JP4501085B2 - 光学素子モジュール及び撮像装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ポリマーアクチュエータ素子を用いた光学素子モジュール及び該光学素子モジュールを用いて手振れ補正を行なう撮像装置に関するものである。
近年、デジタルカメラにおいては高画素化、高機能化に伴って、手振れ補正機能が標準となってきている。中でも、最近ではデジタル手振れ補正に加え、光学式の手振れ補正が多く搭載されてきている(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、光学式手振れ補正の場合、前記特許文献1の例にあるようにリニアモーターのような磁気を用いたアクチュエータ機構が主に使用されており、モジュール全体としてはサイズが大きくなってしまい、カメラのサイズをより小さくすることは難しくなってきている。
また、携帯電話に搭載されているカメラにおいても高画素化が進んできており、将来的には手振れ補正が必要になってくると考えられる。しかし、現在使用されているアクチュエータ機構では携帯電話に入るサイズで光学式の手振れ補正機能を持たせることは非常に難しい。
これらの問題に対して、最近では、ポリマーアクチュエータを用いた手振れ補正ユニットが提案されている(例えば、特許文献2参照。)。しかし、特許文献2のユニットではポリマーアクチュエータの伸縮を利用するものであることから光学素子周辺でポリマーアクチュエータが伸縮するためのスペースを要し、ユニット全体としてのコンパクト化は十分なものではなかった。
特許第3516110号公報 特開2007−140169号公報
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、ポリマーアクチュエータを用いてシンプルな構造でコンパクト化を図ることができ、手振れ補正を行なうことが可能な光学素子モジュール及び該光学素子モジュールを用いた撮像装置を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために提供する発明は、以下のとおりである。
〔1〕 光学素子と、短冊形状のイオン導電性高分子膜、およびイオン導電性高分子膜の両面に設けられると共に樹脂中にカーボン粒子が分散されてなる導電膜である一対の電極をそれぞれ有し、一対の電極間への電圧印加により全体が厚み方向に湾曲する一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bとを備える。一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bは、いずれも、その短冊形状の幅方向が光学素子の光軸と平行な方向となり、厚み方向が光軸と直交する方向となるように配置され、かつ、長手方向の一端が湾曲により変位してその押圧または牽引によって光学素子の移動に関与するように他端が固定されている。一対のアクチュエータ素子Aのうち、いずれか一方が湾曲を生じることによって光学素子を光軸と直交するX方向へ移動させ、他方が弾性体として前記光学素子を直接又は間接的に支持する。一対のアクチュエータ素子Bのうち、いずれか一方が湾曲を生じることによって内枠および光学素子を光軸およびX方向の双方と直交するY方向へ移動させ、他方が弾性体として光学素子を直接又は間接的に支持する。
〔2〕 光学素子は、レンズ、レンズ及びレンズホルダー、撮像素子のいずれかからなる〔1〕に記載の光学素子モジュール。
〔3〕 アクチュエータ素子は、短冊形状のイオン導電性高分子膜の両面に電極をもつものが厚み方向に複数枚重ね合わされてなる〔1〕に記載の光学素子モジュール。
光学素子を、X方向へ移動可能に内包する内枠と、内枠を、Y方向へ移動可能に内包する外枠とをさらに備える。一対のアクチュエータ素子Aは、光学素子をX方向に挟んで互いの主面を対向させ、それぞれの一端が光学素子に接すると共に他端が内枠に固定され、湾曲により一端がX方向へ変位するものであり、一対のアクチュエータ素子Bは、内枠をY方向に挟んで互いの主面を対向させ、それぞれの一端が内枠に接すると共に他端が外枠に固定され、湾曲により一端がY方向へ変位するものである〔1〕に記載の光学素子モジュール。
一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bを介して光学素子を支持する固定枠をさらに備え、一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bは、各々の一端が光学素子に固定されると共に他端が固定枠に固定され、かつ、初期形状として厚み方向に90°〜180°に湾曲した状態となっており、一対のアクチュエータ素子Aは、光学素子をX方向に挟んで互いの主面を対向させ、湾曲により一端がX方向へ変位するものであり、一対のアクチュエータ素子Bは、内枠をY方向に挟んで互いの主面を対向させ、湾曲により一端がY方向へ変位するものである〔1〕に記載の光学素子モジュール。
〔6〕 〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の光学素子モジュールを撮像光学系に備え、撮像時に前記光学素子モジュールの光学素子を該光学素子の光軸に対して垂直となる平面上を移動させて手振れ補正する撮像装置。
本発明の光学素子モジュールによれば、ポリマーアクチュエータの薄型軽量ながら発生力、変形量が大きく柔軟性もあるという特長を生かし、かつシンプルな構造とすることにより、コンパクト化を図ることができる。
また、本発明の撮像装置によれば、本発明の光学素子モジュールを用いることにより、撮像装置全体のコンパクト化を図るとともに、光軸に対して垂直方向の面内で自由に光学素子を動かして、手振れ補正を行うことができる。
以下に、本発明に係る光学素子モジュールの構成について説明する。なお、本発明を図面に示した実施形態をもって説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、実施の態様に応じて適宜変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
