JPWO2012049831A1 - 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 - Google Patents
構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2012049831A1 JPWO2012049831A1 JP2012538568A JP2012538568A JPWO2012049831A1 JP WO2012049831 A1 JPWO2012049831 A1 JP WO2012049831A1 JP 2012538568 A JP2012538568 A JP 2012538568A JP 2012538568 A JP2012538568 A JP 2012538568A JP WO2012049831 A1 JPWO2012049831 A1 JP WO2012049831A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- structured
- structured illumination
- sound wave
- ultrasonic
- lighting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 195
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 69
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 34
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 25
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 22
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 7
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 6
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000005308 flint glass Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000002073 fluorescence micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- SITVSCPRJNYAGV-UHFFFAOYSA-L tellurite Chemical compound [O-][Te]([O-])=O SITVSCPRJNYAGV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/16—Microscopes adapted for ultraviolet illumination ; Fluorescence microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4233—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
- G02B27/425—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application in illumination systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/58—Optics for apodization or superresolution; Optical synthetic aperture systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
- G01N21/6458—Fluorescence microscopy
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B2207/00—Coding scheme for general features or characteristics of optical elements and systems of subclass G02B, but not including elements and systems which would be classified in G02B6/00 and subgroups
- G02B2207/113—Fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
以下、本発明の第1の実施形態について図を用いて説明する。本実施形態は、蛍光観察に適用される構造化照明顕微鏡システムの実施形態である。
なお、標本面10上に高いコントラストで縞構造を持った照明パターンを形成するためには、標本面10に入射するすべての±1次回折光が入射面に垂直な電場振動方向、すなわち標本面10に対してS偏光を持つことが必要である。そのために、次の2通りの光学系(第1の光学系、第2の光学系)のいずれかを用意しておくことが望ましい。
第1の光学系としては、図1におけるコレクタレンズ2、および、超音波光変調器3との間に、不図示の偏光子、及び第1の1/4波長板を設け、さらに0次光カットマスク5A近傍に不図示の第2の1/4波長板を設ける。第1の光学系の場合、超音波光変調器3近傍に配置した第1の1/4波長板により超音波光変調器3を透過する光は円偏光とされ、0次光カットマスク5A透過後の光は直線偏光となる。さらに、光カットマスク5A近傍に配置した第2の1/4波長板を回転させることで所望の方向を持った偏光を得ることができる。
第2の光学系としては、図1におけるコレクタレンズ2、および、超音波光変調器3との間に、不図示の偏光子を設け、0次光カットマスク5A近傍に不図示の1/2波長板を設ける。第2の光学系の場合、超音波光変調器3近傍に配置した偏光子により超音波光変調器3を透過する光は特定の方向を持った直線偏光とされ、0次光カットマスク5A透過後の光は、それとは方向の異なる直線偏光となる。さらに、光カットマスク5A近傍に配置した1/2波長板を回転させることで所望の方向を持った偏光を得ることができる。
なお、本実施形態のCPUは、一連の3つの画像データ(画像データIa1、Ia2、Ia3、又は画像データIb1、Ib2、Ib3、又は画像データIc1、Ic2、Ic3)を取得する毎に周波数調節を行ったが、所定期間毎に周波数調節を行ってもよい。或いは、超音波光変調器3に対する連続通電期間を測定し、連続通電期間が所定期間に達する毎に周波数調節を行ってもよい。但し、何れの場合であっても、一連の3つの画像データ(画像データIa1、Ia2、Ia3、又は画像データIb1、Ib2、Ib3、又は画像データIc1、Ic2、Ic3)の取得途中で周波数が変更されないことが望ましい。
