JP2006208899A - 検査装置および電気光学装置の検査方法 - Google Patents
検査装置および電気光学装置の検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 明視方向が異なる複数種類の電気光学装置を容易に正しい明視方向から検査で
きるようにする。
【解決手段】 反射部材７０は、表面が鏡面加工されており、支持部材６０Ａ，６０Ｂの
梁部６２に固定するための軸７１Ａと軸７１Ｂとを、その側面部に有している。この軸７
１Ａ，７１Ｂには、ナット８０Ａ，８０Ｂに螺合するようにネジが切ってあり、軸７１Ａ
，７１Ｂは、梁部６２に挿入されると、梁部６２に設けられている貫通孔により支持され
、その一部が梁部６２の表面から突出する。液晶パネル１００の検査者が、貫通孔から突
出した軸７１Ａ，７１Ｂにナット８０Ａ，８０Ｂを嵌め合わせ、反射部材７０の位置およ
び傾斜角度を液晶パネルの明視方向に合わせて調整して固定すると、検査者は本体部１０
の前方にいながら、検査ステージ４０上に固定された液晶パネル１００を明視方向から視
認するのと同様に観察することができる。
【選択図】 図２
きるようにする。
【解決手段】 反射部材７０は、表面が鏡面加工されており、支持部材６０Ａ，６０Ｂの
梁部６２に固定するための軸７１Ａと軸７１Ｂとを、その側面部に有している。この軸７
１Ａ，７１Ｂには、ナット８０Ａ，８０Ｂに螺合するようにネジが切ってあり、軸７１Ａ
，７１Ｂは、梁部６２に挿入されると、梁部６２に設けられている貫通孔により支持され
、その一部が梁部６２の表面から突出する。液晶パネル１００の検査者が、貫通孔から突
出した軸７１Ａ，７１Ｂにナット８０Ａ，８０Ｂを嵌め合わせ、反射部材７０の位置およ
び傾斜角度を液晶パネルの明視方向に合わせて調整して固定すると、検査者は本体部１０
の前方にいながら、検査ステージ４０上に固定された液晶パネル１００を明視方向から視
認するのと同様に観察することができる。
【選択図】 図２
Description
本発明は、電気光学装置を検査する検査装置に関する。
携帯電話機やＰＤＡ（Personal Digital Assistance）等で表示手段として用いられる
液晶パネルは、製造工程での不具合により画素欠陥や色度欠陥などの様々な欠陥が生じる
。従来、このような様々な欠陥を検査する際には、例えば、特許文献１〜４に開示された
技術が用いられている。特許文献１には、検査者の視線と本体部に載置された液晶パネル
の表示面とが直交するように、本体部を傾斜させた検査装置が開示されている。この検査
装置によれば、検査者は液晶パネルを覗き込むような姿勢を取ることなく液晶パネルの検
査を行うことができる。また、特許文献２には、可動ステージ上に液晶パネルを載置し、
可動ステージの上方および斜め上方に配置されたセンサにより、液晶パネルの表示面に垂
直な方向と、液晶パネルの表示面の斜め上方とから欠陥を検出する検査装置が開示されて
いる。この検査装置によれば、複数の方向から液晶パネルを検査するため、一方向からで
は見つけにくい欠陥を容易に見つけることができる。また、特許文献３には、液晶パネル
の上方に配置された鏡に液晶パネルを映し、鏡に映った液晶パネルをカメラで撮影して欠
陥を検査する検査装置が開示されている。この検査装置によれば、液晶パネルの上方から
でなくとも液晶パネルを検査することができる。また、特許文献４には、液晶パネルが載
置された測定台と、液晶パネルを撮影するカメラを移動および回転させることが可能な検
査装置が開示されている。この検査装置によれば、液晶パネルを様々な角度から検査する
ことが可能となり、一方向からでは見つけにくい欠陥を容易に見つけることができる。
特開平１−１２４７４０号公報
特開平５−１７２７６０号公報
特開平９−２５８１５６号公報
特開平７−３５６４５号公報
液晶パネルは、製造工程での不具合により画素欠陥や色度欠陥などの様々な欠陥が生じる
。従来、このような様々な欠陥を検査する際には、例えば、特許文献１〜４に開示された
技術が用いられている。特許文献１には、検査者の視線と本体部に載置された液晶パネル
の表示面とが直交するように、本体部を傾斜させた検査装置が開示されている。この検査
装置によれば、検査者は液晶パネルを覗き込むような姿勢を取ることなく液晶パネルの検
査を行うことができる。また、特許文献２には、可動ステージ上に液晶パネルを載置し、
可動ステージの上方および斜め上方に配置されたセンサにより、液晶パネルの表示面に垂
直な方向と、液晶パネルの表示面の斜め上方とから欠陥を検出する検査装置が開示されて
いる。この検査装置によれば、複数の方向から液晶パネルを検査するため、一方向からで
は見つけにくい欠陥を容易に見つけることができる。また、特許文献３には、液晶パネル
の上方に配置された鏡に液晶パネルを映し、鏡に映った液晶パネルをカメラで撮影して欠
陥を検査する検査装置が開示されている。この検査装置によれば、液晶パネルの上方から
でなくとも液晶パネルを検査することができる。また、特許文献４には、液晶パネルが載
