JP5270889B2 - 薄膜光電変換装置の製造方法 - Google Patents
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前記透明電極層はZnとMgとOとドーピング不純物とを含み、かつ透明電極層は前記光電変換ユニットの1つに含まれるp型半導体層と界面で接していることを特徴とする薄膜光電変換装置である。ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層を用いることによって、透明電極層の短波長の透過率が上がって短波長の薄膜光電変換装置の分光感度が向上する。また、光入射方向よりp型半導体層、実質的に真性半導体の光電変換層、n型半導体層の順に配置された光電変換ユニットを用いることで、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層はp型半導体と接触するので、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層は強n型半導体の機能は要求されずに単なる透明な電極として機能すればよくなり、伝導帯のバンド不連続の影響なくZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層を透明電極層として用いることができる。
(Mg比)=(Mg原子数密度)/{(Mg原子数密度)+(Zn原子数密度)}×100[%] (1)式
ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層の短波長の透過率を増加するためには、前記のMg比を10%より大きくすることが望ましく、15%より大きくすることがさらに望ましい。また、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層のシート抵抗を低くするためには、前記のMg比は40%未満が望ましく、30%未満がさらに望ましい。
本発明の実施例1として、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層を作製した。厚み0.7mm、125mm×125mmのガラス基板上にスパッタ法を用い、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層を作製した。ターゲットの組成は、MgOが15wt.%、ZnOが82wt.%、Al2O3が3wt.%である。Ar流量50sccmで、圧力0.5Paとした。パワー密度300mW/cm2の直流放電を用いてスパッタを行った。製膜速度は約0.5nm/sであった。
従来の比較例1として、ドーピング不純物を含むZnOの透明電極層を作製した。ターゲットの組成が異なる他は、実施例1と同様の製造方法で作製した。ターゲットの組成は、ZnOが97wt.%、Al2O3が3wt.%である。製膜速度は約0.5nm/sであった。
作製したドーピング不純物を含むZnO膜の膜厚は約400nmであった。膜中Mg比は0%であった。バンドギャップは3.30eVであった。シート抵抗は6.5Ω/□、ヘイズ率は3.7%であった。
本発明の実施例2として、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層を作製した。ターゲットの組成が異なる他は、実施例1と同様の製造方法で作製した。ターゲットの組成は、MgOが20wt.%、ZnOが77wt.%、Al2O3が3wt.%である。製膜速度は約0.5nm/sであった。作製したZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層の膜厚は約400nmであった。膜中Mg比は33.8%であった。バンドギャップは3.91eVであった。シート抵抗は11.8Ω/□、ヘイズ率は4.5%であった。
図2から、Mg比が増加するにしたがって、透過スペクトルの短波長側の立ち上がりが、短波長側にシフトすることがわかる。透過率が10%になる波長は、比較例1のドーピング不純物を含むZnOに対して、実施例1のMg比24.8%のドーピング不純物を含むZMO(ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層)では40nm波長が短く、実施例2のMg比33.8%のドーピング不純物を含むZMO(ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層)では55nm波長が短い。