JPWO2012014572A1 - 薄膜太陽電池用透明電極、それを用いた薄膜太陽電池用透明電極付き基板および薄膜太陽電池、ならびに薄膜太陽電池用透明電極の製造方法 - Google Patents
薄膜太陽電池用透明電極、それを用いた薄膜太陽電池用透明電極付き基板および薄膜太陽電池、ならびに薄膜太陽電池用透明電極の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
表面凹凸を有する。
キャリア濃度が9×1019cm−3以下である。
結晶が(110)の優先配向を有する。
X線回折による(002)ピーク強度に対する(110)ピーク強度の比I(110)/I(002)が50以上である。
(110)配向を有する結晶子のサイズが、基板に平行な面方向で23nm以上50nm以下であり、かつ基板に垂直な面方向で30nm以上60nm以下である。
[測定方法]
各実施例および比較例における評価は、下記の方法によりおこなった。
四探針プローブを備えたシート抵抗測定装置(三菱油化製 型番「MCP−T250」)を用いて測定した。
D65光源を用いたヘイズメータ(日本電色工業製 型番「NDH−5000W」を用い、JIS K7136に準拠して測定した。
Van Der Pauw法の原理を用いたホール効果測定装置(Nanometrics製 型番「HL5500PC」)により、0.503テスラのDC磁場のもと、ターゲット電圧20mVでホール測定を行い、キャリア濃度を算出した。キャリア濃度の算出に際しては、触針式段差計にて測定したZnO膜の膜厚を用いた。
X線回折ピーク強度比および結晶子サイズは、X線源としてCu・Kα線を備えるX線回折測定装置(リガク製「SmartLab」)により測定したX線回折データを基に、解析ソフト(リガク製「PDXL software」)にて算出した。
基板面に平行な面方向の結晶配向性および結晶子サイズを評価する際は、2θ/ωモードを選択し、X線強度45kV・200mA、角度域2θ=25〜80°、走査速度0.12°/秒、サンプリング間隔0.02°の条件で、ZnO膜面の約5mm角を測定した。基板面に垂直な面方向を評価する際は、イン・プレーン測定(2θχ)モードを選択し、走査速度を0.48°/秒、サンプリング間隔を0.04°に変更して測定を行った。
得られたX線回折パターンの解析に際しては、Kα2除去およびスムージング処理を行った。結晶子サイズの算出には、Scherrer法を用い、Scherrer定数を0.94とし、半値幅を適用した。
実施例1として、ガラス基板上に透明電極が形成され、図1に示される薄膜太陽電池を作製するための薄膜太陽電池用透明電極付き基板が作製された。
実施例2においても、実施例1と同様に薄膜太陽電池用透明電極付き基板が作製されたが、ZnO膜堆積時の基体温度が165℃に変更された点、および水/DEZの流量比が3に変更された点において、実施例1と異なっていた。
実施例3においても、実施例1と同様に薄膜太陽電池用透明電極付き基板が作製されたが、ZnO膜が膜厚2.2μmで堆積された点において、実施例1と異なっていた。
実施例4では、実施例1と同様に薄膜太陽電池用透明電極付き基板が作製された。その後、引き続いて250℃の真空チャンバーにArガスが導入され、100Paの圧力下で1時間、透明電極付き基板の熱処理が行われた。
比較例1では、実施例1と同様に薄膜太陽電池用透明電極付き基板が作製されたが、ZnO膜堆積時の基体温度が150℃に変更された点、および水/DEZの流量比が1.7に変更された点において、実施例1と異なっていた。
比較例2においても、実施例1と同様に薄膜太陽電池用透明電極付き基板が作製されたが、ZnO膜堆積時のジボランとDEZの流量比が0.7%(DEZ:水素希釈後のジボランの供給量=1:1.4)に変更された点において、実施例1と異なっていた。
実施例5として、実施例1の条件にて製膜された透明電極を用いて、図1に示されるような結晶質シリコン系薄膜太陽電池が作製された。すなわち、実施例1で得られた薄膜太陽電池用透明電極付き基板の透明電極2上に、厚さ15nmのp型微結晶シリコン層111、厚さ1.8μmの真性結晶質シリコンの結晶質光電変換層112、及び厚さ15nmのn型微結晶シリコン層113が、プラズマCVD法により順次堆積された。その後、裏面電極3として厚さ90nmのAlドープされたZnOの導電性酸化物層31と、厚さ300nmのAgの金属層32とがスパッタ法にて順次堆積された。
実施例6においても、実施例5と同様に結晶質シリコン系薄膜太陽電池が作製された。ただし、実施例5と異なるのは、透明電極2として実施例2に記載のものが適用された点である。
実施例7においても、実施例5と同様に結晶質シリコン系薄膜太陽電池が作製された。ただし、実施例5と異なるのは、透明電極2として実施例3に記載のものが適用された点である。
実施例8においても、実施例5と同様に結晶質シリコン系薄膜太陽電池が作製された。ただし、実施例5と異なるのは、透明電極2として実施例4に記載のものが適用された点である。
比較例3においても、実施例5と同様に結晶質シリコン系薄膜太陽電池が作製され。ただし、実施例5と異なるのは、透明電極2として比較例1に記載のものが適用された点である。
2 透明電極
11 光電変換ユニット
111 一導電型層
112 光電変換層
113 逆導電型層
3 裏面電極
31 導電性酸化物層
32 金属層
Claims (9)
- 主として酸化亜鉛からなる透明導電膜を含み、前記透明導電膜が下記の特性を有する、薄膜太陽電池用透明電極:
表面凹凸を有する;
キャリア濃度が9×1019cm−3以下である;
結晶が(110)の優先配向を有する;
X線回折による(002)ピーク強度に対する(110)ピーク強度の比I(110)/I(002)が50以上である;
(110)配向を有する結晶子のサイズが、基板に平行な面方向で23nm以上50nm以下であり、かつ基板に垂直な面方向で30nm以上60nm以下である。 - 透光性絶縁基板上に、請求項1に記載の透明電極が形成された、薄膜太陽電池用透明電極付き基板。
- ヘイズ率が20〜50%である、請求項2に記載の透明電極付き基板。
- 請求項2または3に記載の透明電極付き基板と、少なくとも一つの光電変換ユニットを有し、前記透明電極付き基板が前記少なくとも一つの光電変換ユニットよりも光入射側に配置されている、薄膜太陽電池。
- 請求項1に記載の透明電極と、少なくとも一つの光電変換ユニットを有し、前記透明電極が前記少なくとも一つの光電変換ユニットよりも光入射側に配置されている、薄膜太陽電池。
- 前記少なくとも少なくとも一つの光電変換ユニットとして、結晶質光電変換ユニットを含む、請求項4または5に記載の薄膜太陽電池。
- 請求項1または2に記載の薄膜太陽電池用透明電極の製造方法であって、前記透明導電膜が低圧熱CVD法によって堆積される、透明電極の製造方法。
- 前記透明導電膜の堆積において、ジエチル亜鉛と水が原料として用いられ、水の供給量が、ジエチル亜鉛の供給量に対して2倍以上である、請求項7に記載の透明電極の製造方法。
- 低圧熱CVD法によって前記透明導電膜が堆積された後、引き続き非酸化性ガス雰囲気下で酸化亜鉛膜が加熱される工程を有する、請求項7または8に記載の透明電極の製造方法。
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