以下、本発明の第2の実施形態について図を用いて説明する。本実施形態は、第1の実施形態の変形例である。ここでは、第1の実施形態との相違点のみ説明する。
なお、本発明を例示する構造化照明顕微鏡装置において、前記超音波光変調器は、互いに対向する平行な側面対を複数有し、かつ光軸上に中心軸を配した柱状の音響光学媒体と、前記音響光学媒体の複数の側面対の各々の間に超音波を生起させる複数の超音波トランスデューサとを備えてもよい。
以下、本発明の第3の実施形態について図を用いて説明する。本実施形態は、第1の実施形態の変形例である。ここでは、第1の実施形態との相違点のみを説明する。
以下、本発明の第4の実施形態について図を用いて説明する。本実施形態は、面形状測定装置の実施形態である。
なお、本実施形態の説明では、±1次回折光による干渉縞(2光束構造化照明)を標本面10(光軸をZ方向とするとX-Y面内)に形成する例を用いて説明しているが、本発明は、0次回折光及び±1次回折光による干渉縞(光軸方向にも干渉縞が形成される3光束構造化照明)を標本に形成する場合にも当然適用することができる。
Claims (23)
- 光源からの射出光束中に配置され、その射出光束を横切る方向に音波伝搬路を配した光変調器と、
前記音波伝搬路の媒体を振動させるための駆動信号を前記光変調器へ与えることにより、前記音波伝搬路内に音波定在波を生起させる駆動手段と、
前記音波伝搬路を通過した前記射出光束の互いに異なる回折成分を干渉させ、その干渉縞を被観察物に形成する照明光学系と
を備えることを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項1に記載の構造化照明装置において、
前記駆動手段は、
前記光変調器へ与える前記駆動信号の周波数を所定の周波数に設定することにより前記音波定在波を生起させる
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項2に記載の構造化照明装置において、
前記駆動信号の周波数、振幅の少なくとも1つを前記音波伝搬路の媒体の温度に応じて調節する調節手段を備える
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項3に記載の構造化照明装置において、
前記音波伝搬路の媒体の温度を検出する温度センサを備え、
前記調整手段は、
前記温度センサが検出する前記温度に応じて前記駆動信号の周波数を調節する
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項3に記載の構造化照明装置において、
前記音波伝搬路の媒体の温度を検出する温度センサを備え、
前記調整手段は、
前記温度センサが検出する前記温度に応じて前記駆動信号の振幅を調節する
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の構造化照明装置において、
前記音波伝搬路の媒体で発生した熱を放熱する放熱手段を備える
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の構造化照明装置において、
前記干渉縞の位相を変化させる位相変化手段を備える
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項7に記載の構造化照明装置において、
前記位相変化手段は、
前記光変調器を所定の方向に移動させる駆動装置である
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項8に記載の構造化照明装置において、
前記駆動装置は、
前記音波定在波の方向に応じて移動量を変更する
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項7に記載の構造化照明装置において、
前記干渉縞に寄与する有効な前記射出光束は、
前記音波伝搬路の両端から離れた所定の部分領域を通過したものであり、
前記位相変化手段は、
前記音波定在波の波長を所定のパターンで変化させることにより前記干渉縞の位相を変化させる前記駆動手段である
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項10に記載の構造化照明装置において、
前記駆動手段は、
前記光変調器へ与える前記駆動信号の周波数を所定のパターンで変化させることにより前記音波定在波の波長を変化させる
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項11に記載の構造化照明装置において、
前記駆動手段は、
前記音波定在波の全体の波本数がM/2本ずつ変化するようなパターンで前記周波数を変化させるものであり(但し、|M|は1以上の整数)、
前記干渉縞の位相シフトピッチをΔψに設定する場合は、前記音波伝搬路の何れか一方の端部から前記部分領域までの距離Dと、前記音波伝搬路の全長Lとは、D:L=Δψ/M:2πの関係を満たすように設定される
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項12に記載の構造化照明装置において、
M=1である
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項12又は請求項13に記載の構造化照明装置において、
Δψ=2π/k、
但し、|k|は2以上の整数である
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項1〜請求項14の何れか一項に記載の構造化照明装置において、
前記光変調器は、
前記部分領域で交差した複数の前記音波伝搬路を有する
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項15に記載の構造化照明装置において、
前記光変調器は、
互い対向する平行な側面対を複数有した柱状の音響光学媒体と、それら複数の側面対の各々の間に形成される音波伝搬路へ音波定在波を生起させる複数の超音波トランスデューサとを備えた
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項15に記載の構造化照明装置において、
複数の前記音波伝搬路の配置関係は、
前記照明光学系の光軸と直交する面内において互いに異なる複数の方向の間で前記干渉縞の方向が切り替え可能となるように設定されている
ことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項16に記載の構造化照明装置において、
前記複数の超音波トランスデューサのいずれか1つへ与える前記駆動信号を生成する信号生成手段と、
