JPH10274625A - 画像入力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】一定の輝度値の画像データを出力し、安定した
画像データを得ることができる画像入力装置を提供す
る。 【解決手段】対象物を撮像して画像信号を出力する一次
元光電変換素子を備えたラインセンサと、ラインセンサ
をその走査方向と直角な方向に移動させる駆動手段と、
ラインセンサの一定距離の移動を検出する移動検出手段
と、移動検出手段により検出されたラインセンサの一定
距離移動毎にラインセンサによる撮像を開始し、撮像開
始から一定時間経過後にラインセンサによる撮像を中断
する測定制御手段とを備えていることを特徴とする画像
入力装置が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一次元光電変換素
子を用いた画像入力装置に関し、例えば、リードフレー
ムや半導体基板の表面検査などに用いられる検査測定用
画像入力装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来の画像入力装置の原理を示
す図である。図８によれば、走査方向がＸ方向である一
次元光電変換素子を備えたラインセンサ１７と、Ｘ方向
及びそれと直角な方向であるＹ方向に移動可能なＸＹス
テージ１２とが設けられている。図示されない半導体ウ
エハなどの被測定物は、ＸＹステージ１２上に載置さ
れ、被測定物の像は、対物レンズ２を介してラインセン
サ１７上で結像し、該結像した画像はラインセンサ１７
によって撮像される。該ＸＹステージ１２はそれをＹ方
向に導くガイド３に沿って移動し、ラインセンサ２は、
ＸＹステージ１２がＹ方向に一定距離移動する毎にリニ
アエンコーダ１３から生成される撮像同期信号に同期し
て画像信号を画像データとして出力し、その画像データ
は図示しない記憶手段に記憶される。

【０００３】このように、被測定物は、ＸＹステージ１
２上に載置され、Ｙ方向に一定速度で移動しながら、走
査方向がＸ方向であるラインセンサ１７によって撮像さ
れる。このとき、ＸＹステージ１２が上記一定距離移動
する間にラインセンサ１７のＣＣＤ（電荷結合素子）に
蓄積された電荷量が、画像信号として撮像同期信号に同
期して出力される。そして、ＸＹステージ１２が、撮像
範囲全体をＹ方向に走査することにより、被測定物の二
次元の画像データを得ることができる。このとき、撮像
同期信号は、ＸＹステージ１２の一定距離移動毎に出力
されるので、得られる画像データは、Ｙ方向の所定間隔
毎の画像データの集合として、位置ずれなく記憶され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図９は、撮
像同期信号とラインセンサ１７のＣＣＤ（電荷結像素
子）が蓄積する電荷量のタイミングチャートを示す。こ
の電荷量は画像データの輝度値に対応する。図９（ａ）
によれば、ＸＹステージ１２が一定速度でＹ方向に所定
距離移動する毎に撮像同期信号が出力される。そして、
ラインセンサ１７のＣＣＤに徐々に蓄積された電荷は、
撮像同期信号に同期して出力され、さらに次の撮像同期
信号が出力されるまでの間、再度蓄積される。

【０００５】このように、上記従来の画像入力装置で
は、所定距離の移動毎にリニアエンコーダ１３から撮像
同期信号が出力されるので、撮像同期信号の周期Ｔ１
は、ＸＹステージ１２の移動速度によって決まる。この
とき、ＸＹステージ１２の移動速度が一定であれば周期
Ｔ１は一定であり、図９（ａ）に示すように画像データ
の輝度値も一定である。尚、この例では、被測定物は均
一な輝度を有する。

【０００６】しかしながら、通常、ＸＹステージ１２の
移動速度は、その機構的な精度の影響により若干の変動
が生じる。そのため、撮像同期信号の周期Ｔ１が変動
し、その結果、１周期毎の撮像時間が変動してしまう。
従って、図９（ｂ）に示すように、本来あらかじめ設定
された一定の基準周期Ｔ２で出力されるはずの画像デー
タが、上記電荷の蓄積時間Ｔ１の変動のため、その輝度
値も変動し、正確な画像データが得られないという問題
点がある。

