JPWO2009150913A1 - 照明装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 光源を保持し、該光源が発する照明光を出力する複数の光源部と、
前記複数の光源部が出力した各照明光を被照射体に照射する投射部と、
少なくとも前記投射部を含み前記各照明光に共通な共通光学系に対して、該共通光学系の光軸周りの異なる位置または光軸上から前記各照明光を導入する導入部と、
前記投射部に対して実質的に前記共通光学系の光軸を中心に、前記光源の光源像を該光源ごとに一以上形成する結像部と、
を備えたことを特徴とする照明装置。 - 前記結像部は、前記複数の光源部が保持する各光源の前記光源像を所定面に形成することを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記所定面は、前記投射部が有する開口絞りの絞り面と共役な面であることを特徴とする請求項2に記載の照明装置。
- 前記所定面は、前記投射部の射出瞳が形成される瞳面と共役な面であることを特徴とする請求項2に記載の照明装置。
- 前記所定面は、前記投射部が有するフライアイレンズの後側焦点面と共役な面であることを特徴とする請求項2に記載の照明装置。
- 少なくとも1つの前記光源部に対して設けられ、該光源部が出力した前記照明光を複数の部分照明光に分割する分割部を備え、
前記導入部は、前記複数の部分照明光を前記共通光学系の光軸を中心とする異なる位置から該共通光学系へ導入することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の照明装置。 - 前記結像部は、前記複数の部分照明光ごとの前記光源像を、前記共通光学系の光軸を中心とする回転対称な位置に形成することを特徴とする請求項6に記載の照明装置。
- 前記結像部は、前記複数の部分照明光ごとに個別の結像素子を有することを特徴とする請求項6または7に記載の照明装置。
- 前記結像部は、前記分割部と一体に設けられることを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記分割部は、前記複数の光源部のうち第1および第2の光源部が出力した各照明光をそれぞれ2つの部分照明光に分割し、
前記結像部は、前記第1の光源部に対応する2つの前記部分照明光ごとの前記光源像を実質的に前記共通光学系の光軸と交差する第1の方向に沿って形成するとともに、前記第2の光源部に対応する2つの前記部分照明光ごとの前記光源像を、実質的に前記共通光学系の光軸回りに前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って形成することを特徴とする請求項6〜9のいずれか一項に記載の照明装置。 - 前記結像部は、前記複数の光源部のうち第3の光源部が保持する前記光源の光源像を前記共通光学系の光軸上に形成することを特徴とする請求項10に記載の照明装置。
- 前記結像部は、前記複数の部分照明光ごとの前記光源像を前記共通光学系の光軸上に形成することを特徴とする請求項6に記載の照明装置。
- 前記結像部は、前記複数の部分照明光に対して共通の結像素子を有することを特徴とする請求項12に記載の照明装置。
- 前記部分照明光ごとの前記光源像の間隔を変更する像間隔変更部を備えることを特徴とする請求項6〜11のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記複数の部分照明光の各光路の間隔を変更する光路間隔変更部を備えることを特徴とする請求項6〜14のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記光路間隔変更部は、前記分割部と一体に設けられることを特徴とする請求項15に記載の照明装置。
- 前記導入部は、前記共通光学系の光軸周りおよび光軸上の少なくとも一方に反射面が設けられた一以上の反射素子を有し、少なくとも1つの前記光源部が出力した前記照明光を前記反射素子によって反射させて前記共通光学系へ導入することを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記導入部は、前記共通光学系の光軸周りに反射面が設けられた一以上の反射素子を有し、該反射素子によって前記複数の部分照明光を反射させて前記共通光学系へ導入することを特徴とする請求項6〜16のいずれか一項に記載の照明装置。
- パターンが形成されたマスクを保持するマスク保持部と、
感光基板を保持する基板保持部と、
前記マスクを介して前記感光基板に照明光を照射する請求項1〜18のいずれか一項に記載の照明装置と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記マスクのパターンの像を投影する投影部を備え、
前記照明装置は、前記投影部を介して前記感光基板に前記照明光を照射することを特徴とする請求項19に記載の露光装置。 - 請求項19または20に記載の露光装置を用いて、前記パターンを前記感光基板に転写することと、
前記パターンが転写された前記感光基板を前記パターンに基づいて加工することと、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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