置された測定台と、液晶パネルを撮影するカメラを移動および回転させることが可能な検
査装置が開示されている。この検査装置によれば、液晶パネルを様々な角度から検査する
ことが可能となり、一方向からでは見つけにくい欠陥を容易に見つけることができる。
さて、液晶パネルは、使用される機器に応じてその仕様が異なり、例えば、携帯電話機
に使用される液晶パネルにおいては、画面を見ながらの操作が容易となるように明視方向
が設定され、一方、他人から画面を見られるのを防止したいような機器においては、特定
の方向からのみ画像を視認できるように明視方向が設定される。液晶パネルの製造者は、
このように多種多様な液晶パネルを製造し、各液晶パネル固有の明視方向から各種不良を
検査することとなるが、パネルの種類毎に検査装置を設けるのは非効率的であるため、一
台の検査装置で複数種類の液晶パネルを検査できるのが望ましい。
に使用される液晶パネルにおいては、画面を見ながらの操作が容易となるように明視方向
が設定され、一方、他人から画面を見られるのを防止したいような機器においては、特定
の方向からのみ画像を視認できるように明視方向が設定される。液晶パネルの製造者は、
このように多種多様な液晶パネルを製造し、各液晶パネル固有の明視方向から各種不良を
検査することとなるが、パネルの種類毎に検査装置を設けるのは非効率的であるため、一
台の検査装置で複数種類の液晶パネルを検査できるのが望ましい。
しかしながら、特許文献１に開示された検査装置においては、検査者は、液晶パネルの
表示面に垂直な方向からしか液晶パネルを目視することができないため、特定方向からの
み画像を視認できるような液晶パネルを検査することができない。また、特許文献２に開
示された検査装置においては、液晶パネルの表示面に垂直な方向以外からも液晶パネルを
検査することができるものの、液晶パネルの種類が複数となれば、その種類に応じて様々
な方向にセンサを設けることとなるため、装置をコンパクトで且つ安価に製造することが
できないという不具合が生じる。また、特許文献３に開示された検査装置においては、液
晶パネルの表示面に垂直な方向に設けられた鏡に液晶パネルを映し、鏡に映った液晶パネ
ルをカメラで撮影して欠陥を検査する構造となっているため、垂直方向以外の特定方向か
らのみ画像を視認できるような液晶パネルを検査することができない。また、特許文献４
に開示された検査装置においては、カメラまたは液晶パネルを任意の位置に移動および回
転させることができるため、特定方向からのみ画像を視認できるような液晶パネルを検査
することも可能であるが、カメラおよび液晶パネルを移動・回転させるために装置が大掛
かりとなり、装置のコストを安価に抑えることができないという問題がある。
表示面に垂直な方向からしか液晶パネルを目視することができないため、特定方向からの
み画像を視認できるような液晶パネルを検査することができない。また、特許文献２に開
示された検査装置においては、液晶パネルの表示面に垂直な方向以外からも液晶パネルを
検査することができるものの、液晶パネルの種類が複数となれば、その種類に応じて様々
な方向にセンサを設けることとなるため、装置をコンパクトで且つ安価に製造することが
できないという不具合が生じる。また、特許文献３に開示された検査装置においては、液
晶パネルの表示面に垂直な方向に設けられた鏡に液晶パネルを映し、鏡に映った液晶パネ
ルをカメラで撮影して欠陥を検査する構造となっているため、垂直方向以外の特定方向か
らのみ画像を視認できるような液晶パネルを検査することができない。また、特許文献４
に開示された検査装置においては、カメラまたは液晶パネルを任意の位置に移動および回
転させることができるため、特定方向からのみ画像を視認できるような液晶パネルを検査
することも可能であるが、カメラおよび液晶パネルを移動・回転させるために装置が大掛
かりとなり、装置のコストを安価に抑えることができないという問題がある。
本発明は、上述した背景の下になされたものであり、その目的は、明視方向が異なる複
数種類の電気光学装置を容易に正しい明視方向から検査できるようにすることにある。
数種類の電気光学装置を容易に正しい明視方向から検査できるようにすることにある。
上述した課題を解決するために本発明は、電気光学装置を固定するステージと、前記ス
テージに固定された電気光学装置を駆動する駆動手段と、前記ステージに固定された電気
光学装置の明視方向を含む任意の方向に移動可能であり、光を反射する反射部材と、移動
された前記反射部材の位置を固定すると共に、該反射部材により反射される前記電気光学
装置からの光が前記電気光学装置を検査する検査手段の方向へ進むように前記反射部材の
傾斜角度を固定する固定手段とを有する検査装置を提供する。
この検査装置によれば、反射部材の位置を検査対象となる電気光学装置の明視方向に固
定すると共に、電気光学装置からの光が電気光学装置を検査する検査手段の方向へ進むよ
うに反射部材の傾斜角度を固定するので、明視方向から検査するのと同様に電気光学装置
を検査することができる。
なお、この検査装置においては、前記ステージに載置された電気光学装置の背面へ光を
照射する背面光源を設けるようにしてもよい。
テージに固定された電気光学装置を駆動する駆動手段と、前記ステージに固定された電気
光学装置の明視方向を含む任意の方向に移動可能であり、光を反射する反射部材と、移動
された前記反射部材の位置を固定すると共に、該反射部材により反射される前記電気光学
装置からの光が前記電気光学装置を検査する検査手段の方向へ進むように前記反射部材の
傾斜角度を固定する固定手段とを有する検査装置を提供する。
この検査装置によれば、反射部材の位置を検査対象となる電気光学装置の明視方向に固
定すると共に、電気光学装置からの光が電気光学装置を検査する検査手段の方向へ進むよ
うに反射部材の傾斜角度を固定するので、明視方向から検査するのと同様に電気光学装置
を検査することができる。
なお、この検査装置においては、前記ステージに載置された電気光学装置の背面へ光を
照射する背面光源を設けるようにしてもよい。
この検査装置においては、光源と、前記電気光学装置から見て前記反射部材の背面方向
に前記光源を固定する光源固定手段とを有し、前記反射部材は、前記ステージに固定され
た電気光学装置から見て背面方向からの光を透過すると共に、前記ステージに固定された
電気光学装置から見て前面方向からの光を反射するようにしてもよい。
この構成では、反射部材を透過して光が電気光学装置に照射されるので、反射型や半透
過反射型の電気光学装置も検査することができる。
なお、この態様においても、前記ステージに載置された電気光学装置の背面へ光を照射
する背面光源を設けるようにしてもよい。
に前記光源を固定する光源固定手段とを有し、前記反射部材は、前記ステージに固定され
た電気光学装置から見て背面方向からの光を透過すると共に、前記ステージに固定された
電気光学装置から見て前面方向からの光を反射するようにしてもよい。
この構成では、反射部材を透過して光が電気光学装置に照射されるので、反射型や半透
過反射型の電気光学装置も検査することができる。
なお、この態様においても、前記ステージに載置された電気光学装置の背面へ光を照射
する背面光源を設けるようにしてもよい。
また、この検査装置においては、前記反射部材の位置および傾斜角度とを記憶する記憶
手段と、前記記憶手段に記憶された位置および傾斜角度となるように、前記反射部材の位
置および傾斜角度とを制御する制御手段とを備えるようにしてもよい。
この構成では、記憶された位置と傾斜角度に反射部材の位置と傾斜角度とが自動的に固
定されるので、電気光学装置に合わせて反射部材の位置と傾斜角度とを固定するのが容易
になる。
また、本発明は、上記検査装置を使用した電気光学装置の検査方法を提供する。
手段と、前記記憶手段に記憶された位置および傾斜角度となるように、前記反射部材の位
置および傾斜角度とを制御する制御手段とを備えるようにしてもよい。
この構成では、記憶された位置と傾斜角度に反射部材の位置と傾斜角度とが自動的に固
定されるので、電気光学装置に合わせて反射部材の位置と傾斜角度とを固定するのが容易
になる。
また、本発明は、上記検査装置を使用した電気光学装置の検査方法を提供する。
［第１実施形態］
まず、図面を参照しつつ本発明の第１実施形態について説明する。図１（ａ）は、本発
明の実施形態に係る検査装置１の正面図であり、図１（ｂ）は、検査装置１の側面図であ
る。また、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。直方体の形状をした本体部１０は、図
２に示したように内部が中空となっている。この本体部１０は、電気光学装置である液晶
パネル１００を制御する信号を出力する制御部２０と、液晶パネル１００の背面に光を照
射する光源３０とを内部に有している。本体部１０の上面部においては、内部に貫通する
矩形の開口部１０Ａが光源３０の上方に設けられており、また検査する液晶パネル１００
を固定するための検査ステージ４０が、この開口部１０Ａを挟んで設けられている。光源
３０からの光は、この開口部１０Ａと、開口部１０Ａを挟んだ検査ステージ４０の間を通
過し、図２に示したように、検査ステージ４０に固定された液晶パネル１００の背面に照
射される。また、本体部１０の上面部には、液晶パネル１００を駆動する電力や制御部２
０から出力された各種信号を液晶パネル１００へ供給するプローブ５０が設けられている
。制御部２０は、このプローブ５０に接続されており、検査用の各種表示パターンを表示
させるための信号を、このプローブ５０を介して液晶パネル１００へ供給する。
まず、図面を参照しつつ本発明の第１実施形態について説明する。図１（ａ）は、本発
明の実施形態に係る検査装置１の正面図であり、図１（ｂ）は、検査装置１の側面図であ
る。また、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。直方体の形状をした本体部１０は、図
２に示したように内部が中空となっている。この本体部１０は、電気光学装置である液晶
パネル１００を制御する信号を出力する制御部２０と、液晶パネル１００の背面に光を照
射する光源３０とを内部に有している。本体部１０の上面部においては、内部に貫通する
矩形の開口部１０Ａが光源３０の上方に設けられており、また検査する液晶パネル１００
を固定するための検査ステージ４０が、この開口部１０Ａを挟んで設けられている。光源
３０からの光は、この開口部１０Ａと、開口部１０Ａを挟んだ検査ステージ４０の間を通
過し、図２に示したように、検査ステージ４０に固定された液晶パネル１００の背面に照
射される。また、本体部１０の上面部には、液晶パネル１００を駆動する電力や制御部２
０から出力された各種信号を液晶パネル１００へ供給するプローブ５０が設けられている
。制御部２０は、このプローブ５０に接続されており、検査用の各種表示パターンを表示
させるための信号を、このプローブ５０を介して液晶パネル１００へ供給する。
支持部材６０Ａ，６０Ｂは、本体部１０の上方に反射部材７０を位置させるための部材
である。この支持部材６０Ａ，６０Ｂは、図１（ｂ）に示したように本体部１０の側面に
固定される固定部６１と、固定部６１に直交する梁部６２とを備えている。そして、梁部
６２には、その長手方向に矩形の貫通孔６３が設けられている。図１に示したように、支
持部材６０Ａは、固定部６１が本体部１０の一方の側面に固定され、支持部材６０Ｂは、
固定部６１が本体部１０のもう一方の側面に固定される。
である。この支持部材６０Ａ，６０Ｂは、図１（ｂ）に示したように本体部１０の側面に
固定される固定部６１と、固定部６１に直交する梁部６２とを備えている。そして、梁部
６２には、その長手方向に矩形の貫通孔６３が設けられている。図１に示したように、支
持部材６０Ａは、固定部６１が本体部１０の一方の側面に固定され、支持部材６０Ｂは、
固定部６１が本体部１０のもう一方の側面に固定される。
反射部材７０は、液晶パネル１００の検査者が検査ステージ４０上に固定された液晶パ
ネル１００を本体部１０の前方から観察できるようにするための部材であり、その表面が
鏡面加工されている。反射部材７０は、当該反射部材７０を支持部材６０Ａ，６０Ｂの梁
部６２に固定するための軸７１Ａと軸７１Ｂとを、その側面部に有している。この軸７１
Ａ，７１Ｂには、ナット８０Ａ，８０Ｂに螺合するようにネジが切ってあり、軸７１Ａ，
７１Ｂは、梁部６２に挿入されると、梁部６２に設けられている貫通孔により支持され、
その一部が梁部６２の表面から突出する。液晶パネル１００の検査者が、貫通孔から突出
した軸７１Ａ，７１Ｂにナット８０Ａ，８０Ｂを嵌め合わせて固定すると、例えば、図３
に示したように、任意の位置および角度で反射部材７０を検査ステージ４０の上方に固定
することができる。
ネル１００を本体部１０の前方から観察できるようにするための部材であり、その表面が
鏡面加工されている。反射部材７０は、当該反射部材７０を支持部材６０Ａ，６０Ｂの梁
部６２に固定するための軸７１Ａと軸７１Ｂとを、その側面部に有している。この軸７１
Ａ，７１Ｂには、ナット８０Ａ，８０Ｂに螺合するようにネジが切ってあり、軸７１Ａ，
７１Ｂは、梁部６２に挿入されると、梁部６２に設けられている貫通孔により支持され、
その一部が梁部６２の表面から突出する。液晶パネル１００の検査者が、貫通孔から突出
した軸７１Ａ，７１Ｂにナット８０Ａ，８０Ｂを嵌め合わせて固定すると、例えば、図３
に示したように、任意の位置および角度で反射部材７０を検査ステージ４０の上方に固定
することができる。
ここで液晶パネル１００の検査者が、反射部材７０の位置および傾斜角度を液晶パネル
の明視方向に合わせて調整して固定すると、検査者は本体部１０の前方にいながら、検査
ステージ４０上に固定された液晶パネル１００を明視方向から視認するのと同様に観察す
ることができる。
の明視方向に合わせて調整して固定すると、検査者は本体部１０の前方にいながら、検査
ステージ４０上に固定された液晶パネル１００を明視方向から視認するのと同様に観察す
ることができる。
例えば、図３（ａ）に示したように、表示面に垂直な矢印Ｐ方向を明視方向とする液晶
パネル１００に対して、反射部材７０を液晶パネル１００の垂直上方に固定すると、光源
３０から液晶パネル１００の背面へ照射された後、矢印Ｐ方向へ透過した光が反射部材７
０で反射する。反射部材７０で反射された光は、図３（ａ）において二点鎖線で示したよ
うに、その光路が水平方向へ変わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０の前
方にいながら、明視方向である矢印Ｐ方向から視認するのと同様に液晶パネル１００を視
認して検査することができる。
パネル１００に対して、反射部材７０を液晶パネル１００の垂直上方に固定すると、光源
３０から液晶パネル１００の背面へ照射された後、矢印Ｐ方向へ透過した光が反射部材７
０で反射する。反射部材７０で反射された光は、図３（ａ）において二点鎖線で示したよ
うに、その光路が水平方向へ変わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０の前
方にいながら、明視方向である矢印Ｐ方向から視認するのと同様に液晶パネル１００を視
認して検査することができる。
また、例えば図３（ｂ）に示したように、明視方向が矢印Ｑ方向である液晶パネル１０
０に対して、反射部材７０を液晶パネル１００の斜め上方に固定すると、光源３０から液
晶パネル１００の背面へ照射された後、明視方向である矢印Ｑ方向へ透過した光が反射部
材７０で反射する。反射部材７０で反射された光は、図３（ｂ）において二点鎖線で示し
たように、その光路が水平方向へ変わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０
の前方にいながら、明視方向である矢印Ｑ方向から視認するのと同様に液晶パネル１００
を視認して検査することができる。
０に対して、反射部材７０を液晶パネル１００の斜め上方に固定すると、光源３０から液
晶パネル１００の背面へ照射された後、明視方向である矢印Ｑ方向へ透過した光が反射部
材７０で反射する。反射部材７０で反射された光は、図３（ｂ）において二点鎖線で示し
たように、その光路が水平方向へ変わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０
の前方にいながら、明視方向である矢印Ｑ方向から視認するのと同様に液晶パネル１００
を視認して検査することができる。
また、例えば図３（ｃ）に示したように、明視方向が矢印Ｒ方向である液晶パネル１０
０に対して、反射部材７０を液晶パネル１００の斜め上方に固定すると、光源３０から液
晶パネル１００の背面へ照射された後、明視方向である矢印Ｒ方向へ透過した光が反射部
材７０で反射する。反射部材７０で反射された光は、図３（ｃ）に示したように、その光
路が水平方向へ変わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０の前方にいながら
、明視方向である矢印Ｒ方向から視認するのと同様に液晶パネル１００を視認して検査す
ることができる。
０に対して、反射部材７０を液晶パネル１００の斜め上方に固定すると、光源３０から液
晶パネル１００の背面へ照射された後、明視方向である矢印Ｒ方向へ透過した光が反射部
材７０で反射する。反射部材７０で反射された光は、図３（ｃ）に示したように、その光
路が水平方向へ変わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０の前方にいながら
、明視方向である矢印Ｒ方向から視認するのと同様に液晶パネル１００を視認して検査す
ることができる。
このように本実施形態によれば、検査者は液晶パネル１００を覗き込むような姿勢をと
ることなく、明視方向から観察するのと同様に液晶パネル１００を視認して検査すること
が可能となる。このため、検査者は、楽な姿勢で効率良く液晶パネル１００の検査を行う
ことができる。また、斜め上方から見たのと同様に液晶パネル１００の表面を観察するこ
とができるため、斜め上方からであると見やすくなる表面の傷など、視認する角度に依存
する欠陥についても検査することが可能となる。
ることなく、明視方向から観察するのと同様に液晶パネル１００を視認して検査すること
が可能となる。このため、検査者は、楽な姿勢で効率良く液晶パネル１００の検査を行う
ことができる。また、斜め上方から見たのと同様に液晶パネル１００の表面を観察するこ
とができるため、斜め上方からであると見やすくなる表面の傷など、視認する角度に依存
する欠陥についても検査することが可能となる。
［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置１Ａは、透過
型だけではなく、反射型または半透過反射型の液晶パネル１００も検査可能となっている
。図４（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る検査装置１Ａの正面図であり、図４（ｂ）
は、検査装置１Ａの側面図である。また、図５は、図４のＢ−Ｂ線断面図である。なお、
検査装置１Ａにおいて、第１実施形態と同じ構成要素については第１実施形態と同じ符号
を付し、以下、その説明を省略する。
次に本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置１Ａは、透過
型だけではなく、反射型または半透過反射型の液晶パネル１００も検査可能となっている
。図４（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る検査装置１Ａの正面図であり、図４（ｂ）
は、検査装置１Ａの側面図である。また、図５は、図４のＢ−Ｂ線断面図である。なお、
検査装置１Ａにおいて、第１実施形態と同じ構成要素については第１実施形態と同じ符号
を付し、以下、その説明を省略する。
支持部材６０Ａ，６０Ｂは、図４（ｂ）に示したように本体部１０の側面に固定される
固定部６１と、固定部６１に直交する梁部６２および梁部６４とを備えている。そして、
梁部６２と梁部６４には、その長手方向に矩形の貫通孔６３が設けられている。
固定部６１と、固定部６１に直交する梁部６２および梁部６４とを備えている。そして、
梁部６２と梁部６４には、その長手方向に矩形の貫通孔６３が設けられている。
光源３０Ａは、液晶パネル１００の表面に光を照射するための光源である。光源３０Ａ
は、当該光源３０Ａを支持部材６０Ａ，６０Ｂの梁部６４に固定するための軸３１Ａと軸
３１Ｂを、その側面部に有している。この軸３１Ａ，３１Ｂには、ナット８１Ａ，８１Ｂ
に螺合するようにネジが切ってあり、軸３１Ａ，３１Ｂは、梁部６４に挿入されると、梁
部６４に設けられている貫通孔により支持され、その一部が梁部６４の表面から突出する
。液晶パネル１００の検査者が、貫通孔から突出した軸３１Ａ，３１Ｂにナット８１Ａ，
８１Ｂを嵌め合わせて固定すると、例えば、図５に示したように、光源３０Ａを反射部材
７０Ａの上方に固定することができる。
は、当該光源３０Ａを支持部材６０Ａ，６０Ｂの梁部６４に固定するための軸３１Ａと軸
３１Ｂを、その側面部に有している。この軸３１Ａ，３１Ｂには、ナット８１Ａ，８１Ｂ
に螺合するようにネジが切ってあり、軸３１Ａ，３１Ｂは、梁部６４に挿入されると、梁
部６４に設けられている貫通孔により支持され、その一部が梁部６４の表面から突出する
。液晶パネル１００の検査者が、貫通孔から突出した軸３１Ａ，３１Ｂにナット８１Ａ，
８１Ｂを嵌め合わせて固定すると、例えば、図５に示したように、光源３０Ａを反射部材
７０Ａの上方に固定することができる。
反射部材７０Ａは、例えば光を透過するハーフミラー等の部材である。反射部材７０Ａ
の上方に固定された光源３０Ａの光は、反射部材７０Ａを透過して液晶パネル１００に照
射される。なお、反射部材７０Ａの光の透過率は５０％に限定されるものではなく、他の
透過率であってもよいことは勿論であり、例えば、液晶パネルの光学特性に合わせて光の
透過率を選択するようにしてもよい。そして液晶パネル１００で反射した光は、反射部材
７０Ａで反射する。反射部材７０Ａで反射された光は、その光路が検査装置１Ａの前方方
向へ替わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０の前方にいながら、同軸照明
により反射型や半透過反射型の液晶パネル１００を視認して検査することができる。なお
、反射型または半透過反射型の液晶パネルを検査するための検査装置においては、光源３
０をリング照明としてもよい。
の上方に固定された光源３０Ａの光は、反射部材７０Ａを透過して液晶パネル１００に照
射される。なお、反射部材７０Ａの光の透過率は５０％に限定されるものではなく、他の
透過率であってもよいことは勿論であり、例えば、液晶パネルの光学特性に合わせて光の
透過率を選択するようにしてもよい。そして液晶パネル１００で反射した光は、反射部材
７０Ａで反射する。反射部材７０Ａで反射された光は、その光路が検査装置１Ａの前方方
向へ替わるため、液晶パネル１００の検査者は、本体部１０の前方にいながら、同軸照明
により反射型や半透過反射型の液晶パネル１００を視認して検査することができる。なお
、反射型または半透過反射型の液晶パネルを検査するための検査装置においては、光源３
０をリング照明としてもよい。
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定される
ことなく、他の様々な形態で実施可能である。例えば、上述の実施形態を以下のように変
形して本発明を実施してもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定される
ことなく、他の様々な形態で実施可能である。例えば、上述の実施形態を以下のように変
形して本発明を実施してもよい。
上述した実施形態においては、例えば、図６（ａ）および図６（ｂ）に示したように、
検査者が検査装置１の斜め上方から液晶パネル１００を観察できるように、反射部材７０
の角度を調整するようにしてもよい。また、上述した実施形態では、検査者が液晶パネル
１００を観察することにより、欠陥を判別しているが、検査者に替えてイメージセンサを
設け、イメージセンサで捉えた液晶パネル１００の画像を画像処理することにより欠陥を
判別するようにしてもよい。
検査者が検査装置１の斜め上方から液晶パネル１００を観察できるように、反射部材７０
の角度を調整するようにしてもよい。また、上述した実施形態では、検査者が液晶パネル
１００を観察することにより、欠陥を判別しているが、検査者に替えてイメージセンサを
設け、イメージセンサで捉えた液晶パネル１００の画像を画像処理することにより欠陥を
判別するようにしてもよい。
上述した実施形態は、検査者の手により反射部材７０の位置と角度を調整して固定する
態様であるが、例えば、検査装置１に設けられたボタン（図示略）を操作してモータを制
御し、ラックと、モータに取り付けたピニオンとにより、反射部材７０の位置および角度
を電動で調整できるようにしてもよい。