【０００７】また、ラインセンサ１７をＸＹステージ１
２に対して移動させる場合も同様に速度変動の問題点が
生じる。従って、ラインセンサ１７とＸＹステージ１２
の相対速度が変動する場合に、画像データが不安定にな
る。

【０００８】そこで、本発明の目的は、ＸＹステージ１
２とラインセンサ１７の相対速度が変動して撮像同期信
号が変動した場合であっても、一定の輝度値の画像デー
タを出力し、安定した画像データを得ることができる画
像入力装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第一の構成は、対象物を撮像して画像信号
を出力する一次元光電変換素子を備えたラインセンサ
と、該ラインセンサをその走査方向と直角な方向に移動
させる駆動手段と、前記ラインセンサの一定距離の移動
を検出する移動検出手段と、該移動検出手段により検出
される前記ラインセンサの一定距離移動毎に該ラインセ
ンサによる撮像を開始し、該撮像開始から一定時間経過
後に前記ラインセンサによる撮像を中断する測定制御手
段とを備えていることを特徴とする画像入力装置であ
る。

【００１０】また、上記目的を達成するために、本発明
の第二の構成は、対象物を撮像して画像信号を出力する
一次元光電変換素子を備えたラインセンサと、前記対象
物が載置されるステージと、該ステージを前記ラインセ
ンサの走査方向と直角な方向に移動させる駆動手段と、
前記ステージの一定距離の移動を検出する移動検出手段
と、該移動検出手段により検出される前記ステージの一
定距離移動毎に前記ラインセンサによる撮像を開始し、
該撮像開始から一定時間経過後に前記ラインセンサによ
る撮像を中断する測定制御手段とを備えていることを特
徴とする画像入力装置である。

【００１１】前記第一及び第二の構成において、前記測
定制御手段は、例えば、前記移動検出手段により検出さ
れた前記ラインセンサ又は前記ステージの一定距離移動
毎に前記ラインセンサによる撮像を開始するための撮像
開始信号を出力する撮像開始信号発生手段と、該撮像開
始信号出力時から一定時間経過後に前記ラインセンサに
よる撮像を中断するための撮像中断信号を出力する撮像
時間計測手段とを備えている。

【００１２】さらに、前記一定時間は変更設定可能であ
り、また、前記ラインセンサ又は前記ステージの移動速
度の最大速度付近で前記ラインセンサ又は前記ステージ
が前記一定距離移動するに要する時間以下であることが
好ましい。さらに、前記一定距離は変更設定可能である
ことが好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲がこの
実施の形態に限定されるものではない。

【００１４】図１は、本発明の第一の実施の形態におけ
る画像入力装置のブロック構成図である。画像入力装置
は、画像入力部１０、それを制御する測定制御部２０を
備えている。さらに、画像入力装置はパーソナルコンピ
ュータ３０を有する。このパーソナルコンピュータ３０
は、測定制御部２０の操作及び測定制御部２０から送ら
れる画像データの処理のために用いられる。パーソナル
コンピュータ３０には、プリンタ３１、キーボード３
２、マウス３３、モニタ３４などが接続され、さらに、
測定制御部２０から送られる画像データを処理するため
の画像処理ボード３５を搭載している。

【００１５】画像入力部１０には、まず、ベース１１上
に配置され、被測定物が載置されるＸＹステージ１２が
設けられる。ＸＹステージ１２は、例えばその内部に駆
動部（図示省略）を有し、上述の図７におけるＸ方向及
びＹ方向に移動することができる。そして、撮像同期用
スケールとしてのリニアエンコーダ１３が、ＸＹステー
ジ１２のＹ方向の移動を検出し、一定距離移動毎に撮像
同期信号Ｂを出力する。さらに、撮像部１５が、ベース
１１から上方に延びる支柱１４に取り付けられている。
この撮像部１５は、走査方向がＸ方向である一次元光電
変換素子を備えたラインセンサ１７及び被測定物の像を
一次元光電変換素子の撮像面上に結像する光学系１６を
備えている。そして、光源１８からの光を光ファイバ１
９などで画像入力部１０に導き、ＸＹステージ１２上に
載置された半導体ウエハなどの被測定物の種類に応じ
て、被測定物に光を照射する。即ち、被測定物の上から
落射照明し、また、被測定物の下から透過照明する。