本発明に係る光学素子モジュールは、光学素子と、短冊形状のイオン導電性高分子膜該イオン導電性高分子膜の両面に設けられる樹脂中にカーボン粒子が分散されてなる導電膜である極を有し前記電極間への電圧印加により全体が厚み方向に湾曲する、複数のアクチュエータ素子と、を備え、前記複数のアクチュエータ素子は、その短冊形状の幅方向が前記光軸方向、厚み方向が前記光軸の垂直方向となるように配置され、長手方向の一方の端部が前記湾曲により変位して前記光学素子の移動に関与するように他方の端部が固定されており、前記複数のアクチュエータ素子のうち、少なくとも1つのアクチュエータ素子Aは、前記湾曲により前記一方の端部が変位する方向(X方向)が、他のアクチュエータ素子Bの前記一方の端部の湾曲により変位する方向(Y方向)に対して直交するように配置され、前記アクチュエータ素子A,Bのうち、前記光学素子の移動に関与させる両方またはいずれかのアクチュエータ素子には電圧印加して湾曲させるとともに、前記光学素子の移動に関与させない残りのアクチュエータ素子には電圧印加せずに弾性体として前記光学素子を直接又は間接的に支持する状態として、前記光学素子を該光学素子の光軸に対して垂直となる平面上を移動させることを特徴とするものである。これにより、光学素子を移動させる駆動機構に要するスペースがアクチュエータ素子の厚み及びその湾曲スペースで済むことから、コンパクトな光学素子モジュールとすることができる。
図1は、本発明に係る光学素子モジュールの第1の実施の形態における構成を示す概略図である。図1(a)は、光学素子モジュール100を光軸に沿って上から見た透視図であり、図1(b)は光学素子モジュール100の分解図である。
図1(a)に示すように、光学素子モジュール100は、光学素子11を光学素子11の光軸に対して垂直となる平面上の一方向であるX方向(図1(a)では左右方向)に移動可能に内包する内枠12と、該内枠12を光学素子11とともに光学素子11の光軸に対して垂直となる平面上の一方向であって前記X方向と直交する方向であるY方向(図1(a)では上下方向)に移動可能に内包する外枠13とを備えている。また、光学素子モジュール100は、前記複数のアクチュエータ素子として、光学素子11をX方向に挟んでお互いの主面を対向させてそれぞれの前記一方の端部が該光学素子11に接し前記他方の端部が前記内枠12に固定される2つのアクチュエータ素子Aである高分子アクチュエータ素子10a,10bと、前記内枠12をY方向に挟んでお互いの主面を対向させてそれぞれの前記一方の端部が該内枠12に接し前記他方の端部が前記外枠13に固定される2つのアクチュエータ素子Bである高分子アクチュエータ素子10c,10dとを有している。なお、光学素子モジュール100は、図示していない箱型の固定枠内に収納されている。
ここで、光学素子11は、レンズ11aと、レンズ11aの光軸方向に貫通しレンズ11aを保持する穴を有する箱型のレンズホルダー11bと、からなる。また、レンズホルダー11bのY方向で対向する2つの側面には、それぞれくさび状に突起してX方向に延びる(三角柱形状の)凸部11cが設けられている。なお、光学素子11は、この構成以外にCCDなどの撮像素子であってもよい。
内枠12は、箱型の光学素子11を内包する樹脂製あるいは金属製のケースであり、レンズ11aの光軸方向に開いた光軸穴12aを設けた平板121と、該平板121上でY方向にレンズホルダー11bを収納可能な間隔に離間して設けられ、X方向に延びたブロック状の2つのガイドレールブロック122と、からなる。2つのガイドレールブロック122には、Y方向でお互いが対向する面に、凸部11cを差し込み可能な溝であるガイドレール12bが形成されている。内枠12に光学素子11を組み込むと、2つの凸部11cそれぞれがガイドレール12bに差し込まれた状態となり、ガイドレール12b上を凸部11cがスライドすることにより光学素子11はX方向に移動可能となる。また、X方向の側面それぞれに、高分子アクチュエータ素子10a,10bの前記他方の端部が1つずつ、接着あるいはネジ止めなどで固定されており、前記一方の端部が接点Pを介して光学素子11のX方向の側面に当接するように配置されている。また、2つのガイドレールブロック122において、それぞれの高分子アクチュエータ素子10a,10bが固定された側面を除いて、後述する高分子アクチュエータ素子10c,10dの前記一方の端部が収納されるスペースとなるようにガイドレールブロック122のY方向側面が切りかかれている。この切り欠かれた面から前記固定枠の内壁との間隔は、高分子アクチュエータ素子の厚みとその両側の変位スペースの合計であり、例えば1.5mm程度である。また、平板121のX方向端面には、それぞれガイドレールブロック122よりも外側にくさび状に突起してX方向に延びる(三角柱形状の)凸部12cが設けられている。
外枠13は、内枠12及び光学素子11を内包する樹脂製あるいは金属製のケースであり、レンズ11aの光軸方向に開いた光軸穴13aを設けた平板131と、該平板131上でX方向に内枠12を収納可能な間隔に離間して設けられ、Y方向に延びたブロック状の2つのガイドレールブロック132と、からなる。2つのガイドレールブロック132には、X方向でお互いが対向する面に、凸部12cを差し込み可能な溝であるガイドレール13bが形成されている。外枠13に内枠12を組み込むと、2つの凸部12cそれぞれがガイドレール13bに差し込まれた状態となり、ガイドレール13b上を凸部12cがスライドすることにより内枠12及び光学素子11はY方向に移動可能となる。また、Y方向の側面それぞれに、高分子アクチュエータ素子10c,10dの前記他方の端部が1つずつ、接着あるいはネジ止めなどで固定されており、前記一方の端部が接点Pを介して内枠12のY方向の側面の切欠き部に当接するように配置されている。
以上の構成で組み立てられた光学素子モジュール100では、電圧印加されていない高分子アクチュエータ素子10a,10b,10c,10dが板ばねのような状態となっていることから、図1(a)に示す初期状態、すなわち光学素子11が光学素子モジュール100の中央に位置するように保持されている。
なお、光学素子11と高分子アクチュエータ素子10a,10b、および内枠12と高分子アクチュエータ素子10c,10dとは固定する必要は無いが、若干の隙間を空けて移動を阻害しないように突起等を設けるか、動作を阻害しないようにヒンジや柔軟な材料を介して結合する。図中では、接点Pを設けて両者の間に隙間を空けるようにしている。また、光学素子11と内枠12、および内枠と外枠の間はガイド等を設けてレンズ11aおよび内枠12、外枠13が傾かないようにするとよい。
ここで、高分子アクチュエータ素子10a,10b,10c,10d(以下、総称して高分子アクチュエータ素子10と記す。)は、短冊形状を有しており、特許第2961125号公報、特開平11−206162号公報などで開示されている従来公知のものでもよいが、それ以外に例えばつぎのような構成のものを使うとよい。
図2は、高分子アクチュエータ素子の基本的構成を示す断面図である。なおここでは、イオン導電性高分子体は、その一態様としてフィルム状となったもの(イオン導電性高分子膜)を示している。