この変形例に係る検査装置の正面図を図７（ａ）に、図７（ａ）のＣ−Ｃ線断面図を図
７（ｂ）に示す。なお図７（ｂ）においては、反射部材７０の図示を省略している。
摺動部材６５Ａ，６５Ｂは、反射部材７０を支持する部材である。摺動部材６５Ａは反
射部材７０の軸７１Ａを支持する支持部６６Ａを有しており、摺動部材６５Ｂは反射部材
７０の軸７１Ｂを支持する支持部６６Ｂを有している。
また、摺動部材６５Ａ，６５Ｂの下面にはラック６７Ａ，６７Ｂが設けられている。摺
動部材６５Ａに設けられているラック６７Ａは、支持部材６０Ａの内部に設けられている
モータ９０Ａに取り付けられたピニオン９１Ａに嵌合し、摺動部材６５Ｂに設けられてい
るラック６７Ｂは、支持部材６０Ｂの内部に設けられているモータ９０Ｂに取り付けられ
たピニオン９１Ｂに嵌合する。モータ９０Ａ，９０Ｂは、制御部２０に接続されており、
制御部２０からの信号によって駆動する。制御部２０からの信号によりモータ９０Ａ，９
０Ｂが回転すると、ピニオン９１Ａとピニオン９１Ｂが回転する。そして、ピニオン９１
Ａに嵌合しているラック６７Ａを備えた摺動部材６５Ａが図７（ｂ）中の矢印Ｄまたは矢
印Ｅの方向へ移動し、また、ピニオン９１Ｂに嵌合しているラック６７Ｂを備えた摺動部
材６５Ｂが図７（ｂ）中の矢印Ｄまたは矢印Ｅの方向へ移動する。
また、摺動部材６５Ｂには、反射部材７０の傾斜角度を調整するためのモータ９２が設
けられている。モータ９２は、制御部２０に接続されており、制御部２０からの信号によ
って駆動する。また、モータ９２のシャフトには、ピニオン９３が固定されており、制御
部２０からの信号によりモータ９２が回転すると、ピニオン９３が回転する。反射部材７
０の軸７１Ｂにはピニオン９３に嵌合する歯車（図示略）が設けられており、ピニオン９
３が回転すると、ピニオン９３の回転に伴って軸７１Ｂが回転し、反射部材７０の傾斜角
度が変化する。
なお、この変形例においては、液晶パネル１００の種類毎にボタンを設け、ボタンが押
下された場合、制御部２０に設けられた記憶部２１において液晶パネルの種類に対応付け
て記憶されている、反射部材７０の位置および傾斜角度を示す情報を読出し、読み出した
情報が表す位置と傾斜角度になるように、制御部２０が各モータを制御し、反射部材７０
の位置と角度とを自動的に調整するようにしてもよい。
態様であるが、例えば、検査装置１に設けられたボタン（図示略）を操作してモータを制
御し、ラックと、モータに取り付けたピニオンとにより、反射部材７０の位置および角度
を電動で調整できるようにしてもよい。
この変形例に係る検査装置の正面図を図７（ａ）に、図７（ａ）のＣ−Ｃ線断面図を図
７（ｂ）に示す。なお図７（ｂ）においては、反射部材７０の図示を省略している。
摺動部材６５Ａ，６５Ｂは、反射部材７０を支持する部材である。摺動部材６５Ａは反
射部材７０の軸７１Ａを支持する支持部６６Ａを有しており、摺動部材６５Ｂは反射部材
７０の軸７１Ｂを支持する支持部６６Ｂを有している。
また、摺動部材６５Ａ，６５Ｂの下面にはラック６７Ａ，６７Ｂが設けられている。摺
動部材６５Ａに設けられているラック６７Ａは、支持部材６０Ａの内部に設けられている
モータ９０Ａに取り付けられたピニオン９１Ａに嵌合し、摺動部材６５Ｂに設けられてい
るラック６７Ｂは、支持部材６０Ｂの内部に設けられているモータ９０Ｂに取り付けられ
たピニオン９１Ｂに嵌合する。モータ９０Ａ，９０Ｂは、制御部２０に接続されており、
制御部２０からの信号によって駆動する。制御部２０からの信号によりモータ９０Ａ，９
０Ｂが回転すると、ピニオン９１Ａとピニオン９１Ｂが回転する。そして、ピニオン９１
Ａに嵌合しているラック６７Ａを備えた摺動部材６５Ａが図７（ｂ）中の矢印Ｄまたは矢
印Ｅの方向へ移動し、また、ピニオン９１Ｂに嵌合しているラック６７Ｂを備えた摺動部
材６５Ｂが図７（ｂ）中の矢印Ｄまたは矢印Ｅの方向へ移動する。
また、摺動部材６５Ｂには、反射部材７０の傾斜角度を調整するためのモータ９２が設
けられている。モータ９２は、制御部２０に接続されており、制御部２０からの信号によ
って駆動する。また、モータ９２のシャフトには、ピニオン９３が固定されており、制御
部２０からの信号によりモータ９２が回転すると、ピニオン９３が回転する。反射部材７
０の軸７１Ｂにはピニオン９３に嵌合する歯車（図示略）が設けられており、ピニオン９
３が回転すると、ピニオン９３の回転に伴って軸７１Ｂが回転し、反射部材７０の傾斜角
度が変化する。
なお、この変形例においては、液晶パネル１００の種類毎にボタンを設け、ボタンが押
下された場合、制御部２０に設けられた記憶部２１において液晶パネルの種類に対応付け
て記憶されている、反射部材７０の位置および傾斜角度を示す情報を読出し、読み出した
情報が表す位置と傾斜角度になるように、制御部２０が各モータを制御し、反射部材７０
の位置と角度とを自動的に調整するようにしてもよい。
上述した実施形態では、液晶パネルを検査する場合について説明したが、本実施携帯で