【００１６】測定制御部２０は、ステージ制御信号Ａを
出力してＸＹステージ１２のスキャン移動を制御するス
テージ制御部２１を有する。それによって制御されるＸ
Ｙステージ１２が所定距離移動する毎に、リニアエンコ
ーダ１３に設けられた図示しないエンコーダ位置検出回
路から撮像同期信号Ｂが出力される。

【００１７】撮像同期信号Ｂが、測定制御部２０内の撮
像開始信号発生部２２に入力される。撮像開始信号発生
部２２は、撮像同期信号Ｂに基づいて撮像開始信号Ｃを
発生する。この撮像開始信号Ｃは、ラインセンサ１７の
撮像を制御する撮像制御部２３及び撮像時間計測部２４
に入力される。また、撮像時間計測部２４には、クロッ
ク信号発生部２５から所定周期のクロック信号が入力さ
れる。そして、撮像時間計測部２４は、上記撮像開始信
号Ｃ及びクロック信号Ｄに基づいて、後述する撮像中断
信号Ｅを発生する。

【００１８】また、撮像制御部２３は、上記撮像開始信
号Ｃ及び撮像中断信号Ｅに基づいて撮像制御信号Ｆを出
力してラインセンサ１７の撮像を制御する。一方、被測
定物は、ＸＹステージ１２の移動に伴ってＹ方向に一定
速度で移動しながら、ラインセンサ１７により撮像され
る。撮像された画像の画像信号Ｇは、撮像中断信号Ｅに
応答して出力され、撮像制御部２３に入力される。そし
て、撮像制御部２３は、その画像信号ＧをＡ／Ｄ変換し
て画像データ信号Ｈとして出力する。

【００１９】画像データ信号Ｈは、パーソナルコンピュ
ータ３０に入力され、モニタ３４に表示される。また、
パーソナルコンピュータ３０からは、例えば、ＸＹステ
ージ１２の移動速度の設定又は測定の開始など測定に必
要な各種指令信号Ｉが測定制御部２０に送られる。

【００２０】さらに、測定制御部２０には、光源１８の
ＯＮ／ＯＦＦなどを行う光源制御部２７が設けられてい
る。

【００２１】このような画像入力装置において、本発明
の実施の形態では、ＸＹステージ１２の一定距離移動に
基づいてリニアエンコーダ１３から撮像同期信号Ｂが出
力され、さらに、撮像同期信号Ｂに応答して出力される
撮像開始信号Ｃに基づいて撮像を開始する。さらに、そ
の開始からクロック信号Ｄの所定周期後に生成される撮
像中断信号Ｅに基づいて撮像を中断する。その結果、毎
回の露光時間は、ＸＹステージ１２の移動時間の変動に
かかわらず一定となり、正確な輝度値を有する画像デー
タを生成することができる。しかも、ＸＹステージ１２
の一定距離移動に応じて露光即ち撮像を開始しているの
で、位置ずれのない撮像を実現することができる。

【００２２】図２は、撮像同期信号Ｂ、撮像開始信号
Ｃ、撮像中断信号Ｅ、クロック信号Ｄ及びそれらに基づ
いた撮像時間即ち露光時間Ｔのタイミングチャートであ
る。エンコーダ１３から出力される撮像同期信号Ｂは、
ＸＹステージ１２が所定距離移動する毎に出力されるの
で、ＸＹステージ１２の移動速度が変動すると、図に示
すように撮像同期信号Ｂの周期は変動する。

【００２３】そして、撮像開始信号Ｃは、所定数（例え
ば図２では４つ）の撮像同期信号Ｂが撮像開始信号発生
部２２に入力される毎に出力される。一方、撮像中断信
号Ｅは、撮像時間計測部２４に入力される撮像開始信号
Ｃとクロック信号Ｄから、図に示すように、撮像開始信
号Ｃの発生時から例えば５つ目のクロック信号Ｄに同期
して出力される。

