JP2000009454A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定面が平面であるか曲面であるかを問わ
ず、均一な精度での欠陥の検出を可能にする。 【解決手段】 アーチ状の照明を複数列並列に配列して
トンネル状とした照明装置１０と、この照明装置１０の
照明の点灯を列単位に制御する照明コントローラ５０と
によって、被検査面上にストライプ模様を形成する。Ｃ
ＣＤカメラ２０によってこの被検査面上に映っているス
トライプ模様を入力し、ホストコンピュータ４０は、こ
のＣＣＤカメラ２０によって入力されるストライプの数
が一定の数になるように、照明コントローラ５０に列単
位に点灯指令を出力する。
ず、均一な精度での欠陥の検出を可能にする。 【解決手段】 アーチ状の照明を複数列並列に配列して
トンネル状とした照明装置１０と、この照明装置１０の
照明の点灯を列単位に制御する照明コントローラ５０と
によって、被検査面上にストライプ模様を形成する。Ｃ
ＣＤカメラ２０によってこの被検査面上に映っているス
トライプ模様を入力し、ホストコンピュータ４０は、こ
のＣＣＤカメラ２０によって入力されるストライプの数
が一定の数になるように、照明コントローラ５０に列単
位に点灯指令を出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定面が平面で
あるか曲面であるかを問わず、均一な精度で欠陥の検出
が可能な表面欠陥検査装置に関する。
あるか曲面であるかを問わず、均一な精度で欠陥の検出
が可能な表面欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の表面欠陥検査装置としては、特開
平８−２８５５５９号公報、および特開平９−７９９８
８号公報に開示されているものがある。これらは、被検
査面にストライプ模様を映し出し、このストライプ模様
をＣＣＤカメラに取り込んで画像処理し、この処理結果
に基づいて欠陥を検出する装置に関するものであるが、
被検査面が傾斜、湾曲している場合でも、欠陥の検出精
度が低下しないように工夫されている。
平８−２８５５５９号公報、および特開平９−７９９８
８号公報に開示されているものがある。これらは、被検
査面にストライプ模様を映し出し、このストライプ模様
をＣＣＤカメラに取り込んで画像処理し、この処理結果
に基づいて欠陥を検出する装置に関するものであるが、
被検査面が傾斜、湾曲している場合でも、欠陥の検出精
度が低下しないように工夫されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の欠陥検査装置にあっては、被検査面の傾斜、
湾曲の状態に基づいてＣＣＤカメラに取り込まれるスト
ライプ模様の均一化、つまり、ストライプのピッチの均
一化を図っているが、被検査面の形状は、車種や部位に
より形状差が大きいために、ストライプピッチの均一化
を図ることができてもＣＣＤカメラに取り込まれるスト
ライプの本数が異なってしまうことが多いため、欠陥の
検出精度は完全に安定したものであるということはでき
ない。これは、ストライプの端に位置する欠陥の検出が
困難であることから、ストライプの本数が増えるとその
分、検出精度が低下することに起因する。
うな従来の欠陥検査装置にあっては、被検査面の傾斜、
湾曲の状態に基づいてＣＣＤカメラに取り込まれるスト
ライプ模様の均一化、つまり、ストライプのピッチの均
一化を図っているが、被検査面の形状は、車種や部位に
より形状差が大きいために、ストライプピッチの均一化
を図ることができてもＣＣＤカメラに取り込まれるスト
ライプの本数が異なってしまうことが多いため、欠陥の
検出精度は完全に安定したものであるということはでき
ない。これは、ストライプの端に位置する欠陥の検出が
困難であることから、ストライプの本数が増えるとその
分、検出精度が低下することに起因する。
【０００４】本発明では、このような従来の不具合を解
決するためになされたものであり、ＣＣＤカメラに取り
込まれるストライプの本数が常に一定になるようにし
て、被測定面が平面であるか曲面であるかを問わず、均
一な精度での欠陥の検出を可能にする表面欠陥検査装置
の提供を目的とする。
決するためになされたものであり、ＣＣＤカメラに取り
込まれるストライプの本数が常に一定になるようにし
て、被測定面が平面であるか曲面であるかを問わず、均
一な精度での欠陥の検出を可能にする表面欠陥検査装置
の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、次のように構成される。
の本発明は、次のように構成される。
【０００６】請求項１に記載の発明は、被検査面上にス
トライプ模様を形成するストライプ模様形成手段と、前
記被検査面上に映っているストライプ模様を入力するス
トライプ模様入力手段と、前記ストライプ模様入力手段
によって入力されるストライプの数が一定の数になるよ
うに、前記ストライプ模様形成手段によって形成される
ストライプのピッチや幅を制御する制御手段とを有する
ことを特徴とする。
トライプ模様を形成するストライプ模様形成手段と、前
記被検査面上に映っているストライプ模様を入力するス
トライプ模様入力手段と、前記ストライプ模様入力手段
によって入力されるストライプの数が一定の数になるよ
うに、前記ストライプ模様形成手段によって形成される
ストライプのピッチや幅を制御する制御手段とを有する
ことを特徴とする。
【０００７】請求項２に記載の発明は、アーチ状の照明
を複数列並列に配列してトンネル状とした照明手段と、
前記照明手段の照明の点灯を列単位に制御する照明制御
手段とを有し、被検査面上にストライプ模様を形成する
ストライプ模様形成手段と、前記被検査面上に映ってい
るストライプ模様を入力するストライプ模様入力手段
と、前記ストライプ模様入力手段によって入力されるス
トライプの数が一定の数になるように、前記照明制御手
段に列単位に点灯指令を出力する制御手段とを有するこ
とを特徴とする。
を複数列並列に配列してトンネル状とした照明手段と、
前記照明手段の照明の点灯を列単位に制御する照明制御
手段とを有し、被検査面上にストライプ模様を形成する
ストライプ模様形成手段と、前記被検査面上に映ってい
るストライプ模様を入力するストライプ模様入力手段
と、前記ストライプ模様入力手段によって入力されるス
トライプの数が一定の数になるように、前記照明制御手
段に列単位に点灯指令を出力する制御手段とを有するこ
とを特徴とする。
【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の表面欠陥検査装置であって、前記照明手段を構成する
照明は、アーチ状に配列された複数のＬＥＤであること
を特徴とする。
の表面欠陥検査装置であって、前記照明手段を構成する
照明は、アーチ状に配列された複数のＬＥＤであること
を特徴とする。
【０００９】請求項４に記載の発明は、ストライプの幅
とピッチを自由に変化させることができる液晶シャッタ
と、前記液晶シャッタによって形成されたストライプを
被検査面上に照射する照射手段と、前記被検査面上に映
っているストライプ模様を入力するストライプ模様入力
手段と、前記ストライプ模様入力手段によって入力され
るストライプの数が一定の数になるように、前記液晶シ
ャッタに形成されるストライプのピッチや幅を制御する
制御手段とを有することを特徴とする。
とピッチを自由に変化させることができる液晶シャッタ
と、前記液晶シャッタによって形成されたストライプを
被検査面上に照射する照射手段と、前記被検査面上に映
っているストライプ模様を入力するストライプ模様入力
手段と、前記ストライプ模様入力手段によって入力され
るストライプの数が一定の数になるように、前記液晶シ
ャッタに形成されるストライプのピッチや幅を制御する
制御手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の効果】以上のように構成された本発明は、各請
求項毎に次のような効果を奏する。
求項毎に次のような効果を奏する。
【００１１】請求項１に記載の発明にあっては、ストラ
イプ模様入力手段によって入力されるストライプの数が
一定の数になるようにしているので、被検査面が平坦で
あろうが湾曲していようがストライプの本数は常に同じ
本数であり、安定した状態で欠陥の検出をすることがで
きるようになる。したがって、均一な精度で欠陥の検出
をすることができるようになる。
イプ模様入力手段によって入力されるストライプの数が
一定の数になるようにしているので、被検査面が平坦で
あろうが湾曲していようがストライプの本数は常に同じ
本数であり、安定した状態で欠陥の検出をすることがで
きるようになる。したがって、均一な精度で欠陥の検出
をすることができるようになる。
【００１２】請求項２に及び請求項３に記載の発明は、
アーチ状の照明を複数列並列に配列してトンネル状とし
た照明手段の照明の点灯を各列毎に制御することによっ
てストライプの数が一定の数になるようにしているの
で、請求項１の効果と同様の効果に加え、ストライプ本
数の一定化を照明の点灯を制御するという簡単な制御で
実現することができるようになる。
アーチ状の照明を複数列並列に配列してトンネル状とし
た照明手段の照明の点灯を各列毎に制御することによっ
てストライプの数が一定の数になるようにしているの
で、請求項１の効果と同様の効果に加え、ストライプ本
数の一定化を照明の点灯を制御するという簡単な制御で
実現することができるようになる。
【００１３】請求項４に記載の発明は、ストライプ本数
の一定化を液晶シャッタのストライプの幅やピッチを変
えることによって行なっているので、請求項１の効果と
同様の効果に加え、ストライプの照射を非常に小型の装
置で行なうことができるようになる。
の一定化を液晶シャッタのストライプの幅やピッチを変
えることによって行なっているので、請求項１の効果と
同様の効果に加え、ストライプの照射を非常に小型の装
置で行なうことができるようになる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の１実施の形態を
図面に基づいて詳細に説明する。
図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】図１は、本発明にかかる表面欠陥検査装置
の概略構成図である。図に示す照明手段としての照明装
置１０は、複数の照明を一列に配列してアーチ１５を形
成し、これを複数列並列に配列してトンネル状（約１．
５ｍ）としたものである。このアーチ１５には、図２に
示すように、高輝度ＬＥＤ１７が隙間なく一列に配列さ
れ、このＬＥＤ１７の背面側には、反射板が設けてあ
る。このアーチ１５は隣りのアーチ１５の照明光が入ら
ないように（ストライプのコントラストを向上させ、白
黒の境目がはっきりするようにするため）遮蔽板を介し
て隣り合わせに複数列隙間なく配列され、トンネル状の
照明装置１０が形成されている。１つのアーチ１５のみ
のＬＥＤが点灯されれば、そのアーチの幅に応じた幅の
ストライプが車体の塗装面に映ることになる。したがっ
て、ストライプの幅は、アーチの点灯列数によって調整
することができる。
の概略構成図である。図に示す照明手段としての照明装
置１０は、複数の照明を一列に配列してアーチ１５を形
成し、これを複数列並列に配列してトンネル状（約１．
５ｍ）としたものである。このアーチ１５には、図２に
示すように、高輝度ＬＥＤ１７が隙間なく一列に配列さ
れ、このＬＥＤ１７の背面側には、反射板が設けてあ
る。このアーチ１５は隣りのアーチ１５の照明光が入ら
ないように（ストライプのコントラストを向上させ、白
黒の境目がはっきりするようにするため）遮蔽板を介し
て隣り合わせに複数列隙間なく配列され、トンネル状の
照明装置１０が形成されている。１つのアーチ１５のみ
のＬＥＤが点灯されれば、そのアーチの幅に応じた幅の
ストライプが車体の塗装面に映ることになる。したがっ
て、ストライプの幅は、アーチの点灯列数によって調整
することができる。
【００１６】塗装後の車体は、この照明装置１０の内部
を通過することになるが、照明装置１０には、車体に映
るストライプ模様を入力するストライプ模様入力手段と
してのＣＣＤカメラ２０が取り付けられている。このＣ
ＣＤカメラからのストライプ画像は、画像処理装置３０
に送られる。なお、図では１台のＣＣＤカメラしか図示
していないが、実際には、検査部位に対応して複数台の
ＣＣＤカメラが設けられる。
を通過することになるが、照明装置１０には、車体に映
るストライプ模様を入力するストライプ模様入力手段と
してのＣＣＤカメラ２０が取り付けられている。このＣ
ＣＤカメラからのストライプ画像は、画像処理装置３０
に送られる。なお、図では１台のＣＣＤカメラしか図示
していないが、実際には、検査部位に対応して複数台の
ＣＣＤカメラが設けられる。
【００１７】画像処理装置３０は、入力したストライプ
画像に基づいて、欠陥を抽出するための前処理をするも
のである。
画像に基づいて、欠陥を抽出するための前処理をするも
のである。
【００１８】ホストコンピュータ４０は、制御手段とし
て機能するものであって、車体の搬送ラインに設けられ
ている測定開始Ｌｓ（リミットスイッチ）の測定開始信
号及び搬送ラインのライン速度並びに画像処理装置３０
からの画像処理結果に基づいて、ＣＣＤカメラ２０が撮
像するストライプの本数が一定（規定された本数になる
ように）になるように、ストライプの幅、具体的には、
照明装置１０の列毎の点灯を演算し、この結果をストラ
イプ幅指令として出力するものである。また、画像処理
装置３０の画像処理結果から塗装面を欠陥を抽出し、そ
の結果をモニター６０やプリンター７０に表示またはプ
リントさせるものである。
て機能するものであって、車体の搬送ラインに設けられ
ている測定開始Ｌｓ（リミットスイッチ）の測定開始信
号及び搬送ラインのライン速度並びに画像処理装置３０
からの画像処理結果に基づいて、ＣＣＤカメラ２０が撮
像するストライプの本数が一定（規定された本数になる
ように）になるように、ストライプの幅、具体的には、
照明装置１０の列毎の点灯を演算し、この結果をストラ
イプ幅指令として出力するものである。また、画像処理
装置３０の画像処理結果から塗装面を欠陥を抽出し、そ
の結果をモニター６０やプリンター７０に表示またはプ
リントさせるものである。
【００１９】照明コントローラ５０は、照明制御手段と
して機能するものであって、ホストコンピュータ４０か
らのストライプ幅指令を受けて、照明装置１０を構成す
る各アーチ１５の照明を列毎に点灯、消灯するものであ
る。なお、照明装置１０と照明コントローラ５０とによ
ってストライプ模様形成手段が構成される。
して機能するものであって、ホストコンピュータ４０か
らのストライプ幅指令を受けて、照明装置１０を構成す
る各アーチ１５の照明を列毎に点灯、消灯するものであ
る。なお、照明装置１０と照明コントローラ５０とによ
ってストライプ模様形成手段が構成される。
【００２０】図３は、本発明に係る表面欠陥検査装置の
動作フローチャートである。以下にこのフローチャート
及び図４乃至図６に基づいて本発明装置の動作を詳細に
説明する。
動作フローチャートである。以下にこのフローチャート
及び図４乃至図６に基づいて本発明装置の動作を詳細に
説明する。
【００２１】このフローチャートにおいて、Ｓ１からＳ
５のステップでは、図４に示すように、車体が搬送され
るにしたがって検査面の形状が変化するが、この形状の
変化によらずに、ＣＣＤカメラが撮像するストライプの
本数を一定にするように、照明装置１０の照明の点灯を
制御する処理が行なわれる。
５のステップでは、図４に示すように、車体が搬送され
るにしたがって検査面の形状が変化するが、この形状の
変化によらずに、ＣＣＤカメラが撮像するストライプの
本数を一定にするように、照明装置１０の照明の点灯を
制御する処理が行なわれる。
【００２２】たとえば、図５に示すように、車体の被検
査面が平坦であるときには、ＣＣＤカメラは図のような
幅のストライプ模様を入力することになるが、図６に示
すような曲面になると、ＣＣＤカメラがその視野に捕ら
えるストライプ模様の幅は、被測定面が平坦の場合に比
較して狭くなる。もっと曲面の曲率が小さくなると線の
ような細いストライプ模様がたくさん映るようになる。
このように、ストライプの本数が多くなると、欠陥とス
トライプの境界線が一本化してしまい、欠陥が孤立点と
して現れなくなる可能性が増える。上記のステップの処
理では、このような不具合がなくなるようにしている。
査面が平坦であるときには、ＣＣＤカメラは図のような
幅のストライプ模様を入力することになるが、図６に示
すような曲面になると、ＣＣＤカメラがその視野に捕ら
えるストライプ模様の幅は、被測定面が平坦の場合に比
較して狭くなる。もっと曲面の曲率が小さくなると線の
ような細いストライプ模様がたくさん映るようになる。
このように、ストライプの本数が多くなると、欠陥とス
トライプの境界線が一本化してしまい、欠陥が孤立点と
して現れなくなる可能性が増える。上記のステップの処
理では、このような不具合がなくなるようにしている。
【００２３】Ｓ６のステップでは、前記の処理と並行し
て、ＣＣＤカメラの撮像画像に基づいて塗装面の欠陥を
抽出する処理が行なわれる。このフローチャートの１回
の処理に要する時間は６０ｍｓｅｃ程度である。
て、ＣＣＤカメラの撮像画像に基づいて塗装面の欠陥を
抽出する処理が行なわれる。このフローチャートの１回
の処理に要する時間は６０ｍｓｅｃ程度である。
【００２４】まず、塗装後の車体が搬送ラインによって
搬送され、測定開始Ｌｓをたたくと、ホストコンピュー
タ４０は、照明コントローラ５０に被塗装面が平坦であ
る場合のストライプ幅指令（たとえばアーチ１５の２０
列毎に点灯、消灯を繰り返すという指令）を出力し、照
明装置１０はこの指令に基づく点灯間隔でアーチ１５を
構成する全てのＬＥＤ１７を点灯させる。ＣＣＤカメラ
２０は、照明装置１０によって形成され、車体の塗装面
に投映されたストライプ模様を含む画像を入力し、これ
を画像処理装置３０に送る（Ｓ１）。
搬送され、測定開始Ｌｓをたたくと、ホストコンピュー
タ４０は、照明コントローラ５０に被塗装面が平坦であ
る場合のストライプ幅指令（たとえばアーチ１５の２０
列毎に点灯、消灯を繰り返すという指令）を出力し、照
明装置１０はこの指令に基づく点灯間隔でアーチ１５を
構成する全てのＬＥＤ１７を点灯させる。ＣＣＤカメラ
２０は、照明装置１０によって形成され、車体の塗装面
に投映されたストライプ模様を含む画像を入力し、これ
を画像処理装置３０に送る（Ｓ１）。
【００２５】画像処理装置３０は、この入力した画像に
二値化処理や微分処理を施して、この画像をホストコン
ピュータ４０に送る。ホストコンピュータ４０は、画像
処理装置３０から送られた画像処理後の画像からストラ
イプ本数を抽出し（Ｓ２）、ストライプ本数比を計算す
る。このストライプ本数比は、抽出された画面上のスト
ライプ本数を予め定められている規定ストライプ本数で
割ったものである。たとえば、画面上のストライプ本数
が８本で規定のストライプ本数が５本である場合には、
ストライプ本数比は１．６となる（Ｓ３）。
二値化処理や微分処理を施して、この画像をホストコン
ピュータ４０に送る。ホストコンピュータ４０は、画像
処理装置３０から送られた画像処理後の画像からストラ
イプ本数を抽出し（Ｓ２）、ストライプ本数比を計算す
る。このストライプ本数比は、抽出された画面上のスト
ライプ本数を予め定められている規定ストライプ本数で
割ったものである。たとえば、画面上のストライプ本数
が８本で規定のストライプ本数が５本である場合には、
ストライプ本数比は１．６となる（Ｓ３）。
【００２６】次に、ホストコンピュータ４０は指令する
ストライプ幅を計算する。このストライプ幅は、現在の
ストライプ幅（照明比）に前ステップで計算したストラ
イプ本数比をかけることによって算出される。たとえ
ば、照明装置１０が２００列のアーチから構成されてい
たとすれば、上記の例では２０列毎に点灯、消灯を繰り
返しているので、照明比は５０％である。これにストラ
イプ本数比１．６をかけると、指令するストライプ幅
は、８０％となる。したがって、ホストコンピュータ４
０は、照明コントローラ５０に照明装置１０のアーチ１
５の３２列（ストライプの幅）を点灯させ、８列（スト
ライプのピッチ）を消灯させるというパターンを繰り返
すように指示し、照明コントローラ５０は、このパター
ンで照明装置の点灯を制御する（Ｓ４，Ｓ５）。
ストライプ幅を計算する。このストライプ幅は、現在の
ストライプ幅（照明比）に前ステップで計算したストラ
イプ本数比をかけることによって算出される。たとえ
ば、照明装置１０が２００列のアーチから構成されてい