前記信号生成手段が生成した前記駆動信号の入力先を前記複数の超音波トランスデューサの間で切り換える切換手段と
を備えたことを特徴とする構造化照明装置。 - 請求項1〜請求項18の何れか一項に記載の構造化照明装置と、
前記構造化照明装置により照明された前記被観察物からの観察光束を検出器に結像する結像光学系と
を備えたことを特徴とする構造化照明顕微鏡装置。 - 請求項19に記載の構造化照明顕微鏡装置において、
前記音波伝搬路の媒体の温度に応じて前記検出器の露出量を調節する調節手段を備えた
ことを特徴とする構造化顕微鏡照明装置。 - 請求項19又は請求項20に記載の構造化照明顕微鏡装置において、
前記観察光束は、蛍光光束である
ことを特徴とする構造化照明顕微鏡装置。 - 請求項19〜請求項21の何れか一項に記載の構造化照明顕微鏡装置において、
前記波長の切り換え中に前記検出器が順次に取得した複数の画像に基づき前記被観察物の超解像画像を算出する演算手段を備えた
ことを特徴とする構造化照明顕微鏡装置。 - 請求項1〜請求項18の何れか一項に記載の構造化照明装置と、
前記構造化照明装置により照明された前記被観察物の画像を検出する画像検出器と、
前記波長の切り換え中に前記画像検出器が順次に取得した複数の画像に基づき前記被観察物の面形状を算出する演算手段と
を備えたことを特徴とする面形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012538568A JP5549740B2 (ja) | 2010-10-14 | 2011-10-11 | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010231458 | 2010-10-14 | ||
JP2010231458 | 2010-10-14 | ||
JP2011087068 | 2011-04-11 | ||
JP2011087068 | 2011-04-11 | ||
PCT/JP2011/005682 WO2012049831A1 (ja) | 2010-10-14 | 2011-10-11 | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 |
JP2012538568A JP5549740B2 (ja) | 2010-10-14 | 2011-10-11 | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012049831A1 true JPWO2012049831A1 (ja) | 2014-02-24 |
JP5549740B2 JP5549740B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=45938072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012538568A Expired - Fee Related JP5549740B2 (ja) | 2010-10-14 | 2011-10-11 | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9709785B2 (ja) |
EP (1) | EP2629133A4 (ja) |
JP (1) | JP5549740B2 (ja) |
CN (1) | CN103189778B (ja) |
WO (1) | WO2012049831A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012177206A1 (en) * | 2011-06-24 | 2012-12-27 | Applied Presicion, Inc. | Polarization control systems |
JP5641142B2 (ja) * | 2011-07-15 | 2014-12-17 | 株式会社ニコン | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡、構造化照明方法 |
WO2013108626A1 (ja) * | 2012-01-18 | 2013-07-25 | 株式会社ニコン | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、構造化照明方法 |
DE102012017922B4 (de) | 2012-09-11 | 2024-03-14 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optikanordnung und Lichtmikroskop |
DE102012017920B4 (de) * | 2012-09-11 | 2023-11-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optikanordnung und Lichtmikroskop |
WO2014057998A1 (ja) * | 2012-10-12 | 2014-04-17 | 株式会社ニコン | 照明装置及び顕微鏡、並びに照明方法及び観察方法 |
CN103134784B (zh) * | 2013-02-05 | 2015-04-29 | 华中科技大学 | 光纤化活体荧光激发光谱成像装置 |
US9194811B1 (en) * | 2013-04-01 | 2015-11-24 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for improving defect detection sensitivity |
DK2997353T3 (da) * | 2013-05-15 | 2023-01-16 | The Administrators Of The Tulane Educational Fund | Mikroskopi af en vævsprøve under anvendelse af struktureret belysning |
JP6635052B2 (ja) * | 2015-02-05 | 2020-01-22 | 株式会社ニコン | 構造化照明顕微鏡、及び観察方法 |
DE102015103802A1 (de) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und Anordnung zur lichtblattmikroskopischen Untersuchung einer Probe |