【００２４】また、撮像同期信号Ｃの出力タイミング
は、撮像開始信号発生部２２での撮像同期信号Ｂのカウ
ント数を変更することにより任意に変更可能である。さ
らに、撮像中断信号Ｅの出力タイミングは、撮像時間計
測部２４でのクロック信号Ｄのカウント数を変更するこ
とにより任意に変更可能である。

【００２５】撮像開始信号Ｃ及び撮像中断信号Ｅは、図
１における撮像制御部２３に入力され、撮像制御信号Ｆ
として、ラインセンサ１７の撮像の開始及び中断が制御
される。従って、撮像中断信号Ｅが出力された後、次の
撮像開始信号Ｃが出力されるまで、ラインセンサ１７に
よる撮像は行われない。

【００２６】このように、本発明の実施の形態によれ
ば、ラインセンサ１７の撮像は、リニアエンコーダ１３
の位置に同期した撮像開始信号Ｃ出力時から開始され、
撮像開始信号Ｃ発生時から所定の一定時間経過後に出力
される撮像中断信号Ｅによって中断されるので、撮像開
始信号Ｃ出力時から次の撮像開始信号Ｃ出力時までの間
の一定時間の撮像が確保される。このため、従来のよう
に、次の撮像開始信号Ｃに同期して前の撮像による画像
信号Ｇが出力される場合に、ＸＹステージ１２の速度変
動によって撮像同期信号Ｂの周期が変化し、撮像時間の
変動により画像信号Ｇの輝度値が変化するようなことは
なく、一定の輝度値を有する画像信号Ｇが出力され、安
定した画像データを得ることが可能となる。

【００２７】図３は、本発明の実施の形態における撮像
開始信号Ｃ及び撮像中断信号Ｅと蓄積された電荷量のタ
イミングチャートである。図３によれば、ＸＹステージ
１２の移動速度が変化した場合であっても、撮像時間
（露光時間）が一定であるため、蓄積する電荷量は常に
一定である。

【００２８】このとき、撮像が行われる一定時間が短い
ほど、ラインセンサ１７から出力される画像信号Ｇの有
する位置情報の確度は高まる。これは以下の理由によ
る。即ち、ラインセンサ１７の一次元光電変換素子（以
下ＣＣＤ画素という）のＹ方向の幅が例えばΔｄとする
と、ラインセンサ１７による撮像は、ＸＹステージ１２
を移動させながら行われるので、一回に出力される画像
信号Ｇに含まれる電荷量のＹ方向の各位置の寄与分布
は、図４のようになる。

【００２９】図４（ａ）は、撮像中断信号Ｅが出力され
ず、撮像開始信号Ｃに基づいて、画像信号Ｇが出力され
る場合である。図４（ａ）によれば、一回の撮像の間の
移動距離である撮像距離をΔＬ（図４（ａ）においては
ΔＬとΔｄは等しい）とするとき、ＣＣＤ画素が幅Δｄ
を有していることから、ラインセンサ１７が電荷を蓄積
する撮像範囲は２Δｄである。そのため、撮像開始信号
Ｃ毎に出力される画像信号Ｇが有する撮像範囲は、ライ
ンセンサ１７の次の撮像開始信号Ｃによる撮像範囲と図
に示すように重なってしまう。即ち、ラインセンサ１７
のＣＣＤ画素がＰ１の位置でｎ−１番目の撮像を開始
し、Ｐ２の位置で終了する。また、ｎ番目の撮像は、Ｐ
２の位置からＰ３の位置まで行われる。

【００３０】従って、例えば、ｎ番目の撮像による画像
信号Ｇにおける幅Δｄの画像データを求めるとき、ｎ番
目の画像信号Ｇが有する電荷量（斜線部ａ）のうち、幅
Δｄより外側からの電荷量がノイズとなる。

