JP2000205847A - 表面疵検査方法および装置 - Google Patents
表面疵検査方法および装置Info
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- JP2000205847A JP2000205847A JP11008664A JP866499A JP2000205847A JP 2000205847 A JP2000205847 A JP 2000205847A JP 11008664 A JP11008664 A JP 11008664A JP 866499 A JP866499 A JP 866499A JP 2000205847 A JP2000205847 A JP 2000205847A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
- G01N2021/8918—Metal
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 正反射光を受光するイメージセンサーと乱反
射光を受光するイメージセンサーはそれぞれ別個・独立
に設け、両者の画像を処理して表面疵の検査を行う場合
に、上記２つのイメージセンサーの位置調整を運転期間
中に行うことのできる方法および装置を提案する。 【解決手段】 被検査体の表面にレーザースポット光を
照射して該被検査体上のレーザースポット光の照射位置
を２つのイメージセンサーにより検知するとともに、前
記２つのイメージセンサーの視野内における前記スポッ
ト光照射位置の幅方向検知位置を一致させることによっ
てイメージセンサー間の視野のずれを解消する。
射光を受光するイメージセンサーはそれぞれ別個・独立
に設け、両者の画像を処理して表面疵の検査を行う場合
に、上記２つのイメージセンサーの位置調整を運転期間
中に行うことのできる方法および装置を提案する。 【解決手段】 被検査体の表面にレーザースポット光を
照射して該被検査体上のレーザースポット光の照射位置
を２つのイメージセンサーにより検知するとともに、前
記２つのイメージセンサーの視野内における前記スポッ
ト光照射位置の幅方向検知位置を一致させることによっ
てイメージセンサー間の視野のずれを解消する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品の表面疵の検
査方法および装置に係り、特に冷延鋼板などの鏡面性が
高い被検査体表面から発する正反射光と乱反射光をそれ
ぞれ独立したイメージセンサーに撮像し、得られた画像
を画像処理して表面疵の検査を行う表面疵検査装置およ
び装置に関する。
査方法および装置に係り、特に冷延鋼板などの鏡面性が
高い被検査体表面から発する正反射光と乱反射光をそれ
ぞれ独立したイメージセンサーに撮像し、得られた画像
を画像処理して表面疵の検査を行う表面疵検査装置およ
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属板（鋼板、アルミニウム板、銅板な
ど）のように鏡面性の高い製品の表面疵を検知する検査
装置として、製品の表面状況をイメージセンサーで撮像
し、得られた像を画像処理により解析して疵を検出する
方法が広く行われている。
ど）のように鏡面性の高い製品の表面疵を検知する検査
装置として、製品の表面状況をイメージセンサーで撮像
し、得られた像を画像処理により解析して疵を検出する
方法が広く行われている。
【０００３】この場合、鏡面性の高い製品の場合には、
正反射光のみでは正確な疵の検出を行うことができない
ため、乱反射光を併用して疵検査を行うことが一般に行
われている。かかる場合、特開平８−１２２２７５号公
報に提案されているように、正反射光を受光するイメー
ジセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサーをそ
れぞれ別個・独立に設け、両者の画像を総合的に処理し
て疵の位置、形状などを特定するようになっている。
正反射光のみでは正確な疵の検出を行うことができない
ため、乱反射光を併用して疵検査を行うことが一般に行
われている。かかる場合、特開平８−１２２２７５号公
報に提案されているように、正反射光を受光するイメー
ジセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサーをそ
れぞれ別個・独立に設け、両者の画像を総合的に処理し
て疵の位置、形状などを特定するようになっている。
【０００４】このような正反射光と乱反射光を別個・独
立にイメージセンサーによって受光し、得られた像を画
像処理して表面疵の検出を行うシステムにおいては、上
記二つのイメージセンサーの視野が正確に一致している
ことが必要である。かかる目的のため、従来の技術にお
いては、たとえば、被検査体である鋼帯を案内するロー
ル（検査ロールともいう。）にあらかじめ幅方向に一定
間隔のマークを刻んだマークシートを貼り付け、このマ
ークシートの像をイメージセンサーで撮像し、各センサ
ーで得られた画像において、マーク間が所定の画素数に
なっていることをチェックするとともに、各センサー間
でマークの位置にずれがないか否かをチェックし、異常
があれば正常な状態に調整するようにしている。
立にイメージセンサーによって受光し、得られた像を画
像処理して表面疵の検出を行うシステムにおいては、上
記二つのイメージセンサーの視野が正確に一致している
ことが必要である。かかる目的のため、従来の技術にお
いては、たとえば、被検査体である鋼帯を案内するロー
ル（検査ロールともいう。）にあらかじめ幅方向に一定
間隔のマークを刻んだマークシートを貼り付け、このマ
ークシートの像をイメージセンサーで撮像し、各センサ
ーで得られた画像において、マーク間が所定の画素数に
なっていることをチェックするとともに、各センサー間
でマークの位置にずれがないか否かをチェックし、異常
があれば正常な状態に調整するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
調整は検査装置の運転休止期間において行われるもので
ある。これに対して、検査装置の運転中には鋼板などの
通板に伴うロールの回転、鋼板の振動などに起因してあ
らかじめ調整したイメージセンサーの位置にずれを生ず
ることがあり、かかる場合には正確な疵の検出が不可能
になる欠点があった。しかも、かかる調整不良の状態に
陥った場合にも、検査装置の運転期間中にはその程度を
把握して再調整する適当な手段がなかった。
調整は検査装置の運転休止期間において行われるもので
ある。これに対して、検査装置の運転中には鋼板などの
通板に伴うロールの回転、鋼板の振動などに起因してあ
らかじめ調整したイメージセンサーの位置にずれを生ず
ることがあり、かかる場合には正確な疵の検出が不可能
になる欠点があった。しかも、かかる調整不良の状態に
陥った場合にも、検査装置の運転期間中にはその程度を
把握して再調整する適当な手段がなかった。
【０００６】本発明は、かかる従来技術の実状に鑑み、
鏡面性の高い製品の疵の検査を、正反射光を受光するイ
メージセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサー
はそれぞれ別個・独立に設け、両者の画像を総合的に処
理して疵の位置、形状などを特定する場合に、上記２つ
のイメージセンサーの位置調整を運転期間中に適宜行う
ことのできる方法および装置を提案することを目的とす
る。その場合、本発明は、特に、上記調整を被検査体の
検査工程あるいは検査結果に対して実質的な悪影響を与
えることなく、極めて簡易にイメージセンサーの視野の
位置ずれを解消する技術を提供するすることを目的とす
る。さらに、本発明はイメージセンサーの所定距離間に
おける画素数を検査装置の運転期間中に測定し、その調
整を可能とすることを目的とする。
鏡面性の高い製品の疵の検査を、正反射光を受光するイ
メージセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサー
はそれぞれ別個・独立に設け、両者の画像を総合的に処
理して疵の位置、形状などを特定する場合に、上記２つ
のイメージセンサーの位置調整を運転期間中に適宜行う
ことのできる方法および装置を提案することを目的とす
る。その場合、本発明は、特に、上記調整を被検査体の
検査工程あるいは検査結果に対して実質的な悪影響を与
えることなく、極めて簡易にイメージセンサーの視野の
位置ずれを解消する技術を提供するすることを目的とす
る。さらに、本発明はイメージセンサーの所定距離間に
おける画素数を検査装置の運転期間中に測定し、その調
整を可能とすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明者は検査装置の運転期間中にイメージセンサ
ーの視野領域内にある被検査体上にレーザー光線により
スポット状のマークを作り、これをイメージセンサーで
検出すれば、その位置調整が極めて容易に行われること
を知見し、本発明を完成したものである。
に、本発明者は検査装置の運転期間中にイメージセンサ
ーの視野領域内にある被検査体上にレーザー光線により
スポット状のマークを作り、これをイメージセンサーで
検出すれば、その位置調整が極めて容易に行われること
を知見し、本発明を完成したものである。
【０００８】具体的には、被検査体の表面に帯状に光を
照射し、該被検査体の表面から反射する正反射光と乱反
射光を２つの独立したイメージセンサーにより受光して
表面疵を検出するに当たり、前記被検査体の表面の帯状
光受光領域にレーザースポット光を照射し、前記被検査
体上のスポット光の位置を前記２つのイメージセンサー
により検知するとともに、前記２つのイメージセンサー
の視野内における前記スポット光照射位置の幅方向検知
位置を一致させることによって正反射光を受光するイメ
ージセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサー間
の視野のずれを解消することとするものである。
照射し、該被検査体の表面から反射する正反射光と乱反
射光を２つの独立したイメージセンサーにより受光して
表面疵を検出するに当たり、前記被検査体の表面の帯状
光受光領域にレーザースポット光を照射し、前記被検査
体上のスポット光の位置を前記２つのイメージセンサー
により検知するとともに、前記２つのイメージセンサー
の視野内における前記スポット光照射位置の幅方向検知
位置を一致させることによって正反射光を受光するイメ
ージセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサー間
の視野のずれを解消することとするものである。
【０００９】本発明は、上記発明において、さらに、レ
ーザー光を照射する位置を、被検査体の表面疵検査を行
わない位置にとることとし、これによって表面疵検査結
果に対して悪影響を与えず、検査装置の運転期間中にイ
メージセンサーの位置調整を行うことを可能にする。
ーザー光を照射する位置を、被検査体の表面疵検査を行
わない位置にとることとし、これによって表面疵検査結
果に対して悪影響を与えず、検査装置の運転期間中にイ
メージセンサーの位置調整を行うことを可能にする。
【００１０】さらに、本発明は、被検査体の表面の帯状
光受光領域に２以上のレーザースポットを照射すること
とし、これによってイメージセンサーの位置調整をより
正確に行うことを可能とするとともに、上記レーザース
ポット間の距離の画素数を測定・調整することによって
より正確な表面疵の検出を可能とするものである。
光受光領域に２以上のレーザースポットを照射すること
とし、これによってイメージセンサーの位置調整をより
正確に行うことを可能とするとともに、上記レーザース
ポット間の距離の画素数を測定・調整することによって
より正確な表面疵の検出を可能とするものである。
【００１１】また、本発明は、被検査体の表面に帯状に
光を照射する光源と、前記被検査体の表面から反射され
る正反射光および乱反射光受光をそれぞれ独立して受光
する２つのイメージセンサーとを有する表面疵検査装置
において、上記表面疵検査装置は、さらに被検査体上の
帯状光受光領域にスポット状のレーザー光を照射するレ
ーザー光線照射装置を備え、かつ、前記２つのイメージ
センサーはそれぞれ前記スポット状のレーザー光線の照
射位置を検知する手段を具備するとともに、前記２つの
イメージセンサーの視野内における前記スポット光の幅
方向照射位置を一致させる手段を有するものである。
光を照射する光源と、前記被検査体の表面から反射され
る正反射光および乱反射光受光をそれぞれ独立して受光
する２つのイメージセンサーとを有する表面疵検査装置
において、上記表面疵検査装置は、さらに被検査体上の
帯状光受光領域にスポット状のレーザー光を照射するレ
ーザー光線照射装置を備え、かつ、前記２つのイメージ
センサーはそれぞれ前記スポット状のレーザー光線の照
射位置を検知する手段を具備するとともに、前記２つの
イメージセンサーの視野内における前記スポット光の幅
方向照射位置を一致させる手段を有するものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を鋼帯の表面疵検査
装置にイメージセンサーとしてＣＣＤカメラを用いて適
用した場合を例にとってその実施形態を説明する。図１
に示すように、鋼帯Ｓは圧延ライン（図示しない）から
検査ロール２、転回ロール４を経て巻き取り設備（図示
しない）へ送り込まれる。検査ロール２には、表面疵検
査装置１が対向して設置されており、鋼帯Ｓを検査ロー
ル２上で緊張状態に置いてその表面を検査できるように
なっている。表面疵検査に当たっては、従来から知られ
ているように被検査体上に帯状に投光し、反射する光の
うち正反射光によって表面疵を検知するＣＣＤカメラと
乱反射光によって表面疵を検知するＣＣＤカメラを置
き、これらのカメラによって得られた像を画像処理して
表面疵の形態や大きさを確定することができるようにな
っている。
装置にイメージセンサーとしてＣＣＤカメラを用いて適
用した場合を例にとってその実施形態を説明する。図１
に示すように、鋼帯Ｓは圧延ライン（図示しない）から
検査ロール２、転回ロール４を経て巻き取り設備（図示
しない）へ送り込まれる。検査ロール２には、表面疵検
査装置１が対向して設置されており、鋼帯Ｓを検査ロー
ル２上で緊張状態に置いてその表面を検査できるように
なっている。表面疵検査に当たっては、従来から知られ
ているように被検査体上に帯状に投光し、反射する光の
うち正反射光によって表面疵を検知するＣＣＤカメラと
乱反射光によって表面疵を検知するＣＣＤカメラを置
き、これらのカメラによって得られた像を画像処理して
表面疵の形態や大きさを確定することができるようにな
っている。
【００１３】本発明では、上記従来の表面疵検知方法に
おいて、前記被検査体の表面の帯状光受光領域にレーザ
ースポット光を照射することとする。レーザー光を利用
するのはレーザー光が指向性がよく、微小な点に集光で
き、その照射点を前記の帯状に投光した光と区別してＣ
ＣＤカメラによりキャッチできるからである。その際、
レーザー光の種類は特に問わないが、スポットの大きさ
は、２つのＣＣＤカメラ間の視野ずれを矯正するのには
レーザー光による像がある程度鋭いことが必要であるか
らＣＣＤ分解能の１〜２倍とするのがよい。
おいて、前記被検査体の表面の帯状光受光領域にレーザ
ースポット光を照射することとする。レーザー光を利用
するのはレーザー光が指向性がよく、微小な点に集光で
き、その照射点を前記の帯状に投光した光と区別してＣ
ＣＤカメラによりキャッチできるからである。その際、
レーザー光の種類は特に問わないが、スポットの大きさ
は、２つのＣＣＤカメラ間の視野ずれを矯正するのには
レーザー光による像がある程度鋭いことが必要であるか
らＣＣＤ分解能の１〜２倍とするのがよい。
【００１４】レーザー光は、図２に示すように、通常の
検査用の光線を投光する投光器１１とは別に設けたレー
ザー発信器１２から発信される。その取付位置は特に問
わないが、レーザー光線が鋼帯Ｓ上に作る像を、前記帯
状の検査用光の投光範囲内であって、かつ前記２つのＣ
ＣＤカメラの視野内に置くようにすればよいが、図３に
示すように、鋼帯Ｓの幅方向の中心近傍に置くようにす
るのがよい。
検査用の光線を投光する投光器１１とは別に設けたレー
ザー発信器１２から発信される。その取付位置は特に問
わないが、レーザー光線が鋼帯Ｓ上に作る像を、前記帯
状の検査用光の投光範囲内であって、かつ前記２つのＣ
ＣＤカメラの視野内に置くようにすればよいが、図３に
示すように、鋼帯Ｓの幅方向の中心近傍に置くようにす
るのがよい。
【００１５】上記のように構成することによって、乱反
射光用ＣＣＤカメラ１３および正反射光用ＣＣＤカメラ
１４は、投光器１１による検査用光線の投光範囲１８内
の所定領域（一般には検査ロール２の全長）を撮像す
る。これにより、通常の検査用光線による鋼板表面像に
重ねて、レーザー光線１５により鋼板表面に作られたス
ポット像１６が撮像される。
射光用ＣＣＤカメラ１３および正反射光用ＣＣＤカメラ
１４は、投光器１１による検査用光線の投光範囲１８内
の所定領域（一般には検査ロール２の全長）を撮像す
る。これにより、通常の検査用光線による鋼板表面像に
重ねて、レーザー光線１５により鋼板表面に作られたス
ポット像１６が撮像される。
【００１６】撮像された結果は、大略、乱反射光による
場合（図４（ａ））あるいは正反射光による場合（図４
（ｂ））のように示すことができる。すなわち、横軸に
幅方向位置を取り、縦軸にＣＣＤカメラの捉えた光強度
をとると、鋼板Ｓからの反射強度の上にレーザー光線
による反射強度が重畳され、これを閾値で仕切れ
ば、乱反射光用ＣＣＤカメラ１３が捉えたスポット像１
６の幅方向位置と正反射光用ＣＣＤカメラ１４が捉えた
スポット像１６の幅方向位置および相互のずれｘを検知
することができる。
場合（図４（ａ））あるいは正反射光による場合（図４
（ｂ））のように示すことができる。すなわち、横軸に
幅方向位置を取り、縦軸にＣＣＤカメラの捉えた光強度
をとると、鋼板Ｓからの反射強度の上にレーザー光線
による反射強度が重畳され、これを閾値で仕切れ
ば、乱反射光用ＣＣＤカメラ１３が捉えたスポット像１
６の幅方向位置と正反射光用ＣＣＤカメラ１４が捉えた
スポット像１６の幅方向位置および相互のずれｘを検知
することができる。
【００１７】上記のスポット像１６の検知結果に基づ
き、正反射用および乱反射用の２つのＣＣＤカメラの視
野内におけるスポット像１６の幅方向検知位置を一致さ
せる。これは、一方のＣＣＤカメラによるスポット像１
６の幅方向検知位置を基準として、他方のカメラによる
スポット像１６の幅方向検知位置を、カメラの視野を調
整して両者が一致するように合わせることによって達成
できる。
き、正反射用および乱反射用の２つのＣＣＤカメラの視
野内におけるスポット像１６の幅方向検知位置を一致さ
せる。これは、一方のＣＣＤカメラによるスポット像１
６の幅方向検知位置を基準として、他方のカメラによる
スポット像１６の幅方向検知位置を、カメラの視野を調
整して両者が一致するように合わせることによって達成
できる。
【００１８】このようにすることにより、正反射光用の
ＣＣＤカメラ１４と乱反射光用のＣＣＤカメラ１３の視
野が正確に一致するので、これら両者の撮像結果を画像
処理した場合に鋼板表面の疵の検出が極めて正確に行わ
れる。
ＣＣＤカメラ１４と乱反射光用のＣＣＤカメラ１３の視
野が正確に一致するので、これら両者の撮像結果を画像
処理した場合に鋼板表面の疵の検出が極めて正確に行わ
れる。
【００１９】以上、被検査体として鋼帯を検査ロールに
巻き付けてその表面を検査する過程において２つのＣＣ
Ｄカメラの幅方向撮像位置のずれを解消する手段につい
て説明したが、かかる調整は、鋼帯上の検査不要の部
分、例えば段付点で行うようにするのが望ましい。段付
点とは、図５に示すように、先行コイル２１と後行コイ
ル２２を溶接部２３で接続した点をいい、その位置を検
出可能にするために、例えば、先行コイル２１にパンチ
穴２４が設けられている。また、鋼帯のトラッキングを
円滑に行うためにトリミング部２５が設けられている。
巻き付けてその表面を検査する過程において２つのＣＣ
Ｄカメラの幅方向撮像位置のずれを解消する手段につい
て説明したが、かかる調整は、鋼帯上の検査不要の部
分、例えば段付点で行うようにするのが望ましい。段付
点とは、図５に示すように、先行コイル２１と後行コイ
ル２２を溶接部２３で接続した点をいい、その位置を検
出可能にするために、例えば、先行コイル２１にパンチ
穴２４が設けられている。また、鋼帯のトラッキングを
円滑に行うためにトリミング部２５が設けられている。
【００２０】この段付点は、図１に示すように、鋼帯検
査設備に設けた段付点検出器３によって検出されるが、
その近傍はスクラップとして処理される部分であるの
で、検査ロール２上を段付部が通過する際、本発明にし
たがってＣＣＤカメラ視野の調整を行えば、カメラ視野
の調整に伴う検査工程の上の障害、たとえば、レーザー
光線が表面疵に当たってその表面疵を発見され難くする
ことがなくなる。また、レーザー光線を照射する場合
に、その幅方向位置を定め、その位置にあるものだけを
有効なマークとして処理すれば、表面疵との誤認するこ
となく、通常の検査工程中にＣＣＤカメラの視野調整を
行いうる。
査設備に設けた段付点検出器３によって検出されるが、
その近傍はスクラップとして処理される部分であるの
で、検査ロール２上を段付部が通過する際、本発明にし
たがってＣＣＤカメラ視野の調整を行えば、カメラ視野
の調整に伴う検査工程の上の障害、たとえば、レーザー
光線が表面疵に当たってその表面疵を発見され難くする
ことがなくなる。また、レーザー光線を照射する場合
に、その幅方向位置を定め、その位置にあるものだけを
有効なマークとして処理すれば、表面疵との誤認するこ
となく、通常の検査工程中にＣＣＤカメラの視野調整を
行いうる。
【００２１】また、上記例においては、図４に示すよう
に、レーザー光線１５は視野内に１本だけ発信されてい
るが、図６に示すように２本以上のレーザー光線を使用
することも可能である。この場合は、２つのＣＣＤカメ
ラ間の視野ずれを２以上のスポット像によりチェックで
きるのでより正確に視野の調整を行うことができるとと
もに、２つのスポット像間の画素数を調整してより精度
高く表面疵検査を行うことができる。
に、レーザー光線１５は視野内に１本だけ発信されてい
るが、図６に示すように２本以上のレーザー光線を使用
することも可能である。この場合は、２つのＣＣＤカメ
ラ間の視野ずれを２以上のスポット像によりチェックで
きるのでより正確に視野の調整を行うことができるとと
もに、２つのスポット像間の画素数を調整してより精度
高く表面疵検査を行うことができる。
【００２２】なお、上記実施形態の説明は、被検査体と
して鋼帯をとり、また、イメージセンサーとしてＣＣＤ
カメラを利用した場合について説明したが、被検査体と
して銅板等を、またイメージセンサーとして画像処理用
カメラ等を採用することが可能である。
して鋼帯をとり、また、イメージセンサーとしてＣＣＤ
カメラを利用した場合について説明したが、被検査体と
して銅板等を、またイメージセンサーとして画像処理用
カメラ等を採用することが可能である。
【００２３】
【発明の効果】本発明は上記のように構成したから、検
査ラインの運転中であっても正反射用と乱反射用の２つ
のイメージセンサーの視野のずれの解消、さらには画素
数の調整を容易に行うことができ、正確に表面疵の検出
を行うことが可能になった。また、マークシートを検査
ロールに貼り付けてイメージセンサーの調整を行う作業
が不要となった。
