JPWO2012128263A1 - 窒化物結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、臭化アンモニウム、ヨウ化アンモニウムをそれぞれ単独で用いた場合、C面成長のみが速くてその他の方向の成長速度が遅いためにc軸方向に伸びた針状結晶が得られやすく、大型で良質の結晶は得られないことも明らかとなった。そして、臭化アンモニウム、ヨウ化アンモニウムを用いた場合、塩化アンモニウムを用いた場合よりも溶解度曲線の傾きが大きい。つまり、小さな温度差の変化で過飽和度が大きく変化するため、精密な温度制御が要求されコントロールは困難であり、自発核結晶が生成しやすい。また、これらの鉱化剤を用いて成長した窒化物結晶は、ハロゲン濃度が高くなってしまうという問題もある。
これらの従来技術の課題に鑑みて、本発明者らは、塩化アンモニウムや臭化アンモニウムやヨウ化アンモニウムを単独で用いた場合よりもm軸やa軸方向の成長速度が速くて、フッ化アンモニウムを単独で用いた場合よりも低い温度圧力条件で簡便に結晶成長させることが可能であって、安全性やコスト面で有利な窒化物結晶の製造方法を提供することを目的として鋭意検討を進めた。
[2] 前記鉱化剤が塩素とフッ素とを含有する、[1]に記載の窒化物結晶の製造方法。
[3] 前記鉱化剤の塩素濃度がフッ素濃度の1〜200モル倍である、[2]に記載の窒化物結晶の製造方法。
[4] 前記鉱化剤が臭素とフッ素とを含有する、[1]〜[3]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[5] 前記鉱化剤の臭素濃度がフッ素濃度の0.1〜100モル倍である、[4]に記載の窒化物結晶の製造方法。
[6] 前記鉱化剤がヨウ素とフッ素とを含有する、[1]〜[5]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[7] 前記鉱化剤のヨウ素濃度がフッ素濃度の0.1〜100モル倍である、[6]に記載の窒化物結晶の製造方法。
[8] 前記鉱化剤に含まれるハロゲン元素の総モル量が、前記窒素を含有する溶媒のモル量の0.1〜30mol%である、[1]〜[7]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[9] 前記反応容器内における前記原料を溶解する領域(原料溶解領域)の温度が、前記種結晶の表面に窒化物結晶を成長させる領域(結晶成長領域)の温度よりも高い、[1]〜[8]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[10] 前記窒化物結晶を成長させる工程における反応容器内の温度が500〜650℃である、[1]〜[9]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[11] 前記窒化物結晶を成長させる圧力が120〜350MPaである、[1]〜[10]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[12] 前記窒化物結晶が周期表13族金属窒化物結晶である、[1]〜[11]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[13] M面の成長速度が周期表13族金属面の成長速度の3倍以上である、[12]に記載の窒化物結晶の製造方法。
[14] M面の成長速度がC面の成長速度の0.4倍以上である、[12]または[13]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[15] A面の成長速度がC面の成長速度の0.6倍以上である、[12]〜[14]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[16] A面の成長速度がC面の成長速度の1.5倍以上である、[12]〜[14]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[17] 周期表13族金属面の成長速度が10〜150μm/dayである、[12]〜[16]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[18] M面の成長速度が100〜500μm/dayである、[12]〜[17]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[19] A面の成長速度が100〜2500μm/dayである、[12]〜[18]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[20] N面の成長速度が100〜1000μm/dayである、[12]〜[19]のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