高分子アクチュエータ素子10は、水系の電解液が含浸されたイオン導電性高分子膜(イオン導電性高分子フィルム)1と、該イオン導電性高分子膜1の両面それぞれに設けられる電極膜2と、該電極膜2それぞれに電気的に接続されたリード線4とを備え、1対のリード線4より電極膜2間に電圧が印加されることによりイオン導電性高分子膜1が湾曲または変形するものである。
イオン導電性高分子膜1は、フッ素樹脂、炭化水素系などを骨格としたイオン交換樹脂からなり、表裏2つの主面をもつ短冊形状を呈している。また、イオン交換樹脂としては、陰イオン交換樹脂、陽イオン交換樹脂、両イオン交換樹脂いずれでもよいが、このうち陽イオン交換樹脂が好適である。
陽イオン交換樹脂としては、ポリエチレン、ポリスチレン、フッ素樹脂などにスルホン酸基、カルボキシル基などの官能基が導入されたものが挙げられ、とくにフッ素樹脂にスルホン酸基、カルボキシル基などの官能基が導入された陽イオン交換樹脂が好ましい。例えば、Nafion(N−112)が使用可能である。
電極膜2は、カーボン粉末(カーボン粒子)とイオン導電性樹脂とからなり、前記カーボン粉末がイオン導電性樹脂中に分散され、該カーボン粉末同士がイオン導電性樹脂を介して結合していることを特徴とする。カーボン粉末は、導電性をもつカーボンブラックの微細粉末であり、比表面積が大きなものほど電極膜2としてイオン導電性高分子膜1と接する表面積が大きくなりより大きな変形量を得ることができる。例えばケッチェンブラックが好ましい。また、イオン導電性樹脂は、イオン導電性高分子膜1を構成する材料と同じものでよい。具体的には、ケッチェンブラック(BET=800m/g)とNafion溶液5wt%とを固形分比が1:3となるように混ぜ合わせた塗料を塗布して形成する。あるいは、Nafion樹脂に直接、金や白金を還元させたものでもよい。
電極膜2はこのような構成をとることにより可撓性を有しつつ適度な剛性を有する。また、こしのないイオン導電性高分子膜1をその両面から電極膜2で支えることから高分子アクチュエータ素子10全体としても可撓性を有しつつ、光学素子を支持するのに十分な剛性を得ることができる。さらに、電圧が印加されていないフリーな状態では板ばねと同様のバネ特性を有する。
また、電極膜2は、イオン導電性樹脂成分とカーボン粉末を含む塗料がイオン導電性高分子膜1に塗布されてなるものである。あるいは、電極膜2は、カーボン粉末とイオン導電性樹脂とからなる導電膜がイオン導電性高分子膜1に圧着されてなるものである。
いずれの方法によっても、簡便に短時間で電極膜2を形成することができる。
なお、少なくともイオン導電性高分子膜1に陽イオン物質が含浸されているが、該陽イオン物質とは、水及び金属イオン、水及び有機イオン、イオン液体のいずれかであることが好ましい。ここで、金属イオンとは例えば、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン、マグネシウムイオン等が挙げられる。また、有機イオンとは例えば、アルキルアンモニウムイオン等が挙げられる。これらのイオンはイオン導電性高分子膜1中において水和物として存在している。イオン導電性高分子膜1が水及び金属イオン、または水及び有機イオンを含み、含水状態となっている場合には、ポリマーアクチュエータ素子10は中からこの水が揮発しないように封止されていることが好ましい。
また、イオン液体とは、常温溶融塩とも言われる不燃性、不揮発性のイオンのみからなる溶媒であり、例えばイミダゾリウム環系化合物、ピリジニウム環系化合物、脂肪族系化合物のものを使用することができる。イオン導電性高分子膜1にイオン液体を含浸させている場合には、揮発する心配なく高温あるいは真空中でもポリマーアクチュエータ素子10を使用することができようになる。
また、図3に、前記高分子アクチュエータ素子の変形例を示す。
図3は、本発明の高分子アクチュエータを構成する別の高分子アクチュエータ素子の基本的構成を示す断面図である。
高分子アクチュエータ素子20は、上述した高分子アクチュエータ素子10の1対の電極膜2それぞれの上に金または白金からなる金属導電膜3を備え、該金属導電膜3にリード線4を電気的に接続した構成となっている。ここで、イオン導電性高分子膜1、電極膜2、イオン導電性高分子膜1に含浸させる水系の電解液は、図2で示したものと同じである。
ここで、金属導電膜3は、1対の電極膜2それぞれの上に湿式めっき法、蒸着法、スパッタ法などの従来公知の成膜手法により、金または白金の薄膜が形成されてなるものである。この金属導電膜3の厚さにはとくに制限はないが、リード線4からの電位が電極膜2に均等に印加されるように連続した膜となる程度の厚さであることが好ましい。
図4に、これらの高分子アクチュエータ素子10,20の動作原理を示す。ここでは、イオン導電性高分子膜1中にナトリウムイオンが含浸されているものとして説明する。
図4(a)では、電源Eよりリード線4を通じて、図中左側の高分子アクチュエータ10の電極膜2にプラスの電位、図中右側の電極膜2にマイナスの電位を印加している。この電位差(例えば0.5〜1.5V程度)により、高分子アクチュエータ素子10(20)のイオン導電性高分子膜1中では、マイナスの電位が印加された側(図中右側)の電極膜2にナトリウムイオン水和物が引き寄せられて移動し、当該電極膜2の近傍に集中しこの領域は体積膨張するようになる。一方、プラスの電位が印加された側(図中左側)の電極膜2近傍におけるナトリウム水和物濃度は減少し、この領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子膜1の2つの電極膜2近傍領域の間に体積差が生じることとなり、イオン導電性高分子膜1は図中左側に湾曲するようになる。なお、湾曲後に2つの電極膜2近傍領域で蓄積された電荷を移動させない状態で保持すると、特に電力を使用することなく、その湾曲状態が維持される。
図4(b)では、2つの電極膜2がショートした状態でつながれることから2つの電極膜2近傍領域で蓄積された電荷に応じて放電が起こる。そして、その結果2つの電極膜2の間に電位差がなくなることから、イオン導電性高分子膜1の2つの電極膜2近傍領域の間に体積差はなくなり、イオン導電性高分子膜1は初期形状状態(ここでは真っ直ぐな状態)となる。
図4(c)では、電源Eよりリード線4を通じて、図中左側の高分子アクチュエータ素子10(20)の電極膜2にマイナスの電位、図中右側の電極膜2にプラスの電位を印加しており、電圧印加方法が図4(a)の場合とは逆である。この電位差により、高分子アクチュエータ素子10(20)のイオン導電性高分子膜1中では、マイナスの電位が印加された側(図中左側)の電極膜2の近傍領域は体積膨張するようになり、プラスの電位が印加された側(図中右側)の電極膜2近傍領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子膜1は図中右側に湾曲するようになる。
以上の高分子アクチュエータ素子10の湾曲による変位量は、印加する電圧により制御することが可能であり、かつその繰り返し精度も良好である。
なお、ここまでは、1枚の短冊状のイオン導電性高分子膜1と該イオン導電性高分子膜1の両面に設けられた2つの電極膜2を1セットとした場合、この1セットの構成(単位高分子アクチュエータ)からなる高分子アクチュエータ素子10について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、前記1セット構成の高分子アクチュエータ素子10に使われる単位高分子アクチュエータよりも厚みを薄くした単位高分子アクチュエータを厚み方向に複数セット重ね合わせて、高分子アクチュエータ素子10としてもよい。この場合、全体の厚みが前記1セット構成の高分子アクチュエータ素子10と同じ厚み(例えば、300〜500μm)でありながら、前記1セット構成の高分子アクチュエータ素子10よりも電圧印加に対するレスポンスが速くなり、出力トルクも増加する。
また、高分子アクチュエータ素子10a,10b,10c,10dが短冊形状である前提で説明したが、ある一定の長さがあり、前記他方の端部を基準として長手方向の一方の端部の電圧印加による変位(湾曲)が対象物(光学素子11や内枠12)に伝達できれば、その形状はとくに限定されない。すなわち、例えば主面が三角形や楕円形、あるいは周辺の他の部分に接触しないように部分的に切除された不定形などであってもよい。
図5に、光学素子モジュール100の駆動の様子を示す。
光学素子モジュール100は、高分子アクチュエータ素子10a,10bのいずれか一方に電圧を印加して湾曲させ、一方の端部(接点P)の押圧によって、光学素子11をX方向の一方向に移動させることができる。また、高分子アクチュエータ素子10c,10dのいずれか一方に電圧を印加して湾曲させ、一方の端部(接点P)の押圧によって、内枠12及び光学素子11をY方向の一方向に移動させることができる。すなわち、高分子アクチュエータ素子10aを湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子10aの一方の端部(接点P)の押圧によって、光学素子11をX方向の一方向(図5(a)では右方向、X(+)方向)に移動させることができ(動作1(図5(b)))、高分子アクチュエータ素子10bを湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子10bの一方の端部(接点P)の押圧によって、光学素子11をX方向の一方向(図5(a)では左方向、X(−)方向)に移動させることができる(動作2(図5(c)))。また、高分子アクチュエータ素子10dを湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子10dの一方の端部(接点P)の押圧によって、内枠12及び光学素子11をY方向の一方向(図5(a)では上方向、Y(+)方向)に移動させることができ(動作3(図5(d)))、高分子アクチュエータ素子10cを湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子10cの一方の端部(接点P)の押圧によって、内枠12及び光学素子11をY方向の一方向(図5(a)では下方向、Y(−)方向)に移動させることができる(動作4(図5(e)))。
実際の駆動に当たっては、前記動作1〜4を適宜組み合わせることによって(動作1〜4のいずれかの単独動作、動作1または2と、動作3または4との組合せ動作)、光学素子11を該光学素子11の光軸方向に対して垂直となるXY平面上の任意の位置に数百μmのレンジで移動させることができる。
なお、湾曲する高分子アクチュエータ素子に対向する高分子アクチュエータ素子(例えば、前記動作1における高分子アクチュエータ素子10b、動作2における高分子アクチュエータ素子10a、動作3における高分子アクチュエータ素子10c、動作4における高分子アクチュエータ素子10d)は、電圧が印加されておらず、板ばねのような状態にあることから、その高分子アクチュエータ素子の接点Pで対象物(光学素子11や内枠12)を押えて移動の際のがたを抑えつつ、前記湾曲による光学素子11の移動方向に変形する。
また、高分子アクチュエータ素子10a,10bのいずれかを、これらの高分子アクチュエータ素子と同等のバネ特性を有する短冊形状の板バネとしてもよく、高分子アクチュエータ素子10c,10dのいずれかを、これらの高分子アクチュエータ素子と同等のバネ特性を有する短冊形状の板バネとしてもよい。
つぎに、本発明に係る光学素子モジュールの第2の実施の形態について説明する。
図6は、本発明に係る光学素子モジュールの第2の実施の形態における構成を示す概略図であり、光学素子モジュール200を光軸に沿って上から見た図である。
光学素子モジュール200は、光学素子21と、初期形状として厚み方向に90°〜180°(図6では90°)に湾曲しており、前記他方の端部が固定枠22に、前記一方の端部が光学素子21に固定され、光学素子21を支持する4つの高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20dと、を備えている。
ここで、光学素子21は、レンズ及びレンズホルダー、あるいはCCDなどの撮像素子である。図6ではレンズ及びレンズホルダーからなる光学素子21を示している。また、固定枠22は、高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20dそれぞれの他方の端部が固定され、少なくとも高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20d及び光学素子21を支持するだけの剛性を有するフレームである。
4つの高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20dは、前述した高分子アクチュエータ素子10と同じ構成の短冊形状のアクチュエータ素子である。ただし、初期形状として厚み方向に4つとも同じ角度で湾曲して形成されており、その角度は90°〜180°の範囲で任意に選択可能である。また、2つの高分子アクチュエータ素子20a,20bは、光学素子21をX方向に挟んでお互いの主面を対向させて湾曲形状をY軸に対して線対称に配置され、それぞれの前記一方の端部が光学素子21に固定され前記他方の端部が固定枠22に固定されるアクチュエータ素子Aである。なお、高分子アクチュエータ素子20a,20bはともに電圧印加による湾曲により、一方の端部がY軸方向に変位することなく、X軸上を変位する。また、残りの2つのアクチュエータ素子20c,20dは、光学素子21をY方向に挟んでお互いの主面を対向させて湾曲形状をX軸に対して線対称に配置され、それぞれの前記一方の端部が光学素子21に固定され前記他方の端部が固定枠22に固定されるアクチュエータ素子Bである。なお、高分子アクチュエータ素子20c,20dはともに電圧印加による湾曲により、一方の端部がX軸方向に変位することなく、Y軸上を変位する。
