JPWO2009122506A1 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
ロータとステータとの間の径方向の隙間を、リング部とケーシングとの間の径方向の隙間よりも小さくすることもできる。
リング部を、ベースのフランジ面側にかけて延設することもできる。
この場合、リング部を、最終段のスペーサに設け、その先端部を第1段のスペーサの側方にかけて延設することが好ましい。
ベースのフランジ面上に、ケーシングの内側でリング部の先端部外周面を覆うように外周押さえ部を設けてもよい。
以下、図1〜3を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。
図1(a)は、本発明の第1の実施の形態に係るターボ分子ポンプの要部構成を示す断面図であり、図1(b)は図1(a)の要部拡大図である。図2は、図1の比較例としてのターボ分子ポンプの全体構成を概略的に示す断面図である。このターボ分子ポンプは、例えば半導体製造装置に用いられる真空ポンプであり、まず、図2によりターボ分子ポンプの概略構成について説明する。なお、説明の便宜上、以下では図示のようにターボ分子ポンプの上下方向を定義する。
何らかの原因により高速回転中のロータ4が破壊すると、その破壊による飛散物が固定翼43やスペーサ48を介してケーシング部431の内壁面に衝突する。これによりケーシング部431が変形、あるいはケーシング部431がロータ4の飛散物からのトルクによって外側ケーシング2に対し相対回転し、ロータ破壊のエネルギーがケーシング部431で吸収される。このケーシング部431の機能により、ロータ4の破壊による回転トルクが外側ケーシング2に伝達されることを抑制することができ、真空系の装置の破損を防止できる。
(1)最上段のスペーサ48に大径のケーシング部483を連設し、ケーシング部483により固定翼43とスペーサ48の外周を覆うようにした。これによりロータ4の破壊による衝撃が外側ケーシング2に伝達されることを抑制できるとともに、ケーシング部483をがたつきなく支持できる。すなわち、仮にケーシング部483をスペーサ48とは別体に設けてベース3のフランジ面31上に支持する場合、スペーサ48とケーシング部483をベース3と外側ケーシング2の間に別々に挟持するため、ケーシング部483の取付位置にがたつきが生じやすい。これに対し本実施の形態では、ケーシング部483をスペーサ48と一体に設けているので、ケーシング部483を別に挟持する必要がなく、ケーシング部483のがたつきを防ぐことができる。
(3)積層体400の外側に円筒形状のケーシング部483を配設するので、その分、外側ケーシング2の周壁22の内径側の肉厚を薄くしても、ケーシング全体の強度を確保することができる。このため外側ケーシング2の外径を大きくする必要がなく、ポンプ本体1の大型化を防ぐことができる。
(4)ケーシング部483を下側に向けて延設するので、スペーサ48を容易に積層することができる。
(6)スペーサ48に径方向にかけて貫通孔484を開口するので、隙間a1〜a3に溜まったガスをガス通路の下流側へと流すことができ、吸気口1a側を高真空状態に維持できる。
(7)ケーシング部483の周囲に隙間a1〜a3を設けるようにしたので、ケーシング部483が他の部品と干渉することがなく、ポンプ本体1を容易に組み立てることができる。
図4を参照して本発明の第2の実施の形態について説明する。
図4は、第2の実施の形態に係るターボ分子ポンプの要部構成を示す断面図である。なお、図2(b)と同一の箇所には同一の符号を付し、以下ではその相違点を主に説明する。
Claims (5)
- ベースに回転可能に支持されたロータと、
前記ロータの周囲に配設されたステータと、
前記ステータが収容される筒状のケーシングとを備え、
前記ステータは、複数段の固定翼およびスペーサを、前記ベースのフランジ面上に第1段から最終段に至るまで交互に積層してなり、
少なくとも一の前記スペーサには、前記ケーシングの内側で他の前記スペーサの外周面を覆う円環状のリング部が連設されるターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータと前記ステータとの間の径方向の隙間は、前記リング部と前記ケーシングとの間の径方向の隙間よりも小さいターボ分子ポンプ。 - 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記リング部は、前記ベースのフランジ面側にかけて延設されるターボ分子ポンプ。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記リング部は、前記最終段のスペーサに設けられ、その先端部は前記第1段のスペーサの側方にかけて延設されるターボ分子ポンプ。 - 請求項4に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ベースのフランジ面上には、前記ケーシングの内側で前記リング部の先端部外周面を覆うように外周押さえ部が設けられるターボ分子ポンプ。
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