JPWO2012063701A1 - 駆動装置およびその製造方法、レンズモジュールならびに撮像装置 - Google Patents

Abstract

駆動特性を維持しつつ小型化を図ることが可能な駆動装置およびその製造方法、レンズモジュールならびに撮像装置を提供する。駆動装置１は、固定用部材１２と、固定用部材１２により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子１３と、アクチュエータ素子１３の少なくとも一部分に配設された補強部材（補強層１８）とを備えている。このような補強部材１８が設けられていることにより、アクチュエータ素子１３の幅（幅Ｗ１２等）を狭くした場合であっても、その機械的強度が確保される。

Description

本発明は、所定のアクチュエータ素子を用いた駆動装置およびその製造方法、ならびにそのような駆動装置を備えたレンズモジュールおよび撮像装置に関する。

近年、例えば携帯電話やパーソナルコンピュータ（ＰＣ）、あるいはＰＤＡ（Personal Digital Assistant）などの携帯型電子機器の高機能化が著しく進んでおり、レンズモジュールを搭載することにより撮像機能を備えたものが一般的となっている。このような携帯型電子機器においては、レンズモジュール内のレンズをその光軸方向へ移動させることにより、フォーカシングやズーミングが行われる。

従来、レンズモジュール内のレンズの移動は、ボイスコイルモータやステッピングモータなどを駆動部として行う方法が一般的であった。一方で、最近では、コンパクト化の観点から、所定のアクチュエータ素子を駆動部として利用したものが開発されている。そのようなアクチュエータ素子としては、例えば、ポリマーアクチュエータ素子（特許文献１，２参照）や圧電素子、バイメタル素子などが挙げられる。このうち、ポリマーアクチュエータ素子は、例えば一対の電極間にイオン交換樹脂膜を挟むようにしたものである。このポリマーアクチュエータ素子は、一対の電極間に電位差が生じることにより、イオン交換樹脂膜が膜面に対して直交する方向へ変位するようになっている。

特開２００６−２９３００６号公報 特開２００６−１７２６３５号公報

ところで、上記のようなアクチュエータ素子を用いた駆動装置では、一般に、その一端（固定部）側を固定すると共に他端（可動部）側が変位することによって駆動対象物を駆動する、片持ち梁型のアクチュエータとなっている。このような片持ち梁型のアクチュエータでは、近年、設計の自由度（構造の小型化）の観点等から、片持ち梁の幅（アクチュエータ素子の一端側から他端側への方向に対する直交方向の長さ）をできるだけ小さくしたいという要請がある。

しかしながら、駆動対象物を片持ち梁によって支えなくてはならない都合上、一定の幅を確保し、駆動対象物を支えるに足る強度（機械的強度）をアクチュエータ素子にもたせる必要がある。そのため、片持ち梁の幅方向の寸法縮小には、自ずから限界があった。これらのことから、駆動特性を維持しつつ小型化を図ることを可能とする駆動装置の提案が望まれていた。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、駆動特性を維持しつつ小型化を図ることが可能な駆動装置およびその製造方法、レンズモジュールならびに撮像装置を提供することにある。

本発明の一実施の形態に係る駆動装置は、固定用部材と、この固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、このアクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材とを備えたものである。

本発明の一実施の形態に係るレンズモジュールは、レンズと、このレンズを駆動する上記本発明の一実施の形態に係る駆動装置とを備えたものである。

本発明の一実施の形態に係る撮像装置は、レンズと、このレンズにより結像されてなる撮像信号を取得する撮像素子と、レンズを駆動する上記本発明の一実施の形態に係る駆動装置とを備えたものである。

本発明の一実施の形態に係る駆動装置の製造方法は、アクチュエータ素子を形成する工程と、このアクチュエータ素子の少なくとも一部分に補強部材を形成する工程と、アクチュエータ素子の一端側を、固定用部材により直接もしくは間接的に固定させる工程とを含むものである。

本発明の一実施の形態に係る駆動装置およびその製造方法、レンズモジュールならびに撮像装置では、アクチュエータ素子の少なくとも一部分に補強部材が設けられることにより、アクチュエータ素子の幅（一端側から他端側への方向に対する直交方向の長さ）を狭くした場合であっても、その機械的強度が確保される。

本発明の一実施の形態に係る駆動装置およびその製造方法、レンズモジュールならびに撮像装置によれば、アクチュエータ素子の少なくとも一部分に補強部材を設けるようにしたので、アクチュエータ素子の幅を狭く設定しつつ、その機械的強度を確保することができる。よって、駆動特性を維持しつつ小型化を図ることが可能となる。

本発明の一実施の形態に係る駆動装置の概略構成を表す平面模式図である。 図１に示した駆動装置の側面構成を表す模式図である。 図１に示したアクチュエータ素子（ポリマーアクチュエータ素子）の詳細構成を表す断面図である。 図３に示したポリマーアクチュエータ素子の基本動作について説明するための断面模式図である。 比較例１に係る駆動装置の概略構成および動作を表す模式図である。 比較例２に係る駆動装置の概略構成および動作を表す模式図である。 変形例１，２に係る駆動装置の概略構成を表す平面模式図である。 変形例３に係るアクチュエータ素子としての圧電素子の概略構成および動作を表す模式図である。 変形例４に係るアクチュエータ素子としてのバイメタル素子の概略構成および動作を表す模式図である。 実施の形態および各変形例の駆動装置の適用例１に係る撮像装置を備えた電子機器の構成例を表す斜視図である。 図１０に示した電子機器を異なる方向から表した斜視図である。 図１１に示した撮像装置の要部構成を表す斜視図である。 図１２に示したレンズモジュールを表す分解斜視図である。 図１２に示したレンズモジュールの側面構成および平面構成を表す模式図である。 図１３に示したアクチュエータ素子（ポリマーアクチュエータ素子）、固定用部材および固定電極の一部分の詳細構成を表す断面図である。 図１２に示したレンズモジュールの動作を表す側面模式図である。 変形例３に係るレンズモジュールの側面構成および平面構成を表す模式図である。 適用例２に係るレンズモジュールの側面構成および平面構成を表す模式図である。 図１８に示したレンズモジュールにおける駆動装置の製造方法を工程順に表す斜視図である。 図１９に続く工程を表す斜視図、平面図および側面図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。

１．実施の形態（アクチュエータ素子としてポリマーアクチュエータ素子を用いた例）
２．変形例
変形例１，２（補強層が幅広部および幅狭部を有する例）
変形例３（アクチュエータ素子として圧電素子を用いた例）
変形例４（アクチュエータ素子としてバイメタル素子を用いた例）
３．適用例１，２（駆動装置をレンズモジュールおよび撮像装置に適用した例）

＜実施の形態＞
［駆動装置１の全体構成］
図１は、本発明の一実施の形態に係る駆動装置（駆動装置１）の概略構成を、平面図（Ｘ−Ｙ平面図，上面図）で模式的に表したものである。また、図２（Ａ）は、この駆動装置１の側面構成（Ｚ−Ｘ側面構成）を模式的に表したものであり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の一部（符号Ｐ１で示した領域付近）を拡大して表したものである。