なお、高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20dが短冊形状である前提で説明したが、ある一定の長さがあり、前記他方の端部を基準として長手方向の一方の端部の電圧印加による変位(湾曲)が対象物(光学素子21)に伝達できれば、その形状はとくに限定されない。すなわち、例えば主面が三角形や楕円形、あるいは周辺の他の部分に接触しないように部分的に切除された不定形などであってもよい。
以上の構成で組み立てられた光学素子モジュール200では、電圧印加されていない高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20dが板ばねのような状態となっていることから、図6に示す初期状態、すなわち光学素子21が光学素子モジュール200の中央に位置するように保持されている。
図7に、光学素子モジュール200の駆動の様子を示す。
光学素子モジュール200は、高分子アクチュエータ素子20a,20bのいずれか一方または両方に電圧を印加して湾曲させ、一方の端部の押圧又は牽引によって、光学素子21をX方向の一方向に移動させることができる。また、高分子アクチュエータ素子20c,20dのいずれか一方または両方に電圧を印加して湾曲させ、一方の端部の押圧又は牽引によって、光学素子21をY方向の一方向に移動させることができる。
すなわち、光学素子21のX方向の移動動作は以下の操作によって行なう。
(1)動作1(図7(b))
光学素子21をX(+)方向(図6における右方向)に移動させるには、以下の操作1a、1bのいずれか一方又は両方を行なう。
(操作1a)高分子アクチュエータ素子20aを電圧印加により曲率が小さくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20aの一方の端部で光学素子21を押圧する。
(操作1b)高分子アクチュエータ素子20bを電圧印加により曲率が大きくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20bの一方の端部で光学素子21を牽引する。
(2)動作2(図7(c))
光学素子21をX(−)方向(図6における左方向)に移動させるには、以下の操作2a、2bのいずれか一方又は両方を行なう。
(操作2a)高分子アクチュエータ素子20bを電圧印加により曲率が小さくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20bの一方の端部で光学素子21を押圧する。
(操作2b)高分子アクチュエータ素子20aを電圧印加により曲率が大きくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20aの一方の端部で光学素子21を牽引する。
また、光学素子21のY方向の移動動作は以下の操作によって行なう。
(3)動作3
光学素子21をY(+)方向(図6における上方向)に移動させるには、以下の操作3a、3bのいずれか一方又は両方を行なう。
(操作3a)高分子アクチュエータ素子20dを電圧印加により曲率が小さくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20dの一方の端部で光学素子21を押圧する。
(操作3b)高分子アクチュエータ素子20cを電圧印加により曲率が大きくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20cの一方の端部で光学素子21を牽引する。
(4)動作4
光学素子21をY(−)方向(図6における下方向)に移動させるには、以下の操作4a、4bのいずれか一方又は両方を行なう。
(操作4a)高分子アクチュエータ素子20cを電圧印加により曲率が小さくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20cの一方の端部で光学素子21を押圧する。
(操作4b)高分子アクチュエータ素子20dを電圧印加により曲率が大きくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子20dの一方の端部で光学素子21を牽引する。
実際の駆動に当たっては、前記動作1〜4を適宜組み合わせることによって(動作1〜4のいずれかの単独動作、動作1または2と、動作3または4との組合せ動作)、光学素子21を該光学素子21の光軸方向に対して垂直となるXY平面上の任意の位置に数百μmのレンジで移動させることができる。
なお、湾曲する高分子アクチュエータ素子に対向する高分子アクチュエータ素子に電圧が印加されていない場合(例えば、前記動作1が操作1a単独による際の高分子アクチュエータ素子20b、動作2が操作2a単独による際の高分子アクチュエータ素子20a、動作3が操作3a単独による際の高分子アクチュエータ素子20c、動作4が操作4a単独による際の高分子アクチュエータ素子20d)、電圧が印加されていない高分子アクチュエータ素子は板ばねのような状態にあることから、その高分子アクチュエータ素子の一方の端部で対象物(光学素子21)を押えて移動の際のがたを抑えつつ、前記湾曲による光学素子21の移動方向に変形する。
また、高分子アクチュエータ素子20a,20bのいずれかを、これらの高分子アクチュエータ素子と同等のバネ特性を有する短冊形状の板バネとしてもよく、高分子アクチュエータ素子20c,20dのいずれかを、これらの高分子アクチュエータ素子と同等のバネ特性を有する短冊形状の板バネとしてもよい。
また、4つの高分子アクチュエータ素子20a,20b,20c,20dのうち、1または2の素子を省略してもよい。例えば、図6において高分子アクチュエータ素子20dを取り払い3つの高分子アクチュエータ素子20a,20b,20cを前述の通り配置させ、それぞれの駆動は前述の通りとして光学素子21を移動させるとよい。あるいは、図6において高分子アクチュエータ素子20b,20dを取り払い2つの高分子アクチュエータ素子20a,20cを前述の通り配置させ、それぞれの駆動は前述の通りとして光学素子21を移動させるとよい。
つぎに、本発明に係る光学素子モジュールの第3の実施の形態について説明する。
図8は、本発明に係る光学素子モジュールの第3の実施の形態における構成を示す概略図であり、光学素子モジュール300を光軸に沿って上から見た図である。