WO2016178856A1 (en) * | 2015-05-01 | 2016-11-10 | The Board Of Regents Of The University Of Texas System | Uniform and scalable light-sheets generated by extended focusing |
EP3159728A1 (en) * | 2015-10-21 | 2017-04-26 | FEI Company | Standing wave interferometric microscope |
WO2017180680A1 (en) | 2016-04-12 | 2017-10-19 | The Board Of Regents Of The University Of Texas System | LIGHT-SHEET MICROSCOPE WITH PARALLELIZED 3D lMAGE ACQUISITION |
WO2017199407A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | 株式会社ニコン | 顕微鏡 |
CN106840615B (zh) * | 2017-03-24 | 2023-04-28 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法 |
NL2020619B1 (en) * | 2018-01-16 | 2019-07-25 | Illumina Inc | Dual optical grating slide structured illumination imaging |
US11612768B2 (en) * | 2018-07-26 | 2023-03-28 | Carnegie Mellon University | In-medium sculpted tunable graded index lenses |
US11359976B2 (en) * | 2020-10-23 | 2022-06-14 | Accelovant Technologies Corporation | Multipoint surface temperature measurement system and method thereof |
JP2022069273A (ja) * | 2020-10-23 | 2022-05-11 | 株式会社リガク | 結像型x線顕微鏡 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2132374A (en) * | 1982-11-26 | 1984-07-04 | Standard Telephones Cables Ltd | A two-dimensional acousto-optic deflection arrangement |
US5182665A (en) * | 1990-09-07 | 1993-01-26 | Displaytech, Inc. | Diffractive light modulator |
CA2086338C (en) * | 1991-04-26 | 2002-03-26 | Rino E. Kunz | Process and device for determining measured quantities by means of an integrated optical sensor module |
JPH07335526A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 位置検出装置及び該装置に使用される音響光学変調素子 |
US5671085A (en) | 1995-02-03 | 1997-09-23 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for three-dimensional microscopy with enhanced depth resolution |
US7342717B1 (en) * | 1997-07-10 | 2008-03-11 | Ruprecht Karts Universitaet Heidelberg | Wave field microscope with detection point spread function |
US6219461B1 (en) * | 1997-07-29 | 2001-04-17 | Cognex Corporation | Determining a depth |
US6038041A (en) * | 1997-09-17 | 2000-03-14 | Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. | Three-dimensional holographic fluorescence microscope |
JPH11242189A (ja) | 1997-12-25 | 1999-09-07 | Olympus Optical Co Ltd | 像形成法、像形成装置 |
JPH11295607A (ja) * | 1998-04-13 | 1999-10-29 | Nippon Steel Corp | 三次元顕微鏡 |
DE10029167B8 (de) * | 2000-06-19 | 2015-07-02 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturstabilisierung optischer Bauteile |
US6754000B2 (en) * | 2000-10-04 | 2004-06-22 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Optical arrangement, and method for the deflection of light beams |
DE10137154A1 (de) * | 2001-07-30 | 2003-02-20 | Leica Microsystems | Scanmikroskop und optisches Element |
US20040105485A1 (en) * | 2002-07-29 | 2004-06-03 | Unaxis Usa, Inc. | Temperature compensation for acousto-optc devices |
JP2005148497A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Olympus Corp | 走査型レーザ顕微鏡システム |
US20080158668A1 (en) * | 2005-10-07 | 2008-07-03 | Nikon Corporation | Microscope and Image Generation Method |
