JP2001056296A - パルスコントローラ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 動作の設定及び設定変更を容易に行うことが
できるパルスコントローラを提供する。 【解決手段】 ワーク検知センサ５による検知信号を基
準として、パルスコントロール部１２がメモリ１１に保
持されている撮像開始位置、撮像終了位置及び検査開始
位置を示すディレイ距離と検査領域を示すパルス数とに
基づき、搬送ラインの搬送タイミングを出力するエンコ
ーダ６からのパルス信号に同期した撮像開始及び終了信
号と検査領域指示信号とを出力するようにする。また、
ディレイ距離変更設定部１３及び検査領域設定部１４に
よってメモリ１１内のディレイ距離と検査領域を示すパ
ルス数との設定変更をも可能とする。
できるパルスコントローラを提供する。 【解決手段】 ワーク検知センサ５による検知信号を基
準として、パルスコントロール部１２がメモリ１１に保
持されている撮像開始位置、撮像終了位置及び検査開始
位置を示すディレイ距離と検査領域を示すパルス数とに
基づき、搬送ラインの搬送タイミングを出力するエンコ
ーダ６からのパルス信号に同期した撮像開始及び終了信
号と検査領域指示信号とを出力するようにする。また、
ディレイ距離変更設定部１３及び検査領域設定部１４に
よってメモリ１１内のディレイ距離と検査領域を示すパ
ルス数との設定変更をも可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シート状のフィル
ム、液晶ディスプレイのガラス基板及びカラーフィルタ
等のワークを搬送ラインによって順次搬送し、画像処理
によってワークの異物、孔、汚れ等の欠陥検査を行う
際、例えばその検査領域をエンコーダパルス信号に同期
させて設定するパルスコントローラに関する。
ム、液晶ディスプレイのガラス基板及びカラーフィルタ
等のワークを搬送ラインによって順次搬送し、画像処理
によってワークの異物、孔、汚れ等の欠陥検査を行う
際、例えばその検査領域をエンコーダパルス信号に同期
させて設定するパルスコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、シート状のフィルム、液晶デ
ィスプレイのガラス基板及びカラーフィルタ等のワーク
は、異物、孔、汚れ等の欠陥を検査することで、製品の
良否が判定されている。この場合、ワークに光源からの
光を照射させつつ、ワークを一定の速度で送りながら、
エリアセンサやラインセンサ等によってワークを撮像
し、この撮像情報からパターンマッチングによって異
物、孔、汚れ等の欠陥が検査される。
ィスプレイのガラス基板及びカラーフィルタ等のワーク
は、異物、孔、汚れ等の欠陥を検査することで、製品の
良否が判定されている。この場合、ワークに光源からの
光を照射させつつ、ワークを一定の速度で送りながら、
エリアセンサやラインセンサ等によってワークを撮像
し、この撮像情報からパターンマッチングによって異
物、孔、汚れ等の欠陥が検査される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のワークの欠陥の検査方法では、例えばワークの検査
領域を複数に分割する場合、検査装置側で予め手入力
（例えばマウス操作による）により、基準パターンの作
成を行う必要があるため、その設定が煩雑なものとなっ
ている。また、このような基準パターンは、ワークの検
査領域を変更する毎に作成する必要があるため、その変
更操作も煩雑なものとなっている。
来のワークの欠陥の検査方法では、例えばワークの検査
領域を複数に分割する場合、検査装置側で予め手入力
（例えばマウス操作による）により、基準パターンの作
成を行う必要があるため、その設定が煩雑なものとなっ
ている。また、このような基準パターンは、ワークの検
査領域を変更する毎に作成する必要があるため、その変
更操作も煩雑なものとなっている。
【０００４】本発明は、このような事情に対処してなさ
れたもので、動作の設定及び設定変更を容易に行うこと
ができるパルスコントローラを提供することを目的とし
ている。
れたもので、動作の設定及び設定変更を容易に行うこと
ができるパルスコントローラを提供することを目的とし
ている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、請求項１に記載のパルスコントローラは、搬送ラ
イン上のワークを検知するワーク検知センサからの検知
信号に基づき、前記ワークを撮像する撮像手段による撮
像画像から前記ワークの欠陥検査を行う検査装置におけ
る検査領域を指示するパルスコントローラであって、前
記検査装置における前記撮像画像の複数の検査領域のそ
れぞれの検査開始位置を示す情報と、前記検査開始位置
から終了位置までの検査領域を示す情報とをそれぞれパ
ラメータとして保持するメモリと、前記ワーク検知セン
サによる検知信号を基準として、前記検査開始位置を示
す情報と前記検査領域を示す情報とに基づき、前記搬送
ラインの搬送タイミングを出力するエンコーダからのパ
ルス信号に同期した検査領域指示信号を出力するパルス
コントロール部とを具備することを特徴としている。こ
のような構成では、ワーク検知センサによる検知信号を
基準として、パルスコントロール部がメモリに保持され
ている検査開始位置を示す情報と検査領域を示す情報と
に基づき、搬送ラインの搬送タイミングを出力するエン
コーダからのパルス信号に同期した検査領域指示信号を
出力する。従って、検査装置側では、撮像手段によって
撮像されたワークの撮像画像に同期した検査領域の欠陥
検査を行うことができるので、検査領域の設定が容易と
なる。
ため、請求項１に記載のパルスコントローラは、搬送ラ
イン上のワークを検知するワーク検知センサからの検知
信号に基づき、前記ワークを撮像する撮像手段による撮
像画像から前記ワークの欠陥検査を行う検査装置におけ
る検査領域を指示するパルスコントローラであって、前
記検査装置における前記撮像画像の複数の検査領域のそ
れぞれの検査開始位置を示す情報と、前記検査開始位置
から終了位置までの検査領域を示す情報とをそれぞれパ
ラメータとして保持するメモリと、前記ワーク検知セン
サによる検知信号を基準として、前記検査開始位置を示
す情報と前記検査領域を示す情報とに基づき、前記搬送
ラインの搬送タイミングを出力するエンコーダからのパ
ルス信号に同期した検査領域指示信号を出力するパルス
コントロール部とを具備することを特徴としている。こ
のような構成では、ワーク検知センサによる検知信号を
基準として、パルスコントロール部がメモリに保持され
ている検査開始位置を示す情報と検査領域を示す情報と
に基づき、搬送ラインの搬送タイミングを出力するエン
コーダからのパルス信号に同期した検査領域指示信号を
出力する。従って、検査装置側では、撮像手段によって
撮像されたワークの撮像画像に同期した検査領域の欠陥
検査を行うことができるので、検査領域の設定が容易と
なる。
【０００６】請求項２に記載のパルスコントローラは、
搬送ライン上のワークを検知するワーク検知センサから
の検知信号に基づき、前記ワークを撮像する撮像手段の
撮像タイミングを指示するパルスコントローラであっ
て、前記撮像手段による前記ワークの撮像位置及び撮像
終了位置を示す情報をパラメータとして保持するメモリ
と、前記ワーク検知センサによる検知信号を基準とし
て、前記ワークの撮像位置及び撮像終了位置を示す情報
に基づき、前記搬送ラインの搬送タイミングを出力する
エンコーダからのパルス信号に同期した撮像開始及び終
了信号を出力するパルスコントロール部とを具備するこ
とを特徴としている。このような構成では、ワーク検知
センサによる検知信号を基準として、パルスコントロー
ル部がメモリに保持されているワークの撮像位置及び撮
像終了位置を示す情報に基づき、撮像手段に対して撮像
開始及び撮像終了を示すエンコーダからのパルス信号に
同期した撮像開始及び終了信号を出力する。従って、撮
像手段はワークのみを撮像することができ、検査装置側
へワークの撮像画像のみを送出するので、撮像手段の撮
像開始及び終了の設定が容易となる。
搬送ライン上のワークを検知するワーク検知センサから
の検知信号に基づき、前記ワークを撮像する撮像手段の
撮像タイミングを指示するパルスコントローラであっ
て、前記撮像手段による前記ワークの撮像位置及び撮像
終了位置を示す情報をパラメータとして保持するメモリ
と、前記ワーク検知センサによる検知信号を基準とし
て、前記ワークの撮像位置及び撮像終了位置を示す情報
に基づき、前記搬送ラインの搬送タイミングを出力する
エンコーダからのパルス信号に同期した撮像開始及び終
了信号を出力するパルスコントロール部とを具備するこ
とを特徴としている。このような構成では、ワーク検知
センサによる検知信号を基準として、パルスコントロー
ル部がメモリに保持されているワークの撮像位置及び撮
像終了位置を示す情報に基づき、撮像手段に対して撮像
開始及び撮像終了を示すエンコーダからのパルス信号に
同期した撮像開始及び終了信号を出力する。従って、撮
像手段はワークのみを撮像することができ、検査装置側
へワークの撮像画像のみを送出するので、撮像手段の撮
像開始及び終了の設定が容易となる。
【０００７】請求項３に記載のパルスコントローラは、
前記検査開始位置を示す情報はディレイ距離であり、前
記検査領域を示す情報はパルス数であることを特徴とし
ている。このような構成では、ワーク検知センサによる
検知信号を基準として、パルスコントロール部がメモリ
に保持されている検査開始位置を示すディレイ距離と検
査領域を示すパルス数とに基づき、搬送ラインの搬送タ