光学素子モジュール300は、光学素子31と、初期形状として厚み方向に180°に湾曲しており、前記他方の端部が固定枠32に、前記一方の端部が光学素子31に固定され、光学素子31を支持する2つの高分子アクチュエータ素子30a,30bと、を備えている。
ここで、光学素子31は、レンズ、レンズ及びレンズホルダー、あるいはCCDなどの撮像素子である。図8ではレンズ単体からなる光学素子31を示している。また、固定枠32は、高分子アクチュエータ素子30a,30bそれぞれの他方の端部が固定され、少なくとも高分子アクチュエータ素子30a,30b及び光学素子31を支持するだけの剛性を有するフレームである。
2つの高分子アクチュエータ素子30a,30bは、前述した高分子アクチュエータ素子10と同じ構成の短冊形状のアクチュエータ素子であるが、初期形状として厚み方向に2つとも180°で湾曲して形成されている。ただし、湾曲角度は正確に180°である必要はなく、他の高分子アクチュエータ素子の動きを阻害しない範囲であればよく、例えばその角度は100°〜260°の範囲で任意に選択可能である。また、高分子アクチュエータ素子30aは、X方向に並んだ両端部間に光学素子31を挟んで前記一方の端部が光学素子31に固定され前記他方の端部が固定枠32に固定されるアクチュエータ素子Aである。なお、高分子アクチュエータ素子30aは電圧印加による湾曲により、一方の端部がY軸方向に変位することなく、X軸上を変位する。また、高分子アクチュエータ素子30bは、Y方向に並んだ両端部間に光学素子31を挟んで前記一方の端部が光学素子31に固定され前記他方の端部が固定枠32に固定されるアクチュエータ素子Bである。なお、高分子アクチュエータ素子30bは電圧印加による湾曲により、一方の端部がX軸方向に変位することなく、Y軸上を変位する。この構成により、光学素子31と固定枠32の内壁との間隔は、もっともスペースの必要な箇所でも、高分子アクチュエータ素子30a,30bの2つ分の厚みと該高分子アクチュエータ素子30a,30bそれぞれの変位スペースの合計であり、例えば1.5〜2mm程度である。
なお、高分子アクチュエータ素子30a,30bが短冊形状である前提で説明したが、ある一定の長さがあり、前記他方の端部を基準として長手方向の一方の端部の電圧印加による変位(湾曲)が対象物(光学素子31)に伝達できれば、その形状はとくに限定されない。すなわち、例えば主面が三角形や楕円形、あるいは周辺の他の部分に接触しないように部分的に切除された不定形などであってもよい。
以上の構成で組み立てられた光学素子モジュール300では、電圧印加されていない高分子アクチュエータ素子30a,30bが板ばねのような状態となっていることから、図8に示す初期状態、すなわち光学素子31が光学素子モジュール300の中央に位置するように保持されている。
図9に、光学素子モジュール300の駆動の様子を示す。
光学素子モジュール300は、高分子アクチュエータ素子30aに電圧を印加して湾曲させ、一方の端部の押圧又は牽引によって、光学素子31をX方向の一方向に移動させることができる。また、高分子アクチュエータ素子30bに電圧を印加して湾曲させ、一方の端部の押圧又は牽引によって、光学素子31をY方向の一方向に移動させることができる。
すなわち、光学素子31のX方向の移動動作は以下の操作によって行なう。
(1)動作1(図9(c))
光学素子31をX(+)方向(図8における右方向)に移動させるには、以下の操作1を行なう。
(操作1)高分子アクチュエータ素子30aを電圧印加により曲率が小さくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子30aの一方の端部で光学素子31を牽引する。
(2)動作2(図9(b))
光学素子31をX(−)方向(図8における左方向)に移動させるには、以下の操作2を行なう。
(操作2)高分子アクチュエータ素子30aを電圧印加により曲率が大きくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子30aの一方の端部で光学素子31を押圧する。
また、光学素子31のY方向の移動動作は以下の操作によって行なう。
(3)動作3
光学素子31をY(+)方向(図8における上方向)に移動させるには、以下の操作3を行なう。
(操作3)高分子アクチュエータ素子30bを電圧印加により曲率が小さくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子30bの一方の端部で光学素子31を牽引する。
(4)動作4
光学素子31をY(−)方向(図8における下方向)に移動させるには、以下の操作4を行なう。
(操作4)高分子アクチュエータ素子30bを電圧印加により曲率が大きくなるように湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子30bの一方の端部で光学素子31を押圧する。
実際の駆動に当たっては、前記動作1〜4を適宜組み合わせることによって(動作1〜4のいずれかの単独動作、動作1または2と、動作3または4との組合せ動作)、光学素子31を該光学素子31の光軸方向に対して垂直となるXY平面上の任意の位置に数百μmのレンジで移動させることができる。
なお、前述した2つの高分子アクチュエータ素子30a,30bに、さらに1または2の高分子アクチュエータ素子を追加してもよい。例えば、図8において高分子アクチュエータ素子30aと同じ形状の高分子アクチュエータ素子を光学素子31の中心を中心点として高分子アクチュエータ素子30aの位置から90°右回転させて配置して追加するとよい。あるいはさらに、高分子アクチュエータ素子30aと同じ形状の高分子アクチュエータ素子を光学素子31の中心を中心点として高分子アクチュエータ素子30aの位置から180°右回転させて配置して追加するとよい。その場合の駆動に関しては、光学素子31を挟んで対向配置の関係となる2つの高分子アクチュエータ素子を1組として、それぞれの組でX方向またはY方向の移動に関与するように湾曲制御する。
つぎに、本発明に係る光学素子モジュールの第4の実施の形態について説明する。
図10は、本発明に係る光学素子モジュールの第4の実施の形態における構成を示す概略図であり、光学素子モジュール400を光軸に沿って上から見た図である。
光学素子モジュール400は、光学素子41と、初期形状として長手方向に真直ぐな短冊形状であり、前記他方の端部が固定枠42に、前記一方の端部がアーム部材40pを介して光学素子41に変位を伝達可能に連結された2つの高分子アクチュエータ素子40a,40bと、を備えている。
