JPWO2010013331A1 - 電子ビーム装置 - Google Patents
電子ビーム装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2010013331A1 JPWO2010013331A1 JP2010522564A JP2010522564A JPWO2010013331A1 JP WO2010013331 A1 JPWO2010013331 A1 JP WO2010013331A1 JP 2010522564 A JP2010522564 A JP 2010522564A JP 2010522564 A JP2010522564 A JP 2010522564A JP WO2010013331 A1 JPWO2010013331 A1 JP WO2010013331A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- position error
- irradiation
- substrate
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
- H01J37/3023—Programme control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/304—Controlling tubes
- H01J2237/30455—Correction during exposure
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
当該描画データの描画実行時において、当該基板への非照射時における当該電子ビームの照射位置の変動を検出するビーム電流検出器と、
当該照射位置の変動に基づいて当該電子ビームのビーム位置誤差を検出するビーム位置誤差検出器と、
当該描画データの描画実行時における当該ステージの回転及び並進駆動による駆動位置誤差を検出する駆動位置誤差検出器と、
当該ビーム位置誤差及び当該駆動位置誤差に基づいて当該描画時の当該電子ビームの照射位置を補正する補正器と、を有することを特徴としている。
15 基板
16 ターンテーブル
17 スピンドルモータ
18 並進ステージ
23 ビーム偏向電極
24 ビーム変調電極
26 アパーチャ
27 ビーム電流検出器
30 コントローラ
31 ビーム偏向回路
32 ビーム変調回路
33 ビーム変動測定回路
35 レーザ干渉計
37 ステージ駆動部
38 回転駆動部
39 並進駆動部
41 ビーム誤差信号生成器
45 駆動系誤差信号生成器
46 ビーム補正回路
[電子ビーム描画装置の構成及び動作]
電子ビーム描画装置10は、真空チャンバ11、及び真空チャンバ11内に配された基板15を載置及び回転、並進駆動する駆動装置、及び真空チャンバ11に取り付けられた電子ビームカラム20、及び基板の駆動制御及び電子ビーム制御等をなす種々の回路、制御系が設けられている。
[ビーム位置変動補正に係る構成及び動作]
図2は、電子ビームの偏向補正に係る構成を模式的に示すブロック図である。電子ビーム描画を行う際の電子ビームの位置誤差が検出されるとともに、ステージ駆動機構によるビーム位置誤差が検出され、これらの検出誤差に基づいてビーム位置補正がなされる。
[電子ビームの照射位置誤差の検出]
次に、電子ビーム描画を行う際の電子ビームの照射位置誤差の検出について、以下に詳細に説明する。
[ステージ駆動機構の位置誤差の検出]
次に、ステージ駆動機構に起因するビーム位置誤差の検出について、以下に詳細に説明する。
Claims (5)
- 回転及び並進駆動されるステージ上に基板が載置され、描画データに応じた電子ビームの偏向によって前記基板への電子ビームの照射及び非照射を切り替えて描画を行う電子ビーム描画装置であって、
前記描画データの描画実行時において、前記基板への非照射時における前記電子ビームの照射位置の変動を検出するビーム電流検出器と、
前記照射位置の変動に基づいて前記電子ビームのビーム位置誤差を検出するビーム位置誤差検出器と、
前記描画データの描画実行時における前記ステージの回転及び並進駆動による駆動位置誤差を検出する駆動位置誤差検出器と、
前記ビーム位置誤差及び前記駆動位置誤差に基づいて前記描画時の前記電子ビームの照射位置を補正する補正器と、を有することを特徴とする描画装置。 - 前記ビーム位置誤差は、前記ビーム電流検出器により検出される前期照射位置とビーム基準位置との差異に基づいて算出されることを特徴とする請求項1に記載の描画装置。
- 前記電子ビームの非照射時には、前記ビーム電流検出器に前記電子ビームを入射させることを特徴とする請求項1に記載の描画装置。
- 前記補正器は、前記ビーム位置誤差及び前記駆動位置誤差に基づくフィードバック制御をなすことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1に記載の描画装置。
- 前記電子ビームを前記基板に照射すべき期間内に前記電子ビームを非照射に切り替える変動測定用ビーム切替部を有し、前記ビーム電流検出器は前記電子ビームの当該切替期間において前記電子ビームのビーム電流を検出することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1に記載の描画装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2008/063690 WO2010013331A1 (ja) | 2008-07-30 | 2008-07-30 | 電子ビーム装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010013331A1 true JPWO2010013331A1 (ja) | 2012-01-05 |
JP5087679B2 JP5087679B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=41610055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010522564A Expired - Fee Related JP5087679B2 (ja) | 2008-07-30 | 2008-07-30 | 電子ビーム装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8653488B2 (ja) |
JP (1) | JP5087679B2 (ja) |
WO (1) | WO2010013331A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5231298B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 電子ビーム描画方法および装置 |
JP2012199529A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-10-18 | Canon Inc | 荷電粒子線描画装置、およびそれを用いた物品の製造方法 |
JP5977550B2 (ja) | 2012-03-22 | 2016-08-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
JP2014082327A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Canon Inc | 照射装置、描画装置及び物品の製造方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0691005B2 (ja) * | 1985-12-24 | 1994-11-14 | 株式会社東芝 | 荷電ビ−ム描画方法 |
JPH0513037A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-22 | Fujitsu Ltd | 荷電粒子ビーム装置及びその制御方法 |
US5345085A (en) * | 1993-03-26 | 1994-09-06 | Etec Systems, Inc. | Method and structure for electronically measuring beam parameters |