駆動装置１は、駆動対象物９を駆動（ここではＺ軸に沿って駆動）する片持ち梁式のアクチュエータであり、支持部材１１、固定用部材１２、アクチュエータ素子１３、補強層１８（補強部材）および電圧供給部１９を備えている。

支持部材１１は、駆動装置１全体を支持するためのベース部材（基体）であり、ここではＸＹ平面上に延在するように配置されている。この支持部材１１は、例えば液晶ポリマー等の硬質な樹脂材料からなる。

固定用部材１２は、アクチュエータ素子１３の一端側（固定側）を固定するための部材であり、支持部材１１上においてＺ軸方向に立設されている。この固定用部材１２もまた、例えば液晶ポリマー等の硬質な樹脂材料からなる。

アクチュエータ素子１３は、駆動対象物９をＺ軸に沿って駆動するための素子であり、ここでは平板状（薄板形状）のポリマーアクチュエータ素子からなる。このアクチュエータ素子１３は、一端側（固定用部材１２側）から他端側（駆動対象９側，可動側）への長さがＬ１となっている。また、アクチュエータ素子１３の幅については、ここでは、固定用部材１２側の幅Ｗ１１が、駆動対象物９側の幅Ｗ１２よりも大きくなっている（Ｗ１１＞Ｗ１２）。すなわち、このアクチュエータ素子１３は、固定用部材１２側の幅広部と、駆動対象物９側の幅狭部とを有している。なお、このポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子１３の詳細構成については、後述する（図３）。

補強層１８は、アクチュエータ素子１３の少なくとも一部分に配設されることによってアクチュエータ素子１３の強度（機械的強度）を補強するための部材であり、ここでは、アクチュエータ素子１３の表面および裏面（一対の主面）の双方の面上に設けられている。ただし、補強層１８が、アクチュエータ素子１３の表面および裏面のうちの片方の面上に設けられているようにしてもよい。このような補強層１８は、例えば、上記したアクチュエータ素子１３における幅狭部（幅Ｗ１２の部分）の少なくとも一部分に配設されているようにするのが望ましい。このアクチュエータ素子１３の幅狭部は、後述するように、素子の変位（変形）に対する寄与が相対的に小さい部分であるからである。ここでは、補強層１８は、アクチュエータ素子１３の幅狭部だけでなく、上記した幅広部（幅Ｗ１１の部分）の少なくとも一部分にも設けられている。具体的には、補強層１８が、アクチュエータ素子１３の幅狭部から幅広部へわたって連続的（一体的）に配設されている。このような補強層１８は、例えば、ポリイミド（ＰＩ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の樹脂材料などからなる。

電圧供給部１９は、アクチュエータ素子１３に対して駆動用電圧Ｖｄを供給することにより、アクチュエータ素子１３を駆動する（変形させる）ためのものである。このような電圧供給部１９は、例えば半導体素子等を用いた電気回路からなる。なお、電圧供給部１９によるアクチュエータ素子１３（ポリマーアクチュエータ素子）の駆動動作の詳細については、後述する（図４）。

［アクチュエータ素子１３の詳細構成］
次に、図３を参照して、ポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子１３の詳細構成について説明する。図３は、アクチュエー素子１３の断面構成（Ｚ−Ｘ断面構成）を表したものである。

アクチュエータ素子１３は、イオン導電性高分子化合物膜５１（以下、単に高分子化合物膜５１という。）の両面に、一対の電極膜５２Ａ，５２Ｂが形成された断面構造を有している。換言すると、アクチュエータ素子１３は、一対の電極膜５２Ａ，５２Ｂと、これらの電極膜５２Ａ，５２Ｂの間に挿設された高分子化合物膜５１とを有している。なお、アクチュエータ素子１３および電極膜５２Ａ，５２Ｂは、それらの周囲が、高弾性を有する材料（例えばポリウレタンなど）からなる絶縁性の保護膜によって覆われていてもよい。

高分子化合物膜５１は、電極膜５２Ａ，５２Ｂの間に所定の電位差が生じることにより湾曲を生じるようになっている。この高分子化合物膜５１にはイオン物質が含浸されている。ここでの「イオン物質」とは、高分子化合物膜５１内を伝導することが可能なイオン全般を指しており、具体的には、水素イオンや金属イオン単体、またはそれら陽イオンおよび／または陰イオンと極性溶媒とを含むもの、あるいはイミダゾリウム塩などのそれ自体が液状である陽イオンおよび／または陰イオンを含むものを意味する。前者としては、例えば、陽イオンおよび／または陰イオンに極性溶媒が溶媒和したものが挙げられ、後者としては、例えばイオン液体が挙げられる。

高分子化合物膜５１を構成する材料としては、例えばフッ素樹脂あるいは炭化水素系などを骨格としたイオン交換樹脂が挙げられる。このイオン交換樹脂としては、陽イオン物質が含浸される場合には陽イオン交換樹脂が好ましく、陰イオン物質が含浸される場合には陰イオン交換樹脂が好ましい。

陽イオン交換樹脂としては、例えば、スルホン酸基あるいはカルボキシル基などの酸性基が導入されたものが挙げられる。具体的には、酸性基を有するポリエチレン、酸性基を有するポリスチレンあるいは酸性基を有するフッ素樹脂などである。中でも、陽イオン交換樹脂としては、スルホン酸基あるいはカルボン酸基を有するフッ素樹脂が好ましく、例えばナフィオン（デュポン株式会社製）が挙げられる。

高分子化合物膜５１に含浸されている陽イオン物質としては、有機や無機など、その種類を問わない。例えば、金属イオン単体、金属イオンと水とを含むもの、有機陽イオンと水とを含むもの、あるいはイオン液体など種々の形態が応用可能である。金属イオンとしては、例えば、ナトリウムイオン（Ｎａ⁺）、カリウムイオン（Ｋ⁺）、リチウムイオン（Ｌｉ⁺）あるいはマグネシウムイオン（Ｍｇ²⁺）などの軽金属イオンが挙げられる。また、有機陽イオンとしては、例えば、アルキルアンモニウムイオンなどが挙げられる。これらの陽イオンは、高分子化合物膜５１中において水和物として存在している。よって、陽イオンと水とを含む陽イオン物質が高分子化合物膜５１中に含浸されている場合には、アクチュエータ素子１３では、水の揮発を抑制するために全体として封止されていることが好ましい。

イオン液体とは、常温溶融塩とも言われるものであり、燃性および揮発性が低い陽イオンと陰イオンとを含んでいる。イオン液体としては、例えば、イミダゾリウム環系化合物、ピリジニウム環系化合物あるいは脂肪族系化合物などが挙げられる。

