JPWO2009153858A1 - 液晶アレイ検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 331
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 114
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 108
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 12
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 101100083945 Arabidopsis thaliana GUN1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100231553 Arabidopsis thaliana HO1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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Abstract
Description
Claims (4)
- 液晶基板上を二次元的に走査して撮像画像を取得し、当該撮像画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置であって、
前記液晶基板を載置し、Y軸方向に往復移動するステージと、
前記ステージの上方位置にステージから離して配置された撮像装置と、
前記撮像装置の撮像を制御する撮像制御部と、
前記ステージをY軸方向に駆動するステージ駆動部と、
前記ステージ駆動部の駆動モータの回転状態を検出するエンコーダと、
前記エンコーダの検出量と撮像範囲に基づいて、ステージ上の液晶基板がY軸方向の往路および復路の撮像開始位置に到達したことを検出する撮像開始位置到達検出部と、
前記撮像開始位置到達検出部の出力に基づいて、前記撮像制御部による撮像を開始させる撮像開始トリガ信号を生成する撮像開始トリガ信号生成部とを備え、
前記撮像制御部は、前記撮像開始トリガ信号生成部が生成する開始トリガ信号を受けて撮像装置に撮像を開始させることによって、ステージの往路および復路におけるY軸方向の位置と撮像装置の撮像開始位置とを同期させることを特徴とする、液晶アレイ検査装置。 - 前記撮像開始位置到達検出部は、前記エンコーダのA相信号とB相信号の互いに位相が90°ずれた検出信号からステージの移動量に相当する計数値を計数するカウンタ部と、
液晶基板上の撮像範囲のY軸方向の端部位置に相当する値と前記カウンタ部で計数した計数値とを比較する比較部とを備え、
撮像開始トリガ信号生成部は、前記比較部の比較において、前記端部位置に相当する値とステージの移動量に相当する計数値とが一致したときに比較手段が発生する一致信号に基づいて、撮像開始トリガ信号を生成することを特徴とする、請求項1に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記撮像開始位置到達検出部は、
液晶基板の撮像範囲情報を、当該液晶基板の種類を特定する基板種情報と関連づけて記憶する記憶部を備え、
基板種情報に基づいて、前記記憶部に記憶する液晶基板の撮像範囲情報から、液晶基板上の撮像範囲のY軸方向の端部位置に相当する値を読み出すことを特徴とする、請求項1又は2に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記撮像開始位置到達検出部は、
液晶基板のアライメント情報を入力し、当該アライメント情報の液晶基板の位置ずれ量を撮像範囲位置に加算し、液晶基板上の撮像範囲のY軸方向の端部位置を補正する補正部を備えることを特徴とする、請求項2又は3に記載の液晶アレイ検査装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2008/061024 WO2009153858A1 (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | 液晶アレイ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009153858A1 true JPWO2009153858A1 (ja) | 2011-11-24 |
JP5177224B2 JP5177224B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=41433788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010517582A Expired - Fee Related JP5177224B2 (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | 液晶アレイ検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110096158A1 (ja) |
JP (1) | JP5177224B2 (ja) |
CN (1) | CN102066894B (ja) |
WO (1) | WO2009153858A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140101612A (ko) * | 2013-02-12 | 2014-08-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 결정화 검사장치 및 결정화 검사방법 |
CN109164614B (zh) * | 2018-10-25 | 2021-10-15 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 液晶配向方法及液晶配向监测设备 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62259046A (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気デイスク表面検査方法 |
JP2691052B2 (ja) * | 1990-06-01 | 1997-12-17 | 株式会社日立製作所 | エンコーダ分解能変換方法及びその装置並びに画像検出装置 |
JPH10274625A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Nikon Corp | 画像入力装置 |
JP3371764B2 (ja) * | 1997-06-27 | 2003-01-27 | 株式会社日立製作所 | 撮像方法及び装置 |
JP2001056296A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-02-27 | Toshiba Eng Co Ltd | パルスコントローラ |
JP3762244B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2006-04-05 | 株式会社東芝 | 図形データ展開方法 |
US6873175B2 (en) * | 2003-03-04 | 2005-03-29 | Shimadzu Corporation | Apparatus and method for testing pixels arranged in a matrix array |
JP2004294088A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像取得装置および画像取得方法 |
JP2006208899A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Seiko Epson Corp | 検査装置および電気光学装置の検査方法 |
CN100434893C (zh) * | 2005-03-09 | 2008-11-19 | 浙江大学 | 液晶显示器视角自动测量系统 |
JP2007003243A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 長尺物の外観検査装置 |
JP2007171095A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Shimadzu Corp | 液晶基板検査装置 |
-
2008
- 2008-06-17 US US12/999,050 patent/US20110096158A1/en not_active Abandoned
- 2008-06-17 CN CN200880129872.0A patent/CN102066894B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-06-17 WO PCT/JP2008/061024 patent/WO2009153858A1/ja active Application Filing
- 2008-06-17 JP JP2010517582A patent/JP5177224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110096158A1 (en) | 2011-04-28 |
CN102066894B (zh) | 2013-02-13 |
CN102066894A (zh) | 2011-05-18 |
WO2009153858A1 (ja) | 2009-12-23 |
JP5177224B2 (ja) | 2013-04-03 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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