[22] 結晶中のフッ素濃度が5×1015〜1×1018cm-3である、[21]に記載の窒化物結晶。
[23] 結晶中の塩素、臭素およびヨウ素の合計濃度が1×1018cm-3以下である、[21]または[22]に記載の窒化物結晶。
[24] 周期表13族金属窒化物結晶である、[21]〜[23]のいずれか一項に記載の窒化物結晶。
[25] 主面がC面であり、(0002)面反射におけるX線回折半値幅が150arcsec以下である、[24]に記載の窒化物結晶。
[26] 主面がM面であり、(10−10)面反射におけるX線回折半値幅が150arcsec以下である、[24]に記載の窒化物結晶。
また、本明細書においてC面、M面、A面の成長速度と称する場合は、それぞれ種結晶のc軸方向、m軸方向、a軸方向の成長速度を意味する。
本発明の窒化物結晶の製造方法は、六方晶系の結晶構造を有する種結晶、窒素を含有する溶媒、原料、ならびに鉱化剤を入れた反応容器内の温度および圧力を、前記溶媒が超臨界状態および/または亜臨界状態となるように制御して前記種結晶の表面に窒化物結晶を成長させる工程を含むものである。本発明の製造方法の特徴は、鉱化剤として、塩素、臭素およびヨウ素から選択される1以上のハロゲン元素とフッ素とを含有する鉱化剤を用いる点にある。
例えば、臭素とフッ素を含む鉱化剤の場合、フッ素濃度に対して臭素濃度を0.1倍以上にすることが好ましく、0.5倍以上にすることがより好ましく、1倍以上にすることがさらに好ましい。また、フッ素濃度に対して臭素濃度を100倍以下にすることが好ましく、50倍以下にすることがより好ましく、20倍以下にすることがさらに好ましい。
例えば、ヨウ素とフッ素を含む鉱化剤の場合、フッ素濃度に対してヨウ素濃度を0.1倍以上にすることが好ましく、0.5倍以上にすることがより好ましく、1倍以上にすることがさらに好ましい。また、フッ素濃度に対してヨウ素濃度を100倍以下にすることが好ましく、50倍以下にすることがより好ましく、20倍以下にすることがさらに好ましい。
なお、本発明の結晶成長を行う際には、反応容器にハロゲン化アルミニウム、ハロゲン化リン、ハロゲン化シリコン、ハロゲン化ゲルマニウム、ハロゲン化亜鉛、ハロゲン化ヒ素、ハロゲン化スズ、ハロゲン化アンチモン、ハロゲン化ビスマスなどを存在させておいてもよい。
本発明では、六方晶系の結晶構造を有する種結晶を用いる。種結晶としては、本発明の製造方法により成長させる窒化物の単結晶を用いることが望ましいが、必ずしも同一の窒化物でなくてもよい。ただし、その場合には、目的の窒化物と一致し、もしくは適合した格子定数、結晶格子のサイズパラメータを有する種結晶であるか、またはヘテロエピタキシー(すなわち若干の原子の結晶学的位置の一致)を保証するよう配位した単結晶材料片もしくは多結晶材料片から構成されている種結晶を用いる必要がある。種結晶の具体例としては、例えば窒化ガリウム(GaN)を成長させる場合、GaNの単結晶の他、窒化アルミニウム(AlN)等の窒化物単結晶、酸化亜鉛(ZnO)の単結晶、炭化ケイ素(SiC)の単結晶、サファイア(Al2O3)等が挙げられる。
本発明では、溶媒として窒素を含有する溶媒を用いる。窒素を含有する溶媒としては、成長させる窒化物単結晶の安定性を損なうことのない溶媒を挙げることができ、具体的には、アンモニア、ヒドラジン、尿素、アミン類(例えば、メチルアミンのような第1級アミン、ジメチルアミンのような第二級アミン、トリメチルアミンのような第三級アミン、エチレンジアミンのようなジアミン)、メラミン等を挙げることができる。これらの溶媒は単独で用いてもよいし、混合して用いてもよい。
本発明で用いる溶媒に含まれる水や酸素の量はできるだけ少ないことが望ましく、これらの含有量は1000ppm以下であることが好ましく、10ppm以下であることがより好ましく、0.1ppm以下であることがさらに好ましい。アンモニアを溶媒として用いる場合、その純度は通常99.9%以上であり、好ましくは99.99%以上であり、さらに好ましくは99.999%以上であり、特に好ましくは99.9999%以上である。
