JP2010071860A - ガラス基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】大型のガラス基板の目視検査を容易にする検査装置の提供
【解決手段】この検査装置１００は、検査ステージ１０２と、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす駆動機構１４１を備えている。さらに、この検査装置１００は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８を備えている。この検査装置１００によれば、ガラス基盤１０の目視検査が容易になる。
【選択図】図３

Description

本発明はガラス基板検査装置に関する。ここで、ガラス基板には、例えば、ガラス基板に形成される薄膜トランジスタ（TFT：Thin Film Transistor）など、液晶ディスプレイパネルに用いられる種々のガラス基板が含まれる。

ガラス基板検査装置に関しては、例えば、特開平１０−３００４４７に開示されている。同公報には、基板に光を照射し、基板からの散乱光をラインセンサーカメラによって観察し、基板に形成されたパターンのむらを検査する装置が開示されている。
特開平１０−３００４４７

ところで、ガラス基板は、製造工程が終わる毎に、検査者の目視によって製品の良否を判断する目視検査を行なうことが望ましい。かかる目視検査によれば、画像処理を用いた検査では、見落とされるような不良部位を見つけることができる。しかし、ガラス基板が大きくなると目視検査は難しくなる。

例えば、ノートブックPCや、携帯電話機、PDA、カーナビゲーションなどに用いられる、いわゆる第１世代のガラス基板サイズは、３００ｍｍ×５００ｍｍ程度である。この程度の大きさであれば、ガラス基板の扱いが容易であり、目視検査も比較的容易に行える。これに対し、テレビは、大型のテレビに需要が増大する傾向があり、ガラス基板も大型化している。いわゆる第７世代のガラス基板サイズは１８７０ｍｍ×２２００ｍｍであり、第８世代のガラス基板サイズは２１６０ｍｍ×２４００ｍｍである。かかる用途では、ガラス基板は更なる大型化へ変遷しつつあり、一方の辺が３０００ｍｍを超えることも予想されている。

このように大型のガラス基板を製造する場合、ガラス基板を支持する装置や、ガラス基板を動かす機構など、製造設備は大型化する。そして、製造設備の安全上の制約から、ガラス基板の周りに人が立ち入れない場合もある。このため、大型のガラス基板を製造する場合には、検査者の位置と検査したい部位の距離が遠くなって目視検査が難しくなる。
そこで、本発明は大型のガラス基板の目視検査に適した検査装置を提案する。

本発明に係る検査装置は、ガラス基板を目視検査する検査装置である。この検査装置は、検査ステージと、検査ステージに対してガラス基板を相対的に動かす駆動機構とを備えている。さらに、この検査装置は、駆動機構がガラス基板を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板を見た像を、検査ステージから確認できるように映す観察部を備えている。
検査者は、かかる観察部によって、検査ステージからガラス基板を幅方向外側から見た像を確認できる。これによって、大型のガラス基板に対しても目視検査が容易に行なえる。

観察部は、ガラス基板を写す鏡で構成することができる。この場合、鏡は拡大鏡で構成することができる。また、この場合、検査装置は、鏡を動かす機構を備えていてもよい。さらに、検査装置は、鏡を操作する機構を備えていてもよい。

また、観察部は、ガラス基板を写すカメラと、当該カメラで撮影された画像を表示する表示部とで構成してもよい。この場合、検査装置はカメラを動かす機構を備えていてもよい。さらに、検査装置はカメラを操作する機構を備えていてもよい。

また、検査装置は、ガラス基板の上部よりも下部が検査ステージに近づくように、ガラス基板を斜めに傾けた状態で支持する支持部を備えていてもよい。この場合、駆動機構は、支持部によって斜めに傾けて支持された方向に沿ってガラス基板を動かす機構で構成してもよい。

この検査装置によれば、観察部によって、駆動機構がガラス基板を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板を見た像を、検査者は、検査ステージから確認できる。このため、検査者は、ガラス基板の幅方向外側に回り込むことなく、所要の目視検査が行なえる。このため、大型のガラス基板に対しても、目視検査が容易に行なえる。

本発明者は、大型のガラス基板の目視検査を行なう検査装置１００として、図１および図２に示すように、検査者２０が乗る検査ステージ１０２を設置し、ガラス基板１０を検査ステージ１０２に対して動かしながら、検査者２０がガラス基板１０を目視検査することを考えている。

ガラス基板１０が大きいと、ガラス基板１０を支持する支持部１０４、および、これを動かす駆動機構１４１（便宜上、簡略化して図示している。）が構造上大きくなる。このため、本発明者は、駆動機構１４１を簡単な構造にすることを考えている。このため、例えば、ガラス基板１０が動く方向を一方向のスライド、１または２つの回転軸で旋回させるなど、大幅に制限することを考えている。具体的には、ガラス基板１０をその面に平行な方向にのみスライドさせたり、ガラス基板１０の法線方向を回転軸として旋回させたり、ガラス基板１０上の特定の直線に沿って傾けたり、或いは、これらの制限された駆動方向を組み合わせるなどして、駆動方向を制限することを考えている。

また、目視検査では、ガラス基板１０をいろいろな角度からみて検査する。本発明者の知見では、ガラス基板１０に形成されたパターンにむらや歪みなどの不規則な部分（irregularities）がないかを確認するには、ガラス基板１０の表面を４０度以下の浅い角度（ここでは、ガラス基板１０の表面を基準にした角度）から見るのがよい。この場合、ガラス基板１０の両側部１０ａを目視検査するのに、ガラス基板１０の両側に検査者が回り込む必要がある。

しかしながら、上述したように、ガラス基板１０が大型化するのに伴い設備が大型化すると、設備構成上の制約によって、ガラス基板１０の両側に検査者が回り込めない場合がある。このため、ガラス基板１０の側部１０ａを、ガラス基板１０の外側から４０度以下の浅い角度で目視検査することが難しい場合が生じ得る。また、ガラス基板１０の両側部１０ａを目視検査できるようにガラス基板１０の両側に検査者が回り込めるような設備にすることは、そのことが設備設計上の制約になり、設備コストが高くなる場合もある。また、ガラス基板１０の両側に検査者２０が回り込んで目視検査を行なう作業をするにしても、ガラス基板１０が大型化すると検査者２０が動く距離（動線）が長くなり、効率よく目視検査が行なえず、検査時間が掛かる。また動線が長くなり、検査者２０の負担も大きくなる。

本発明者は、大型のガラス基板１０の製造および目視検査について、このような事情を考慮して本発明を創案した。以下、本発明の一実施形態に係るガラス基板検査装置を図面に基づいて説明する。なお、同じ作用を奏する部材、部位には同じ符号を付している。

この検査装置１００は、図３および図４に示すように、検査ステージ１０２と、支持部１０４と、照明１０６と、観察部１０８とを備えている。

ガラス基板１０は、液晶ディスプレイパネルに用いられる種々のガラス基板が含まれる。かかるガラス基板は、例えば、薄膜トランジスタが形成される。ガラス基板は、製造工程が終わる毎に、適宜目視検査が行なわれる。この実施形態では、ガラス基板１０は矩形である。この検査装置１００は、大型のガラス基板の検査に適用でき、例えば、第７世代（１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ）、第８世代（２１６０ｍｍ×２４００ｍｍ）あるいはそれ以上に大型のガラス基板の検査にも適用できる。

検査ステージ１０２は、図３および図４に示すように、検査者２０（人）が乗る台である。この実施形態では、検査ステージ１０２は、ガラス基板１０の幅と概ね同じ幅で検査者２０が左右に動くことができるように、所要の幅を有している。また、この実施形態では、安全上、検査者２０がガラス基板１０に向けて移動できる領域を制限するため、検査ステージ１０２に安全柵１２１が設けられている。

支持部１０４は、ガラス基板１０を支持する部材である。この実施形態では、支持部１０４は、ガラス基板１０の長辺を左右に向け、短辺を上下に向けて配設している。また、この実施形態では、支持部１０４は、ガラス基板１０の上部よりも下部が検査ステージ１０２に近づくように、ガラス基板１０を斜めに傾けて支持している。

駆動機構１４１は、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす機構である。この実施形態では、図３および図４に示すように、支持部１０４によって、ガラス基板１０が斜めに傾けて支持されており、駆動機構１４１は、図５に示すように、支持部１０４によって支持された方向ａに沿ってガラス基板１０を動かしている。このように検査ステージ１０２に対してガラス基板１０が動く方向を一方向にする場合、駆動機構１４１を簡単な構造で実現できる。

次に、照明１０６は、ガラス基板１０に光を照射する機器である。かかる照明には、目視検査に適した照明を採用するとよい。

観察部１０８は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す。この実施形態では、観察部１０８は、鏡１８１、１８２で構成されている。

鏡１８１、１８２は、図６に示すように、検査者２０が検査ステージ１０２から見たときに、ガラス基板１０の側部１０ａが映る。鏡１８１、１８２は、ガラス基板１０の外側から４０度以下の浅い角度θで見た像が映るように所要の角度に調整されているとよい。この実施形態では、図３および図６に示すように、鏡１８１、１８２を動かす駆動機構１８４、１８５を備えている。具体的には、この実施形態では、駆動機構１８４、１８５は鏡１８１、１８２を揺動させたり、鏡１８１、１８２の高さを変えたりする機構で構成されている。この実施形態では、駆動機構１８４、１８５が設けられているので、鏡１８１、１８２の角度を変更する作業が容易になる。

また、この実施形態では、上述した駆動機構１８４、１８５に加えて、鏡１８１、１８２を操作する操作機構１８６、１８７を備えている。かかる操作機構１８６、１８７は、検査者２０が駆動機構１８４、１８５を操作して鏡１８１、１８２を動かせるようにするものであり、この実施形態では、検査者２０が検査ステージ１０２から鏡１８１、１８２を操作できるように構成されている。かかる操作機構１８６、１８７によって、検査者２０は鏡１８１、１８２の角度や高さを変えることができ、鏡１８１、１８２に写るガラス基板１０の像を任意に変更することができる。

この検査装置１００によれば、検査者２０は、検査ステージ１０２の上から、ガラス基板１０の目視検査を実施する面について全面（entire surface）にわたって目視検査を実施することができる。すなわち、ガラス基板１０の中央部分については、駆動機構１４１でガラス基板１０を動かしつつ、検査ステージ１０２から直接ガラス基板１０を見ることによって目視検査を行なえる。また、ガラス基板１０の両側部１０ａについては、検査ステージ１０２から見ることに加えて、上述した鏡１８１、１８２を通してガラス基板１０を観察することによって、ガラス基板１０の外側から４０度以下の浅い角度で見た目視検査が行なえる。検査者２０は鏡１８１、１８２を任意の角度に動かすことによって、鏡１８１、１８２に映るガラス基板１０の像を、より浅い角度から見た像にしたり、少し高い位置から見た像にしたりすることができる。したがって、ガラス基板１０の外側に、検査者２０が回り込んだのと略同等の目視検査が行なえる。

以上のように、この検査装置１００は、検査ステージ１０２と、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす駆動機構１４１を備えている。さらに、この検査装置１００は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８を備えている。この検査装置１００によれば、観察部１０８によって、ガラス基板１０が動かされる方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査者２０は、検査ステージ１０２から確認できる。また、検査者２０は、ガラス基板１０の幅方向外側に回り込むことなく、所要の目視検査が行なえる。このため、大型のガラス基板１０に対しても、目視検査が容易に行なえる。また、ガラス基板１０の両側に検査者２０が回り込めるような設備にする必要がなく、設備コストを安価に抑えることができる。また、ガラス基板１０が大型化しても、ガラス基板１０の両側に検査者２０が回り込むことなく、目視検査が行なえるから、検査者２０が動く距離（動線）が長くならず、効率よく目視検査が行なえる。これによって、目視検査の検査時間を短縮させることができ、また検査者２０の負担も軽減される。