また、透過率が60%になる波長は、比較例1のドーピング不純物を含むZnOに対して、実施例1のMg比24.8%のドーピング不純物を含ZMO(ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層)では47nm波長が短く、実施例2のMg比33.8%のドーピング不純物を含むZMO(ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層)では61nm波長が短い。従って、ドーピング不純物を含むZnOに比べて、ドーピング不純物を含むZMO(ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層)の透明電極層はより短波長の光を透過して、薄膜光電変換装置の短波長感度を増加して、短絡電流密度を改善できるといえる。
本発明の実施例3として、低圧CVD法でZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層を作製した。厚み0.7mm、125mm×125mmのガラス基板の透光性基体111上にSiO2微粒子1121を含む透光性下地層112を形成し、透光性絶縁基板11とした。透光性下地層112を形成する際に用いた塗布液は、平均粒径が100nmの球状シリカ分散液、水、エチルセロソルブの混合液にテトラエトキシシランを加え、更に塩酸を添加してテトラエトキシシランを加水分解させたものを用いた。塗布液を印刷機にてガラス上に塗布した後、90℃で30分乾燥し、その後450℃で5分加熱することにより、表面に微細な凹凸が形成された透光性絶縁基板11を得た。この透光性絶縁基板11の表面を原子間力顕微鏡(AFM)で観察したところ、微粒子の形状を反映し、凸部が曲面からなる凹凸が確認された。この条件で製膜された透光性下地層112の二乗平均平方根粗さ(RMS)は5〜50nmであった。なお、本発明におけるRMSは、一辺が5μmの正方形領域を観察した原子間力顕微鏡(AFM)像から求めている(ISO
4287/1)。このAFM測定にはNano−Rシステム(Pacific
Nanotechnology社製)のノンコンタクトモードが用いられた。
従来法による比較例2として、ドーピング不純物を含むZnOの透明電極層を低圧CVD法で作製した。ドーピング不純物を含むZnOの製膜時にMeCp2Mgを用いなかったこと以外は、その構造、作製方法は実施例3と同一とした。製膜速度は2nm/sであった。
本発明の実施例4として、実施例3の透明電極層を用いて、その上に非晶質シリコン光電変換ユニット、結晶質シリコン光電変換ユニット、及び裏面電極層を形成することで、積層型薄膜光電変換装置を作製した。図1に実施例4の薄膜光電変換装置の断面構造の概念図を示す。
比較例3においては、実施例4に類似の薄膜光電変換装置が作製された。すなわち、透明電極層に比較例2のドーピング不純物を含むZnO層を用いたことのみにおいて、実施例4と異なっていた。得られた比較例3の薄膜光電変換装置の出力特性を実施例4の場合と同様に測定したところ、Vocが1.292V、Jscが12.90mA/cm2、FFが0.708、そしてEffが11.80%であった。
比較例4においては、実施例4に類似の薄膜光電変換装置が作製された。すなわち、比較例4の薄膜光電変換装置は、透光性下地層112がないこと、透明電極層としてZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層に代えてドーピング不純物としてFを含むSnO2層を用いたこと、一導電型層21が厚さ15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層だけからなることの3点のみにおいて、実施例4と異なっていた。薄膜光電変換装置用基板1としてはドーピング不純物を含むSnO2電極層12が熱CVD法で形成された市販品を用い、そのヘイズ率は13.2%であり、ドーピング不純物を含むSnO2電極層のシート抵抗は12.5Ω/□であった。得られた比較例4の薄膜光電変換装置の出力特性を実施例4の場合と同様に測定したところ、Vocが1.302V、Jscが12.52mA/cm2、FFが0.710、そしてEffが11.56%であった。
図3に、実施例4、比較例3、4の薄膜光電変換装置の収集効率スペクトルを示す。収集効率スペクトルを測定する際、赤色バイアス光を照射して前方光電変換ユニットの収集効率を測定し、青色バイアス光を照射して後方光電変換ユニットの収集効率を測定した。300〜400nmの収集効率の短波長側の立ち上がり始める波長を比較すると、ドーピング不純物を含むZnOを透明電極層に用いた比較例3は約360nm、ドーピング不純物を含むSnO2を透明電極層に用いた比較例4は300nm、ドーピング不純物を含むZMO(ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層)を透明電極層に用いた実施例4は300nmになっている。これは、ZnとMgとOとドーピング不純物とを含む透明電極層のバンドギャップがドーピング不純物を含むZnOより大きくなって、ドーピング不純物を含むSnO2と同等の短波長の光を透過できるためである。