本発明では、種結晶上に成長させようとしている窒化物結晶を構成する元素を含む原料を用いる。例えば、周期表13族金属の窒化物結晶を成長させようとする場合は、周期表13族金属を含む原料を用いる。好ましくは13族窒化物結晶の多結晶原料および/または13族元素の金属であり、より好ましくは窒化ガリウムおよび/またはガリウムである。多結晶原料は、完全な窒化物である必要はなく、条件によっては13族元素がメタルの状態(ゼロ価)である金属成分を含有してもよく、例えば、結晶が窒化ガリウムである場合には、窒化ガリウムと金属ガリウムの混合物が挙げられる。
本発明の製造方法は、反応容器中で実施する。
本発明に用いる反応容器は、窒化物結晶を成長させるときの高温高圧条件に耐え得るもの中から選択する。反応容器は、特表2003−511326号公報(国際公開第01/024921号パンフレット)や特表2007−509507号公報(国際公開第2005/043638号パンフレット)に記載されるように反応容器の外から反応容器とその内容物にかける圧力を調整する機構を備えたものであってもよいし、そのような機構を有さないオートクレーブであってもよい。
なお、「反応容器」とは、超臨界および/または亜臨界状態の溶媒がその内壁面に直接接触しうる状態で窒化物結晶の製造を行うための容器を意味し、耐圧性容器内部の構造そのものや、耐圧性容器内に設置されるカプセルなどを好ましい例として挙げることができる。
オートクレーブにより耐食性を持たせるために反応容器の内表面にライニングやコーティングを使用することもできる。ライニングする材料として、Pt、Ir、Pd、Rhなどの白金族やAg、Auを含む貴金属、CuおよびCのうち少なくとも一種類以上の金属または元素、もしくは、少なくとも一種類以上の金属を含む合金または化合物であることが好ましく、より好ましくは、ライニングがしやすいという理由でPt,Ag、CuおよびCのうち少なくとも一種類以上の金属または元素、もしくは、少なくとも一種類以上の金属を含む合金または化合物である。例えば、Pt単体、Pt−Ir合金、Ag単体、Cu単体やグラファイトなどが挙げられる。
本発明の製造方法を実施する際には、まず、反応容器内に、種結晶、窒素を含有する溶媒、原料、および鉱化剤を入れて封止する。これらの材料を反応容器内に導入するのに先だって、反応容器内は脱気しておいてもよい。また、材料の導入時には、窒素ガスなどの不活性ガスを流通させてもよい。反応容器内への種結晶の装填は、通常は、原料および鉱化剤を充填する際に同時または充填後に装填する。種結晶は、反応容器内表面を構成する貴金属と同様の貴金属製の治具に固定することが好ましい。装填後には、必要に応じて加熱脱気をしてもよい。
図2に示す製造装置を用いる場合は、反応容器であるカプセル20内に種結晶、窒素を含有する溶媒、原料、および鉱化剤を入れて封止した後に、カプセル20を耐圧性容器(オートクレーブ)1内に装填し、好ましくは耐圧性容器と該反応容器の間の空隙に第2溶媒を充填して耐圧容器を密閉する。
超臨界状態にする場合、反応混合物は、一般に溶媒の臨界点よりも高い温度に保持する。アンモニア溶媒を用いた場合、臨界点は臨界温度132℃、臨界圧力11.35MPaであるが、反応容器の容積に対する充填率が高ければ、臨界温度以下の温度でも圧力は臨界圧力を遥かに越える。本発明において「超臨界状態」とは、このような臨界圧力を越えた状態を含む。反応混合物は、一定の容積の反応容器内に封入されているので、温度上昇は流体の圧力を増大させる。一般に、T>Tc(1つの溶媒の臨界温度)およびP>Pc(1つの溶媒の臨界圧力)であれば、流体は超臨界状態にある。
本発明の製造方法における窒化物結晶のA面の成長速度は100μm/day以上であることが好ましく、200μm/day以上であることがより好ましく、300μm/day以上であることがさらに好ましい。また、2500μm/day以下であることが好ましく、2000μm/day以下であることがより好ましく、1600μm/day以下であることがさらに好ましい。
ここで、M面およびA面の成長速度は、表裏の関係にある両面の成長速度の合計を、それぞれMおよびA面成長の成長速度として定義する。
本発明の製造方法における窒化物結晶の窒素(N)面の成長速度は100μm/day以上であることが好ましく、200μm/day以上であることがより好ましく、300μm/day以上であることがさらに好ましい。また、1000μm/day以下であることが好ましく、800μm/day以下であることがより好ましく、600μm/day以下であることがさらに好ましい。
本発明の製造方法による窒化物結晶のM面の成長速度はC面の成長速度の0.2倍以上であることが好ましく、0.3倍以上であることがより好ましく、0.4倍以上であることがさらに好ましい。また、1.5倍以下であることが好ましく、1.2倍以下であることがより好ましく、0.9倍以下であることがさらに好ましい。
本発明の製造方法による窒化物結晶のA面の成長速度はC面の成長速度の0.5倍以上であることが好ましく、1.0倍以上であることがより好ましく、1.5倍以上であることがさらに好ましい。また、5.0倍以下であることが好ましく、4.0倍以下であることがより好ましく、3.5倍以下であることがさらに好ましい。
本発明の製造方法により製造される窒化物結晶は、例えば周期表13族窒化物結晶が好ましく、中でも窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムやこれらの混晶などがより好ましく、窒化ガリウムがさらに好ましい。本発明の製造方法によれば、窒化物単結晶を製造することができる。
本発明の製造方法を実施する際に用いる種結晶の形状を適宜選択することにより、所望の形状を有する窒化物結晶を得ることができる。例えば、C面を有する種結晶を用いて本発明の結晶成長を行うことにより、大口径のC面を有する窒化ガリウム結晶が生産効率よく得られる。具体的には、C面の面積が好ましくは1cm2以上、より好ましくは5cm2以上、さらに好ましくは10cm2以上の窒化ガリウム結晶を得ることができる。別の例として、M面を有する種結晶を用いて本発明の結晶成長を行うことにより、m軸方向に厚みを有する窒化物結晶が一段と高い生産効率で得られる。具体的には、m軸方向の厚みが好ましくは100μm以上、より好ましくは500μm以上、さらに好ましくは1mm以上、特に好ましくは5mm以上の窒化ガリウム結晶を得ることができる。
本発明の製造方法により製造した窒化物結晶は、そのまま使用してもよいし、加工してから使用してもよい。
本発明の窒化物結晶を所望の方向に切り出すことにより、任意の結晶方位を有するウエハ(半導体基板)を得ることができる。これによって、C面などの極性面や、M面などの非極性面、(10−11)、(20−21)などの半極性面を有するウエハを得ることができる。特に、本発明の製造方法によって大口径のC面を有する窒化物結晶を製造した場合は、c軸に垂直な方向に切り出すことにより、大口径のC面ウエハを得ることができる。また、本発明の製造方法によって厚くて大口径のM面を有する窒化物結晶を製造した場合は、m軸に垂直な方向に切り出すことにより、大口径のM面ウエハを得ることができる。また、本発明の製造方法によって大口径の半極性面を有する窒化物結晶を製造した場合は、半極性面に平行に切り出すことにより、大口径の半極性面ウエハを得ることができる。これらのウエハも、均一で高品質であるという特徴を有する。このようにして得られた本発明のウエハを基板として所望のエピタキシャル成長を行うことにより、さらにエピタキシャルウエハを得ることができる。
本発明の窒化物結晶やウエハは、デバイス、即ち発光素子や電子デバイスなどの用途に好適に用いられる。本発明の窒化物結晶やウエハが用いられる発光素子としては、発光ダイオード、レーザーダイオード、それらと蛍光体を組み合わせた発光素子などを挙げることができる。また、本発明の窒化物結晶やウエハが用いられる電子デバイスとしては、高周波素子、高耐圧高出力素子などを挙げることができる。高周波素子の例としては、トランジスター(HEMT、HBT)があり、高耐圧高出力素子の例としては、サイリスター(IGBT)がある。本発明の窒化物結晶やウエハは、均一で高品質であるという特徴を有することから、上記のいずれの用途にも適している。中でも、均一性が高いことが特に要求される電子デバイス用途に適している。
窒化物結晶の不純物分析
窒化物結晶中のハロゲン元素の元素分析をSIMSにより分析した。測定装置は二次イオン質量分析装置を使用した。リファレンスとして、塩素以外のハロゲン元素の不存在下で結晶成長を行うためBr、I、Fの混入がないHVPE法で成長した結晶を使用した。
以下において、まず実施例2の手順を代表例として詳細に説明する。
内寸が直径30mm、長さ450mmのRENE41製オートクレーブ1(内容積約345cm3)を耐圧容器として用い、Pt−Ir製カプセル20を反応容器として結晶成長を行った。カプセルへの充填作業は十分に乾燥した窒素雰囲気グローブボックス内にて行った。原料8として多結晶GaN粒子50.98gを秤量し、カプセル下部領域(原料溶解領域9)内に設置した。次に鉱化剤として十分に乾燥した純度99.999%のNH4Clと純度99.999%のGaF3をそれぞれ充填NH3量に対してCl濃度が6.0mol%、F濃度が0.5mol%となるよう秤量しカプセル内に投入した。
参考例1では、鉱化剤濃度、成長日数、結晶成長領域の温度、原料溶解領域の温度、圧力を表1に記載される通りに変更して、上記の実施例2の手順と同様にして種結晶上に窒化ガリウム結晶を析出させることを試みた。しかしながら、参考例1の条件下では種結晶がすべて溶解したため、種結晶上に窒化ガリウム結晶を成長させることはできなかった。本鉱化剤濃度の比では原料の溶解度の温度依存性が負であることを示している。本比率の場合、高温領域が結晶成長領域となる。
比較例1〜3では、鉱化剤濃度、成長日数、結晶成長領域の温度、原料溶解領域の温度、圧力を表1に記載される通りに変更して、上記の実施例2の手順と同様にして種結晶上に窒化ガリウム結晶を析出させた。成長速度は表1に記載される通りであった。
鉱化剤のハロゲン元素としてClのみを用いた比較例1では、M面とA面の成長速度が極めて遅かった。鉱化剤のハロゲン元素としてFのみを用いた比較例2では、原料の溶解度の温度依存性が負であるため、種結晶を反応容器下部(高温域)に、原料を反応容器上部(低温域)に設置したところ、溶解原料の6.5%が種結晶上に析出し、反応容器内壁、種結晶支持枠などの表面に多結晶の析出が多くて原料効率が悪かった。鉱化剤のハロゲン元素としてIのみを用いた比較例3では、N面方向の成長速度が極めて速く、種結晶のN面上に均一に結晶が成長せずc軸方向に伸びた針状の結晶が多数成長した。M面上にも均一な結晶成長は起こらず、c軸方向に伸びた針状微結晶が多数付着した。また、反応容器内壁面への多結晶の析出が極めて多く原料効率が悪かった。さらに、結晶中に取り込まれたI濃度が極めて高かった。
鉱化剤のハロゲン元素としてFとClとBrを用いた実施例101、鉱化剤のハロゲン元素としてFとClとIを用いた実施例102、鉱化剤のハロゲン元素としてFとBrとIを用いた実施例103、および鉱化剤のハロゲン元素としてFとClとBrとIを用いた実施例104についても、上記実施例1〜15と同様にして実施すると上記実施例1〜15と同様の傾向が見られる。すなわち、実施例101〜104を実施した後のカプセル内部では、C面とM面のいずれの種結晶上にも全面に均一に窒化ガリウム結晶が析出している。また、実施例101〜104において種結晶上に成長した各窒化ガリウム結晶の結晶系はいずれも六方晶系であり、立方晶GaNは含まれていない。成長速度は表1に記載される実施例と同じ傾向を示す。Clを含む複数のハロゲン元素を含む鉱化剤を用いた実施例101、102および104では、得られた窒化ガリウム結晶のGa面とM面のCl濃度が、鉱化剤のハロゲン元素としてClのみを用いて成長した上記比較例1の窒化ガリウム結晶よりも大幅に減少している。また、鉱化剤としてF濃度を増やしていく場合、およびF以外のハロゲン元素を増やしていく場合の成長速度変化の傾向としては、F+(ClまたはBrまたはI)の2元素系と同様の傾向を示す。成長速度に与える影響度はIが最も大きく、Br,Clの順に小さくなる。
鉱化剤のハロゲン元素としてBrのみを用いた比較例101では、鉱化剤のハロゲン元素としてIのみを用いた比較例3と同様の結果が得られる。
2 オートクレーブ内面
3 ライニング
4 ライニング内面
5 バッフル板
6 結晶成長領域
7 種結晶
8 原料
9 原料溶解領域
10 バルブ
11 真空ポンプ
12 アンモニアボンベ
13 窒素ボンベ
14 マスフローメータ
20 カプセル
21 カプセル内面
Claims (26)