中でも、陽イオン物質は、イオン液体であることが好ましい。揮発性が低いため、高温雰囲気中あるいは真空中においてもアクチュエータ素子１３が良好に動作するからである。

高分子化合物膜５１を挟んで互いに対向する電極膜５２Ａ，５２Ｂは、それぞれ１種あるいは２種以上の導電性材料を含んでいる。電極膜５２Ａ，５２Ｂは、導電性材料粉末同士がイオン導電性高分子により結着されたものが好ましい。電極膜５２Ａ，５２Ｂの柔軟性が高まるからである。導電性材料粉末としてはカーボン粉末が好ましい。導電性が高く、比表面積が大きいため、より大きい変形量が得られるからである。カーボン粉末としては、ケッチェンブラックが好ましい。イオン導電性高分子としては、上記した高分子化合物膜５１の構成材料と同様のものが好ましい。

電極膜５２Ａ，５２Ｂは、例えば、以下のようにして形成される。すなわち、分散媒に導電性材料粉末とイオン導電性高分子とを分散させた塗料を、高分子化合物膜５１の両面に塗布したのち、乾燥させる。また、導電性材料粉末とイオン導電性高分子とを含むフィルム状のものを、高分子化合物膜５１の両面に圧着するようにしてもよい。

電極膜５２Ａ，５２Ｂは、多層構造になっていてもよく、その場合、高分子化合物膜５１の側から順に、導電性材料粉末同士がイオン導電性高分子により結着された層と金属層とが積層された構造を有していることが好ましい。これにより、電極膜５２Ａ，５２Ｂの面内方向において電位がより均一な値に近づき、より優れた変形性能を得られるからである。金属層を構成する材料としては、金あるいは白金などの貴金属が挙げられる。金属層の厚さは任意であるが、電極膜５２Ａ，５２Ｂに電位が均一になるように連続膜となっていることが好ましい。金属層を形成する方法としては、めっき法、蒸着法あるいはスパッタ法などが挙げられる。

高分子化合物膜５１の大きさ（幅および長さ）は、駆動対象物９の大きさや重量、あるいは高分子化合物膜５１において必要とされる変位量（変形量）に応じて、任意に設定可能である。高分子化合物膜５１の変位量は、例えば、要求される駆動対象物９の変位量（Ｚ軸方向に沿った移動量）に応じて設定されるようになっている。

［駆動装置１の製造方法］
本実施の形態の駆動装置１は、例えば次のようにして製造することができる。すなわち、まず、アクチュエータ素子１３を形成する。具体的には、ここでは上記した構造のポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子１３を形成する。

次いで、このアクチュエータ素子１３の少なくとも一部分に、前述した材料からなる補強層１８を、例えば接着剤等によって貼り付けることにより形成する。

続いて、アクチュエータ素子１３の一端側を、支持部材１１上に立設された固定用部材１２によって固定させる。また、それと共に、電圧供給部１９を構成する所定の回路（半導体チップ等）を取り付ける。以上により、図１および図２に示した駆動装置１が完成する。

［駆動装置１の作用・効果］
続いて、本実施の形態の駆動装置１の作用および効果について説明する。

（１．アクチュエータ素子１３の動作）
最初に、図４を参照して、ポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子１３の動作について説明する。図４は、このアクチュエータ素子１３の動作を、断面図を用いて模式的に表したものである。

まず、陽イオン物質として、陽イオンと極性溶媒とを含むものを用いた場合について説明する。

この場合、電圧無印加状態におけるアクチュエータ素子１３は、陽イオン物質が高分子化合物膜５１中にほぼ均一に分散することから、湾曲することなく平面状となる（図４（Ａ））。ここで、図４（Ｂ）中に示した電圧供給部１９によって電圧印加状態とする（駆動用電圧Ｖｄの印加を開始する）と、アクチュエータ素子１３は以下のような挙動を示す。すなわち、例えば電極膜５２Ａがマイナスの電位、電極膜５２Ｂがプラスの電位となるように電極膜５２Ａ，５２Ｂの間に所定の駆動用電圧Ｖｄを印加すると、陽イオンが極性溶媒と溶媒和した状態で電極膜５２Ａ側に移動する。この際、高分子化合物膜５１中では陰イオンがほとんど移動できないため、高分子化合物膜５１では、電極膜５２Ａ側が膨潤し、電極膜５２Ｂ側が収縮する。これにより、アクチュエータ素子１３は全体として、図４（Ｂ）に示したように電極膜５２Ｂ側に湾曲する。こののち、電極膜５２Ａ，５２Ｂの間の電位差を無くして電圧無印加状態とする（駆動用電圧Ｖｄの印加を停止する）と、高分子化合物膜５１中において電極膜５２Ａ側に偏っていた陽イオン物質（陽イオンおよび極性溶媒）が拡散し、図４（Ａ）に示した状態に戻る。また、図４（Ａ）に示した電圧無印加状態から、電極膜５２Ａがプラスの電位、電極膜５２Ｂがマイナスの電位となるように、電極膜５２Ａ，５２Ｂの間に所定の駆動電圧Ｖｄを印加すると、陽イオンが極性溶媒と溶媒和した状態で電極膜５２Ｂ側に移動する。この場合、高分子化合物膜５１では、電極膜５２Ａ側が収縮し電極膜５２Ｂ側が膨潤するので、アクチュエータ素子１３は全体として、電極膜５２Ａ側に湾曲する。

次に、陽イオン物質として、液状の陽イオンを含むものであるイオン液体を用いた場合について説明する。

この場合においても、電圧無印加状態では、イオン液体が高分子化合物膜５１中にほぼ均一に分散しているので、アクチュエータ素子１３が図４（Ａ）に示した平面状となる。ここで、電圧供給部１９によって電圧印加状態とする（駆動用電圧Ｖｄの印加を開始する）と、アクチュエータ素子１３は以下のような挙動を示す。すなわち、例えば電極膜５２Ａがマイナスの電位、電極膜５２Ｂがプラスの電位となるように電極膜５２Ａ，５２Ｂの間に所定の駆動電圧Ｖｄを印加すると、イオン液体のうちの陽イオンが電極膜５２Ａ側に移動し、陰イオンは陽イオン交換膜である高分子化合物膜５１中を移動できない。このため高分子化合物膜５１では、その電極膜５２Ａ側が膨潤し、電極膜５２Ｂ側が収縮する。これにより、アクチュエータ素子１３は全体として、図４（Ｂ）に示したように電極膜５２Ｂ側に湾曲する。こののち、電極膜５２Ａ，５２Ｂの間の電位差を無くして電圧無印加状態とする（駆動用電圧Ｖｄの印加を停止する）と、高分子化合物膜５１中において電極膜５２Ａ側に偏っていた陽イオンが拡散し、図４（Ａ）に示した状態に戻る。また、図４（Ａ）に示した電圧無印加状態から、電極膜５２Ａがプラスの電位、電極膜５２Ｂがマイナスの電位となるように、電極膜５２Ａ，５２Ｂの間に所定の駆動電圧Ｖｄを印加すると、イオン液体のうちの陽イオンが電極膜５２Ｂ側に移動する。この場合、高分子化合物膜５１では、電極膜５２Ａ側が収縮し電極膜５２Ｂ側が膨潤するので、アクチュエータ素子１３は全体として、電極膜５２Ａ側に湾曲する。

（２．駆動装置１の動作）
この駆動装置１では、上記したアクチュエータ素子１３の変形（湾曲）に応じて、駆動対象物９が駆動される。これにより、図２（Ａ）中の矢印で示したように、駆動対象物９がＺ軸に沿って移動可能（変位可能）となる。

ここで、駆動装置１における特徴的部分の作用・効果について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。図５は、比較例１に係る駆動装置（駆動装置１０１）の概略構成および動作を模式的に表したものであり、（Ａ）は平面構成（Ｘ−Ｙ平面構成，上面構成）を、（Ｂ）は側面構成（Ｚ−Ｘ側面構成）を、それぞれ示す。また、図６は、比較例２に係る駆動装置（駆動装置２０１）の概略構成および動作を模式的に表したものであり、（Ａ）は平面構成（Ｘ−Ｙ平面構成，上面構成）を、（Ｂ）は側面構成（Ｚ−Ｘ側面構成）を、それぞれ示す。

（比較例１）
まず、図５に示した比較例１の駆動装置１０１では、本実施の形態の駆動装置１とは異なり、補強層１８が設けられていない。また、この駆動装置１０１では、アクチュエータ素子１０３の幅Ｗ１０１が、固定用部材１２側から駆動対象物９側にわたって一律（同一）となっている。すなわち、アクチュエータ素子１０３全体の幅Ｗ１０１は、本実施の形態のアクチュエータ素子１３の幅（具体的には、幅狭部の幅Ｗ１２）と比べて大きくなっている（Ｗ１０１＞Ｗ１２）。

ところで、このような片持ち梁型のアクチュエータでは、設計の自由度（構造の小型化）の観点等から、片持ち梁の幅をできるだけ小さくしたほうが望ましいと言える。しかしながら、この比較例１の駆動装置１０１では、アクチュエータ素子１０３の幅Ｗ１０１が大きく（太く）なっているため、駆動装置１０１全体としての構造の小型化（設計の自由度の向上）を図ることが困難である。

（比較例２）
一方、図６に示した比較例２の駆動装置２０１では、本実施の形態の駆動装置１と同様に、アクチュエータ素子１３が、固定用部材１２側の幅広部（幅Ｗ１１）と、駆動対象物９側の幅狭部（幅Ｗ１２）とを有している。したがって、上記比較例１の駆動装置１０１と比べ、駆動装置２０１全体としての構造の小型化（設計の自由度の向上）を図ることが可能となっている。

しかしながら、この比較例２の駆動装置２０１では、本実施の形態の駆動装置１とは異なり補強層１８が設けられていないため、片持ち梁の幅が小さい（幅Ｗ１２）ことに起因して、アクチュエータ素子１３の強度（機械的強度）を確保することが困難である。したがって、例えば図６（Ｂ）に示したように、アクチュエータ素子１３によって駆動対象物９を十分に駆動する（ここでは、Ｚ軸の正方向（上方向）に変位させる）ことができない場合が生じ得る。すなわち、駆動対象物９を片持ち梁によって支えなくてはならない都合上、一定の幅を確保し、駆動対象物９を支えるに足る強度（機械的強度）をアクチュエータ素子１３にもたせる必要があるのである。

このようにして、上記した比較例１，２の駆動装置１０１，２０１では、（所望の）駆動特性を維持しつつ小型化（設計の自由度の向上）を図ることが困難である。

これに対して本実施の形態の駆動装置１では、図１および図２に示したように、アクチュエータ素子１３の少なくとも一部分に補強層１８が設けられている。これにより、アクチュエータ素子１３の幅（特に幅狭部の幅Ｗ１２）を狭くした場合であっても、その機械的強度が確保される。

また、本実施の形態の駆動装置１では、補強層１８の設置場所について以下のことも言える。すなわち、まず、アクチュエータ素子１３では、可動側の部分（図２（Ａ）中の符号Ｐ１２で示した領域参照）と比べ、固定側の部分（図２（Ａ）中の符号Ｐ１１で示した領域参照）のほうが、変形の際の曲率が大きくなる。また、梁の長さによる変位拡大効果を考慮すると、可動側の部分と比べて固定側の部分のほうが、アクチュエータ素子１３の先端（駆動対象物９の近傍）での変位に貢献している。したがって、アクチュエータ素子１３の変位（変形）に大きく寄与しているのは固定側の部分であり、変位への寄与が相対的に小さい部分（例えば、符号Ｐ１２付近の部分）については、補強層１８によって拘束されたとしても、駆動対象物９の変位量には影響が少ないと言える。一方、アクチュエータ素子１３の発生力については、片持ち梁型のアクチュエータにおける剛性（曲げ剛性）が十分に確保されている場合には、固定側部分の幅（ここでは幅広部の幅Ｗ１１）が大きくなるのに応じて（略比例して）、発生力が増加する。これらのことから、アクチュエータ素子１３の固定側（幅広部）の幅Ｗ１１を十分に大きくしたうえで、例えば片持ち梁の中央部（符号Ｐ１２付近の部分）や先端部に補強層１８を設けることが望ましいと言える。これにより、アクチュエータ素子１３の機械的強度を十分に確保しつつ、固定側部分以外（幅狭部）の幅Ｗ１２を飛躍的に小さく設定することができるからである。

以上のように本実施の形態では、アクチュエータ素子１３の少なくとも一部分に補強層１８を設けるようにしたので、アクチュエータ素子１３の幅（特に幅狭部の幅Ｗ１２）を狭く設定しつつ、その機械的強度を確保することができる。よって、駆動特性を維持しつつ小型化を図ることが可能となり、設計の自由度を向上させることも可能となる。

また、特にアクチュエータ素子１３としてポリマーアクチュエータ素子を用いるようにしたので、他の方式のアクチュエータ素子（後述する圧電素子やバイメタル素子等）を用いた場合と比べ、以下の利点も得られる。すなわち、駆動用電圧Ｖｄを低く抑えて低消費電力化を図ることが可能となると共に、低コストで製造することも可能となる。

＜変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜４）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

［変形例１，２］
図７（Ａ）は、変形例１に係る駆動装置（駆動装置１Ａ）の概略構成を、平面図（Ｘ−Ｙ平面図，上面図）で模式的に表したものである。また、図７（Ｂ）は、変形例２に係る駆動装置（駆動装置１Ｂ）の概略構成を、平面図（Ｘ−Ｙ平面図，上面図）で模式的に表したものである。

図７（Ａ）に示した変形例１の駆動装置１Ａは、上記実施の形態の駆動装置１において、アクチュエータ素子１３および補強層１８の代わりに、アクチュエータ素子１３Ａおよび補強層１８Ａをそれぞれ設けたものであり、他の構成は同様となっている。

アクチュエータ素子１３Ａは、上記実施の形態のアクチュエータ素子１３と同様に、固定用部材１２側の幅広部（幅Ｗ１１）と、駆動対象物９側の幅狭部（幅Ｗ１２）とを有している。そして、補強層１８Ａは、アクチュエータ素子１３Ａにおけるこれらの幅狭部および幅広部に倣った幅の形状となっている。すなわち、補強層１８Ａもまた、固定用部材１２側の幅広部１８Ａ１と、駆動対象物９側の幅狭部１８Ａ２とを有している。なお、この例では、幅広部１８Ａ１の平面形状が矩形状となっている。

一方、図７（Ｂ）に示した変形例２の駆動装置１Ｂは、上記実施の形態の駆動装置１において、アクチュエータ素子１３および補強層１８の代わりに、アクチュエータ素子１３Ｂおよび補強層１８Ｂをそれぞれ設けたものであり、他の構成は同様となっている。

アクチュエータ素子１３Ｂもまた、アクチュエータ素子１３と同様に、固定用部材１２側の幅広部（幅Ｗ１１）と、駆動対象物９側の幅狭部（幅Ｗ１２）とを有している。そして、補強層１８Ｂは、アクチュエータ素子１３Ｂにおけるこれらの幅狭部および幅広部に倣った幅の形状となっている。すなわち、補強層１８Ｂもまた、固定用部材１２側の幅広部１８Ｂ１と、駆動対象物９側の幅狭部１８Ｂ２とを有している。なお、この例では、幅広部１８Ｂ１の平面形状が、三角形状（固定部材１２側から駆動対象物９側に向けて徐々に幅が狭くなる三角形状）となっている。

このように、これらの変形例１，２では、補強層１８Ａ，１８Ｂが、アクチュエータ素子１３Ａ，１３Ｂにおけるこれらの幅狭部および幅広部に倣った幅の形状となっているようにしたので、駆動対象物９が特に重い場合であっても、アクチュエータ素子１３Ａ，１３Ｂにおける機械的強度をより確保し易くすることが可能となる。

［変形例３］
図８は、変形例３に係る駆動装置に適用されるアクチュエータ素子（アクチュエータ素子１３Ｃ）の概略構成および動作を、斜視図で模式的に表わしたものである。本変形例の駆動装置では、上記実施の形態で説明したポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子１３の代わりに、以下説明する圧電素子からなるアクチュエータ素子１３Ｃを設けたものとなっている。

この圧電素子は、ＸＹ平面上に延在する導体板６１と、この導体板６１の両面に配置された一対の圧電体６２Ａ，６２Ｂと、導体板６１および圧電体６２Ａ，６２Ｂの一端側を固定する一対の固定用部材６３Ａ，６３Ｂとからなる。

導体板６１は、例えばリン青銅等の材料からなる。圧電体６２Ａ，６２Ｂはそれぞれ、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電性材料からなる。なお、これらの圧電体６２Ａ，６２Ｂにはそれぞれ、それらの厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って所定の分極処理が施されており、それらの分極方向は互いに同じ方向になっているものとする。

このような構成の圧電素子からなるアクチュエータ素子１３Ｃでは、圧電体６２Ａ，６２Ｂに対してそれぞれ所定の駆動用電圧Ｖｄが印加されると、以下のように動作する。すなわち、一方の圧電体（ここでは圧電体６２Ａ）がＸ軸方向に沿って伸びる一方、他方の圧電体（ここでは圧電体６２Ｂ）がＸ軸方向に沿って縮む。その結果、アクチュエータ素子１３Ｃ全体では、その厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って湾曲（屈曲）し、Ｚ軸方向の変形量ｄが生ずる。なお、駆動用電圧Ｖｄの極性を反転させれば、それに伴って逆方向の変形量ｄが得られる。このようにして、駆動用電圧Ｖｄを供給することにより、圧電素子がアクチュエータ素子として機能する。

よって、このような圧電素子をアクチュエータ素子１３Ｃとして用いた本変形例の駆動装置においても、上記実施の形態と同様の作用により同様の効果を得ることが可能である。

［変形例４］
図９は、変形例４に係る駆動装置に適用されるアクチュエータ素子（アクチュエータ素子１３Ｄ）の概略構成および動作を、側面図（Ｚ−Ｘ側面図）で模式的に表わしたものであり、（Ａ）は動作前の状態を、（Ｂ）は動作後の状態をそれぞれ示す。本変形例の駆動装置では、上記実施の形態で説明したポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子１３の代わりに、以下説明するバイメタル素子からなるアクチュエータ素子１３Ｄを設けたものとなっている。

このバイメタル素子は、ＸＹ平面上に延在する一対の金属板（熱膨張率が互いに異なる高膨張性金属板７２Ａおよび低膨張性金属板７２Ｂ）と、これらの金属板の一端側を固定する一対の固定用部材７３Ａ，７３Ｂとからなる。高膨張性金属板７２Ａおよび低膨張性金属板７２Ｂは、互いに貼り合わせられることにより積層構造を形成するようになっている。

高膨張性金属板７２Ａおよび低膨張性金属板７２Ｂはそれぞれ、例えば、鉄（Ｆｅ）とニッケル（Ｎｉ）との合金にマンガン（Ｍｎ）やクロム（Ｃｒ）、銅（Ｃｕ）などの金属を添加した材料からなる。これらの添加量を異ならせることにより、互いの熱膨張率が異なるものとなるようになっている。

このような構成のバイメタル素子からなるアクチュエータ素子１３Ｄでは、図９（Ａ）に示した平坦状態（動作前状態）と比べて高い温度状態とすると、高膨張性金属板７２Ａのほうが、低膨張性金属板７２Ｂと比べてより多く膨張する。その結果、アクチュエータ素子１３Ｄ全体では、その厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って湾曲（屈曲）し、Ｚ軸方向の変形量ｄが生ずる。したがって、図示しないヒーター等の加熱手段を用いて高膨張性金属板７２Ａおよび低膨張性金属板７２Ｂの温度を変化させることにより、バイメタル素子がアクチュエータ素子として機能する。

よって、このようなバイメタル素子をアクチュエータ素子１３Ｄとして用いた本変形例の駆動装置においても、上記実施の形態と同様の作用により同様の効果を得ることが可能である。

＜適用例＞
続いて、上記実施の形態および変形例１〜４に係る駆動装置の適用例（レンズモジュールおよび撮像装置への適用例：適用例１，２）について説明する。

［適用例１］
（携帯電話機８の構成）
図１０および図１１は、上記実施の形態等の駆動装置の適用例１に係る撮像装置を備えた電子機器の一例として、撮像機能付き携帯電話機（携帯電話機８）の概略構成を斜視図で表わしたものある。この携帯電話機８では、２つの筐体８１Ａ，８１Ｂ同士が、図示しないヒンジ機構を介して折り畳み自在に連結されている。

図１０に示したように、筐体８１Ａの一方側の面には、各種の操作キー８２が複数配設されると共に、その下端部にマイクロフォン８３が配設されている。操作キー８２は使用者（ユーザ）による所定の操作を受け付けて情報を入力するためのものである。マイクロフォン８３は、通話時等における使用者の音声を入力するためのものである。

筐体８１Ｂの一方側の面には、図１０に示したように、液晶表示パネル等を用いた表示部８４が配設されると共に、その上端部には、スピーカー８５が配設されている。表示部８４には、例えば、電波の受信状況や電池残量、通話相手の電話番号、電話帳として登録されている内容（相手先の電話番号や氏名等）、発信履歴、着信履歴等の各種の情報が表示されるようになっている。スピーカー８５は、通話時等における通話相手の音声等を出力するためのものである。

図１１に示したように、筐体８１Ａの他方側の面にはカバーガラス８６が配設されていると共に、筐体８１Ａ内部のカバーバラス８６に対応する位置に撮像装置２が設けられている。この撮像装置２は、物体側（カバーガラス８６側）に配置された、本適用例に係るレンズモジュール４と、像側（筐体８１Ａの内部側）に配置された撮像素子３とにより構成されている。撮像素子３は、レンズモジュール４内のレンズ（後述するレンズ４０）により結像されてなる撮像信号を取得する素子である。この撮像素子３は、例えば電荷結合素子（ＣＣＤ：Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）を搭載したイメージセンサからなる。

（撮像装置２の構成）
図１２は、撮像装置２の要部構成を斜視図で表したものであり、図１３は、この撮像装置２におけるレンズモジュール４の構成を分解斜視図で表したものである。また、図１４は、このレンズモジュール４の概略構成を、（Ａ）側面図（Ｚ−Ｘ側面図）および（Ｂ）平面図（Ｘ−Ｙ平面図）で模式的に表したものである。

レンズモジュール４は、光軸Ｚ１に沿って像側（撮像素子３側）から物体側へと順に（Ｚ軸上の正方向に沿って）、支持部材１１、補強層１８１、アクチュエータ素子１３１、レンズ保持部材１４およびレンズ４０、補強層１８２ならびにアクチュエータ素子１３２を備えている。なお、図１２では、レンズ４０の図示を省略している。このレンズモジュール４はまた、固定用部材１２、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂ、固定電極１３０Ａ，１３０Ｂ、押え部材１６およびホール素子１７Ａ，１７Ｂを備えている。なお、これらのレンズモジュール４の部材のうちのレンズ４０を除いたものが、本発明における「レンズ駆動装置」の一具体例に対応している。

支持部材１１は、ここでは、レンズモジュール４全体を支持するためのベース部材（基体）となっている。

固定用部材１２は、ここでは、アクチュエータ素子１３１，１３２の一端をそれぞれ固定するための部材となっている。この固定用部材１２は、像側（図１２および図１３における下側）から物体側（上側）へと向けて配置された、下部固定用部材１２Ｄ、中央（中部）固定用部材１２Ｃおよび上部固定用部材１２Ｕの３つの部材からなる。下部固定用部材１２Ｄと中央固定用部材１２Ｃとの間には、アクチュエータ素子１３１の一端および固定電極１３０Ａ，１３０Ｂの一端がそれぞれ、挟み込まれて配置されている。一方、中央固定用部材１２Ｃと上部固定用電極１２Ｕとの間には、アクチュエータ素子１３２の一端および固定電極１３０Ａ，１３０Ｂの他端がそれぞれ、挟み込まれて配置されている。また、これらのうちの中央固定用部材１２Ｃには、レンズ保持部材１４の一部（後述する保持部１４Ｂの一部）を部分的に挟み込むための開口１２Ｃ０が形成されている。これにより、レンズ保持部材１４の一部がこの開口１２Ｃ０内を移動できるようになるため、スペースを有効活用することができ、レンズモジュール４の小型化を図ることが可能となる。

固定電極１３０Ａ，１３０Ｂは、アクチュエータ素子１３１，１３２における電極膜（前述した電極膜５２Ａ，５２Ｂ）に対して、前述した電圧供給部１９からの駆動用電圧Ｖｄを供給するための電極である。これらの固定電極１３０Ａ，１３０Ｂはそれぞれ、例えば金（Ａｕ）もしくは金めっきされた金属等からなり、「コ」の字状となっている。これにより、固定電極１３０Ａ，１３０Ｂはそれぞれ、中央固定用部材１２Ｃの上下（Ｚ軸に沿った両側面）を挟み込むようになっており、一対のアクチュエータ素子１３１，１３２に対して少ない配線で並列に同じ電圧を印加することが可能となっている。また、固定電極１３０Ａ，１３０Ｂを金めっきされた金属材料から構成した場合、表面の酸化等による接触抵抗の劣化を防ぐことができる。

レンズ保持部材１４は、レンズ４０を保持するための部材であり、例えば液晶ポリマー等の硬質な樹脂材料からなる。このレンズ保持部材１４は、中心が光軸Ｚ１上になるようにして配置され、レンズ４０を保持する環状の保持部１４Ｂと、この保持部１４Ｂを支持すると共に保持部１４Ｂと後述する連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂとを接続する接続部１４Ａとからなる。また、保持部１４Ｂは、一対のアクチュエータ素子１３１，１３２における後述する駆動面同士の間に配置されている。

アクチュエータ素子１３１，１３２はそれぞれ、レンズ４０の光軸Ｚ１と直交する駆動面（Ｘ−Ｙ平面上の駆動面）を有し、この光軸Ｚ１に沿って駆動面同士が対向するように配置されている。これらのアクチュエータ素子１３１，１３２はそれぞれ、レンズ保持部材１４（およびレンズ４０）を、後述する連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂを介して光軸Ｚ１に沿って駆動するためのものである。また、アクチュエータ素子１３１，１３２はそれぞれ、ここでは前述したポリマーアクチュエータ素子からなる。これらのアクチュエータ素子１３１，１３２はそれぞれ、ここでは図１４（Ｂ）に示したように、固定用部材１２側の幅広部（幅Ｗ２１）と、可動側（連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂ側）の幅狭部（幅Ｗ２２）とを有している。

ここで、図１５に断面図（Ｚ−Ｘ断面図）で示したように、アクチュエータ素子１３１では、電極膜５２Ａが、下部固定用部材１２Ｄ側の固定電極１３０Ｂと電気的に接続され、電極膜５２Ｂが、中央固定用部材１２Ｃ側の固定電極１３０Ａと電気的に接続されている。一方、アクチュエータ素子１３２では、電極膜５２Ａが、中央固定用部材１２Ｃ側の固定電極１３０Ａと電気的に接続され、電極膜５２Ｂが、上部固定用部材１２Ｕ側の固定電極１３０Ｂと電気的に接続されている。なお、図１５中に図示はしていないが、下部固定用部材１２Ｄ側の固定電極１３０Ｂから上部固定用部材１２Ｕ側の固定電極１３０Ｂまでの各部材・電極はそれぞれ、図１３中に示した押え部材１６（板ばね）によって一定の圧力で挟み込まれるようにして固定されている。これにより、大きな力を与えてもアクチュエータ素子１３１，１３２を破壊することがなく、これらのアクチュエータ素子１３１，１３２が変形した際も安定して電気的な接続が可能となる。

補強層１８１，１８２はそれぞれ、上記実施の形態で説明した補強層１８に対応するものであり、ここでは、平板状のアクチュエータ素子１３１，１３２における一方の面（裏面）側に選択的に設けられている。ただし、このような補強層１８１，１８２を、アクチュエータ素子１３１，１３２における双方の面（表面および裏面）側に設けるようにしてもよい。

連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂはそれぞれ、アクチュエータ素子１３１，１３２の各他端と、接続部１４Ａの端部との間を互いに連結（接続）するための部材である。具体的には、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂはそれぞれ、接続部１４Ａの下端部とアクチュエータ素子１３１の他端との間を連結し、連結部材１５２Ａ，１５２Ｂはそれぞれ、接続部１４Ａの上端部とアクチュエータ素子１３２の他端との間を連結するようになっている。これらの連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂはそれぞれ、例えばポリイミドフィルム等のフレキシブルフィルムからなり、各アクチュエータ素子１３１，１３２と同等以下（好ましくは同一以下）の剛性（曲げ剛性）を有する柔軟な材料からなることが望ましい。これにより、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂがアクチュエータ素子１３１，１３２の湾曲方向とは逆方向に湾曲する自由度が生まれ、アクチュエータ１３１，１３２と連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂとからなる片持ち梁における断面形状が、Ｓ字状の曲線を描くようになる。その結果、接続部１４ＡがＺ軸方向に沿って平行移動することが可能となり、保持部１４Ｂ（およびレンズ４０）が支持部材１１に対して平行状態を保ったまま、Ｚ軸方向に駆動されるようになる。なお、上記した剛性（曲げ剛性）としては、例えばバネ定数を用いることができる。

ここで、アクチュエータ素子１３１，１３２の剛性（曲げ剛性）をＳ１、補強層１８１，１８２の剛性（曲げ剛性）をＳ２とすると、以下の（１）式を満たすようにするのが望ましい。これにより、アクチュエータ素子１３１，１３２の幅をより小さく設定することが可能となり、レンズモジュール４のより小型化を図ることができるからである。また、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂの剛性（曲げ剛性）をＳ３とすると、（１）式に加え、更に以下の（２）式および（３）式の双方をも満たすようにするのがより望ましい。これにより、アクチュエータ素子１３１，１３２の幅を更に小さく設定することが可能となり、レンズモジュール４の更なる小型化を図ることができるからである。
Ｓ２＞Ｓ１ ……（１）
Ｓ２＞Ｓ３ ……（２）
Ｓ１≧Ｓ３ ……（３）

（レンズモジュール４の作用・効果）
図１６は、レンズモジュール４の動作を斜視図で表したものであり、（Ａ）は動作前の状態を、（Ｂ）は動作後の状態をそれぞれ示す。

このレンズモジュール４では、図１６（Ａ），（Ｂ）に示したように（図中の矢印）、一対のアクチュエータ素子１３１，１３２によってレンズ保持部材１４が駆動されることにより、レンズ４０がその光軸Ｚ１に沿って移動可能となる。このようにしてレンズモジュール４では、アクチュエータ素子１３１，１３２を用いた駆動装置（レンズ駆動装置）によって、レンズ４０がその光軸Ｚ１に沿って駆動される。

ここで、本適用例においても上記実施の形態と同様に、アクチュエータ素子１３１，１３２の少なくとも一部分に補強層１８１，１８２が設けられている。これにより、図１４（Ｂ）に示したように、アクチュエータ素子１３１，１３２の幅（特に幅狭部の幅Ｗ２２）を狭くした場合であっても、その機械的強度が確保される。したがって、アクチュエータ素子１３１，１３２の面積を縮小することができ、より大口径の光学素子（ここでは口径Ｒ１が大きなレンズ４０）をレンズモジュール４内に搭載することが可能となる。

これに対して、図１７（Ａ），（Ｂ）に示した比較例３に係るレンズモジュール（レンズモジュール３０４）では、本適用例のような補強層が設けられていないため、アクチュエータ素子３０２の面積が大きくなってしまう。具体的には、固定用部材１２側の幅広部（幅Ｗ３０１）と、可動側（連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂ側）の幅狭部（幅Ｗ３０２）とがそれぞれ、アクチュエータ素子１３１，１３２における幅Ｗ２１，Ｗ２２と比べて大きくなってしまう。このため、この比較例３のレンズモジュール３０４では、本適用例のレンズモジュール４と比べ、光学素子の口径（ここではレンズ３４０の口径Ｒ３０１）が小さくなってしまうことになる（Ｒ１＞Ｒ３０１）。換言すると、この比較例３では、大口径の光学素子をレンズモジュール３０４内に搭載するのが困難となる。

［適用例２］
（レンズモジュール４Ａの構成）
図１８は、適用例２に係るレンズモジュール４Ａの概略構成を、（Ａ）側面図（Ｚ−Ｘ側面図）および（Ｂ）平面図（Ｘ−Ｙ平面図）で模式的に表したものである。本適用例のレンズモジュール４Ａは、上記適用例１のレンズモジュール４において、補強層１８１，１８２の代わりに補強層１８１Ａ，１８１Ｂ，１８２Ａ，１８２Ｂを設けたものである。また、このレンズモジュール４Ａでは、上記適用例１とは異なり、アクチュエータ素子１３１，１３２の梁の長さ（Ｘ軸方向の長さ）と比べ、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２ＢのＸ軸方向の長さのほうが長くなるように設定されている。

補強層１８１Ａ，１８１Ｂ，１８２Ａ，１８２Ｂは、上記実施の形態で説明した補強層１８に対応するものであり、ここでは、平板状のアクチュエータ素子１３１，１３２における双方の面（表面および裏面）側に設けられている。

（レンズモジュール４Ａにおけるレンズ駆動装置の製造方法）
本適用例のレンズモジュール４Ａのうち、特にレンズ駆動装置の部分（アクチュエータ素子１３１，１３２、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂおよび補強層１８１Ａ，１８１Ｂ，１８２Ａ，１８２Ｂ）については、例えば次のようにして製造することができる。図１９および図２０は、このレンズ駆動装置の部分を製造する工程の一例を、斜視図、平面図（Ｘ−Ｙ平面図）または側面図（Ｚ−Ｘ側面図）で表したものである。

まず、図１９（Ａ）に示したように、アクチュエータ素子１３１，１３２を構成するアクチュエータ素子１３０と、連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂを構成する低剛性層１５０（例えば、前述した剛性Ｓ３を示す材料からなる層）とを、所定の間隔にて配置させる。

次いで、図１９（Ｂ）に示したように、アクチュエータ素子１３０および低剛性層１５０の一面（表面）上に、補強層１８１Ａ，１８２Ａを構成する高剛性層１８０Ａ（例えば、前述した剛性Ｓ２を示す材料からなる層）を、接着剤等を用いて貼り付ける。続いて、図１９（Ｃ）に示したように、アクチュエータ素子１３０および低剛性層１５０の他の一面（裏面）上に、補強層１８１Ｂ，１８２Ｂを構成する高剛性層１８０Ｂ（例えば、前述した剛性Ｓ２を示す材料からなる層）を、同様に接着剤等を用いて貼り付ける。このようにして、アクチュエータ素子１３０上に、補強層を構成する高剛性層１８０Ａ，１８０Ｂをそれぞれ形成する。

そののち、図２０（Ａ）中の破線で示した領域を、例えばパンチやレーザ光を用いた加工を用いて機械的に切り抜く。すなわち、アクチュエータ素子１３０、低剛性層１５０および高剛性層１８０Ａ，１８０Ｂをそれぞれ、所定の形状に切り抜く。これにより、図２０（Ｂ）に示したように、図１８に示したレンズモジュール４Ａにおけるレンズ駆動装置が完成する。

このような構成からなる本適用例のレンズモジュール４Ａにおいても、上記適用例１と同様の作用により同様の効果を得ることが可能である。すなわち、アクチュエータ素子１３１，１３２の面積を縮小することができ、より大口径の光学素子（口径Ｒ１が大きなレンズ４０）をレンズモジュール４Ａ内に搭載することが可能となる。

＜その他の変形例＞
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等で説明した接続部１４Ａおよび連結部材１５１Ａ，１５１Ｂ，１５２Ａ，１５２Ｂはそれぞれ、場合によっては設けないようにしてもよい。また、上記実施の形態等では、アクチュエータ素子の一端側が固定用部材によって直接固定されている場合について説明したが、この場合には限られない。すなわち、アクチュエータ素子の一端側が、固定用部材によって間接的に（固定電極等を介して）固定されているようにしてもよい。

また、上記実施の形態等では、主に一対のアクチュエータ素子を設けた場合について説明したが、必ずしも一対ではなくてもよく、１つあるいは３つ以上のアクチュエータ素子を設けるようにしてもよい。

更に、各アクチュエータ素子の形状については、上記実施の形態等に示したものには限定されず、またその積層構造についても、上記実施の形態等で説明したものに限定されず、適宜変更可能である。また、レンズモジュール（駆動装置）における各部材の形状や材料等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られない。例えば、補強部材の形状は、上記実施の形態等で説明した形状（層状構造（補強層）等）には限られず、他の形状であってもよい。

加えて、上記実施の形態等では、本発明の駆動装置の一例として、レンズをその光軸に沿って駆動するレンズ駆動装置を挙げて説明したが、その場合には限られず、例えば、レンズ駆動装置がレンズをその光軸と直交する方向に沿って駆動するようにしてもよい。また、本発明の駆動装置は、そのようなレンズ駆動装置以外にも、例えば絞り（特開２００８−２５９３８１号公報等参照）などを駆動する駆動装置等にも適用することが可能である。更に、本発明の駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置は、上記実施の形態等で説明した携帯電話機以外にも、種々の電子機器に適用することが可能である。

Claims (20)

1. 固定用部材と、
   前記固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、
   前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材と
   を備えた駆動装置。
2. 前記アクチュエータ素子は、前記一端側の幅広部と他端側の幅狭部とを有し、
   前記補強部材が、前記幅狭部の少なくとも一部分に配設されている
   請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記補強部材が、前記幅広部の少なくとも一部分にも配設されている
   請求項２に記載の駆動装置。
4. 前記補強部材が、前記幅狭部から前記幅広部へわたって連続的に配設されている
   請求項３に記載の駆動装置。
5. 前記補強部材が、前記アクチュエータ素子における前記幅狭部および前記幅広部に倣った幅の形状からなる
   請求項４に記載の駆動装置。
6. レンズを駆動するレンズ駆動装置として構成されている
   請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の駆動装置。
7. 各々が前記レンズの光軸と直交する駆動面を有する複数のアクチュエータ素子が、前記レンズの光軸に沿って前記駆動面同士が対向するように配置され、
   前記複数のアクチュエータ素子の一端側がそれぞれ、前記固定用部材により固定され、
   前記レンズを保持するためのレンズ保持部材と、
   前記複数のアクチュエータ素子の各他端と前記レンズ保持部材の端部とを連結する連結部材とを備えた
   請求項６に記載の駆動装置。
8. 前記アクチュエータ素子の剛性をＳ１、前記補強部材の剛性をＳ２としたとき、Ｓ２＞Ｓ１を満たす
   請求項７に記載の駆動装置。
9. 前記連結部材の剛性をＳ３としたとき、更に、Ｓ２＞Ｓ３かつＳ１≧Ｓ３を満たす
   請求項８に記載の駆動装置。
10. 前記レンズ保持部材が、
    前記レンズを保持する保持部と、
    前記保持部を支持すると共に、前記保持部と前記連結部材とを接続する接続部と
    を有し、
    前記アクチュエータ素子の駆動面同士の間に、前記保持部が配置されている
    請求項７に記載の駆動装置。
11. 前記固定用部材に、前記保持部を部分的に挟む込むための開口が形成されている
    請求項１０に記載の駆動装置。
12. 前記アクチュエータ素子の剛性をＳ１、前記補強部材の剛性をＳ２としたとき、Ｓ２＞Ｓ１を満たす
    請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の駆動装置。
13. 前記アクチュエータ素子が、対向する一対の主面を有する平板状からなり、
    前記一対の主面のうちの少なくとも一方の面上に、前記補強部材としての補強層が配設されている
    請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の駆動装置。
14. 前記アクチュエータ素子が、ポリマーアクチュエータ素子である
    請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の駆動装置。
15. 前記ポリマーアクチュエータ素子は、
    一対の電極膜と、
    前記一対の電極膜の間に挿設された高分子膜と
    を有する請求項１４に記載の駆動装置。
16. 前記アクチュエータ素子が、圧電素子またはバイメタル素子である
    請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の駆動装置。
17. レンズと、
    前記レンズを駆動する駆動装置と
    を備え、
    前記駆動装置は、
    固定用部材と、
    前記固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、
    前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材と
    を有するレンズモジュール。
18. レンズと、
    前記レンズにより結像されてなる撮像信号を取得する撮像素子と、
    前記レンズを駆動する駆動装置と
    を備え、
    前記駆動装置は、
    固定用部材と、
    前記固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、
    前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材と
    を有する撮像装置。
19. アクチュエータ素子を形成する工程と、
    前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に補強部材を形成する工程と、
    前記アクチュエータ素子の一端側を、固定用部材により直接もしくは間接的に固定させる工程と
    を含む駆動装置の製造方法。
20. 前記補強部材を形成する工程は、
    前記アクチュエータ素子上に補強層を形成する工程と、
    前記アクチュエータ素子および前記補強層をそれぞれ、所定の形状に切り抜く工程と
    を含む請求項１９に記載の駆動装置の製造方法。

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