JPWO2011125486A1 - 型および型の製造方法ならびに反射防止膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施例1〜5では、図1を参照して上述したモスアイ用型の製造方法により、モスアイ用型を作製した。また、モスアイ用型を用いて、反射防止膜を作製し、得られた反射防止膜の反射率を調べた。
実施例6では、図11を参照して上述した方法により、モスアイ用型を作製した。
実施例7では、アルミニウム基材に代えて金属製の基材を有する型基材を用いて、図11を参照して上述した方法により、モスアイ用型を作製した。
比較例1では、アルミニウム基材の表面を直接陽極酸化およびエッチングすることによりモスアイ用型を作製した。比較例1では、アルミニウム基材として、実施例1〜3と同じアルミニウム板を用いた。陽極酸化条件(液温、陽極酸化時間)も実施例1〜3と同じとし、エッチング条件は、実施例2と同じとした。陽極酸化およびエッチングを交互に5回(陽極酸化を5回、エッチングを4回)繰り返し、モスアイ用型を作製した。
12 アルミニウム基材
14 ポーラスアルミナ層
14p 細孔(微細な凹部)
16 無機材料層
18 アルミニウム膜
18s アルミニウム膜の表面
100、100b 型
Claims (13)
- 表面にポーラスアルミナ層を有する型の製造方法であって、
(a)アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材の表面に堆積された純度が99.99質量%以上であるアルミニウム膜とを有する型基材を用意する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、
(c)前記工程(b)の後に、前記ポーラスアルミナ層をエッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の微細な凹部を拡大させる工程とを包含する、型の製造方法。 - 前記工程(b)は、前記アルミニウム膜に、結晶粒間の空隙が存在する場合に、前記アルミニウム基材の前記表面のうち、前記結晶粒間の空隙の下に存在する部分を陽極酸化することにより、前記部分に陽極酸化膜を形成する工程を含む、請求項1に記載の型の製造方法。
- 前記アルミニウム基材の表面は、バイト研削が施されている、請求項1または2に記載の型の製造方法。
- 前記アルミニウム基材は、円筒状のアルミニウム管である、請求項1から3のいずれかに記載の型の製造方法。
- 表面にポーラスアルミナ層を有する型の製造方法であって、
(a)金属製の基材と、前記金属製の基材の表面に設けられた無機材料層と、前記無機材料層の上に堆積された純度が99.99質量%以上であるアルミニウム膜とを有する型基材を用意する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、
(c)前記工程(b)の後に、前記ポーラスアルミナ層をエッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の微細な凹部を拡大させる工程とを包含する、型の製造方法。 - 前記金属製の基材はアルミニウム基材である、請求項5に記載の型の製造方法。
- 前記工程(b)は、前記アルミニウム膜に結晶粒間の空隙が存在し、前記無機材料層にピンホールが存在し、前記結晶粒間の空隙と前記ピンホールとが厚さ方向に重なっている場合に、前記金属製の基材の前記表面のうち、前記結晶粒間の空隙および前記ピンホールの下に存在する部分を陽極酸化することにより、前記部分に陽極酸化膜を形成する工程を含む、請求項5または6に記載の型の製造方法。
- 前記無機材料層の厚さは、500nm以上である、請求項5から7のいずれかに記載の型の製造方法。
- 前記金属製の基材の表面は、バイト研削が施されている、請求項5から8のいずれかに記載の型の製造方法。
- 前記金属製の基材は円筒状である、請求項5から9のいずれかに記載の型の製造方法。
- 前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが50nm以上500nm未満の複数の凹部を有し、
(d)前記工程(c)の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の微細な凹部を成長させる工程をさらに包含し、
前記工程(d)の後に、前記工程(c)および(d)をさらに行う、請求項1から10のいずれかに記載の型の製造方法。 - 請求項1から11のいずれかに記載の製造方法により作製された型であって、
表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが50nm以上500nm未満である複数の微細な凹部を有する、反転されたモスアイ構造を表面に有するポーラスアルミナ層を有する、型。 - 請求項12に記載の型と、被加工物とを用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に紫外線硬化樹脂を付与した状態で、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することによって前記紫外線硬化樹脂を硬化する工程と
を包含する、反射防止膜の製造方法。
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