JPWO2008108423A1 - 位置計測モジュール、位置計測装置、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の第1実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図であり、図2は図1の露光装置が備える照明光学系の概略構成を示す図である。この露光装置は、液晶表示素子を製造するため、投影光学系PLに対してマスクMと、感光剤がその表面に塗布されたプレート(感光基板)Pとを同期的に移動させつつ、マスクMに形成されたパターンの像を逐次的にプレートP上に転写するスキャン型の露光装置である。
次に、本発明の第2実施形態について、図6を参照して説明する。図5に示した構成では、レーザ光源20から射出されたレーザ光は、偏光ビームスプリッタR1a,D1a〜D3aによりそれぞれ50%ずつの比率で偏光分離され、基準光用ユニットR1および第1〜第4検出光用ユニットD1〜D4に分配される。従って、後段の検出光用ユニットにいくに従って、検出光のエネルギー(パワー、光量)が低下することになる。本発明の第2実施形態は、この点を改善し、基準光用ユニットR1により射出される基準光、及び第1〜第4検出光用ユニットD1〜D4により射出される各検出光のパワーが互いに均等になるようにしている。なお、図5と実質的に同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は省略する。
次に、本発明の第3実施形態について、図7及び図8を参照して説明する。
次に、本発明の第4実施形態について、図10を参照して説明する。なお、図5、図6又は図8と同一の構成部分については、同一の符号を付してその説明を適宜省略する。
上述した各実施形態の露光装置では、投影光学系を用いて、マスクMに形成された転写用のパターンを感光基板(プレート)に露光転写する露光工程を行い、さらに露光転写されたパターンを現像する現像工程を行うことにより、液晶表示素子、半導体素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド等のデバイスを製造することができる。以下、上述のいずれかの実施形態にかかる露光装置を用いて感光基板としてのプレート等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図11に示すフローチャートを参照して説明する。
Claims (28)
- 移動体に設けられ、第1軸方向に沿って反射面を有する移動鏡と、
前記第1軸方向に配列された複数の計測軸ごとに配置され、前記移動鏡に対して前記第1軸方向と交差する第2軸方向に検出光を照射する検出光ユニットと、
前記移動体と異なる部材に固定された固定鏡を含み、該固定鏡に対して基準光を照射する基準光ユニットと、
前記計測軸ごとに前記移動鏡で反射された前記検出光の各検出光路の光路結合、または前記基準光ユニットを介した前記基準光の基準光路と前記検出光路との光路結合を行う複数の光路結合素子と、
前記光路結合素子を介して入射される前記検出光と前記基準光との干渉による干渉縞を検出し、該干渉縞の検出結果をもとに、前記移動体の前記第2軸方向の位置を計測する検出部と、
を備えたことを特徴とする位置計測モジュール。 - 複数の前記計測軸は、2以上の前記検出光が前記移動鏡に同時に照射されない間隔で配列されたことを特徴とする請求項1に記載の位置計測モジュール。
- 複数の前記計測軸は、前記第1軸方向における前記移動体の移動範囲内に配列されたことを特徴とする請求項1または2に記載の位置計測モジュール。
- 前記基準光ユニットは、前記計測軸ごとに設けられ、前記固定鏡に対する前記基準光の照射および非照射を選択的に行う選択照射機構を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の位置計測モジュール。
- 前記移動鏡に対して前記検出光を照射している第1の前記検出光ユニットと隣り合う第2の前記検出光ユニットに対応付けられた前記基準光ユニットの前記選択照射機構を択一的に作動させる選択照射制御部を備えることを特徴とする請求項4に記載の位置計測モジュール。
- 前記移動鏡に対して前記検出光を照射している前記検出光ユニットに対応付けられた前記基準光ユニットの前記選択照射機構を択一的に作動させる選択照射制御部を備えることを特徴とする請求項4に記載の位置計測モジュール。
- 前記選択照射機構は、前記固定鏡に対する前記基準光の光路を選択的に開放および遮断するシャッタ機構と、前記検出光の光路に前記固定鏡を選択的に挿脱させる挿脱機構との少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の位置計測モジュール。
- 前記検出部は、前記移動体の前記第1軸方向の位置に応じ、第1の前記検出光ユニットを介した前記検出光と前記基準光ユニットを介した前記基準光とによる第1の干渉縞、または第2の前記検出光ユニットを介した前記検出光と該基準光とによる第2の干渉縞を検出することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の位置計測モジュール。
- 前記検出光および前記基準光の少なくとも一方の周波数を変化させ、前記検出光と前記基準光との間に周波数差を生成する周波数変調器を備え、
前記検出部は、前記干渉縞をヘテロダイン検出することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の位置計測モジュール。 - 前記周波数変調器は、前記計測軸ごとに設けられ、該計測軸ごとに前記周波数の変化量を異ならせることを特徴とする請求項9に記載の位置計測モジュール。
- 周波数および偏光面が異なる前記検出光と前記基準光とを射出する光源装置を備え、
前記検出部は、前記干渉縞をヘテロダイン検出することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の位置計測モジュール。 - 複数の前記検出光ユニットにレーザ光を供給する光源装置と、
前記計測軸ごとに前記検出光として分岐する前記レーザ光の分岐光量比を調整する光量調整機構と、
を備えたことを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の位置計測モジュール。 - 前記光源装置は、直線偏光である前記レーザ光を供給し、前記光量調整機構は、前記レーザ光を透過させる1/2波長板を含むことを特徴とする請求項12に記載の位置計測モジュール。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の位置計測モジュールを複数備え、
複数の前記位置計測モジュールのうちの第1の位置計測モジュールにおける第1および第2の前記計測軸間に、第2の位置計測モジュールの前記計測軸が配置されたことを特徴とする位置計測装置。 - 前記第1の位置計測モジュールの前記計測軸と、前記第2の位置計測モジュールの前記計測軸とは、前記第1軸方向における前記移動鏡の反射面の寸法よりも狭い間隔で配置されたことを特徴とする請求項14に記載の位置計測装置。
- 前記第1の位置計測モジュールにおける第1および第2の前記計測軸と、前記第2の位置計測モジュールの前記計測軸とは、この各計測軸上に射出される前記検出光が前記移動鏡に同時に照射されない間隔で配置されたことを特徴とする請求項14または15に記載の位置計測装置。
- 前記第1の位置計測モジュールにおける第1および第2の前記計測軸と、前記第2の位置計測モジュールにおける第1および第2の前記位置計測軸とは、この各計測軸上に射出される前記検出光が前記移動鏡に同時に照射されない間隔で配置されたことを特徴とする請求項14〜16のいずれか一項に記載の位置計測装置。
- 前記第1および第2の位置計測モジュールの少なくとも一方の前記検出光ユニットは、前記検出部に入射させる前記検出光の偏光を、前記第1および第2の位置計測モジュール間で異ならせる偏光調整素子を含むことを特徴とする請求項14〜17のいずれか一項に記載の位置計測装置。
- 前記移動体の前記第1軸方向の位置と、前記第1の位置計測モジュールの計測結果とに基づいて、前記第2の位置計測モジュールの計測初期値を設定する計測制御部を備えたことを特徴とする請求項14〜18のいずれか一項に記載の位置計測装置。
- 前記計測制御部は、前記第1の位置計測モジュールの1つの前記計測軸における前記計測結果に基づいて、該計測軸に隣り合う前記第2の位置計測モジュールの前記計測軸における前記計測初期値を設定することを特徴とする請求項19に記載の位置計測装置。
- 前記移動体の前記第1軸方向の位置を計測する位置センサを備え、
前記計測制御部は、前記位置センサの計測結果に基づいて前記計測初期値の設定を行うことを特徴とする請求項19または20に記載の位置計測装置。 - 前記位置センサは、前記移動体の前記第2軸方向における複数個所に対して前記第1軸方向の位置を計測することを特徴とする請求項21に記載の位置計測装置。
- 前記位置センサは、レーザ干渉計を含むことを特徴とする請求項21または22に記載の位置計測装置。
- 第1軸方向及び該第1軸方向に直交する第2軸方向の2次元方向に移動可能な移動体の位置を計測する位置計測装置であって、
前記第2軸方向の位置を計測するとともに、前記第1軸方向に離間して配置され、前記移動体が前記第1軸方向に移動した際の位置を計測するための複数の計測軸と、
前記複数の計測軸に対するように設けられ、前記移動体の位置を検出するための複数の検出部とを備え、
前記複数の検出部は、前記複数の計測軸の数より少ないことを特徴とする位置計測装置。 - 請求項14〜23のいずれか一項に記載の位置計測装置と、
前記移動鏡が設けられ、物体を保持して前記第1軸方向および前記第2軸方向へ移動させるステージ部と、を備え、
前記位置計測装置は、前記ステージ部の位置を前記移動体の位置として計測することを特徴とするステージ装置。 - パターンの像を感光基板に転写する露光装置であって、
請求項14〜23のいずれか一項に記載の位置計測装置と、
前記移動鏡が設けられ、前記感光基板を保持して前記第1軸方向および前記第2軸方向へ移動させる基板ステージと、を備え、
前記位置計測装置は、前記基板ステージの位置を前記移動体の位置として計測することを特徴とする露光装置。 - 前記パターンが形成されたマスクを保持して前記第1軸方向へ移動させるマスクステージと、
前記基板ステージおよび前記マスクステージを前記第1軸方向へ同期して移動させつつ前記パターンの像を前記感光基板上に転写する制御を行う露光制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項26に記載の露光装置。 - 請求項26又は27に記載の露光装置を用い、前記パターンの像を前記感光基板に転写する露光工程と、
前記パターンの像が転写された前記感光基板を現像し、該パターンの像に対応する形状の転写パターン層を前記感光基板上に形成する現像工程と、
前記転写パターン層を介して前記感光基板を加工する加工工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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