育成工程と、からなるルツボを用いた化合物結晶の製造方法。 - 請求項7に記載のルツボを用いた化合物結晶の製造方法であって、前記化合物はフッ化物である。
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