【００３１】このときの位置情報のＳ／Ｎ比は、ライン
センサ１７からの１つの画像信号Ｇが有するＣＣＤ画素
の全電荷量を１００（斜線部ａ）としたとき、幅Δｄ内
の電荷量は７５、幅Δｄより外側の電荷量がそれぞれ１
２．５として表されるので、Ｓ／Ｎ＝７５／２５＝３と
して表される。

【００３２】一方、図４（ｂ）は、撮像中断信号Ｅが出
力され、その撮像時間は図４（ａ）の場合の１／２であ
る場合である。従って、撮像距離ΔＬはΔｄ／２であ
る。図４（ｂ）によれば、幅Δｄのラインセンサ１７が
Ｙ方向にΔｄ／２の距離を撮像すると、撮像中断信号Ｅ
が出力されて撮像が中断される。さらに、ＸＹステージ
１２がΔｄ／２移動すると、次の撮像開始信号Ｃが出力
され、撮像が開始される。即ち、ｎ−１番目の撮像は、
ＣＣＤ画素がＰ１からＰ２の位置の間行われ、ある期間
を経てｎ番目の撮像がＰ３からＰ４の位置の間に行われ
る。

【００３３】このように、一定時間の露光を確保するた
めに撮像中断時間を設けると、図に示すように、撮像が
中断している間、電荷量は蓄積しないが、幅Δｄより外
側の電荷量が小さくなる。このとき、上記同様に位置情
報のＳ／Ｎ比を求めると、ラインセンサ１７からの１つ
の画像信号Ｇが有するＣＣＤ画素の全電荷量を１００
（斜線部ｂ）とすると、幅Δｄ内の電荷量は８７．５、
幅Δｄより外側からの電荷量がそれぞれ６．２５として
表されるので、 Ｓ／Ｎ＝８７．５／１２．５＝７ として表される。上記図４においては、図面の都合上、
ラインセンサ１７のＣＣＤ画素が移動しているように表
示されているが、実際は、ＸＹステージ１２がラインセ
ンサ１７に対して移動する。本発明に実施の形態におい
ては、ラインセンサ１７とＸＹステージ１２が相対移動
すればよいので、ラインセンサ１７のＸＹステージ１２
に対する移動と、ＸＹステージ１２のラインセンサ１７
に対する移動は、実質的に同一の効果を有する。

【００３４】このように、各撮像において、撮像時間を
短くすることにより、位置情報のＳ／Ｎ比を高めること
ができる。さらに、撮像時間は、撮像中断信号Ｅが出力
される前に、次の撮像開始信号Ｃが出力される位置を超
えてＸＹステージが移動しないように、ＸＹステージ１
２が最大速度で移動したときの移動時間より短い時間に
設定することが必要である。但し、撮像時間があまり短
いと、電荷の蓄積量が少なくなり、十分な輝度値が得ら
れないことになる。

【００３５】従って、ＸＹステージ１２の移動速度の密
度分布が、例えば図５のような正規分布で表されると
き、撮像中断信号Ｅを出力し、位置情報のＳ／Ｎ比を向
上させるためには、撮像時間は、最大速度Ｖ_MAX で移動
したときの移動時間より短い時間に設定することが必要
である。しかし、所定量以上の電荷量を確保するため
は、一定時間以上の撮像時間が必要であり、実際には、
最大速度Ｖ_MAX よりやや遅い速度Ｖで移動したときの移
動時間に設定されることが好ましい。そして、撮像時間
は、ＸＹステージ１２の移動速度のばらつきに応じて任
意に設定変更可能であることが好ましい。

【００３６】このとき、万一、ＸＹステージ１２が速度
Ｖ以上で移動したときは、上記図２において、撮像中断
信号Ｅは出力されず、リニアエンコーダ１３からの次の
撮像開始信号Ｃに基づいて、前の撮像による画像信号が
出力されると同時に、次の撮像が開始される。

【００３７】図６は、本発明の第二の実施の形態におけ
る画像入力装置のブロック構成図である。本実施の形態
においては、ＸＹステージ１２に代わって、固定式のス
テージ１２’が設けられ、上記ＸＹステージ１２の移動
に代わって、ラインセンサ１７をＹ方向に移動させる。
具体的には、後述するラインセンサ１７をＹ方向に駆動
する駆動部４０が設けられ、ラインセンサ１７が所定距
離移動する毎にリニアエンコーダ４３から撮像同期信号
Ｂが出力される。この駆動部４０は、測定制御部２０内
のラインセンサ制御部２６からのラインセンサ制御信号
Ｊによって制御される。