US20090219607A1 (en) | 2008-01-17 | 2009-09-03 | Baylor College Of Medicine | Method and apparatus for enhanced resolution microscopy of living biological nanostructures |
DE102008009216A1 (de) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum räumlich hochauflösenden Abbilden einer Struktur einer Probe |
US8184279B2 (en) * | 2008-06-16 | 2012-05-22 | The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate | Fourier domain sensing |
US9116353B2 (en) | 2008-09-16 | 2015-08-25 | Yokogawa Electric Corporation | Microscope device |
JP5699421B2 (ja) * | 2008-09-16 | 2015-04-08 | 横河電機株式会社 | 顕微鏡装置 |
WO2011005239A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Freescale Semiconductor, Inc. | Device for forming a high-resolution image, imaging system, and method for deriving a high-spatial-resolution image |
JP5641142B2 (ja) * | 2011-07-15 | 2014-12-17 | 株式会社ニコン | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡、構造化照明方法 |
-
2011
- 2011-10-11 JP JP2012538568A patent/JP5549740B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-10-11 EP EP11832275.9A patent/EP2629133A4/en not_active Withdrawn
- 2011-10-11 WO PCT/JP2011/005682 patent/WO2012049831A1/ja active Application Filing
- 2011-10-11 CN CN201180049642.5A patent/CN103189778B/zh active Active
-
2013
- 2013-04-11 US US13/861,091 patent/US9709785B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2629133A4 (en) | 2017-12-13 |
WO2012049831A1 (ja) | 2012-04-19 |
CN103189778A (zh) | 2013-07-03 |
US9709785B2 (en) | 2017-07-18 |
JP5549740B2 (ja) | 2014-07-16 |
EP2629133A1 (en) | 2013-08-21 |
CN103189778B (zh) | 2016-05-11 |
US20130229665A1 (en) | 2013-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5549740B2 (ja) | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡装置、及び面形状測定装置 | |
JP5594429B2 (ja) | 構造化照明顕微鏡及び構造化照明観察方法 | |
JP5641142B2 (ja) | 構造化照明装置、構造化照明顕微鏡、構造化照明方法 | |
JP6264377B2 (ja) | 構造化照明装置及び構造化照明顕微鏡装置 | |
JP4899408B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP5951451B2 (ja) | 光照射装置、顕微鏡装置及びレーザ加工装置 | |
US20130229654A1 (en) | Illumination optical system, light irradiation apparatus for spectrometory, and spectometer | |
JP4844862B2 (ja) | 格子照明顕微鏡 | |
TW201819083A (zh) | 雷射光照射裝置 | |
JP2015055706A (ja) | 構造化照明装置及び構造化照明顕微鏡装置 | |
WO2013021615A1 (ja) | 構造化照明装置及び構造化照明方法、並びに構造化照明顕微鏡装置 | |
JP5278522B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP5701573B2 (ja) | スキャナ、走査型照明装置および走査型観察装置 | |
JP6364750B2 (ja) | 構造化照明装置、および構造化照明顕微鏡装置 | |
JP6014449B2 (ja) | レーザー走査顕微鏡装置 | |
JP5741709B2 (ja) | 構造化照明装置、その構造化照明装置の調整方法、コンピュータ実行可能な調整プログラム、構造化照明顕微鏡装置、面形状測定装置 | |
JP6413364B2 (ja) | 照明光学系及び顕微鏡装置 | |
WO2015052920A1 (ja) | 構造化照明装置及び構造化照明顕微鏡装置 | |
JP2014092643A (ja) | 構造化照明装置及び構造化照明顕微鏡装置 | |
JP2016170440A (ja) | 光照射装置、顕微鏡装置、レーザ加工装置、及び光照射方法 | |
JP2005107097A (ja) | 共焦点型検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140422 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140505 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5549740 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |