JP2002372503A - テープの検査装置及び検査方法 - Google Patents
テープの検査装置及び検査方法Info
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- JP2002372503A JP2002372503A JP2001180141A JP2001180141A JP2002372503A JP 2002372503 A JP2002372503 A JP 2002372503A JP 2001180141 A JP2001180141 A JP 2001180141A JP 2001180141 A JP2001180141 A JP 2001180141A JP 2002372503 A JP2002372503 A JP 2002372503A
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- tape
- line sensor
- pattern
- inspecting
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- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、テープ面に付されたパターン像を精
度よく検出することができ正確な検査を行うことが可能
なテープの検査装置を提供する。 【解決手段】本発明のテープの検査装置は、テープ面に
付されたパターン２１を、ラインセンサー１１で走査し
て検査するテープの検査装置において、前記ラインセン
サー１１を、テープ１の長さ方向に沿って配置するとと
もに、前記ラインセンサー１１をテープの幅方向に駆動
走査するセンサー駆動手段を備えたものである。
度よく検出することができ正確な検査を行うことが可能
なテープの検査装置を提供する。 【解決手段】本発明のテープの検査装置は、テープ面に
付されたパターン２１を、ラインセンサー１１で走査し
て検査するテープの検査装置において、前記ラインセン
サー１１を、テープ１の長さ方向に沿って配置するとと
もに、前記ラインセンサー１１をテープの幅方向に駆動
走査するセンサー駆動手段を備えたものである。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＴＡＢテー
プ等のような実装用テープ（以下「テープ」という）の
パターンを検査するテープ検査装置に関するものであ
る。
プ等のような実装用テープ（以下「テープ」という）の
パターンを検査するテープ検査装置に関するものであ
る。
【従来の技術】従来、テープ面に付されたパターンを、
ラインセンサーで走査して検査するテープの検査装置に
おいては、図４に示すように、テープ３０に付されたパ
ターン３１をラインセンサー２０によりその長さ方向に
沿って走査し、テープ３０のテープ面にされているパタ
ーン３１の画像データを取得し、図示しない画像処理手
段で処理して前記パターン３１の検査を行うようにして
いる。
ラインセンサーで走査して検査するテープの検査装置に
おいては、図４に示すように、テープ３０に付されたパ
ターン３１をラインセンサー２０によりその長さ方向に
沿って走査し、テープ３０のテープ面にされているパタ
ーン３１の画像データを取得し、図示しない画像処理手
段で処理して前記パターン３１の検査を行うようにして
いる。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たテープの検査装置においては、テープ３０は基本的に
その幅方向に反っていて、平坦ではなく曲面形状となっ
ている。一方、ラインセンサー２０の被写界深度は小さ
いため、幅方向に曲面形状を呈するテープ３０を図４に
示すような方向に走査しても部分部分でラインセンサー
２０の焦点が合わせ、この結果、前記パターン３１の正
確な検査を行うことができないという問題がある。本発
明は、上記従来の事情に鑑みて開発されたものであり、
テープ面に付されたパターン像を精度よく検出すること
ができ正確な検査を行うことが可能なテープの検査装置
及び検査方法を提供することを目的とするものである。
たテープの検査装置においては、テープ３０は基本的に
その幅方向に反っていて、平坦ではなく曲面形状となっ
ている。一方、ラインセンサー２０の被写界深度は小さ
いため、幅方向に曲面形状を呈するテープ３０を図４に
示すような方向に走査しても部分部分でラインセンサー
２０の焦点が合わせ、この結果、前記パターン３１の正
確な検査を行うことができないという問題がある。本発
明は、上記従来の事情に鑑みて開発されたものであり、
テープ面に付されたパターン像を精度よく検出すること
ができ正確な検査を行うことが可能なテープの検査装置
及び検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
るテープの検査装置は、テープ面に付されたパターン
を、ラインセンサーで走査して検査するテープの検査装
置において、前記ラインセンサーを、テープの長さ方向
に沿って配置するとともに、前記ラインセンサーをテー
プの幅方向に駆動走査するセンサー駆動手段を備えたこ
とを特徴とするものである。請求項２記載の発明に係る
テープの検査方法は、テープ面に付されたパターンを、
ラインセンサーで走査して検査するテープの検査方法に
おいて、前記ラインセンサーを、テープの長さ方向に沿
って配置し、前記ラインセンサーをテープの幅方向に駆
動走査して、前記テープ面に付されたパターン像を取得
し検査することを特徴とするものである。本発明によれ
ば、ラインセンサーを、テープの長さ方向に沿って配置
し、前記ラインセンサーをテープの幅方向に駆動走査し
て、前記テープ面に付されたパターン像を取得し検査す
るものであるから、テープがその幅方向に沿って湾曲し
てている場合においても、テープ面に付されたパターン
の像を精度よく検出することができ正確な検査を行うこ
とが可能となる。
るテープの検査装置は、テープ面に付されたパターン
を、ラインセンサーで走査して検査するテープの検査装
置において、前記ラインセンサーを、テープの長さ方向
に沿って配置するとともに、前記ラインセンサーをテー
プの幅方向に駆動走査するセンサー駆動手段を備えたこ
とを特徴とするものである。請求項２記載の発明に係る
テープの検査方法は、テープ面に付されたパターンを、
ラインセンサーで走査して検査するテープの検査方法に
おいて、前記ラインセンサーを、テープの長さ方向に沿
って配置し、前記ラインセンサーをテープの幅方向に駆
動走査して、前記テープ面に付されたパターン像を取得
し検査することを特徴とするものである。本発明によれ
ば、ラインセンサーを、テープの長さ方向に沿って配置
し、前記ラインセンサーをテープの幅方向に駆動走査し
て、前記テープ面に付されたパターン像を取得し検査す
るものであるから、テープがその幅方向に沿って湾曲し
てている場合においても、テープ面に付されたパターン
の像を精度よく検出することができ正確な検査を行うこ
とが可能となる。
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を参照して詳述する。図１は、本発明の実施の形態のテ
ープの検査装置の全体構成を示す概略図であり、図２
は，本実施の形態のテープの検査装置の制御系を示すブ
ロック図である。本実施の形態のテープの検査装置は、
図１に示すように、送りローラー２、３により搬送さ
れ、リール４により巻き取られるテープ１に対して、こ
のテープ１の方法長さ方向に沿ってラインセンサー（例
えばＣＣＤラインセンサ）１１を配置している。また、
本実施の形態のテープ検査装置は、図２に示すように、
この装置全体の制御を行う制御部１０を備え、前記ライ
ンセンサー１１の検出信号をはインターフェース１２を
介して制御部１０に送り、データ処理部１３によりデー
タ処理して図３に示すような前記テープ１のテープ面に
付されているパターン２０の検査を行うようになってい
る。また、このテープの検査装置は、前記制御部１０の
制御のもとに、貼付前記ラインセンサー１１を、モルの
テープの大幅方向に非接触で駆動操作するるセンサー駆
動手段１４を備えている。次に、上述した構成のテープ
の検査装置によるテープ１の検査方法について図３をも
参照して説明する。このテープの検査装置によりテープ
１のパターン２０の検査を行うに場合には、制御部１０
の制御のもとに図３に示すように、センサー駆動手段１
４によりラインセンサー１１をテープ１の幅方向に非接
触で駆動走査し、ラインセンサー１１によりパターン２
０の画像データを取得する。このとき、テープ１がその
幅方向に沿って湾曲している場合においては、１回目の
駆動走査で取得したラインセンサー１１の検出信号をも
とに前記制御部１０は、前記ステップ１の幅方向に沿っ
てテープ面とラインセンサー１１のセンサー面との距離
ｔを連続的に求め、２回目の駆動走査においては求めた
距離ｔのデータをもとにその距離ｔに対応してラインセ
ンサー１１の駆動走査を行い、前記パターン２０の画像
データを取得する。テープ１がその幅方向に沿って湾曲
している場合においては、上述したような２回にわたる
ラインセンサー１１の駆動走査が行われ、このような駆
動走査がテープ１における複数のパターン２０に対して
順次繰り返される。このようにして取得した前記パター
ンの画像データは、インターフェイス１２を介して制御
部１０に送られ、更にデータ処理部１３にてデータ処理
され前記テープ１パターン２０の検査が行われる。本実
施の形態に係るテープの検査装置及びテープの検査方法
によれば、ステップ１がその幅方向に沿って湾曲部して
いる場合においても、ラインセンサー１１の焦点をパタ
ーン２１に精度よく合わせ、前記パターン２１の正確な
検査を行うことが可能となる。なお、上述した実施の形
態では、ラインセンサー１１を用いる場合について説明
したが、２次元構成のエリアセンサーを採用しても上述
した場合と同様に前記パターンの正確な検査を行うこと
が可能である。
を参照して詳述する。図１は、本発明の実施の形態のテ
ープの検査装置の全体構成を示す概略図であり、図２
は，本実施の形態のテープの検査装置の制御系を示すブ
ロック図である。本実施の形態のテープの検査装置は、
図１に示すように、送りローラー２、３により搬送さ
れ、リール４により巻き取られるテープ１に対して、こ
のテープ１の方法長さ方向に沿ってラインセンサー（例
えばＣＣＤラインセンサ）１１を配置している。また、
本実施の形態のテープ検査装置は、図２に示すように、
この装置全体の制御を行う制御部１０を備え、前記ライ
ンセンサー１１の検出信号をはインターフェース１２を
介して制御部１０に送り、データ処理部１３によりデー
タ処理して図３に示すような前記テープ１のテープ面に
付されているパターン２０の検査を行うようになってい
る。また、このテープの検査装置は、前記制御部１０の
制御のもとに、貼付前記ラインセンサー１１を、モルの
テープの大幅方向に非接触で駆動操作するるセンサー駆
動手段１４を備えている。次に、上述した構成のテープ
の検査装置によるテープ１の検査方法について図３をも
参照して説明する。このテープの検査装置によりテープ
１のパターン２０の検査を行うに場合には、制御部１０
の制御のもとに図３に示すように、センサー駆動手段１
４によりラインセンサー１１をテープ１の幅方向に非接
触で駆動走査し、ラインセンサー１１によりパターン２
０の画像データを取得する。このとき、テープ１がその
幅方向に沿って湾曲している場合においては、１回目の
駆動走査で取得したラインセンサー１１の検出信号をも
とに前記制御部１０は、前記ステップ１の幅方向に沿っ
てテープ面とラインセンサー１１のセンサー面との距離
ｔを連続的に求め、２回目の駆動走査においては求めた
距離ｔのデータをもとにその距離ｔに対応してラインセ
ンサー１１の駆動走査を行い、前記パターン２０の画像
データを取得する。テープ１がその幅方向に沿って湾曲
している場合においては、上述したような２回にわたる
ラインセンサー１１の駆動走査が行われ、このような駆
動走査がテープ１における複数のパターン２０に対して
順次繰り返される。このようにして取得した前記パター
ンの画像データは、インターフェイス１２を介して制御
部１０に送られ、更にデータ処理部１３にてデータ処理
され前記テープ１パターン２０の検査が行われる。本実
施の形態に係るテープの検査装置及びテープの検査方法
によれば、ステップ１がその幅方向に沿って湾曲部して
いる場合においても、ラインセンサー１１の焦点をパタ
ーン２１に精度よく合わせ、前記パターン２１の正確な
検査を行うことが可能となる。なお、上述した実施の形
態では、ラインセンサー１１を用いる場合について説明
したが、２次元構成のエリアセンサーを採用しても上述
した場合と同様に前記パターンの正確な検査を行うこと
が可能である。
【発明の効果】本発明によれば、ラインセンサーを、テ
ープの長さ方向に沿って配置し、前記ラインセンサーを
テープの幅方向に駆動走査して、前記テープ面に付され
たパターン像を取得し検査するものであるから、テープ
がその幅方向に沿って湾曲してている場合においても、
テープ面に付されたパターンの像を精度よく検出するこ
とができ正確な検査を行うことが可能なテープの検査装
置及び検査方法を提供することができる
ープの長さ方向に沿って配置し、前記ラインセンサーを
テープの幅方向に駆動走査して、前記テープ面に付され
たパターン像を取得し検査するものであるから、テープ
がその幅方向に沿って湾曲してている場合においても、
テープ面に付されたパターンの像を精度よく検出するこ
とができ正確な検査を行うことが可能なテープの検査装
置及び検査方法を提供することができる
【図１】本発明の実施の形態のテープの検査装置を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態のテープの検査装置の制御
系を示すブロック図である。
系を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態のラインセンサーによるテ
ープの走査状態を示す説明図である。
ープの走査状態を示す説明図である。
【図４】従来のテープの検査装置におけるラインセンサ
ーによるテープの走査状態を示す説明図である。
ーによるテープの走査状態を示す説明図である。
１ テープ ２ 送りローラー ３ 送りローラー ４ リール １０ 制御部 １１ ラインセンサー １２ インターフェイス １３ データ処理部 １４ センサー駆動手段 ２１ パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA56 BB02 CC02 DD10 FF01 FF04 JJ03 JJ26 KK02 MM03 MM07 MM24 PP02 PP16 QQ31 UU02 2G051 AA61 AB02 CA03 CD01 5B047 AA11 AB02 BA02 BB02 BC14 5C072 AA01 BA13 EA04 FA05 MB01 5F044 MM48 MM49
Claims (2)
- 【請求項１】テープ面に付されたパターンを、ラインセ
ンサーで走査して検査するテープの検査装置において、 前記ラインセンサーを、テープの長さ方向に沿って配置
するとともに、前記ラインセンサーをテープの幅方向に
駆動走査するセンサー駆動手段を備えたことを特徴とす
るテープの検査装置。 - 【請求項２】テープ面に付されたパターンを、ラインセ
ンサーで走査して検査するテープの検査方法において、 前記ラインセンサーを、テープの長さ方向に沿って配置
し、前記ラインセンサーをテープの幅方向に駆動走査し
て、前記テープ面に付されたパターン像を取得し検査す
ることを特徴とするテープの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001180141A JP2002372503A (ja) | 2001-06-14 | 2001-06-14 | テープの検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001180141A JP2002372503A (ja) | 2001-06-14 | 2001-06-14 | テープの検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002372503A true JP2002372503A (ja) | 2002-12-26 |
Family
ID=19020603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001180141A Pending JP2002372503A (ja) | 2001-06-14 | 2001-06-14 | テープの検査装置及び検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002372503A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006162250A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Ushio Inc | フィルムワークのパターン検査装置 |
| JP2008122382A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Ajuhitek Inc | 光学検査システム及び光学検査方法 |
-
2001
- 2001-06-14 JP JP2001180141A patent/JP2002372503A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006162250A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Ushio Inc | フィルムワークのパターン検査装置 |
| JP2008122382A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Ajuhitek Inc | 光学検査システム及び光学検査方法 |
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