ここで、光学素子41は、レンズ、レンズ及びレンズホルダー、あるいはCCDなどの撮像素子である。図10ではレンズ単体からなる光学素子41を示している。また、固定枠42は、高分子アクチュエータ素子40a,40bそれぞれの他方の端部が固定され、少なくとも高分子アクチュエータ素子40a,40b及び光学素子41を支持するだけの剛性を有するフレームである。
2つの高分子アクチュエータ素子40a,40bは、前述した高分子アクチュエータ素子10と同じ構成の短冊形状のアクチュエータ素子である。また、アクチュエータ素子40aは、アクチュエータ素子Aとして固定枠42のX方向に広がる内面上に直立した状態で配置され、前記他方の端部は固定枠42に固定され、前記他方の端部とアーム部材40pとの接合部、アーム部材40pと光学素子41との接合部はいずれか一方が他方に対して自由に回動可能な構造となっている。また、アクチュエータ素子40bは、アクチュエータ素子Bとして固定枠42のY方向に広がる内面上に直立した状態で配置され、前記他方の端部は固定枠42に固定され、前記他方の端部とアーム部材40pとの接合部、アーム部材40pと光学素子41との接合部はいずれか一方が他方に対して自由に回動可能な構造となっている。前記自由に回動可能な構造としては、例えば接合部にユニバーサルジョイントを使用したり、アーム部材40pをボールポイントアーム構造とするとよい。あるいは、可撓性のある板ばねやプラスチックフィルムを介する接合部してもよい。
なお、高分子アクチュエータ素子40a,40bが短冊形状である前提で説明したが、ある一定の長さがあり、前記他方の端部を基準として長手方向の一方の端部の電圧印加による変位(湾曲)がアーム部材40pを介して対象物(光学素子41)に伝達できれば、その形状はとくに限定されない。すなわち、例えば主面が三角形や楕円形、あるいは周辺の他の部分に接触しないように部分的に切除された不定形などであってもよい。
以上の構成で組み立てられた光学素子モジュール400では、電圧印加されていない高分子アクチュエータ素子40a,40bが板ばねのような状態となっていることから、図10に示す初期状態、すなわち光学素子41が光学素子モジュール400の所定位置に保持されている。
図11に、光学素子モジュール400の駆動の様子を示す。
光学素子モジュール400は、高分子アクチュエータ素子40aに電圧を印加して湾曲させ、一方の端部の押圧又は牽引によって、光学素子41をX方向の一方向に移動させることができる。また、高分子アクチュエータ素子40bのいずれか一方に電圧を印加して湾曲させ、一方の端部の押圧又は牽引によって、光学素子41をY方向の一方向に移動させることができる。
すなわち、光学素子41のX方向の移動動作は以下の操作によって行なう。
(1)動作1(図11(c))
光学素子41をX(+)方向(図10における右方向)に移動させるには、以下の操作1を行なう。
(操作1)高分子アクチュエータ素子40aを電圧印加により光学素子41側に湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子40aの一方の端部に接合されたアーム部材40pで光学素子41を押圧する。
(2)動作2(図11(b))
光学素子41をX(−)方向(図10における左方向)に移動させるには、以下の操作2を行なう。
(操作2)高分子アクチュエータ素子40aを電圧印加により光学素子41とは反対側に湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子40aの一方の端部に接合されたアーム部材40pで光学素子41を牽引する。
また、光学素子41のY方向の移動動作は以下の操作によって行なう。
(3)動作3
光学素子41をY(+)方向(図10における上方向)に移動させるには、以下の操作3を行なう。
(操作3)高分子アクチュエータ素子40bを電圧印加により光学素子41とは反対側に湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子40bの一方の端部に接合されたアーム部材40pで光学素子41を牽引する。
(4)動作4
光学素子41をY(−)方向(図10における下方向)に移動させるには、以下の操作4を行なう。
(操作4)高分子アクチュエータ素子40bを電圧印加により光学素子41側に湾曲させ、該高分子アクチュエータ素子40bの一方の端部に接合されたアーム部材40pで光学素子41を押圧する。
実際の駆動に当たっては、前記動作1〜4を適宜組み合わせることによって(動作1〜4のいずれかの単独動作、動作1または2と、動作3または4との組合せ動作)、光学素子41を該光学素子41の光軸方向に対して垂直となるXY平面上の任意の位置に数百μmのレンジで移動させることができる。
次に、本発明に係る撮像装置の構成について説明する。
図12は、本発明に係る撮像装置の手ぶれ補正機能を中心とした構成を示すブロック図である。
図12に示すように、撮像装置50は、複数のレンズ及び撮像素子CCDの光学素子群からなり、そのうちの一部が本発明の光学素子モジュール100となった撮像光学系51と、加速度センサなどの手振れ検出手段52と、光学素子モジュール100を構成する光学素子の位置を検出する光学素子位置検出手段53と、手振れ検出手段52や光学素子位置検出手段53からの信号を受けて演算処理を行なう演算回路54と、演算回路54からの信号を受けるドライブ回路55と、ドライブ回路55からの信号を受け光学素子モジュール100の駆動を制御する光学素子モジュール駆動手段56と、撮像素子CCDから出力される画像信号についてホワイトバランスの補正やγ補正等の画像信号処理を行なう画像信号処理回路57と、信号処理されたデータを保存する記録手段58と、を備える。なお、撮像光学系51の光学素子モジュール100に代えて、前述した本発明の光学素子モジュール200,300,400のいずれかとしてもよい。
撮像装置50において、シャッターボタンが押されるなどして撮影が開始されると、撮像光学系51の撮像素子CCDから結像して得られた画像信号が出力される。ついで該画像信号について画像処理信号回路57にてホワイトバランスの補正やγ補正等の画像信号処理が行なわれ、画像信号処理後のデータが記録手段58に保存される。
図13に、撮像装置50における撮影時の手振れ補正機構の動作手順を示す。ここでは、撮像装置50においてシャッターボタンが押された瞬間に手振れが発生した前提で説明する。
(S11)シャッターボタンが押された瞬間に、手振れ検出手段52が撮像装置50全体の振れを検出する。ついで、演算回路54は、手振れ検出手段52からの検出信号に基づいて手振れ量(あるいは速度)を演算する。
(S12)ついで、演算回路54は、この手振れ量(あるいは速度)によって生ずる像ぶれをキャンセルするように光学素子モジュール100の光学素子11の目標位置を演算し、さらにこの移動量の演算結果に応じた駆動信号を計算し出力する。
