JP7003502B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る検査装置は、検査対象物の表面の欠陥の有無を適切に検査できるように構成されている。以下、本実施形態の検査装置1について説明する。
(1)検査パターンにおける暗い部分(第2パターンS)の輝度値を大きくする
(2)検査パターンにおける明るい部分(第1パターンF)の輝度値を小さくする
(3)検査パターンにおける暗い部分(第2パターンS)の輝度値を大きくし、明るい部分(第1パターンF)の輝度値を小さくする
次に、検査装置1の第2の実施形態について説明する。上記第1の実施形態では、補正部50は、下記の(1)-(3)のいずれかの方法により輝度を補正するとして説明した。
(1)検査パターンにおける暗い部分(第2パターンS)の輝度値を大きくする
(2)検査パターンにおける明るい部分(第1パターンF)の輝度値を小さくする
(3)検査パターンにおける暗い部分(第2パターンS)の輝度値を大きくし、明るい部分(第1パターンF)の輝度値を小さくする
上記第1の実施形態では、補正部50は、検査パターンにおける第2パターンSの輝度値を大きくするとして説明したが、補正部50は、検査パターンにおける第1パターンFの輝度値を小さくするように構成することも可能である。
2:検査対象物
10:照射部
11:表示画面
20:撮像画像取得部
21:撮像画像
30:算定部
40:検査パターン作製部
50:補正部
F:第1パターン
S:第2パターン
Claims (7)
- 表示画面内の所定の位置を発光させて検査対象物に光を照射する照射部と、
前記光が照射された前記検査対象物を撮像した撮像画像を取得する撮像画像取得部と、
前記表示画面における前記光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、前記撮像画像における前記光の受光位置の座標を示す受光位置座標情報とに基づいて、前記撮像画像における座標に対応する前記表示画面における座標を算定する算定部と、
前記算定部の算定結果に基づいて、前記撮像画像において所定以上の明度からなる第1パターンと前記第1パターンの明度よりも暗い第2パターンとが同じ幅で平行に交互に並び、前記第1パターンと前記第2パターンとが並ぶ方向に沿ってスライド移動するように前記表示画面に表示され、前記検査対象物の表面の欠陥の有無を検査する検査パターンを作製する検査パターン作製部と、
前記照射部が前記検査対象物に前記検査パターンを前記スライド移動するように照射する際に、前記スライド移動する毎に前記撮像画像取得部により取得された複数の撮像画像に亘る輝度バラツキが予め設定された範囲内に収まるように前記検査パターンの輝度を補正する補正部と、
を備える検査装置。 - 前記補正部は、前記検査パターンにおける前記第2パターンの輝度値を大きくする請求項1に記載の検査装置。
- 前記補正部は、前記検査パターンにおける所定の領域の輝度値を小さくする請求項1に記載の検査装置。
- 前記補正部は、前記照射部が前記検査対象物に前記検査パターンを前記スライド移動するように照射して取得された前記複数の撮像画像に基づいて前記検査パターンの輝度を補正する請求項1から5のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記補正部は、前記検査対象物に表示画面内の所定の位置を発光させて照射部から光が照射されたとし、且つ、前記光が照射された前記検査対象物を撮像して撮像画像が取得されたとして、前記表示画面における前記光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、前記検査対象物の三次元形状の座標を示す三次元形状データとに基づいて前記検査パターンの輝度を補正する請求項1から5のいずれか一項に記載の検査装置。
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- 2017-09-04 JP JP2017169576A patent/JP7003502B2/ja active Active
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