たとすれば、上記の例では２０列毎に点灯、消灯を繰り
返しているので、照明比は５０％である。これにストラ
イプ本数比１．６をかけると、指令するストライプ幅
は、８０％となる。したがって、ホストコンピュータ４
０は、照明コントローラ５０に照明装置１０のアーチ１
５の３２列（ストライプの幅）を点灯させ、８列（スト
ライプのピッチ）を消灯させるというパターンを繰り返
すように指示し、照明コントローラ５０は、このパター
ンで照明装置の点灯を制御する（Ｓ４，Ｓ５）。
【００２７】この処理と並行して、従来と同様の欠陥検
出処理が行なわれる。すなわち、画像処理装置３０によ
り二値化処理や微分処理が行なわれた後の画像に基づい
て、孤立点を検出してこれを欠陥と判断する処理が行な
われる（Ｓ６）。以上の処理は、１台の車体に対して全
ての測定点の測定が終了するまで繰り返し行なわれる
（Ｓ７）。
出処理が行なわれる。すなわち、画像処理装置３０によ
り二値化処理や微分処理が行なわれた後の画像に基づい
て、孤立点を検出してこれを欠陥と判断する処理が行な
われる（Ｓ６）。以上の処理は、１台の車体に対して全
ての測定点の測定が終了するまで繰り返し行なわれる
（Ｓ７）。
【００２８】このように、本発明の表面欠陥検査装置で
は、ＣＣＤカメラ２０によって撮像されるストライプの
本数が被検査面の形状にかかわらずに常に一定にするこ
とができる（曲率の大きい被検査面ではストライプの幅
が狭くなるように照明の点灯列数を制御し、曲率の小さ
い被検査面ではストライプの幅が広くなるように照明の
点灯列数を制御する）ので、様々な車種や測定部位の形
状に臨機応変に対応することができる。また、安定した
欠陥検出の精度を維持することができる。
は、ＣＣＤカメラ２０によって撮像されるストライプの
本数が被検査面の形状にかかわらずに常に一定にするこ
とができる（曲率の大きい被検査面ではストライプの幅
が狭くなるように照明の点灯列数を制御し、曲率の小さ
い被検査面ではストライプの幅が広くなるように照明の
点灯列数を制御する）ので、様々な車種や測定部位の形
状に臨機応変に対応することができる。また、安定した
欠陥検出の精度を維持することができる。
【００２９】以上、本発明の実施の形態においては、照
明装置１０を構成する照明にＬＥＤを用いたものを例示
したが、これに限らず、たとえば、白熱電球や蛍光管の
使用も可能である。
明装置１０を構成する照明にＬＥＤを用いたものを例示
したが、これに限らず、たとえば、白熱電球や蛍光管の
使用も可能である。
【００３０】図７は、本発明装置の第２の実施の形態を
示すものである。この実施の形態では、ストライプの幅
を自由に変えることができる液晶シャッタを持つ液晶プ
ロジェクター８０によって照射手段として機能するスク
リーン９０にストライプ画像を映し、このストライプ画
像が車体の被塗装面に反射して得られる画像をＣＣＤカ
メラ２０によって捕らえるように構成したものである。
示すものである。この実施の形態では、ストライプの幅
を自由に変えることができる液晶シャッタを持つ液晶プ
ロジェクター８０によって照射手段として機能するスク
リーン９０にストライプ画像を映し、このストライプ画
像が車体の被塗装面に反射して得られる画像をＣＣＤカ
メラ２０によって捕らえるように構成したものである。
【００３１】その他の構成は図１に示す構成と同一であ
るので図示はしないが、ホストコンピュータでは、ＣＣ
Ｄカメラ２０によって捕らえられるストライプの本数が
一定になるように、液晶プロジェクター８０に形成され
るストライプのピッチや幅を制御する。そのピッチや幅
の演算は、第１の実施の形態と同じような考え方で行な
う。
るので図示はしないが、ホストコンピュータでは、ＣＣ
Ｄカメラ２０によって捕らえられるストライプの本数が
一定になるように、液晶プロジェクター８０に形成され
るストライプのピッチや幅を制御する。そのピッチや幅
の演算は、第１の実施の形態と同じような考え方で行な
う。
【００３２】また、他の実施の形態としては、バックラ
イトにより被検査面にストライプが映るように設けられ
た伸縮自在のストライプシートを、モータで伸縮できる
ように構成し、ＣＣＤカメラに映るストライプの本数が
一定になるようにモータを制御して、ストライプシート
を伸縮するようにしても良い。
イトにより被検査面にストライプが映るように設けられ
た伸縮自在のストライプシートを、モータで伸縮できる
ように構成し、ＣＣＤカメラに映るストライプの本数が
一定になるようにモータを制御して、ストライプシート
を伸縮するようにしても良い。
【図１】 本発明にかかる表面欠陥検査装置の概略構成
図である。
図である。
【図２】 図１に示した照明装置の一部拡大図である。
【図３】 図１に示す装置の動作フローチャートであ
る。
る。
【図４】 本発明装置の動作説明に供する図である。
【図５】 本発明装置の動作説明に供する図である。
【図６】 本発明装置の動作説明に供する図である。
【図７】 本発明にかかる表面欠陥検査装置の他の実施
の形態の概略構成図である。
の形態の概略構成図である。
１０…照明装置、 １５…アーチ、 ２０…ＣＣＤカメラ、 ３０…画像処理装置、 ４０…ホストコンピュータ、 ５０…照明コントローラ。
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査面上にストライプ模様を形成する
ストライプ模様形成手段と、 前記被検査面上に映っているストライプ模様を入力する
ストライプ模様入力手段と、 前記ストライプ模様入力手段によって入力されるストラ
イプの数が一定の数になるように、前記ストライプ模様
形成手段によって形成されるストライプのピッチや幅を
制御する制御手段とを有することを特徴とする表面欠陥
検査装置。 - 【請求項２】 アーチ状の照明を複数列並列に配列して
トンネル状とした照明手段と、前記照明手段の照明の点
灯を列単位に制御する照明制御手段とを有し、被検査面
上にストライプ模様を形成するストライプ模様形成手段
と、 前記被検査面上に映っているストライプ模様を入力する
ストライプ模様入力手段と、 前記ストライプ模様入力手段によって入力されるストラ
イプの数が一定の数になるように、前記照明制御手段に
列単位に点灯指令を出力する制御手段とを有することを
特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項３】 前記照明手段を構成する照明は、アーチ
状に配列された複数のＬＥＤであることを特徴とする請
求項２に記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項４】 ストライプの幅とピッチを自由に変化さ
せることができる液晶シャッタと、 前記液晶シャッタによって形成されたストライプを被検
査面上に照射する照射手段と、 前記被検査面上に映っているストライプ模様を入力する
ストライプ模様入力手段と、 前記ストライプ模様入力手段によって入力されるストラ
イプの数が一定の数になるように、前記液晶シャッタに
形成されるストライプのピッチや幅を制御する制御手段
とを有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
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|---|---|---|---|
| JP17925998A JP3514122B2 (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 表面欠陥検査装置 |
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| JP17925998A JP3514122B2 (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 表面欠陥検査装置 |
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ID=16062732
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|---|---|---|---|
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