比較例5においては、実施例4に類似の薄膜光電変換装置が作製された。すなわち、透明電極層の製造時にB2H6を用いず、透明電極層としてドーピング不純物を含まないZMO層を用いたことのみにおいて、実施例4と異なっていた。得られた比較例5の薄膜光電変換装置の出力特性を実施例4の場合と同様に測定したところ、IVカーブが直線状になってEff=0%で、太陽電池として使えなかった。
本発明の実施例5として、ステンレス基板上に、裏面電極層、n、i、p型の順に配置した結晶質シリコン光電変換ユニット、及びドーピング不純物を含むZMOの透明電極層を形成することで、薄膜光電変換装置を作製した。光電変換ユニットを1つだけ備えるいわゆるシングル構造の薄膜光電変換装置である。図4に実施例5の薄膜光電変換装置の断面構造の概念図を示す。
比較例6においては、実施例5に類似の薄膜光電変換装置が作製された。すなわち、透明電極層にドーピング不純物を含むZnO層を用いたことのみにおいて、実施例5と異なっていた。ZnO層の製膜条件は比較例2と同様とした。得られた比較例6の薄膜光電変換装置の出力特性を実施例4の場合と同様に測定したところ、Vocが0.523V、Jscが23.6mA/cm2、FFが0.695、そしてEffが8.6%であった。
11 透光性絶縁基板
111 透光性基体
112 透光性下地層
1121 透光性微粒子
1122 透光性バインダー
12 透明電極層
20 半導体層
2 前方光電変換ユニット
21 一導電型層
22 光電変換層
23 逆導電型層
3 後方光電変換ユニット
31 一導電型層
32 光電変換層
33 逆導電型層
34 結晶質光電変換ユニット
4 裏面電極層
41 導電性酸化物層
42 金属層
5 薄膜光電変換装置
6 ステンレス基板
Claims (6)
- 光入射側から順次配置された、透明電極層、1以上のシリコン系光電変換ユニット、裏面電極層を含む薄膜光電変換装置の製造方法において、
前記シリコン系光電変換ユニットは、光入射方向よりp型シリコン系半導体層、実質的に真性シリコン系半導体の光電変換層、n型シリコン系半導体層の順に配置された光電変換ユニットであり、
前記透明電極層は、前記シリコン系光電変換ユニットの1つに含まれるp型シリコン系半導体層と界面で接しており、ZnとMgとOと2×10 19 個/cm 3 以上のB原子と2×10 20 個/cm 3 以上のH原子とを含み、ヘイズ率が20%以上であり、かつ前記p型シリコン系半導体層との界面に表面凹凸を有し、
前記透明電極層は、Zn原料の有機金属蒸気;Mg原料の有機金属蒸気;酸化剤蒸気;水素ガス;ならびにジボラン、トリメチルボロン、および三弗化ボロンからなる群から選択される1以上のホウ素含有ドーピングガス、を用いる低圧CVD法により形成されることを特徴とする薄膜光電変換装置の製造方法。 - 前記透明電極層の前記p型シリコン系半導体層との界面の凹凸の高さが20〜200nmである、請求項1に記載の薄膜光電変換装置の製造方法。
- 前記透明電極層の粒径が50〜500nmである、請求項1または2に記載の薄膜光電変換装置の製造方法。
- 前記透明電極層の前記p型シリコン系半導体層との界面の凹凸の表面面積比(Sdr)が55%〜95である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜光電変換装置の製造方法。
- 前記低圧CVD法で使用するMg原料の有機金属蒸気は、ビスメチルシクロペンタジエニルマグネシウムである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜光電変換装置の製造方法。
- 前記低圧CVDで使用する前記Zn原料の有機金属蒸気はジエチル亜鉛(DEZ)であり、前記酸化剤蒸気は水であり、前記ホウ素含有ドーピングガスはジボランであり、
前記低圧CVDにおけるジエチル亜鉛の流量が10〜1000sccm、ビスメチルシクロペンタジエニルマグネシウムの流量が1〜500sccm、水の流量が10〜1000sccm、H 2 の流量が100〜10000sccm、Arの流量が100〜10000sccmであり、ジボランの流量がジエチル亜鉛の流量の0.1%〜10%である、請求項5に記載の薄膜太陽電池の製造方法。
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