JP2007194096A - 荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム装置を用いた試料のピックアップ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、デポジション用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射して形成されるビームアシスト堆積膜により微細試料とマニピュレータを保持し、エッチング用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射してビームアシスト堆積膜を除去することにより微細試料とマニピュレータを分離することに関する。例えば、マニピュレータプローブと微細試料との接続を炭素を主な成分とするビームアシストデポジション膜で接続し、キャリアへの固定後にプローブと微細試料を分離する際、水を主成分とするアシストガスを用いたビームアシストエッチングにより、前記アシストデポジション膜を選択的にエッチングする、荷電粒子ビーム装置における微細試料のピックアップ方法である。
【選択図】図1
Description
(Scanning Electron Microscope:以下SEMと略す)や透過形電子顕微鏡(TransmissionElectron Microscope:以下TEMと略す)あるいは透過形走査電子顕微鏡(Scanning
Transmission Electron Misroscopr :以下STEMと略す)が多用されるようになった。これらの観察装置に試料を導入する前に、試料の断面形成や試料を薄膜化する必要があり、この用途に集束イオンビーム(Focused Ion Beam :以下FIBと略す)が多用されるようになった。特に、高い倍率で試料を観察する場合、TEMやSTEMが用いられるが、試料をサブミクロンレベルの厚さの薄膜に加工する必要があり、なおかつ、欠陥部位等の注目箇所を正確に薄膜化する必要がある。これらの注目箇所を正確にピックアップする手法として、リフトアウト法やマイクロサンプリング法がある。
FIBで薄膜に加工分離し、加工した基板を大気中に設置された光学顕微鏡の下で、ガラス製のマニピュレータプローブを使い、静電気による吸着現象を利用して、基板上の薄膜をプローブ先端でピックアップし、それをメッシュに炭素製の膜を張った試料キャリアの膜部に運搬設置することで、TEM観察可能とするものである。
(Scanning Ion Microscopr :以下SIMと略す)像で作業を確認しながら行え、(2)微細試料の保持は強固なFIBアシストデポジション膜で行えるため、作業の確実性が高く、欠陥の不良解析に向く。また、平面方向のサンプリングや、一度薄膜を観察した後に再度FIBによる追加工が可能であるといった優れた特徴がある。しかし、使用するマニピュレータプローブが消耗品であるにもかかわらず高価であり、また、マニピュレータプローブの操作が作業者による手作業であるため、作業者のスキルが要求される。従って、このプローブの消耗度の緩和とプローブ操作の自動化が望まれている。
,アライナ・スティグマ104,ブランカ105,ブランキングアパーチャ106,デフレクタ108が配されている。ブランカ105動作時にはビームはファラデーカップ107に入射する。試料から放出される二次電子を検出する検出器112,試料表面近傍にガスを供給するガス源113,微細試料をピックアップするマニピュレータ115が設置されている。図中、ガス源113は1系統であるが、3系統までの増設が可能である。
(1)試料基板の注目部位を顕微鏡像の取得が可能な程度に集束イオンビームの光軸上に 移動する。
(2)注目部位を含む領域にガス源113cを用いたビームアシストデポジションにより 、タングステンを主な成分とした堆積膜1を形成する。この膜はTEM試料上部の 保護膜として機能する。
(3)注目部位周囲に少なくとも2方向からイオンビームを照射し、注目部位を含む微細 試料が基板から完全に分離する前に微細試料とマニピュレータプローブとをガス源 113aを用いたビームアシストデポジションにより形成した炭素を主な成分とす る堆積膜2で接続する。
(4)基板と微細試料の接続箇所をイオンビーム照射で除去する。
(5)試料基板を移動し、微細試料を新たに搭載する透過型電子顕微鏡等に導入可能な試 料キャリアを該光軸上に移動する。
(6)該微細試料と該試料キャリアをガス源113cを用いたビームアシストデポジショ ンにより形成したタングステンを主成分とする堆積膜3で接続する。
(7)該堆積膜1をガス源113bを用いたビームアシストエッチングにより選択的に除 去する。マニピュレータプローブと微細試料は分離され、基板から摘出された注目 部位を含む微細試料は基板から試料キャリアへ乗せ替えられた。
(1)基板試料内の薄膜試料を顕微鏡像の取得が可能な程度に集束電子ビームの光軸上に 移動する。
(2)薄膜試料とマニピュレータプローブとをガス源113aを用いた電子ビームアシス トデポジションにより形成した炭素を主な成分とする堆積膜1で接続する。
(3)基板試料を移動し、薄膜試料を新たに搭載する透過型電子顕微鏡等に導入可能な試 料キャリアを該光軸上に移動する。