【００３８】本実施の形態においても、上記第一の実施
の形態と同様に、リニアエンコーダ４３から出力される
撮像同期信号Ｂに基づいて撮像開始信号Ｃが出力され、
さらに、撮像同期信号Ｃに基づいて一定時間経過後に撮
像中断信号Ｅが出力される。従って、ラインセンサ１７
による撮像は、リニアエンコーダ４３の位置に同期した
撮像開始信号Ｃ出力時から開始され、撮像開始信号Ｃ発
生時から所定の一定時間経過後に出力される撮像中断信
号Ｅによって中断されるので、検出位置に同期し、且つ
一定の輝度値の画像データを得ることが可能となる。

【００３９】さらに、ラインセンサ１７は、ＸＹステー
ジ１２と比較して軽量であるので、その移動制御が比較
的容易である。従って、その速度変動がより低く抑えら
れ、より精度の高い正確な移動制御を行うことが可能と
なる。但し、その速度に変動があっても、本実施の形態
により、安定した画像データを得ることができる。

【００４０】図７は、本実施の形態におけるラインセン
サ１７を移動させるための駆動部４０を示す概略図であ
り、図７（ａ）はその上面図、図７（ｂ）は図７（ａ）
のＡＡ’線に沿った断面図である。

【００４１】図７（ａ）によれば、Ｘ方向に延びたライ
ンセンサ１７は、Ｙ方向に延びたスキャンガイド４１に
沿って移動する。リニアエンコーダ４３が、スキャンガ
イド４１に沿って配置され、ラインセンサ１７の位置
は、ラインセンサ１７と一体に設けられたエンコーダヘ
ッド４２により読み取られる。また、ラインセンサ１７
は、例えば、超音波モータ４４によって駆動される。

【００４２】また、上記本発明の実施の形態において、
一定の露光時間を確保するために、撮像開始信号Ｃ及び
撮像中断信号Ｅをラインセンサ１７の撮像のＯＮ／ＯＦ
Ｆを行う撮像制御部２３に出力する場合に限らず、例え
ば、光源１８のＯＮ／ＯＦＦなどを行う光源制御部２７
の制御信号として用いてもよい。さらに、光源１８又は
ラインセンサ１７に遮光機能を有するシャッタを設け、
その開閉信号して用いてもよい。

【００４３】このように、本発明の実施の形態において
は、ラインセンサ１７と被測定物のどちらか一方を移動
させることにより、被測定物の画像を撮像し、その移動
速度がばらついた場合においても、位置に同期し、且つ
一定の撮像時間の撮像が行われる。

【００４４】また、本実施の形態の画像入力装置は、図
１に示すように、ＸＹステージ１２が移動し、ラインセ
ンサ１７が固定である場合において、光学系１６はライ
ンセンサ１６と一体となっている即ちラインセンサとと
もに固定されている第一の構成、及び図６に示すよう
に、ＸＹステージ１２は固定であり、ラインセンサ１７
が移動する場合において、光学系１６はラインセンサ１
６と一体となっている即ちラインセンサ１７とともに移
動する第二構成に加えて、ＸＹステージ１２が移動し、
ラインセンサ１７が固定である場合において、光学系１
６はＸＹステージ１２と一体となっている即ちＸＹステ
ージ１２とともに移動する第三の構成（図示省略）、及
びＸＹステージ１２は固定であり、ラインセンサ１７が
移動する場合において、光学系１６はＸＹステージ１２
と一体となっている構成即ちＸＹステージ１２とともに
固定されている第四の構成（図示省略）の４つの構成に
おいて実現することが可能である。

【００４５】なお、第一の構成におけるステージ１２
は、ラインセンサ１７の走査方向と平行な軸を回転中心
とする回転ドラム型ステージであってもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
ラインセンサ又はＸＹステージを移動させて被測定物の
画像を撮像する画像入力装置において、その移動速度に
変動が生じた場合であっても、撮像された画像信号か
ら、位置ずれがなく、且つ一定の輝度値を有する安定し
た画像データを得ることが可能となる。

【００４７】さらに、撮像開始信号と撮像中断信号の出
力タイミングを制御して、毎回の撮像時間を短くするこ
とにより、ラインセンサ１７から出力される画像信号の
有する位置情報のＳ／Ｎ比を向上させることができる。

【００４８】また、ＸＹステージに代わって、ラインセ
ンサを移動させることにより、その移動速度をより正確
に制御することができるので、速度変動を最小限に抑え
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態における画像入力装
置のブロック構成図である。

【図２】撮像同期信号Ｂ、撮像開始信号Ｃ、クロック信
号Ｄ、撮像中断信号Ｅ及び撮像時間Ｔのタイミングチャ
ートである。

【図３】本発明の実施の形態における撮像開始信号Ｃ及
び撮像中断信号と蓄積された電荷量のタイミングチャー
トである。

【図４】各撮像における撮像範囲の蓄積された電荷量の
分布を示す図である。

【図５】ＸＹステージ１２の移動速度分布を示す図であ
る。

【図６】本発明の第二の実施の形態における画像入力装
置のブロック構成図である。

【図７】ラインセンサ１７の駆動部を示す概略図であ
る。

【図８】従来の画像入力装置の原理を示す図である。

【図９】従来の撮像同期信号と蓄積された電荷量のタイ
ミングチャートである。

【符号の説明】

１２ ＸＹステージ １３ リニアエンコーダ １７ ラインセンサ ２２ 撮像開始信号発生部 ２３ 撮像制御部 ２４ 撮像時間計測部 ２５ クロック信号発生部 ４０ 駆動部 ４３ リニアエンコーダ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】対象物を撮像して画像信号を出力する一次
   元光電変換素子を備えたラインセンサと、 該ラインセンサをその走査方向と直角な方向に移動させ
   る駆動手段と、 前記ラインセンサの一定距離の移動を検出する移動検出
   手段と、 該移動検出手段により検出される前記ラインセンサの一
   定距離移動毎に該ラインセンサによる撮像を開始し、該
   撮像開始から一定時間経過後に前記ラインセンサによる
   撮像を中断する測定制御手段とを備えていることを特徴
   とする画像入力装置。
2. 【請求項２】対象物を撮像して画像信号を出力する一次
   元光電変換素子を備えたラインセンサと、 前記対象物が載置されるステージと、 該ステージを前記ラインセンサの走査方向と直角な方向
   に移動させる駆動手段と、 前記ステージの一定距離の移動を検出する移動検出手段
   と、 該移動検出手段により検出される前記ステージの一定距
   離移動毎に前記ラインセンサによる撮像を開始し、該撮
   像開始から一定時間経過後に前記ラインセンサによる撮
   像を中断する測定制御手段とを備えていることを特徴と
   する画像入力装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、 前記測定制御手段は、前記移動検出手段により検出され
   た前記ラインセンサ又は前記ステージの一定距離移動毎
   に前記ラインセンサによる撮像を開始するための撮像開
   始信号を出力する撮像開始信号発生手段と、 該撮像開始信号出力時から一定時間経過後に前記ライン
   センサによる撮像を中断するための撮像中断信号を出力
   する撮像時間計測手段とを備えていることを特徴とする
   画像入力装置。
4. 【請求項４】請求項１乃至３において、 前記一定時間は変更設定可能であることを特徴とする画
   像入力装置。
5. 【請求項５】請求項１乃至３において、 前記一定時間は、前記ラインセンサ又は前記ステージの
   移動速度の最大速度付近で前記ラインセンサ又は前記ス
   テージが前記一定距離移動するに要する時間以下である
   ことを特徴とする画像入力装置。
6. 【請求項６】請求項１乃至３において、 前記一定距離は変更設定可能であることを特徴とする画
   像入力装置。