(S13)ドライブ回路55は演算回路54からの駆動信号に基づいて光学素子モジュール駆動手段56を制御する。さらに、光学素子モジュール駆動手段56はその制御に基づいて、光学素子モジュール100の高分子アクチュエータ素子10a,10b,10c,10dそれぞれに所定の電圧を印加し、湾曲変位させて光学素子11を該光学素子11の光軸に対して垂直となるXY平面上を移動するように駆動させる。
(S14)この際、光学素子11の位置(あるいは速度)を光学素子位置検出手段53により検出する。
(S15)演算回路54は、光学素子位置検出手段53の検出信号に基づいて、ステップS12で求めた光学素子11の目標位置との誤差(手振れ補正誤差)を計算する。
(S16)ついで、この手振れ補正誤差が予め設定された閾値以下であれば(YES)、この回の手振れ補正動作は終了し、つぎの手振れ補正動作に備える(ステップS11へ)。また、手振れ補正誤差が予め設定された閾値を超えていれば(NO)、ステップS12に戻り、それ以降の処理動作を行なう。
以上の手振れ補正動作により、光学素子モジュール100における光学素子11の手振れ補正は目標位置に精度良く駆動され、適正な撮像が可能となる。
本発明に係る光学素子モジュールの第1の実施の形態における構成を示す概略図である。 本発明で使用する高分子アクチュエータ素子の構成(1)を示す断面図である。 本発明で使用する高分子アクチュエータ素子の構成(2)を示す断面図である。 高分子アクチュエータ素子の動作を示す説明図である。 図1の光学素子モジュールの駆動状態を示す上面図である。 本発明に係る光学素子モジュールの第2の実施の形態における構成を示す概略図である。 図6の光学素子モジュールの駆動状態を示す上面図である。 本発明に係る光学素子モジュールの第3の実施の形態における構成を示す概略図である。 図8の光学素子モジュールの駆動状態を示す上面図である。 本発明に係る光学素子モジュールの第4の実施の形態における構成を示す概略図である。 図10の光学素子モジュールの駆動状態を示す上面図である。 本発明に係る撮像装置の構成を示すブロック図である。 図12の撮像装置における手振れ補正動作のフローチャートである。
符号の説明
1…イオン導電性高分子膜、2…電極膜、3…金属導電膜、4…リード線、10,10a,10b,10c、10d,20,20a,20b,20c,20d,30a,30b,40a,40b…高分子アクチュエータ素子、11,21,31,41…光学素子、11a…レンズ、11b…レンズホルダー、11c,12c…凸部、12…内枠、12a,13a…光軸穴、12b,13b…ガイドレール、13…外枠、22,32,42…固定枠、40p…アーム部材、50…撮像装置、51…撮像光学系、52…手振れ検出手段、53…光学素子位置検出手段、54…演算回路、55…ドライブ回路、56…光学素子モジュール駆動手段、57…画像信号処理回路、58…記録手段、100,200,300,400…光学素子モジュール、121,131…平板、122,132…ガイドレールブロック、CCD…撮像素子

Claims (6)

  1. 光学素子と、
    短冊形状のイオン導電性高分子膜、および前記イオン導電性高分子膜の両面に設けられると共に樹脂中にカーボン粒子が分散されてなる導電膜である一対の電極をそれぞれし、前記一対の電極間への電圧印加により全体が厚み方向に湾曲する一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bと
    を備え、
    前記一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bは、いずれも、その短冊形状の幅方向が前記光学素子の光軸と平行な方向となり、厚み方向が前記光軸と直交する方向となるように配置され、かつ、長手方向の一端が前記湾曲により変位してその押圧または牽引によって前記光学素子の移動に関与するように他端が固定されており、
    前記一対のアクチュエータ素子Aのうち、いずれか一方が前記湾曲を生じることによって前記光学素子を前記光軸と直交するX方向へ移動させ、他方が弾性体として前記光学素子を直接又は間接的に支持し、
    前記一対のアクチュエータ素子Bのうち、いずれか一方が前記湾曲を生じることによって前記内枠および光学素子を前記光軸およびX方向の双方と直交するY方向へ移動させ、他方が弾性体として前記光学素子を直接又は間接的に支持する
    光学素子モジュール。
  2. 前記光学素子は、レンズ、レンズ及びレンズホルダー、撮像素子のいずれかからなる請求項1に記載の光学素子モジュール。
  3. 前記アクチュエータ素子は、短冊形状のイオン導電性高分子膜の両面に電極をもつものが厚み方向に複数枚重ね合わされてなる請求項1に記載の光学素子モジュール。
  4. 前記光学素子を、前記X方向へ移動可能に内包する内枠と、
    前記内枠を、前記Y方向へ移動可能に内包する外枠と
    をさらに備え、
    前記一対のアクチュエータ素子Aは、前記光学素子を前記X方向に挟んで互いの主面を対向させ、それぞれの前記一端が前記光学素子に接すると共に前記他端が前記内枠に固定され、前記湾曲により前記一端が前記X方向へ変位するものであり、
    前記一対のアクチュエータ素子Bは、前記内枠を前記Y方向に挟んで互いの主面を対向させ、それぞれの前記一端が前記内枠に接すると共に前記他端が前記外枠に固定され、前記湾曲により前記一端が前記Y方向へ変位するものである
    請求項1に記載の光学素子モジュール。
  5. 前記一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bを介して前記光学素子を支持する固定枠をさらに備え、
    前記一対のアクチュエータ素子Aおよび一対のアクチュエータ素子Bは、各々の前記一端が前記光学素子に固定されると共に前記他端が前記固定枠に固定され、かつ、初期形状として厚み方向に90°〜180°に湾曲した状態となっており、
    前記一対のアクチュエータ素子Aは、前記光学素子を前記X方向に挟んで互いの主面を対向させ、前記湾曲により前記一端が前記X方向へ変位するものであり、
    前記一対のアクチュエータ素子Bは、前記内枠を前記Y方向に挟んで互いの主面を対向させ、前記湾曲により前記一端が前記Y方向へ変位するものである
    請求項1に記載の光学素子モジュール。
  6. 請求項1〜のいずれかに記載の光学素子モジュールを撮像光学系に備え、撮像時に前記光学素子モジュールの光学素子を該光学素子の光軸に対して垂直となる平面上を移動させて手振れ補正する撮像装置。
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