イミングを出力するエンコーダからのパルス信号に同期
した検査領域指示信号を出力する。従って、検査装置側
では、撮像手段によって撮像されたワークの撮像画像に
同期した検査領域の欠陥検査を行うことができるので、
検査領域の設定が容易となる。
前記検査開始位置を示す情報はディレイ距離であり、前
記検査領域を示す情報はパルス数であることを特徴とし
ている。このような構成では、ワーク検知センサによる
検知信号を基準として、パルスコントロール部がメモリ
に保持されている検査開始位置を示すディレイ距離と検
査領域を示すパルス数とに基づき、搬送ラインの搬送タ
イミングを出力するエンコーダからのパルス信号に同期
した検査領域指示信号を出力する。従って、検査装置側
では、撮像手段によって撮像されたワークの撮像画像に
同期した検査領域の欠陥検査を行うことができるので、
検査領域の設定が容易となる。
【０００８】請求項４に記載のパルスコントローラは、
前記撮像位置及び撮像終了位置を示す情報はディレイ距
離であることを特徴としている。このような構成では、
ワーク検知センサによる検知信号を基準として、パルス
コントロール部がメモリに保持されているワークの撮像
位置及び撮像終了位置を示すディレイ距離に基づき、撮
像手段に対して撮像開始及び撮像終了を示すエンコーダ
からのパルス信号に同期した信号を出力する。従って、
撮像手段はワークのみを撮像することができ、検査装置
側へワークの撮像画像のみを送出するので、撮像手段の
撮像開始及び終了の設定が容易となる。
前記撮像位置及び撮像終了位置を示す情報はディレイ距
離であることを特徴としている。このような構成では、
ワーク検知センサによる検知信号を基準として、パルス
コントロール部がメモリに保持されているワークの撮像
位置及び撮像終了位置を示すディレイ距離に基づき、撮
像手段に対して撮像開始及び撮像終了を示すエンコーダ
からのパルス信号に同期した信号を出力する。従って、
撮像手段はワークのみを撮像することができ、検査装置
側へワークの撮像画像のみを送出するので、撮像手段の
撮像開始及び終了の設定が容易となる。
【０００９】請求項５に記載のパルスコントローラは、
前記検査開始位置を示す情報は、ディレイ距離変更設定
部によって変更設定可能とされ、前記検査領域を示す情
報は、検査領域設定部によって変更設定可能とされてい
ることを特徴としている。このような構成では、ディレ
イ距離変更設定部によってメモリ内の検査開始位置を示
す情報の変更設定が可能であり、検査領域設定部によっ
てメモリ内の検査領域を示す情報の変更設定が可能とな
ることから、検査領域の設定変更が容易となる。
前記検査開始位置を示す情報は、ディレイ距離変更設定
部によって変更設定可能とされ、前記検査領域を示す情
報は、検査領域設定部によって変更設定可能とされてい
ることを特徴としている。このような構成では、ディレ
イ距離変更設定部によってメモリ内の検査開始位置を示
す情報の変更設定が可能であり、検査領域設定部によっ
てメモリ内の検査領域を示す情報の変更設定が可能とな
ることから、検査領域の設定変更が容易となる。
【００１０】請求項６に記載のパルスコントローラは、
前記撮像位置及び撮像終了位置を示す情報は、ディレイ
距離変更設定部によって変更設定が可能とされているこ
とを特徴としている。このような構成では、ディレイ距
離変更設定部によってメモリ内の撮像位置及び撮像終了
位置を示す情報の変更設定が可能となることから、撮像
手段によるワークの撮像領域の設定変更が容易となるば
かりか、ワーク検知センサと撮像手段との位置関係に変
更が生じた場合でも、撮像手段によるワークの撮像領域
の設定が容易となる。
前記撮像位置及び撮像終了位置を示す情報は、ディレイ
距離変更設定部によって変更設定が可能とされているこ
とを特徴としている。このような構成では、ディレイ距
離変更設定部によってメモリ内の撮像位置及び撮像終了
位置を示す情報の変更設定が可能となることから、撮像
手段によるワークの撮像領域の設定変更が容易となるば
かりか、ワーク検知センサと撮像手段との位置関係に変
更が生じた場合でも、撮像手段によるワークの撮像領域
の設定が容易となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面を用い
て説明する。図１は、本発明のパルスコントローラを欠
陥検査システムに適用した場合の一実施の形態を示す
図、図２は、図１のパルスコントローラの詳細を示すブ
ロック図、図３は、図２のパルスコントローラの動作を
説明するための図、図４は、図２のパルスコントローラ
の動作を説明するためのタイミングチャートである。図
１において、欠陥検査システムは、ラインセンサ３と、
画像処理検査装置４と、ワーク検知センサ５と、エンコ
ーダ６と、パルスコントローラ１０とを備えて構成され
ている。ラインセンサ３は、矢印方向（図中左側）に移
動する搬送ライン１上のワーク２を撮像するものであ
る。ここで、ワーク２としては、シート状のフィルム、
液晶ディスプレイのガラス基板及びカラーフィルタ等で
ある。
て説明する。図１は、本発明のパルスコントローラを欠
陥検査システムに適用した場合の一実施の形態を示す
図、図２は、図１のパルスコントローラの詳細を示すブ
ロック図、図３は、図２のパルスコントローラの動作を
説明するための図、図４は、図２のパルスコントローラ
の動作を説明するためのタイミングチャートである。図
１において、欠陥検査システムは、ラインセンサ３と、
画像処理検査装置４と、ワーク検知センサ５と、エンコ
ーダ６と、パルスコントローラ１０とを備えて構成され
ている。ラインセンサ３は、矢印方向（図中左側）に移
動する搬送ライン１上のワーク２を撮像するものであ
る。ここで、ワーク２としては、シート状のフィルム、
液晶ディスプレイのガラス基板及びカラーフィルタ等で
ある。
【００１２】画像処理検査装置４は、ラインセンサ３に
より撮像された撮像画像に基づき、画像処理によってワ
ーク２の異物、孔、汚れ等の欠陥を検査するものであ
る。ワーク検知センサ５は、ワーク２の到来を検知しパ
ルス信号を出力するものである。エンコーダ６は、搬送
ライン１の移動タイミングを示すパルス信号を出力する
ものである。パルスコントローラ１０は、画像処理検査
装置４による検査領域やラインセンサ３による撮像タイ
ミングを制御するものであるが、その詳細は図２に示す
通りである。すなわち、パルスコントローラ１０は、メ
モリ１１と、パルスコントロール部１２と、ディレイ距
離変更設定部１３と、検査領域変更設定部１４とを備え
て構成されている。メモリ１１には、図３に示すよう
に、ラインセンサ３による撮像タイミングを指示するデ
ィレイ距離ｄ１、画像処理検査装置４に対してワーク２
の１番目及び２番目の検査領域の検査開始位置を指示す
るディレイ距離Ｄ１，Ｄ２、撮像終了タイミングを指示
するディレイ距離ｄ２がパラメータとして保持されてい
る。なお、ここでは、画像処理検査装置４による検査領
域を２つとした場合を示しているが、その検査領域は、
１つあるいは３つ以上であってもよいことは勿論であ
る。また、そのディレイ距離ｄ１，Ｄ１，Ｄ２、ｄ２の
パラメータは、ディレイ距離変更設定部１３によって変
更設定可能とされている。
より撮像された撮像画像に基づき、画像処理によってワ
ーク２の異物、孔、汚れ等の欠陥を検査するものであ
る。ワーク検知センサ５は、ワーク２の到来を検知しパ
ルス信号を出力するものである。エンコーダ６は、搬送
ライン１の移動タイミングを示すパルス信号を出力する
ものである。パルスコントローラ１０は、画像処理検査
装置４による検査領域やラインセンサ３による撮像タイ
ミングを制御するものであるが、その詳細は図２に示す
通りである。すなわち、パルスコントローラ１０は、メ
モリ１１と、パルスコントロール部１２と、ディレイ距
離変更設定部１３と、検査領域変更設定部１４とを備え
て構成されている。メモリ１１には、図３に示すよう
に、ラインセンサ３による撮像タイミングを指示するデ
ィレイ距離ｄ１、画像処理検査装置４に対してワーク２
の１番目及び２番目の検査領域の検査開始位置を指示す
るディレイ距離Ｄ１，Ｄ２、撮像終了タイミングを指示
するディレイ距離ｄ２がパラメータとして保持されてい
る。なお、ここでは、画像処理検査装置４による検査領
域を２つとした場合を示しているが、その検査領域は、
１つあるいは３つ以上であってもよいことは勿論であ
る。また、そのディレイ距離ｄ１，Ｄ１，Ｄ２、ｄ２の
パラメータは、ディレイ距離変更設定部１３によって変
更設定可能とされている。
【００１３】また、メモリ１１には、図３に示すワーク
２の１番目及び２番目の検査領域である検査終了位置を
指示するパルス数もパラメータとして保持されている。
すなわち、その検査領域は、図４の，に示すよう
に、（０〜Ｎ１），（０〜Ｎ２）としたパルス数で設定
されるようになっている。なお、ここでの検査領域を示
すパルス数である（０〜Ｎ１），（０〜Ｎ２）は、検査
領域に対応させて１つあるいは３つ以上とすることもで
きる。また、その検査領域を示すパルス数は、検査領域
変更設定部１４によって変更設定可能とされている。パ
ルスコントロール部１２は、ディレイ距離変更設定部１
３及び検査領域変更設定部１４によって変更された値に
基づき、メモリ１１内の各パラメータを書換えたり、ラ
インセンサ３に対して撮像開始を指示したり、画像処理
検査装置４に対して検査領域を指示したりするものであ
る。
２の１番目及び２番目の検査領域である検査終了位置を
指示するパルス数もパラメータとして保持されている。
すなわち、その検査領域は、図４の，に示すよう
に、（０〜Ｎ１），（０〜Ｎ２）としたパルス数で設定
されるようになっている。なお、ここでの検査領域を示
すパルス数である（０〜Ｎ１），（０〜Ｎ２）は、検査
領域に対応させて１つあるいは３つ以上とすることもで
きる。また、その検査領域を示すパルス数は、検査領域
変更設定部１４によって変更設定可能とされている。パ
ルスコントロール部１２は、ディレイ距離変更設定部１
３及び検査領域変更設定部１４によって変更された値に
基づき、メモリ１１内の各パラメータを書換えたり、ラ
インセンサ３に対して撮像開始を指示したり、画像処理
検査装置４に対して検査領域を指示したりするものであ
る。
【００１４】次に、以上のような構成のパルスコントロ
ーラ１０の動作について説明する。なお、以下の説明に
おいては、ワーク２上の検査領域を例えば２つとしてい
る。まず、図１に示したように、搬送ライン１上のワー
ク２が矢印方向に送られると、エンコーダ６から図４の
に示すエンコーダパルスが出力される。ワーク２がラ
インセンサ３の直前位置に到達すると、ワーク検知セン
サ５によってワーク２が検知され、図４のに示すワー
ク検知信号が出力される。パルスコントローラ１０にお
いては、図４ののワーク検知信号の立上がりに同期し
て図４のに示すインターロック制御信号（ワーク有り
を示す）が発生する。この信号は、ラインセンサ３によ
るワーク２の撮像中において、ワーク検知センサ５から
の新たな検知信号による割込みを防止するためのもので
ある。このとき、パルスコントローラ１０のパルスコン
トロール部１２は、図４ののワーク検知信号の立上が
り後、メモリ１１内のディレイ距離ｄ１が経過したら、
ラインセンサ３に対して図４のに示す撮像開始信号を
出力する。このディレイ距離ｄ１は、図３のように、ワ
ーク検知センサ５によるワーク検知後のラインセンサ３
による撮像位置をワーク２の先頭とするための遅延時間
であり、この遅延によってラインセンサ３による撮像が
ワーク２の先頭からとされる。
ーラ１０の動作について説明する。なお、以下の説明に
おいては、ワーク２上の検査領域を例えば２つとしてい
る。まず、図１に示したように、搬送ライン１上のワー
ク２が矢印方向に送られると、エンコーダ６から図４の
に示すエンコーダパルスが出力される。ワーク２がラ
インセンサ３の直前位置に到達すると、ワーク検知セン
サ５によってワーク２が検知され、図４のに示すワー
ク検知信号が出力される。パルスコントローラ１０にお
いては、図４ののワーク検知信号の立上がりに同期し
て図４のに示すインターロック制御信号（ワーク有り
を示す）が発生する。この信号は、ラインセンサ３によ
るワーク２の撮像中において、ワーク検知センサ５から
の新たな検知信号による割込みを防止するためのもので
ある。このとき、パルスコントローラ１０のパルスコン
トロール部１２は、図４ののワーク検知信号の立上が
り後、メモリ１１内のディレイ距離ｄ１が経過したら、
ラインセンサ３に対して図４のに示す撮像開始信号を
出力する。このディレイ距離ｄ１は、図３のように、ワ
ーク検知センサ５によるワーク検知後のラインセンサ３
による撮像位置をワーク２の先頭とするための遅延時間
であり、この遅延によってラインセンサ３による撮像が
ワーク２の先頭からとされる。
【００１５】次いで、パルスコントローラ１０のパルス
コントロール部１２は、図４のに示すように、メモリ
１１内のディレイ距離Ｄ１経過後、画像処理検査装置４
に対して１番目の検査領域を指示するための検査領域指
示信号を出力する。この検査領域指示信号は、図４の
のエンコーダパルスに同期した（０〜Ｎ１）個のパルス
であり、図３のワーク２の検査領域である斜線で示す１
番目の検査領域に対応したものである。すなわち、（０
〜Ｎ１）個のパルスのうち、１個目のパルスが図３の１
番目の検査領域の検査開始位置を示し、Ｎ１個目のパル
スがその検査領域の検査終了位置を示している。
コントロール部１２は、図４のに示すように、メモリ
１１内のディレイ距離Ｄ１経過後、画像処理検査装置４
に対して１番目の検査領域を指示するための検査領域指
示信号を出力する。この検査領域指示信号は、図４の
のエンコーダパルスに同期した（０〜Ｎ１）個のパルス
であり、図３のワーク２の検査領域である斜線で示す１
番目の検査領域に対応したものである。すなわち、（０
〜Ｎ１）個のパルスのうち、１個目のパルスが図３の１
番目の検査領域の検査開始位置を示し、Ｎ１個目のパル
スがその検査領域の検査終了位置を示している。
【００１６】続いて、パルスコントローラ１０のパルス
コントロール部１２は、図４のに示すように、メモリ
１１内のディレイ距離Ｄ２経過後、画像処理検査装置４
に対して２番目の検査領域を指示するための検査領域指
示信号を出力する。この検査領域指示信号も、図４の
のエンコーダパルスに同期した（０〜Ｎ２）個のパルス
であり、図３のワーク２の検査領域である斜線で示す２
番目の検査領域に対応したものである。すなわち、（０
〜Ｎ２）個のパルスのうち、１個目のパルスが図３の２
番目の検査領域の検査開始位置を示し、Ｎ２個目のパル
スがその検査領域の検査終了位置を示している。そし
て、図４ののＮ２個目のパルスの立ち下がりに同期し
て、図４ののインターロック制御信号がオフされる。
また、図４ののワーク検知信号の立ち上がり後、メモ
リ１１内のディレイ距離ｄ２が経過したら、ラインセン
サ３に対して図４のに示す撮像終了信号が出力され
る。これにより、図１に示した搬送ライン１上のワーク
２間の空間の撮像が停止されるので、ラインセンサ３に
よるワーク２の撮像が効率良く行われる。
コントロール部１２は、図４のに示すように、メモリ
１１内のディレイ距離Ｄ２経過後、画像処理検査装置４
に対して２番目の検査領域を指示するための検査領域指
示信号を出力する。この検査領域指示信号も、図４の
のエンコーダパルスに同期した（０〜Ｎ２）個のパルス
であり、図３のワーク２の検査領域である斜線で示す２
番目の検査領域に対応したものである。すなわち、（０
〜Ｎ２）個のパルスのうち、１個目のパルスが図３の２
番目の検査領域の検査開始位置を示し、Ｎ２個目のパル
スがその検査領域の検査終了位置を示している。そし
て、図４ののＮ２個目のパルスの立ち下がりに同期し
て、図４ののインターロック制御信号がオフされる。
また、図４ののワーク検知信号の立ち上がり後、メモ
リ１１内のディレイ距離ｄ２が経過したら、ラインセン
サ３に対して図４のに示す撮像終了信号が出力され
る。これにより、図１に示した搬送ライン１上のワーク
２間の空間の撮像が停止されるので、ラインセンサ３に
よるワーク２の撮像が効率良く行われる。
【００１７】以降、ワーク検知センサ５によって次のワ
ーク２が検出され、図４ののワーク検知信号が出力さ
れると、このワーク検知信号を基準として、エンコー
ダパルスに同期した撮像開始信号、検査領域指示信
号，、撮像終了信号がそれぞれメモリ１１内のデ
ィレイ距離ｄ１，Ｄ１，Ｄ２，ｄ２が経過後に出力され
る。なお、本実施の形態では、ワーク２の検査領域を２
つとした場合について説明したが、この例に限らず、デ
ィレイ距離変更設定部１３及び検査領域変更設定部１４
によって図２のメモリ１１内のパターンを変更すること
により、検査領域を１つあるいは３つ以上するすること
ができる。また、本実施の形態では、本発明のパルスコ
ントローラを欠陥検査システムに適用した場合について
説明したが、この例に限らず、サーボ制御やフィードバ
ック制御等を行う制御システムにも適用することができ
る。
ーク２が検出され、図４ののワーク検知信号が出力さ
れると、このワーク検知信号を基準として、エンコー
ダパルスに同期した撮像開始信号、検査領域指示信
号，、撮像終了信号がそれぞれメモリ１１内のデ
ィレイ距離ｄ１，Ｄ１，Ｄ２，ｄ２が経過後に出力され
る。なお、本実施の形態では、ワーク２の検査領域を２
つとした場合について説明したが、この例に限らず、デ
ィレイ距離変更設定部１３及び検査領域変更設定部１４
によって図２のメモリ１１内のパターンを変更すること
により、検査領域を１つあるいは３つ以上するすること
ができる。また、本実施の形態では、本発明のパルスコ
ントローラを欠陥検査システムに適用した場合について
説明したが、この例に限らず、サーボ制御やフィードバ
ック制御等を行う制御システムにも適用することができ
る。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように、請求項１に記載
のパルスコントローラによれば、ワーク検知センサによ
る検知信号を基準として、パルスコントロール部がメモ
リに保持されている検査開始位置を示す情報と検査領域
を示す情報とに基づき、搬送ラインの搬送タイミングを
出力するエンコーダからのパルス信号に同期した検査領
域指示信号を出力するようにしたので、検査装置側で
は、撮像手段によって撮像されたワークの撮像画像に同
期した検査領域の欠陥検査を行うことができ、検査領域
の設定を容易に行うことができる。
のパルスコントローラによれば、ワーク検知センサによ
る検知信号を基準として、パルスコントロール部がメモ
リに保持されている検査開始位置を示す情報と検査領域
を示す情報とに基づき、搬送ラインの搬送タイミングを
出力するエンコーダからのパルス信号に同期した検査領
域指示信号を出力するようにしたので、検査装置側で
は、撮像手段によって撮像されたワークの撮像画像に同
期した検査領域の欠陥検査を行うことができ、検査領域
の設定を容易に行うことができる。
【００１９】請求項２に記載のパルスコントローラによ
れば、ワーク検知センサによる検知信号を基準として、
パルスコントロール部がメモリに保持されているワーク
の撮像位置及び撮像終了位置を示す情報に基づき、撮像
手段に対して撮像開始及び撮像終了を示すエンコーダか
らのパルス信号に同期した撮像開始及び終了信号を出力
するようにしたので、撮像手段はワークのみを撮像する
ことができ、検査装置側へワークの撮像画像のみを送出
するので、撮像手段の撮像開始及び終了の設定を容易に
行うことができる。
れば、ワーク検知センサによる検知信号を基準として、
パルスコントロール部がメモリに保持されているワーク
の撮像位置及び撮像終了位置を示す情報に基づき、撮像
手段に対して撮像開始及び撮像終了を示すエンコーダか
らのパルス信号に同期した撮像開始及び終了信号を出力
するようにしたので、撮像手段はワークのみを撮像する
ことができ、検査装置側へワークの撮像画像のみを送出
するので、撮像手段の撮像開始及び終了の設定を容易に
行うことができる。
【００２０】請求項３に記載のパルスコントローラによ
れば、ワーク検知センサによる検知信号を基準として、
パルスコントロール部がメモリに保持されている検査開
始位置を示すディレイ距離と検査領域を示すパルス数と
に基づき、搬送ラインの搬送タイミングを出力するエン
コーダからのパルス信号に同期した検査領域指示信号を
出力するようにしたので、検査装置側では、撮像手段に
よって撮像されたワークの撮像画像に同期した検査領域
の欠陥検査を行うことができ、検査領域の設定を容易に
行うことができる。
れば、ワーク検知センサによる検知信号を基準として、
パルスコントロール部がメモリに保持されている検査開
始位置を示すディレイ距離と検査領域を示すパルス数と
に基づき、搬送ラインの搬送タイミングを出力するエン
コーダからのパルス信号に同期した検査領域指示信号を
出力するようにしたので、検査装置側では、撮像手段に
よって撮像されたワークの撮像画像に同期した検査領域
の欠陥検査を行うことができ、検査領域の設定を容易に
行うことができる。
【００２１】請求項４に記載のパルスコントローラによ
れば、ワーク検知センサによる検知信号を基準として、
パルスコントロール部がメモリに保持されているワーク
の撮像位置及び撮像終了位置を示すディレイ距離に基づ
き、撮像手段に対して撮像開始及び撮像終了を示すエン
コーダからのパルス信号に同期した信号を出力するよう
にしたので、撮像手段はワークのみを撮像することがで
き、検査装置側へワークの撮像画像のみを送出するの
で、撮像手段の撮像開始及び終了の設定を容易に行うこ
とができる。
れば、ワーク検知センサによる検知信号を基準として、
パルスコントロール部がメモリに保持されているワーク
の撮像位置及び撮像終了位置を示すディレイ距離に基づ
き、撮像手段に対して撮像開始及び撮像終了を示すエン
コーダからのパルス信号に同期した信号を出力するよう
にしたので、撮像手段はワークのみを撮像することがで
き、検査装置側へワークの撮像画像のみを送出するの
で、撮像手段の撮像開始及び終了の設定を容易に行うこ
とができる。
【００２２】請求項５に記載のパルスコントローラによ
れば、ディレイ距離変更設定部によってメモリ内の検査
開始位置を示す情報の変更設定が可能であり、検査領域
設定部によってメモリ内の検査領域を示す情報の変更設
定が可能となることから、検査領域の設定変更を容易に
行うことができる。
れば、ディレイ距離変更設定部によってメモリ内の検査
開始位置を示す情報の変更設定が可能であり、検査領域
設定部によってメモリ内の検査領域を示す情報の変更設
定が可能となることから、検査領域の設定変更を容易に
行うことができる。
【００２３】請求項６に記載のパルスコントローラによ
れば、ディレイ距離変更設定部によってメモリ内の撮像
位置及び撮像終了位置を示す情報の変更設定が可能とな
ることから、撮像手段によるワークの撮像領域の設定変
更が容易となるばかりか、ワーク検知センサと撮像手段
との位置関係に変更が生じた場合でも、撮像手段による
ワークの撮像領域の設定を容易に行うことができる。
れば、ディレイ距離変更設定部によってメモリ内の撮像
位置及び撮像終了位置を示す情報の変更設定が可能とな
ることから、撮像手段によるワークの撮像領域の設定変
更が容易となるばかりか、ワーク検知センサと撮像手段
との位置関係に変更が生じた場合でも、撮像手段による
ワークの撮像領域の設定を容易に行うことができる。
【図１】本発明のパルスコントローラを欠陥検査システ
ムに適用した場合の一実施の形態を示す図である。
ムに適用した場合の一実施の形態を示す図である。
【図２】図１のパルスコントローラの詳細を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】図２のパルスコントローラの動作を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図４】図２のパルスコントローラの動作を説明するた
めのタイミングチャートである。
めのタイミングチャートである。
１ 搬送ライン ２ ワーク ３ ラインセンサ ４ 画像処理検査装置 ５ ワーク検知センサ ６ エンコーダ １０ パルスコントローラ １１ メモリ １２ パルスコントロール部 １３ ディレイ距離変更設定部 １４ 検査領域変更設定部
Claims (6)
- 【請求項１】 搬送ライン上のワークを検知するワーク
検知センサからの検知信号に基づき、前記ワークを撮像
する撮像手段による撮像画像から前記ワークの欠陥検査
を行う検査装置における検査領域を指示するパルスコン
トローラであって、 前記検査装置における前記撮像画像の複数の検査領域の
それぞれの検査開始位置を示す情報と、前記検査開始位
置から終了位置までの検査領域を示す情報とをそれぞれ
パラメータとして保持するメモリと、 前記ワーク検知センサによる検知信号を基準として、前
記検査開始位置を示す情報と前記検査領域を示す情報と
に基づき、前記搬送ラインの搬送タイミングを出力する
エンコーダからのパルス信号に同期した検査領域指示信
号を出力するパルスコントロール部とを具備することを
特徴とするパルスコントローラ。 - 【請求項２】 搬送ライン上のワークを検知するワーク
検知センサからの検知信号に基づき、前記ワークを撮像
する撮像手段の撮像タイミングを指示するパルスコント
ローラであって、 前記撮像手段による前記ワークの撮像位置及び撮像終了
位置を示す情報をパラメータとして保持するメモリと、 前記ワーク検知センサによる検知信号を基準として、前
記ワークの撮像位置及び撮像終了位置を示す情報に基づ
き、前記搬送ラインの搬送タイミングを出力するエンコ
ーダからのパルス信号に同期した撮像開始及び終了信号
を出力するパルスコントロール部とを具備することを特
徴とするパルスコントローラ。 - 【請求項３】 前記検査開始位置を示す情報はディレイ
距離であり、前記検査領域を示す情報はパルス数である
ことを特徴とする請求項１に記載のパルスコントロー
ラ。 - 【請求項４】 前記撮像位置及び撮像終了位置を示す情
報はディレイ距離であることを特徴とする請求項２に記
載のパルスコントローラ。 - 【請求項５】 前記検査開始位置を示す情報は、ディレ
イ距離変更設定部によって変更設定可能とされ、前記検
査領域を示す情報は、検査領域設定部によって変更設定
可能とされていることを特徴とする請求項１又は３に記
載のパルスコントローラ。 - 【請求項６】 前記撮像位置及び撮像終了位置を示す情
報は、ディレイ距離変更設定部によって変更設定可能と
されていることを特徴とする請求項２又は４に記載のパ
ルスコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11233883A JP2001056296A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | パルスコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11233883A JP2001056296A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | パルスコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001056296A true JP2001056296A (ja) | 2001-02-27 |
Family
ID=16962063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11233883A Pending JP2001056296A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | パルスコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001056296A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009153858A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置 |
-
1999
- 1999-08-20 JP JP11233883A patent/JP2001056296A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009153858A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置 |
| JP5177224B2 (ja) * | 2008-06-17 | 2013-04-03 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030617 |