(4)薄膜試料と該試料キャリアをガス源113aを用いた電子ビームアシストデポジシ ョンにより形成した堆積膜2で接続する。
(5)該堆積膜1をガス源113bを用い、水を含むガス雰囲気中での電子ビームアシス トエッチングにより選択的に除去する。マニピュレータプローブと微細試料は分離 され、微細試料は基板から試料キャリアへ乗せ替えられた。
SEM装置においては、試料の種類やピックアップ後の試料の観察方法に合わせ、アシストデポジション及びアシストエッチングに用いるビームを選択使用することができる。
Claims (15)
- 試料を載置する試料ステージと、
荷電粒子ビームを照射する1以上のカラムと、
荷電粒子ビームの照射領域にビームアシスト堆積膜を形成する第1のガスを供給する第1のガス供給手段と、
荷電粒子ビームの照射領域のビームアシスト堆積膜を除去する第2のガスを供給する第2のガス供給手段と、
試料から摘出された微細試料を保持できるマニピュレータとを含む荷電粒子ビーム装置であって、
ビームアシスト堆積膜の形成により微細試料とマニピュレータを保持し、ビームアシスト堆積膜の除去により微細試料とマニピュレータを分離する荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
第1のガスは、炭素を主成分とするビームアシスト堆積膜を形成できるガス種であり、
第2のガスは、水を含むガス種であり、
マニピュレータの先端近傍は、炭素を主成分としない材質である荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
荷電粒子ビームが電子ビームである荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
荷電粒子ビームがイオンビームである荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
微細試料を載置する試料キャリアを備える荷電粒子ビーム装置。 - 請求項5記載の荷電粒子ビーム装置であって、
試料キャリアが、該荷電粒子ビーム装置以外の荷電粒子ビーム装置に導入可能である荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
荷電粒子ビームがイオンビームと電子ビームである荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
荷電粒子ビームがイオンビームであり、
炭素を主成分としないビームアシスト堆積膜を形成する第3のガス種を供給する第3のガス供給手段を備える荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、
マニピュレータを画像認識する画像認識機構と、
画像認識機構に基づいてマニピュレータの移動を制御できる制御機構とを含む荷電粒子ビーム装置。 - 微細試料のピックアップ法であって、
電子ビームの照射領域に第1のガスを供給し、炭素を主成分とする第1のビームアシスト堆積膜を形成し、マニピュレータと微細試料とを接続し、
電子ビームの照射領域に第2のガスを供給し、炭素を主成分としない第2のビームアシスト堆積膜を形成し、試料キャリアと微細試料とを接続し、
電子ビームの照射領域に第3のガスを供給し、第1のビームアシスト堆積膜を除去し、 マニピュレータと微細試料とを分離し、
微細試料を試料キャリアへ載置する方法。 - 請求項10記載のピックアップ法であって、
微細試料を載置する試料キャリアを、微細試料をピックアップした荷電粒子ビーム装置以外の荷電粒子ビーム装置に導入する方法。 - 微細試料のピックアップ法であって、
荷電粒子ビームの照射領域に第1のガスを供給し、炭素を主成分としない第1のビームアシスト堆積膜を、試料の所望領域に形成し、
イオンビームを試料に照射し、試料から微細試料を分離し、
荷電粒子ビームの照射領域に第2のガスを供給し、炭素を主成分とする第2のビームアシスト堆積膜を形成し、マニピュレータと微細試料とを接続し、
荷電粒子ビームの照射領域に第3のガスを供給し、炭素を主成分としない第2のビームアシスト堆積膜を形成し、試料キャリアと微細試料とを接続し、
荷電粒子ビームの照射領域に第3のガスを供給し、第1のビームアシスト堆積膜を除去し、マニピュレータと微細試料とを分離し、
微細試料を試料キャリアへ載置し、
電子ビームの照射領域に第2のガスを供給し、炭素を主成分としない第3のビームアシスト堆積膜を形成し、試料キャリアと微細試料とを接続し、
荷電粒子ビームの照射領域に第4のガスを供給し、第2のビームアシスト堆積膜を除去し、マニピュレータと微細試料とを分離し、
微細試料を試料キャリアへ載置する方法。 - 請求項12記載のピックアップ法であって、
微細試料を載置する試料キャリアを、微細試料をピックアップした荷電粒子ビーム装置以外の電子顕微鏡に導入する方法。 - 請求項12記載のピックアップ法であって、
試料から微細試料が完全に分離した後に、マニピュレータと微細試料とを接続する方法。 - 請求項12記載のピックアップ法であって、
試料から微細試料が完全に分離する前に、マニピュレータと微細試料とを接続し、その後、試料から微細試料が完全に分離する方法。
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