は、明視方向が設けられた表示パネルであれば、他の有機ＥＬディスプレイやプラズマデ
ィスプレイなど、他の表示パネルも検査することができる。
は、明視方向が設けられた表示パネルであれば、他の有機ＥＬディスプレイやプラズマデ
ィスプレイなど、他の表示パネルも検査することができる。
１，１Ａ・・・検査装置、１０・・・本体部、１０Ａ・・・開口部、２０・・・制御部
、３０，３０Ａ・・・光源、４０・・・検査ステージ、５０・・・プローブ、６０Ａ，６
０Ｂ・・・支持部材、６１・・・固定部、６２，６４・・・梁部、６２・・・貫通孔、７
０・・・反射部材、３１Ａ，３１Ｂ，７１Ａ，７１Ｂ・・・軸、８０Ａ，８０Ｂ，８１Ａ
，８１Ｂ・・・ナット、１００・・・液晶パネル。
、３０，３０Ａ・・・光源、４０・・・検査ステージ、５０・・・プローブ、６０Ａ，６
０Ｂ・・・支持部材、６１・・・固定部、６２，６４・・・梁部、６２・・・貫通孔、７
０・・・反射部材、３１Ａ，３１Ｂ，７１Ａ，７１Ｂ・・・軸、８０Ａ，８０Ｂ，８１Ａ
，８１Ｂ・・・ナット、１００・・・液晶パネル。
Claims (6)
- 電気光学装置を固定するステージと、
前記ステージに固定された電気光学装置を駆動する駆動手段と、
前記ステージに固定された電気光学装置の明視方向を含む任意の方向に移動可能であり
、光を反射する反射部材と、
移動された前記反射部材の位置を固定すると共に、該反射部材により反射される前記電
気光学装置からの光が前記電気光学装置を検査する検査手段の方向へ進むように前記反射
部材の傾斜角度を固定する固定手段と
を有する検査装置。 - 前記ステージに載置された電気光学装置の背面へ光を照射する背面光源を備えたことを
特徴とする請求項１に記載の検査装置。 - 光源と、
前記電気光学装置から見て前記反射部材の背面方向に前記光源を固定する光源固定手段
と
を有し、
前記反射部材は、前記ステージに固定された電気光学装置から見て背面方向からの光を
透過すると共に、前記ステージに固定された電気光学装置から見て前面方向からの光を反
射すること
を特徴とする請求項１に記載の検査装置。 - 前記ステージに載置された電気光学装置の背面へ光を照射する背面光源を備えたことを
特徴とする請求項３に記載の検査装置。 - 前記反射部材の位置および傾斜角度とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された位置および傾斜角度となるように、前記反射部材の位置およ
び傾斜角度とを制御する制御手段と
を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。 - 請求項１乃至５のいずれかに記載の検査装置を使用することを特徴とする電気光学装置
の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005022677A JP2006208899A (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 検査装置および電気光学装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005022677A JP2006208899A (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 検査装置および電気光学装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006208899A true JP2006208899A (ja) | 2006-08-10 |
Family
ID=36965813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005022677A Withdrawn JP2006208899A (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 検査装置および電気光学装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006208899A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009153858A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置 |
-
2005
- 2005-01-31 JP JP2005022677A patent/JP2006208899A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009153858A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置 |
| JP5177224B2 (ja) * | 2008-06-17 | 2013-04-03 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080401 |