また、この実施形態では、観察部１０８は、鏡１８１、１８２で構成されている。この検査装置１００は、鏡１８１、１８２を動かす駆動機構１８４、１８５を備えているので、鏡１８１、１８２の取り扱いが容易である、また、この実施形態では、検査装置１００は、鏡１８１、１８２を操作する操作機構１８６、１８７を備えているので、検査者２０は、鏡１８１、１８２を動かして、任意の角度から見たガラス基板１０の像を確認できる。さらに、この実施形態では、検査者２０は検査ステージ１０２から鏡１８１、１８２を操作できるので、ガラス基板１０の側部１０ａの目視検査が容易に行なえる。

なお、鏡１８１、１８２は、拡大鏡で構成してもよい。すなわち、鏡１８１、１８２を通じて目視検査をする場合、検査者２０が直接ガラス基板１０を観察する場合に比べて、見え難い場合も生じる。鏡１８１、１８２が拡大鏡で構成されていれば、鏡１８１、１８２に映るガラス基板１０の像が大きくなるので、検査者２０の負担が軽減され、検査精度が向上する。なお、拡大鏡は、ガラス基板１０の像が鏡１８１、１８２に大きく映るものであればよい。拡大鏡は、例えば、鏡１８１、１８２の表面を凸曲面にして、検査者２０から見てガラス基板１０の像が大きく見えるように構成してもよい。また、拡大鏡は、ガラス基板１０の像が魚眼レンズを通して拡大されるように構成してもよい。また、この場合、鏡１８１、１８２の全部を拡大鏡で構成してもよい。鏡１８１、１８２の一部を拡大鏡で構成してもよい。鏡１８１、１８２の一部を拡大鏡で構成した場合には、検査者２０は、検査ステージ１０２からガラス基板１０と鏡１８１、１８２の位置を適当に調整して、必要な部分について、拡大鏡で構成した部分でガラス基板１０を見ることができる。

以上、観察部１０８の構成として、鏡１８１、１８２を備えた形態を例示したが、観察部１０８は上記の構成に限定されない。観察部１０８は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２で検査する検査者２０が確認できるように映す構成であればよい。以下に、本発明の他の実施形態に係る検査装置１００Ａを説明する。

この実施形態では、観察部１０８Ａは、図７に示すように、カメラ１９１、１９２と、表示部１９３、１９４を備えている。さらに、この実施形態では、カメラ１９１、１９２を動かす駆動機構１９５、１９６と、操作機構１９７、１９８を備えている。

すなわち、この実施形態では、カメラ１９１、１９２は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を撮影する。表示部１９３、１９４は、当該カメラ１９１、１９２で撮影された画像を映す。この実施形態では、表示部１９３、１９４は、検査者が検査ステージ１０２から画像を確認できるように配設されている。この実施形態では、カメラ１９１、１９２、および、表示部１９３、１９４は、ガラス基板１０の幅方向両側にそれぞれ配設されている。

駆動機構１９５、１９６は、カメラ１９１、１９２を動かす機構であり、操作機構１９７、１９８はカメラ１９１、１９２を操作する機構である。この実施形態では、検査者２０は、操作機構１９７、１９８、駆動機構１９５、１９６を通してカメラ１９１、１９２を任意に動かすことができる。これによって、表示部１９３、１９４に映るガラス基板１０の像を、例えば、より浅い角度から見た像にしたり、少し高い位置から見た像にしたりすることができる。カメラ１９１、１９２、表示部１９３、１９４などは、市販で入手可能なものを用いることができる。カメラ１９１、１９２は、高解像度のカメラを用いるとよい。また、表示部１９３、１９４についても高解像度の表示装置を採用するとよい。

この検査装置１００Ａによれば、検査者２０は、ガラス基板１０の中央部分については、検査ステージ１０２から直接見て目視検査を行なえる。さらに、ガラス基板１０の両側部１０ａについては、検査ステージ１０２から見ることに加えて、上述した表示部１９３、１９４に映ったガラス基板１０の像を見て目視検査が行なえる。検査者２０はカメラ１９１、１９２を任意の角度に動かすことによって、表示部１９３、１９４に映るガラス基板１０の像を、より浅い角度から見た像にしたり、少し高い位置から見た像にしたりすることができる。また、カメラ１９１、１９２を操作して、ガラス基板１０を拡大して表示部１９３、１９４に映したり、解像度を上げたりすることができる。
このように、この検査装置１００Ａによれば、大型のガラス基板１０の側部１０ａについても、検査者２０がガラス基板１０の側部に回り込んだのと、略同等の目視検査を実施することができる。

以上のように、この検査装置１００Ａは、図７に示すように、ガラス基板１０が動かされる方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８Ａを備えている。この検査装置１００Ａによれば、観察部１０８Ａは、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を撮影するカメラ１９１、１９２と、当該カメラ１９１、１９２で撮影された画像を映す表示部１９３、１９４とで構成されている。検査者２０は、表示部１９３、１９４に映された画像を基に、ガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を検査ステージ１０２から確認できる。これによって、大型のガラス基板１０に対しても、検査者２０は、ガラス基板１０の幅方向外側に回り込むことなく、所要の目視検査が行なえるから、目視検査が容易に行なえる。

以上、本発明の一実施形態に係るガラス基板検査装置を説明したが、本発明に係る検査装置は、上述した実施形態に限定されない。

例えば、観察部について、鏡を用いる場合には、鏡の形状などについては、図示例の形状に限定されず、種々変更することができる。また、ガラス基板や、鏡や、カメラについての駆動機構、操作機構など、本検査装置は、種々の公知の機構、および、装置を組み合わせて、適当な装置を構成すればよく、上述した実施形態に限定されない。また、ガラス基板の上部よりも下部が検査ステージに近づくように、ガラス基板が斜めに傾けて支持された形態を例示したが、ガラス基板が支持される形態も上述した実施形態に限定されない。また、ガラス基板は、液晶表示装置のガラス基板を例示したが、液晶表示装置のガラス基板に限らず種々のガラス基板の目視検査に適用できる。

また、ガラス基板１０を動かす駆動機構１４１について、上述した実施形態では、図３から図５に示すように、支持部１０４によって、ガラス基板１０が斜めに傾けて支持されており、支持部１０４によって支持された方向ａに沿ってガラス基板１０を動かす構造を例示した。本発明において駆動機構は、上述した実施形態に限定されず、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす機構であればよく、また、簡単な構成であればよい。

駆動機構１４１は、例えば、図８および図９に示すように、ガラス基板１０の左右幅方向に沿った直線ｂを回転軸としてガラス基板１０を傾ける構成でもよい。この場合、検査ステージ１０２から離れた部位（図示例では、ガラス基板１０の左右両側部１０ａや、ガラス基板１０の上部１０ｂ１）が、検査ステージ１０２から観察し難い。このため、かかる検査装置１００Ｂは、図示は省略するが、ガラス基板１０のこれらの部位を外側から見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように、観察部（図示省略）を配設するとよい。

また、駆動機構１４１は、図１０に示すように、ガラス基板１０をその面に平行な方向（例えば、水平な方向ｃ）にのみスライドさせる構成でもよい。この場合、例えば、ガラス基板１０を移動させる方向ｃに対して幅方向外側に相当する、ガラス基板１０の上部１０ｂ１と下部１０ｂ２が検査ステージ１０２から観察し難い。このため、かかる検査装置１００Ｃは、図示は省略するが、ガラス基板１０の上部と下部の外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように、観察部（図示省略）を配設するとよい。

また、駆動機構１４１は、図１０に示すように、ガラス基板１０に沿った特定の直線ｄを回転軸としてガラス基板１０を傾けたりする構成でもよい。この場合、例えば、ガラス基板１０の左右両側部１０ａおよびガラス基板１０の上部１０ｂ１と下部１０ｂ２が、検査ステージ１０２から観察し難い。このため、図示は省略するが、ガラス基板１０のこれらの部位の外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように、観察部（図示省略）を配設するとよい。

また、駆動機構１４１は、図１１に示すように、ガラス基板１０の法線方向ｅを回転軸として旋回させる構成でもよい。この場合も、ガラス基板１０の上部や、左右両側部などの部位が検査ステージ１０２からは観察し難い。このため、かかる検査装置１００Ｄは、図示は省略するが、ガラス基板１０を旋回させて適当な角度にしつつ、ガラス基板１０の上部や、左右両側部などの部位を外側から見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように、観察部（図示省略）を配設するとよい。

以上、本発明においてガラス基板を動かす駆動機構の構造は、これら例示した変形例にも限定されるものではない。例えば、上述したガラス基板の種々の動きを適当に組み合わせても良い。

本発明者が検討しているガラス基板検査装置を示す正面図。 本発明者が検討しているガラス基板検査装置を示す側面図。 本発明の一実施形態に係るガラス基板検査装置を示す正面図。 本発明の一実施形態に係るガラス基板検査装置を示す側面図。 本発明の一実施形態に係るガラス基板検査装置を示す側面図。 本発明の一実施形態に係るガラス基板検査装置の使用状態を示す図。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板検査装置を示す正面図。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板検査装置におけるガラス基板の駆動方向を示す正面図。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板検査装置におけるガラス基板の駆動方向を示す正面図。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板検査装置におけるガラス基板の駆動方向を示す正面図。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板検査装置におけるガラス基板の駆動方向を示す正面図。

符号の説明

１０ ガラス基板
１０ａ ガラス基板の側部
２０ 検査者
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ 検査装置
１０２ 検査ステージ
１０４ 支持部
１０６ 照明
１０８、１０８Ａ 観察部
１２１ 安全柵
１４１ 駆動機構
１８１、１８２ 鏡
１８４、１８５ 鏡の駆動機構
１８６、１８７ 鏡の操作機構
１９１、１９２ カメラ
１９３、１９４ 表示部
１９５、１９６ カメラの駆動機構
１９７、１９８ カメラの操作機構
ａ ガラス基板が動く方向

Claims (10)

1. ガラス基板を目視検査する検査装置であって、
   検査ステージと、
   前記検査ステージに対してガラス基板を相対的に動かす駆動機構と、
   前記駆動機構がガラス基板を動かす方向に対して幅方向外側から前記ガラス基板を見た像を、前記検査ステージから確認できるように映す観察部と
   を備えた、ガラス基板検査装置。
2. 前記観察部は、前記ガラス基板を写す鏡で構成されている、請求項１に記載のガラス基板検査装置。
3. 前記鏡は拡大鏡で構成されている、請求項２に記載のガラス基板検査装置。
4. 前記鏡を動かす機構を備えた、請求項２又は３に記載のガラス基板検査装置。
5. 前記鏡を操作する機構を備えた、請求項４に記載のガラス基板検査装置。
6. 前記観察部は、前記ガラス基板を写すカメラと、当該カメラで撮影された画像を表示する表示部とを備えた、請求項１に記載のガラス基板検査装置。
7. 前記カメラを動かす機構を備えた、請求項６に記載のガラス基板検査装置。
8. 前記カメラを操作する機構を備えた、請求項７に記載のガラス基板検査装置。
9. 前記ガラス基板の上部よりも下部が検査ステージに近づくように、前記ガラス基板を斜めに傾けた状態で支持する支持部を備えた、請求項１から８までの何れか一項に記載のガラス基板検査装置。
10. 前記駆動機構は、前記支持部によって斜めに傾けて支持された方向に沿って、前記ガラス基板を動かす、請求項９に記載のガラス基板検査装置。