JPH08212950A (ja) | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Hitachi Ltd | 荷電粒子ビーム装置 |
JP3688381B2 (ja) | 1995-03-10 | 2005-08-24 | 株式会社東芝 | 光ディスク原盤露光装置 |
JP3689949B2 (ja) * | 1995-12-19 | 2005-08-31 | 株式会社ニコン | 投影露光装置、及び該投影露光装置を用いたパターン形成方法 |
CN1244018C (zh) * | 1996-11-28 | 2006-03-01 | 株式会社尼康 | 曝光方法和曝光装置 |
JPH10180073A (ja) | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Lion Corp | 撹拌装置及び高粘度液状物の製造方法 |
US6897963B1 (en) * | 1997-12-18 | 2005-05-24 | Nikon Corporation | Stage device and exposure apparatus |
JPH11354421A (ja) * | 1998-06-03 | 1999-12-24 | Nikon Corp | 荷電粒子線露光装置 |
JP4454706B2 (ja) * | 1998-07-28 | 2010-04-21 | キヤノン株式会社 | 電子ビーム露光方法及び装置、ならびにデバイス製造方法 |
US6559456B1 (en) * | 1998-10-23 | 2003-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Charged particle beam exposure method and apparatus |
KR20010089453A (ko) * | 1998-11-18 | 2001-10-06 | 시마무라 테루오 | 노광방법 및 장치 |
JP2001077005A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-23 | Nikon Corp | 荷電粒子線露光装置及びそれを使用した半導体デバイスの製造方法 |
JP2002334821A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Nikon Corp | 荷電粒子線露光装置及び露光方法 |
JP2002056793A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-02-22 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
JP2005064041A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム描画装置におけるビームの照射位置補正方法 |
JP2005276639A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Jeol Ltd | 走査型電子ビーム装置における対物レンズ絞りの位置調整方法 |
WO2005121902A1 (ja) | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Pioneer Corporation | 電子ビーム位置変動測定方法、電子ビーム位置変動測定装置、電子ビーム記録装置 |
JP2004342628A (ja) * | 2004-09-01 | 2004-12-02 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
JP2006294794A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Toshiba Corp | 電子ビーム露光装置および電子ビーム露光方法 |
WO2007037013A1 (ja) | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Topcon Corporation | 半導体分析装置 |
JP2007194096A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム装置を用いた試料のピックアップ方法 |
TWI590005B (zh) * | 2006-08-31 | 2017-07-01 | 尼康股份有限公司 | Exposure method and exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
2008
- 2008-07-30 US US12/990,933 patent/US8653488B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-30 JP JP2010522564A patent/JP5087679B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-30 WO PCT/JP2008/063690 patent/WO2010013331A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5087679B2 (ja) | 2012-12-05 |
WO2010013331A1 (ja) | 2010-02-04 |
US20110114853A1 (en) | 2011-05-19 |
US8653488B2 (en) | 2014-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7473910B2 (en) | Electron beam lithography apparatus | |
JP4533457B2 (ja) | ビーム記録方法及び装置 | |
JP4216313B2 (ja) | 電子ビーム位置変動測定方法、電子ビーム位置変動測定装置、電子ビーム記録装置 | |
JP5191542B2 (ja) | 電子ビーム記録装置及びその制御装置並びに制御方法 | |
JP5087679B2 (ja) | 電子ビーム装置 | |
US7875866B2 (en) | Beam recording apparatus and beam adjustment method | |
JP5166400B2 (ja) | ビーム描画装置 | |
JPWO2007111261A1 (ja) | 電子ビーム記録装置及びビーム調整方法 | |
JP5433011B2 (ja) | 電子ビーム記録装置 | |
JPWO2008117358A1 (ja) | 電子ビーム装置 | |
US7965606B2 (en) | Information recording method and information recording apparatus | |
JP2008140419A (ja) | 電子ビームマスタリング装置及び回転ムラ補正方法 | |
JP2012141249A (ja) | 回転制御装置及び回転制御方法 | |
WO2010013348A1 (ja) | 電子ビーム記録装置及びその制御装置並びに制御方法 | |
WO2010023751A1 (ja) | 電子ビーム描画装置の調整方法、及び電子ビーム描画装置を制御する制御装置の調整方法 | |
JP2010205326A (ja) | 電子線描画装置、ステージ位置偏差算出方法及びパターン描画方法 | |
WO2010014111A1 (en) | Electron beam recording apparatus, and control apparatus and control method for same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120821 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120910 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5087679 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |