CN102066894B - 液晶阵列检查装置 - Google Patents

Abstract

一种液晶阵列检查装置，二维地对液晶基板上进行扫描并取得拍摄影像，基于取得的拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，该液晶阵列检查装置包括：平台，载置着液晶基板，并在Y轴方向上往返移动；拍摄装置，与平台隔开地配置于平台的上方位置；拍摄控制部，对拍摄装置的拍摄进行控制；平台驱动部，在Y轴方向上驱动平台；编码器，对平台驱动部的驱动马达的旋转状态进行检测；拍摄开始位置到达检测部，基于编码器的检测量与拍摄范围，检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的往程及返程的拍摄开始位置；以及拍摄开始触发信号生成部，基于拍摄开始位置到达检测部的输出，生成使拍摄控制部的拍摄开始的拍摄开始触发信号。

Description

液晶阵列检查装置

技术领域

本发明涉及一种使用对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄影像来对液晶阵列进行检查的液晶阵列检查装置，本发明特别涉及如下的液晶阵列检查装置，该液晶阵列检查装置使液晶基板在Y轴方向上往返移动，在往程及返程中沿着X轴方向进行扫描，并取得拍摄影像。

背景技术

对于液晶阵列检查装置而言，作为对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄影像，可使用以光学方式进行拍摄而获得的光学拍摄影像、或者在基板上二维地扫描电子光束或离子光束等的带电粒子光束而获得的扫描影像。

例如，如下的基板检查装置已为人所知，该基板检查装置是将检查信号施加至检查对象的液晶基板的阵列，在基板上二维地扫描电子光束或离子光束等的带电粒子光束，基于光束扫描所获得的扫描影像来进行基板检查。

在用于薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)显示(display)装置的TFT阵列基板的制造步骤中，检查所制造的TFT阵列基板是否正确地驱动，但在该TFT阵列基板检查中，使用例如电子光束作为带电粒子光束，借由对TFT阵列基板进行扫描来取得扫描影像，并基于该扫描影像来进行检查(专利文献1、专利文献2)。

为了使电子光束在液晶基板上二维地对阵列进行扫描，须使电子光束在X轴方向上摆动，并且使平台(stage)在Y轴方向上移动。

对于该利用了电子光束的扫描与平台的移动的扫描而言，从单一的电子枪照射出的电子光束能够以高精度来进行扫描而得的扫描宽度存在极限，因此，如下的构成已为人所知，即，将一个基板所具有的全部的扫描范围分成多个部分，并针对各部分来设置电子枪。而且，如下的控制方法已为人所知，即，将各电子枪的扫描范围分成排列在X轴方向上的多个路径(path)，在各路径内，交替地进行与液晶基板的1个像素(pixel)的Y轴方向的宽度相当的进给宽度的平台进给、及与1个像素的X轴方向的宽度相当的扫描宽度的光束扫描，借此来取得路径内的扫描影像。

图11(a)～图11(c)是用以对液晶基板上的电子光束的扫描进行说明的图。在图11(a)～图11(c)中，将多个电子枪(GUN1、GUN2、...)以规定间隔配置在液晶基板的X轴方向上，从该电子枪将电子光束照射至液晶基板上。在该电子光束的照射过程中，各电子枪在设定于液晶基板上的多个路径(在图11(a)～图11(c)中为路径1～路径4)的一个路径内，以扫描宽度Dx的宽度来扫描电子光束。借由电子枪的电子光束的摆动的动作，以路径为单位来扫描所述电子光束，在使一个路径向往程方向移动并进行拍摄之后，使平台移动，使相邻接的路径向返程方向移动并进行拍摄。在该平台移动时，仅移动与路径的宽度相当的平台移动宽度Lx。

图11(b)表示路径2的扫描状态，在往程中对图11(a)所示的路径1进行扫描并拍摄之后，使平台仅移动平台移动宽度Lx，接着在返程中对路径2进行扫描并拍摄。另外，图11(c)表示如下的状态，即，使平台从图11(b)的位置起仅移动平台移动宽度Lx，在往程中对路径3进行扫描并拍摄。如此，对设定于液晶基板上的全部的路径进行扫描。

在各路径的扫描中，利用拍摄装置来对液晶基板进行拍摄并取得拍摄影像。借由将在各扫描中所拍摄的拍摄影像加以组合来取得整个基板的拍摄影像。

将X轴方向的扫描与Y轴方向的平台的移动加以组合，借此来二维地对液晶基板进行拍摄。

在平台的Y轴方向的移动过程中，基于平台位置来对拍摄位置进行定位。借由该平台位置来对拍摄位置进行定位时，先前，将编码器(encoder)连结于可对平台进行驱动的驱动马达(motor)，使用该编码器的Z相信号来确定拍摄开始位置。

专利文献1：日本专利特开2004-271516号公报

专利文献2：日本专利特开2004-309488号公报

编码器的Z相信号是马达旋转一周仅输出一次的信号。因此，例如，当由于马达旋转一周，滚珠丝杠(ball screw)移动一个螺距(lead length)单位时，拍摄开始位置的定位精度为一个螺距单位。

对于滚珠丝杠的螺距而言，例如16mm的螺距已为人所知。当使用此种滚珠丝杠来对平台进行驱动时，拍摄开始位置的定位仅能够以16mm的间隔来进行位置调整。为了进行比滚珠丝杠的螺距更微小的定位，必须机械性地对马达本身的安装位置进行调整。

如上所述，当使液晶基板在往程与返程中沿着Y轴方向往返并取得拍摄影像时，必须在往程的拍摄开始位置、以及返程的拍摄开始位置的各拍摄开始位置进行定位。但是，当像先前那样使用编码器的Z相信号来在往程与返程的两个路径中，对拍摄开始位置进行定位时，定位精度取决于Z相信号的间隔，而且根据将移动方向从往程反转成返程或从返程反转成往程的反转装置、与Z相信号的输出位置的位置关系，拍摄开始位置有可能会产生位置偏移。

所述往程与返程的位置偏移的偏移宽度较可机械性地进行调整的调整宽度的范围更小，因此，存在难以正确地对拍摄开始位置进行位置调整的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于：解决所述先前的问题点，当使液晶基板在Y轴方向上往返移动并进行拍摄时，对往程及返程的拍摄开始位置进行调整。

在本发明中，代替编码器的Z相信号，使用相位彼此偏移90°的A相信号及B相信号来生成使拍摄开始的拍摄开始触发(trigger)信号，使用该拍摄开始触发信号来对拍摄装置进行控制，借此来使平台的Y轴方向的移动与拍摄同步，从而对往程及返程的拍摄开始位置进行调整。

本发明的液晶阵列检查装置二维地对液晶基板上进行扫描并取得拍摄影像，基于取得的拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，该液晶阵列检查装置包括：平台，载置着液晶基板，并在Y轴方向上往返移动；拍摄装置，与平台隔开地配置于平台的上方位置；拍摄控制部，对拍摄装置的拍摄进行控制；平台驱动部，在Y轴方向上驱动平台；编码器，对平台驱动部的驱动马达的旋转状态进行检测；拍摄开始位置到达检测部，基于编码器的检测量与拍摄范围，检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的往程及返程的拍摄开始位置；以及拍摄开始触发信号生成部，基于拍摄开始位置到达检测部的输出，生成使拍摄控制部的拍摄开始的拍摄开始触发信号。

拍摄控制部接收拍摄开始触发信号生成部所生成的拍摄开始触发信号，使拍摄装置开始拍摄，借此来使平台的往程及返程中的Y轴方向的位置与拍摄装置的拍摄开始位置同步。借由该同步控制，可使平台的往程及返程中的拍摄开始位置、与拍摄装置开始拍摄的位置一致。

本发明的拍摄开始位置到达检测部包括：计数(counter)部，根据编码器的相位彼此偏移90°的A相信号与B相信号而成的检测信号，对相当于平台的移动量的计数值进行计数；以及比较部，对相当于液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置的值与计数部所计数的计数值进行比较。

在比较部的比较处理中，当相当于端部位置的值与相当于平台的移动量的计数值一致时，本发明的拍摄开始触发信号生成部接收该比较部所产生的一致信号之后，生成拍摄开始触发信号。

拍摄控制部从拍摄开始触发信号生成部接收拍摄开始触发信号之后，使拍摄装置开始对液晶基板进行拍摄。借此，拍摄装置开始拍摄的液晶基板上的位置、与液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置即往程或返程的拍摄开始位置一致。

另外，本发明的液晶阵列检查装置可根据作为检查对象的基板的种类来求出拍摄范围，并将拍摄开始位置予以对准。

在此情况下，本发明的拍摄开始位置到达检测部包括存储部，该存储部将液晶基板的拍摄范围信息与用来特别指定该液晶基板的种类的基板种类信息相关联地加以存储。拍摄范围信息包含Y轴方向的端部位置的位置信息，且可获得往程或返程的拍摄开始位置的位置信息。

拍摄开始位置到达检测部基于基板种类信息，从存储于存储部的液晶基板的拍摄范围信息中，将与液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置相当的值予以读出，在比较部中，对读出的相当于Y轴方向的端部位置的值与计数值进行比较，并基于比较结果来检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的拍摄开始位置，以生成拍摄开始触发信号。

根据该构成，将各种基板的拍摄范围信息保存在存储部中，以基板种类信息来特别指定并将拍摄范围信息予以读出，借此，可对应于作为检查对象的基板来将拍摄开始位置予以对准。

另外，对于本发明的液晶阵列检查装置而言，当设置于液晶阵列检查装置的基板的定位存在位置偏移时，借由使用预先求出的液晶基板的对准(alignment)信息，可进行修正了位置偏移的拍摄。

根据该构成，拍摄开始位置到达检测部包括对拍摄范围的位置偏移进行修正的修正部。该修正部将液晶基板的对准信息予以输入，并将该对准信息的液晶基板的位置偏移量与拍摄范围位置相加，对液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置进行修正。

本发明的拍摄装置可适用于借由光学性拍摄来取得拍摄影像的拍摄装置、或者如下的拍摄装置，该拍摄装置照射出电子射线，对从液晶基板放出的二次电子进行检测，并根据检测强度来取得拍摄影像。

[发明的效果]

根据本发明，当使液晶基板在Y轴方向上往返移动并进行拍摄时，可对往程及返程的拍摄开始位置进行调整。

另外，根据本发明的形态，可根据作为检查对象的基板的种类来求出拍摄范围，将拍摄开始位置予以对准。

另外，根据本发明的其他形态，可使用液晶基板的对准信息来进行修正了位置偏移的拍摄。

附图说明

图1是用以对本发明的液晶阵列检查装置的构成例进行说明的概略方块图。

图2(a)～图2(g)是用以对拍摄开始位置到达检测部与Y轴同步单元中的信号进行说明的图。

图3是用以对本发明的液晶阵列检查装置所具有的平台的往返移动进行说明的图。

图4(a)、图4(b)是用以对基于平台的往返移动的拍摄进行说明的图。

图5(a)、图5(b)是用以对基于平台的往返移动的拍摄进行说明的图。

图6(a)、图6(b)是用以对基于平台的往返移动的拍摄进行说明的图。

图7(a)、图7(b)是用以对基于平台的往返移动的拍摄进行说明的图。

图8(a)～图8(c)是用以对位置偏移的修正进行说明的图，且是表示无位置偏移的状态的图。

图9(a)、图9(b)是用以对位置偏移的修正进行说明的图，且是表示基板从预定位置向图的上方方向产生位置偏移的状态的图。

图10(a)、图10(b)是用以对位置偏移的修正进行说明的图，且是表示基板从预定位置向图的下方方向产生位置偏移的状态的图。

图11(a)～图11(c)是用以对液晶基板上的电子光束的扫描进行说明的图。

[符号的说明]

1：液晶阵列检查装置               2：拍摄装置

3：平台                           4：平台驱动部

5：编码器                         6：影像处理部

7：缺陷判定部                     11：拍摄开始位置到达检测部

11a：计数部                       11b：比较部

11c：存储部                       11d：输入部

11e：设定部                       11f：读写部

11g：修正部                       12：拍摄控制部

13：Y轴同步单元                   13a：拍摄开始触发信号生成部

14：平台驱动控制部                20：平台

21：拍摄范围                      22：往程

23：返程                          24：拍摄位置

25：拍摄完成范围                  31：往程拍摄开始位置

32：往程拍摄结束位置              33：返程拍摄开始位置

34：返程拍摄结束位置              Dx：扫描宽度

Lx：平台移动宽度                  GUN1、GUN2：电子枪

y0、ya、ya+d、ya-Δy、ya+Δy：平台位置

ya、ya-Δy：往程拍摄开始位置       ya-Δy、ya+Δy：偏移位置

ya+Δy：往程拍摄开始修正位置       ya+d：往程拍摄位置

Δy：位置偏移量

具体实施方式

以下，一边参照附图，一边详细地对本发明的实施方式进行说明。

图1是用以对本发明的液晶阵列检查装置的构成例进行说明的概略方块图。

再者，在图1所示的例子中，表示了以光学方式来拍摄液晶基板并取得拍摄影像的构成例，但也可适用于如下的构成例，即，将电子射线照射至液晶基板，对从该液晶基板放出的二次电子进行检测，且根据检测强度来取得拍摄影像。

在图1中，液晶阵列检查装置1包括用以载置液晶基板(未图示)的平台3、与该平台3隔开地配置在该平台3的上方位置的拍摄装置2、对该拍摄装置2的拍摄进行控制的拍摄控制部12、根据拍摄装置2的拍摄信号来生成拍摄范围的拍摄影像的影像处理部6、以及根据该影像处理部6所生成的液晶基板的拍摄影像来对阵列的缺陷进行检查的缺陷判定部7。再者，所述液晶阵列检查装置1包括扫描控制部，该扫描控制部在借由电子射线照射来取得拍摄影像的情况下，与平台3隔开地将电子枪、与对从液晶基板放出的二次电子进行检测的检测器配置于平台3的上方位置，并对从电子枪照射出的电子射线的X轴方向的扫描进行控制。

平台3载置着液晶基板(未图示)，并且借由平台驱动部4来自如地在X轴方向及Y轴方向上移动。平台驱动部4由驱动马达及滚珠丝杠等的驱动机构所构成，借由平台驱动控制部14的驱动控制来对平台的移动量或移动方向进行控制。

编码器5连结于平台驱动部4的驱动马达。编码器5将驱动马达的旋转状态作为A相信号、B相信号、以及Z相信号而输出。A相信号以及B相信号是相位彼此偏移90°的信号，在驱动马达旋转一周的过程中，通常会输出多个信号。借由使用该A相信号以及B相信号，可对驱动马达的旋转速度或从基准点算起的旋转量等进行检测。另外，在驱动马达旋转一周的过程中，将Z相信号输出一次。编码器5对将平台3予以驱动的驱动马达的旋转状态进行检测，因此，可根据编码器5的输出来了解平台3的移动状态。

本发明的液晶阵列检查装置1除了包括所述拍摄装置2及平台3的机构之外，还包括拍摄开始位置到达检测部11与Y轴同步单元(unit)13。拍摄开始位置到达检测部11检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的拍摄开始位置，Y轴同步单元13基于该拍摄开始位置到达检测部11的输出来生成拍摄开始触发信号。借由该构成，可使液晶基板的拍摄开始位置与拍摄装置的拍摄的同步一致。

图2(a)～图2(g)是用以对拍摄开始位置到达检测部11与Y轴同步单元13中的信号进行说明的图。

拍摄开始位置到达检测部11采用如下的构成，即，检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的拍摄开始位置，该拍摄开始位置到达检测部11包括计数部11a、比较部11b、存储部11c、以及读写部11f。

计数部11a从编码器5将A相信号及B相信号予以输入，并基于该A相信号及B相信号，对与平台3的Y轴方向的位置相当的计数值进行计数。图2(a)表示A相信号，图2(b)表示B相信号。A相信号与B相信号的相位彼此偏移90°后被输出。

计数部11a例如对于A相信号、B相信号，在上升及下降的时点形成计数信号，并对该计数信号进行计数。图2(e)表示对计数信号进行计数所获得的计数值。

例如，可借由来自平台驱动控制部14的重置(reset)信号来对计数部11a的计数值进行重置。图2(d)为重置信号的例子，图2(e)的计数信号基于重置信号而被从“m”重置成“0”。再者，此处，虽然表示了借由重置来将计数值设为“0”的例子，但是也可设定为“0”以外的规定的数值。计数值相当于平台3的Y轴方向的位置，借由重置信号来设定为规定值，由此，可表示从已设定的位置算起的位置。

比较部11b对计数部11a的计数值与表示拍摄范围的数值进行比较，当计数值与拍摄范围的数值一致时，判定为平台已到达拍摄范围的拍摄开始位置。

拍摄范围的拍摄开始位置信息预先存储于存储部11c，借由读写部11f来将该拍摄范围的拍摄开始位置信息予以读出。借由读写部11f来将拍摄范围的拍摄开始位置信息从存储部11c中读出，比较部11b对该拍摄范围的拍摄开始位置信息与从计数部11a输入的计数值进行比较。图2(f)表示比较部11b的比较输出。此处，将拍摄范围的拍摄开始位置设定为“10”。在此情况下，当图2(e)的计数值达到“10”时，借由比较部11b来将比较输出予以输出。

比较部11b的比较输出被发送至Y轴同步单元13的拍摄开始触发信号生成部13a，生成拍摄开始触发信号(图2(g))。拍摄开始触发信号被发送至拍摄控制部12，借由拍摄控制信号来使拍摄装置2开始拍摄。

存储于存储部11c的拍摄范围的拍摄开始位置信息经由设定部11e而被输入，可借由读写部11f来写入该拍摄开始位置信息。设定部11e可将包含拍摄范围的拍摄开始位置信息的与液晶基板相关的基板信息予以输入并存储于存储部11c。基板信息除了可为拍摄范围的拍摄开始位置信息之外，也可为包含液晶基板的基板种类、像素或路径的个数或尺寸等的信息。

拍摄范围的拍摄开始位置信息与液晶基板的基板种类相关联地存储在存储部11c中，借此，可将液晶基板的基板种类作为搜索关键字来将相对应的基板的拍摄范围的拍摄开始位置信息予以读出。

例如，可从输入部11d将基板种类信息予以输入，借由读写部11f来将基板种类信息作为搜索关键字，并从存储部11c中将相对应的基板的拍摄开始位置信息予以读出。

拍摄开始位置到达检测部11可包括修正部11g。修正部11g基于输入部11d所输入的对准信息，对从存储部11c读出的拍摄开始位置信息进行修正，并将修正后的拍摄开始位置信息发送至比较部11b。

对准信息表示基板相对于平台的偏移量。当载置在平台3上的液晶基板(未图示)无位置偏移地正确地定位于平台3的基准位置时，基于由拍摄开始位置信息所确定的位置来确定拍摄范围，借此，可对液晶基板上的作为目标的拍摄范围进行拍摄，但当产生位置偏移时，在液晶基板上，实际所拍摄的拍摄范围与作为目标的拍摄范围之间会产生偏移。

以下，使用图3～图10(a)、图10(b)来对本发明的液晶阵列检查装置1的动作进行说明。图3是用以对本发明的液晶阵列检查装置1所具有的平台的往返移动进行说明的图，图4(a)、图4(b)～图7(a)、图7(b)是用以对基于平台的往返移动的拍摄进行说明的图。另外，图8(a)～图8(c)、图9是用以对拍摄范围的修正进行说明的图。

在图3中，液晶阵列检查装置1对配置于平台20上的液晶基板的拍摄范围21(由虚线表示)进行拍摄。在该拍摄过程中，使平台20在Y轴方向上往返移动，沿着往程22及返程23的各路径来进行拍摄。对于拍摄范围21的Y轴方向的范围而言，往程22取决于由往程拍摄开始位置31(xa，ya)与往程拍摄结束位置32(xa，yb)所包夹的范围，返程23取决于返程拍摄开始位置33(xb，yb)与返程拍摄结束位置34(xb，ya)。再者，往程拍摄开始位置31(xa，ya)与返程拍摄结束位置34(xb，ya)在Y轴方向上处于相同位置，往程拍摄结束位置32(xa，yb)与返程拍摄开始位置33(xb，yb)在Y轴方向上处于相同位置，但也可借由Y轴方向上的不同的位置来确定拍摄范围21。

在图4(a)、图4(b)～图7(a)、图7(b)中，拍摄位置24为设置着拍摄装置的位置，Y轴方向的位置y0为相对于液晶阵列检查装置1而保持固定的位置。另一方面，往程拍摄开始位置31(xa，ya)、往程拍摄结束位置32(xa，yb)、返程拍摄开始位置33(xb，yb)、以及返程拍摄结束位置34(xb，ya)为平台20上的位置，这些位置随着平台20的移动，相对于拍摄位置24的Y轴方向的位置y0而向Y轴方向移动。借由该拍摄位置24与平台20的相对移动来对载置在平台20上的液晶基板的拍摄范围进行拍摄。

再者，在图4(a)、图4(b)～图7(a)、图7(b)中，借由使平台20向图中的上方移动来进行往程的拍摄，借由使平台20向图中的下方移动来进行返程的拍摄。

图4(a)表示往程拍摄开始位置31尚未到达拍摄位置24的状态。图4(b)表示如下的状态，即，使平台20从图4(a)的状态起向图中的上方移动，往程拍摄开始位置31已到达拍摄位置24。

可借由所述拍摄开始位置到达检测部11来判定往程拍摄开始位置31是否已到达拍摄位置24，在比较部11b中对计数值与往程拍摄开始位置31的位置信息进行比较，借此来进行所述判定，所述计数值是基于对平台20的驱动量进行检测的编码器的输出而得。

Y轴同步单元13的拍摄开始触发信号生成部13a接收该比较结果并将拍摄开始触发信号发送至拍摄控制部12。该拍摄控制部12接收拍摄开始触发信号之后，对拍摄装置2进行控制来使拍摄开始。

图5(a)表示往程中的拍摄状态。图5(a)中的拍摄完成范围25表示拍摄范围21内，由于平台20移动，由拍摄装置2完成了拍摄的范围。

图5(b)表示往程的拍摄已结束的状态，且表示由于平台20的移动，往程拍摄结束位置32已到达拍摄位置24的状态。图5(b)中的拍摄完成范围25将拍摄范围21的整个范围作为拍摄完成范围。

由于平台20的移动，往程拍摄结束位置32到达拍摄位置24之后，使平台20的移动方向反转并沿着返程来进行拍摄。在从该往程变成返程的反转过程中，使拍摄位置24向相邻接的路径移动。例如，使平台20向X轴方向移动，借此，可使拍摄位置24向相邻接的路径移动。代替使平台20向X轴方向移动，也可使拍摄装置2向X轴方向的相反方向移动。

可借由所述拍摄开始位置到达检测部11来判定往程拍摄结束位置32是否已到达拍摄位置24，在比较部11b中对计数值与往程拍摄结束位置32的位置信息进行比较，借此来进行所述判定，所述计数值是基于对平台20的驱动量进行检测的编码器的输出而得。

Y轴同步单元13的拍摄开始触发信号生成部13a接收该比较结果并将拍摄停止触发信号发送至拍摄控制部12。该拍摄控制部12接收拍摄停止触发信号之后，对拍摄装置2进行控制来使拍摄停止。

在使拍摄位置24移动至下一路径之后，进行返程的拍摄。返程的拍摄可与所述往程的拍摄同样地进行。

图6(a)表示如下的状态，即，使平台20从图5(b)的状态向图中的左方移动，使拍摄位置24移动至下一路径。

可借由拍摄开始位置到达检测部11来判定返程拍摄开始位置33是否已到达拍摄位置24，在比较部11b中对计数值与返程拍摄开始位置33的位置信息进行比较，借此来进行所述判定，所述计数值是基于对平台20的驱动量进行检测的编码器的输出而得。

Y轴同步单元13的拍摄开始触发信号生成部13a接收该比较结果并将拍摄开始触发信号发送至拍摄控制部12。该拍摄控制部12接收拍摄开始触发信号之后，对拍摄装置2进行控制来使拍摄开始。

再者，在图6(a)中，往程拍摄结束位置与返程拍摄开始位置的Y轴方向的位置为相同位置，因此，平台20不向Y轴方向移动而是借由X轴方向的移动来移动至下一路径之后，到达可开始拍摄的位置。

当往程拍摄结束位置32与返程拍摄开始位置33在Y轴方向上为不同的位置时，使平台20移动，直至返程拍摄开始位置33为到达拍摄位置24的位置为止。

图6(b)表示返程中的拍摄状态。图6(b)中的拍摄完成范围25表示拍摄范围21内，由于平台20移动，由拍摄装置2完成了拍摄的范围。

图7(a)表示返程的拍摄已结束的状态，且表示由于平台20的移动，返程拍摄结束位置34已到达拍摄位置24的状态。图7(a)中的拍摄完成范围25将拍摄范围21的整个范围作为拍摄完成范围。

由于平台20的移动，返程拍摄结束位置34到达拍摄位置24之后，使平台20的移动方向反转并沿着往程来进行拍摄。在从该返程变成往程的反转过程中，如上所述，使拍摄位置24向相邻接的路径移动。

可借由拍摄开始位置到达检测部11来判定返程拍摄结束位置34是否已到达拍摄位置24，在比较部11b中对计数值与返程拍摄结束位置34的位置信息进行比较，借此来进行所述判定，所述计数值是基于对平台20的驱动量进行检测的编码器的输出而得。

Y轴同步单元13的拍摄开始触发信号生成部13a接收该比较结果并将拍摄停止触发信号发送至拍摄控制部12。该拍摄控制部12接收拍摄停止触发信号之后，对拍摄装置2进行控制来使拍摄停止。

在使拍摄位置24移动至下一路径之后，进行下一往程的拍摄。可与所述往程的拍摄同样地进行往程的拍摄。

图7(b)表示如下的状态，即，使平台20从图7(a)的状态向图中的左方移动，使拍摄位置24移动至下一路径。

可借由拍摄开始位置到达检测部11来判定往程拍摄开始位置31是否已到达拍摄位置24，在比较部11b中对计数值与往程拍摄开始位置31的位置信息进行比较，借此来进行所述判定，所述计数值是基于对平台20的驱动量进行检测的编码器的输出而得。

Y轴同步单元13的拍摄开始触发信号生成部13a接收该比较结果并将拍摄开始触发信号发送至拍摄控制部12。该拍摄控制部12接收拍摄开始触发信号之后，对拍摄装置2进行控制来使拍摄开始。同样地，将往程及返程的拍摄予以重复，借此来对液晶基板的整个拍摄范围进行拍摄。

接着，使用图8(a)～图8(c)至图10(a)、图10(b)来对位置偏移的修正进行说明。图8(a)～图8(c)表示无位置偏移的情况，图9(a)、图9(b)表示载置的基板的位置向图的上方的方向偏离预定位置的情况，图10(a)、图10(b)表示载置的基板的位置向图的下方的方向偏离预定位置的情况。

再者，在图8(a)～图8(c)至图10(a)、图10(b)中，往程拍摄开始位置ya表示液晶基板上的位置，平台位置表示将液晶阵列检查装置作为基准时的平台的位置。另外，在图8(a)～图8(c)至图10(a)、图10(b)中，图中的下方方向表示Y轴方向上增加的方向。

图8(a)～图8(c)表示如下的情况，即，导入至液晶阵列检查装置的基板载置于平台上的预定的位置，且该基板与预定位置之间无位置偏移。

图8(a)表示往程拍摄开始位置31尚未到达拍摄位置24的状态，图8(b)表示如下的状态，即，使平台20从图8(a)的状态起向图中的上方移动，往程拍摄开始位置31已到达拍摄位置24。该图8(a)、图8(b)的状态表示与图4(a)、图4(b)的状态相同的状态。图8(c)表示往程中的拍摄状态，平台位置“ya+d”表示从平台位置“ya”只向Y轴方向移动d的状态。

当基板的位置向图的上方方向偏离预定位置时，如图9(a)、图9(b)所示，液晶基板的拍摄开始位置偏移至比原本预定的拍摄开始位置ya更靠图中的上方处。图9(a)表示位置偏移后的状态，浓实线表示位置偏移后的液晶基板位置，浅实线表示原本预定的液晶基板位置。

此处，位置偏移后的液晶基板的往程拍摄开始位置向Y轴方向的负方向(图中的上方的方向)而自无位置偏移时的往程拍摄开始位置“ya”偏离，因此，由“ya-Δy”表示。

对于该位置偏移，以“ya”只与位置偏移量“-Δy”相加的方式来对平台位置进行修正，以形成往程拍摄开始位置“ya-Δy”。借此，可对基板的位置偏移进行修正并进行拍摄。图9(b)表示修正后的状态。

另外，当基板的位置向图的下方的方向偏离预定位置时，如图10(a)、图10(b)所示，液晶基板的拍摄开始位置偏移至比原本预定的拍摄开始位置ya更靠图中的下方。图10(a)表示位置偏移后的状态，浓实线表示位置偏移后的液晶基板位置，浅实线表示原本预定的液晶基板位置。

此处，位置偏移后的液晶基板的往程拍摄开始位置向Y轴方向的正方向(图中的下方的方向)而自无位置偏移时的往程拍摄开始位置“ya”偏离，因此，由“ya+Δy”表示。

对于该位置偏移，以“ya”只与位置偏移量“+Δy”相加的方式来对平台位置进行修正，以形成往程拍摄开始位置“ya+Δy”。借此，可对基板的位置偏移进行修正并进行拍摄。图10(b)表示修正后的状态。

可根据对准信息来取得所述位置偏移量，可在修正部11g中进行修正运算。

产业上的可利用性

本发明的扫描光束装置可适用于电子射线显微分析仪(micro-analyser)、扫描电子显微镜、以及X射线分析装置等。

Claims (4)

1.一种液晶阵列检查装置，二维地对液晶基板上进行扫描并取得拍摄影像，基于所述拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，其特征在于包括：

平台，载置着所述液晶基板，并在Y轴方向上往返移动；

拍摄装置，与所述平台隔开地配置于所述平台的上方位置；

拍摄控制部，对所述拍摄装置的拍摄进行控制；

平台驱动部，在Y轴方向上驱动所述平台；

编码器，对所述平台驱动部的驱动马达的旋转状态进行检测；

拍摄开始位置到达检测部，基于所述编码器的检测量与拍摄范围，检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的往程及返程的拍摄开始位置；以及

拍摄开始触发信号生成部，基于所述拍摄开始位置到达检测部的输出，生成使所述拍摄控制部的拍摄开始的拍摄开始触发信号，

所述拍摄控制部接收所述拍摄开始触发信号生成部所生成的拍摄开始触发信号，使拍摄装置开始拍摄，借此来使平台的往程及返程中的Y轴方向的位置与拍摄装置的拍摄开始位置同步；

所述拍摄开始位置到达检测部包括：

计数部，根据所述编码器的相位彼此偏移90°的A相信号与B相信号而成的检测信号，对相当于平台的移动量的计数值进行计数；以及

比较部，对相当于液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置的值与所述计数部所计数的计数值进行比较，

在所述比较部的比较中，当相当于所述端部位置的值与相当于平台的移动量的计数值一致时，拍摄开始触发信号生成部基于所述比较部所产生的一致信号来生成拍摄开始触发信号。

2.根据权利要求1所述的液晶阵列检查装置，其特征在于，

所述拍摄开始位置到达检测部包括存储部，该存储部将液晶基板的拍摄范围信息与用来特别指定所述液晶基板的种类的基板种类信息相关联地加以存储，

所述拍摄开始位置到达检测部基于所述基板种类信息，从存储于所述存储部的液晶基板的拍摄范围信息中，将与液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置相当的值予以读出。

3.根据权利要求1所述的液晶阵列检查装置，其特征在于，

所述拍摄开始位置到达检测部包括修正部，该修正部将液晶基板的对准信息予以输入，并将所述对准信息的液晶基板的位置偏移量与拍摄范围位置相加，对液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置进行修正。

4.根据权利要求2所述的液晶阵列检查装置，其特征在于，

所述拍摄开始位置到达检测部包括修正部，该修正部将液晶基板的对准信息予以输入，并将所述对准信息的液晶基板的位置偏移量与拍摄范围位置相加，对液晶基板上的拍摄范围的Y轴方向的端部位置进行修正。

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