- 六方晶系の結晶構造を有する種結晶、窒素を含有する溶媒、原料、ならびに、塩素、臭素およびヨウ素から選択される1以上のハロゲン元素とフッ素とを含有する鉱化剤を入れた反応容器内の温度および圧力を、前記溶媒が超臨界状態および/または亜臨界状態となるように制御して前記種結晶の表面に窒化物結晶を成長させる工程を含むことを特徴とする、窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤が塩素とフッ素とを含有する、請求項1に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤の塩素濃度がフッ素濃度の1〜200モル倍である、請求項2に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤が臭素とフッ素とを含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤の臭素濃度がフッ素濃度の0.1〜100モル倍である、請求項4に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤がヨウ素とフッ素とを含有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤のヨウ素濃度がフッ素濃度の0.1〜100モル倍である、請求項6に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記鉱化剤に含まれるハロゲン元素の総モル量が、前記窒素を含有する溶媒のモル量の0.1〜30mol%である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記反応容器内における前記原料を溶解する領域の温度が、前記種結晶の表面に窒化物結晶を成長させる領域の温度よりも高い、請求項1〜8のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記窒化物結晶を成長させる工程における反応容器内の温度が500〜650℃である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記窒化物結晶を成長させる圧力が120〜350MPaである、請求項1〜10のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 前記窒化物結晶が周期表13族金属窒化物結晶である、請求項1〜11のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- M面の成長速度が周期表13族金属面の成長速度の3倍以上である、請求項12に記載の窒化物結晶の製造方法。
- M面の成長速度がC面の成長速度の0.4倍以上である、請求項12または13に記載の窒化物結晶の製造方法。
- A面の成長速度がC面の成長速度の0.6倍以上である、請求項12〜14のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- A面の成長速度がC面の成長速度の1.5倍以上である、請求項12〜14のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 周期表13族金属面の成長速度が10〜150μm/dayである、請求項12〜16のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- M面の成長速度が100〜500μm/dayである、請求項12〜17のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- A面の成長速度が100〜2500μm/dayである、請求項12〜18のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- N面の成長速度が100〜1000μm/dayである、請求項12〜19のいずれか一項に記載の窒化物結晶の製造方法。
- 請求項1〜20のいずれか一項に記載の製造方法により製造される窒化物結晶。
- 結晶中のフッ素濃度が5×1015〜1×1018cm-3である、請求項21に記載の窒化物結晶。
- 結晶中の塩素、臭素およびヨウ素の合計濃度が1×1018cm-3以下である、請求項21または22に記載の窒化物結晶。
- 周期表13族金属窒化物結晶である、請求項21〜23のいずれか一項に記載の窒化物結晶。
- 主面がC面であり、(0002)面反射におけるX線回折半値幅が150arcsec以下である、請求項24に記載の窒化物結晶。
- 主面がM面であり、(10−10)面反射におけるX線回折半値幅が150arcsec以下である、請求項24に記載の窒化物結晶。
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