査ラインの運転中であっても正反射用と乱反射用の２つ
のイメージセンサーの視野のずれの解消、さらには画素
数の調整を容易に行うことができ、正確に表面疵の検出
を行うことが可能になった。また、マークシートを検査
ロールに貼り付けてイメージセンサーの調整を行う作業
が不要となった。
【図１】 本発明を適用する鋼帯検査設備の配置図の１
例である。
例である。
【図２】 本発明に係る表面疵検査装置の１実施形態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図３】 図２に示す表面疵検査装置の側面図である。
【図４】 本発明を利用したときのＣＣＤカメラ像によ
る幅方向位置と光強度の関係図である。
る幅方向位置と光強度の関係図である。
【図５】 段付点の説明図である。
【図６】 本発明に係る表面疵検査装置の他の実施形態
を示す正面図である。
を示す正面図である。
１：表面疵検査装置 ２：検査ロール ３：段付点検出器 ４：転回ロール １１：投光器 １２：レーザー発信器 １３：乱反射光用ＣＣＤカメラ １４：正反射光用ＣＣＤカメラ １５：レーザー光線 １６：レーザー光のスポット像 １７：レーザー発信器 １８：検査用光線の投光範囲 ２１：先行コイル ２２：後行コイル ２３：溶接部 ２４：パンチ穴 ２５：トリミング部 Ｓ：鋼板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA19 AA49 BB13 BB15 BB25 BB27 BB29 CC00 CC06 EE00 FF42 FF44 GG04 HH04 HH05 HH12 HH14 HH16 HH17 JJ03 JJ05 JJ08 JJ26 MM03 PP16 QQ25 QQ28 2G051 AA37 AB07 BA01 BA10 CA03 CA04 CA07 CB01 CB05 DA01 DA06 ED07
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査体の表面に帯状に光を照射し、該
被検査体の表面から反射する正反射光と乱反射光を２つ
の独立したイメージセンサーにより受光して表面疵を検
出するに当たり、 前記被検査体の表面の帯状光受光領域にレーザースポッ
ト光を照射し、前記被検査体上のスポット光の位置を前
記２つのイメージセンサーにより検知するとともに、前
記２つのイメージセンサーの視野内における前記スポッ
ト光照射位置の幅方向検知位置を一致させることによっ
て正反射光を受光するイメージセンサーと乱反射光を受
光するイメージセンサー間の視野のずれを解消すること
を特徴とする表面疵検査方法。 - 【請求項２】 前記レーザースポット光を照射する位置
は被検査体の表面疵検査を行わない位置であることを特
徴とする請求項１記載の表面疵の検査方法。 - 【請求項３】 前記レーザースポット光は被検査体の表
面の帯状光受光領域に２以上照射されることを特徴とす
る請求項１または２記載の表面疵の検査方法。 - 【請求項４】 被検査体の表面に帯状に光を照射する光
源と、 前記被検査体の表面から反射される正反射光および乱反
射光受光をそれぞれ独立して受光する２つのイメージセ
ンサーとを有する表面疵検査装置において、上記表面疵
検査装置は、さらに被検査体上の帯状光受光領域にスポ
ット状のレーザー光を照射するレーザー光線照射装置を
備え、 かつ、前記２つのイメージセンサーはそれぞれ前記スポ
ット状のレーザー光照射位置を検知する手段を具備する
とともに、前記２つのイメージセンサーの視野内におけ
る前記スポット光の幅方向照射位置を一致させる手段を
有してなることを特徴とする表面疵検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11008664A JP2000205847A (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | 表面疵検査方法および装置 |
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|---|---|---|---|
| JP11008664A JP2000205847A (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | 表面疵検査方法および装置 |
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- 1999-01-18 JP JP11008664A patent/JP2000205847A/ja active Pending
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