JPWO2008093526A1 - 差圧センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図6は、バネ122のバランス構造の別の変形例を採用した弾性反力部材1184を示す。
102 ハウジング
104 第1のチャンバ(低圧チャンバ)
106 第1の壁
106A 第1の壁の肉薄部
108 第2のチャンバ(高圧チャンバ)
110 第2の壁
112 ダイアフラム
114 ダイアフラムの可動部
118 弾性反力部材
118,1182,1184,1186 弾性反力部材
120 接触部
122 バネ
122A 遊動端
122B 固定端
122C 第1バネ部
122D 第2バネ部
122E 相互接続点
124 枝部
126 移動子
128 非接触検出素子
130 配線
200 参照番号
300 差圧センサ
302,3022,3024,3026 弾性反力部材
304 接触部
306,308,310 バネ
306A,308A 遊動端
306B,308B 固定端
306C,308C 第1バネ部
306D,308D 第2バネ部
312 枝部
Claims (9)
- 第1のチャンバ(104)を画成する第1の壁(106)と第2のチャンバ(108)を画成する第2の壁(110)とを有するハウジング(102)と、
前記ハウジング内で前記第1と第2のチャンバ間に配置され、前記第1と第2のチャンバ間の差圧を受けて所定の移動軸(X)に沿って移動可能な可動部(114)をもつダイアフラム(112)と、
前記可動部に弾性的な反力を加える弾性反力部材(118、1182、1184、1186、302、3022、3024または3026)と、
前記可動部の前記移動軸に沿った位置に応じた電気信号を出力するトランスデューサ(126と128)と
を備え、
前記弾性反力部材(118、1182、1184、1186、302、3022、3024または3026)が、
前記可動部に接触し、前記可動部と一緒に移動可能な接触部(120または304)と、
前記接触部に接続された遊動端(122A、306Aまたは308A)と、前記ハウジングに接続された固定端(122B、306Bまたは308B)とをもつ板状又は線状のバネ(122、306、308または310)と
を有し、
前記バネは、前記遊動端と前記固定端の間で互いに直列接続された第1バネ部(122C、306Cまたは308C)と第2バネ部(122D、306Dまたは308D)を有し、前記第1バネ部は前記遊動端から前記第1と第2バネ部の相互接続点まで第1方向へ伸び、前記第2バネ部は前記相互接続点から前記固定端まで第2方向へ伸び、
前記第1方向と前記第2方向が、前記移動軸に直交する2次元座標平面(Y-Z)上で互いに鈍角をなすように、前記第1バネ部と第2バネ部が配置された差圧センサ。 - 請求項1記載の差圧センサにおいて、
前記バネがC、U、VまたはJ字形状に形成された差圧センサ。 - 請求項1記載の差圧センサにおいて、
前記弾性反力部材(302、3022、3024または3026)が、前記接触部(304)に共通に接続された前記遊動端をそれぞれもつ複数の前記バネ(306と308、または306と308と310)を有し、
前記複数のバネ中の各一つのバネ(306)と別の少なくとも一つのバネ(308または310)の前記接触部からそれぞれ伸びる方向が、前記2次元座標平面上で互いに鈍角をなすように、前記複数のバネが配置された差圧センサ。 - 請求項1記載の差圧センサにおいて、
前記複数のバネが、前記接触部について対称に配置された差圧センサ。 - 請求項1記載の差圧センサにおいて、
前記第2バネ部(122D、306Dまたは308D)の長さが、前記第1バネ部(122C、306Cまたは308C)の長さより長い差圧センサ。 - 請求項1〜5のいずれか一項記載の差圧センサにおいて、
前記弾性反力部材は、前記バネとは別の、前記接触部に接続された枝部(124または312)を更に有し、
前記トランスデューサは、前記枝部の位置に応じて前記電気信号を出力するようになった差圧センサ。 - 請求項6記載の差圧センサにおいて、
前記弾性反力部材は、前記第1または第2のチャンバ内に配置され、
前記トランスデューサは、
前記第1または第2のチャンバ内の前記枝部に取り付けられた移動子(126)と、
前記第1および第2のチャンバの外に配置され、前記第1または第2のチャンバ内の前記移動子の位置を、前記第1または第2の壁を介し非接触的に検出する検出素子(128)と
を有する差圧センサ。 - 請求項1〜5のいずれか一項記載の差圧センサにおいて、
前記バネが枝部(124または312)を有し、前記枝部上に前記トランスデューサの一部(126)が取り付けられた差圧センサ。 - 請求項3記載の差圧センサにおいて、
前記第1のチャンバ(104)は低圧チャンバであり、前記第2のチャンバ(108)は高圧チャンバであり、
前記弾性反力部材(302、3022、3024または3026)が、前記低圧チャンバ(104)内に配置され、
前記弾性反力部材(302、3022、3024または3026)が、前記バネとは別の、前記接触部(304)に接続された枝部(312)を更に有し、
前記トランスデューサ(126と128)は、
前記枝部(312)に取り付けられた移動子(126)と、
前記低圧及び高圧チャンバ(104と108)の外に配置され、前記移動子(126)の位置を、前記低圧チャンバ(104)の壁を介し非接触的に検出する検出素子(128)と
を有し、
前記複数のバネ(306と308、または306と308と310)の各々が、C、U、VまたはJ字形状に形成され、
前記複数のバネ(306と308、または306と308と310)の各々が、前記遊動端と前記固定端の間で互いに直列接続された第1バネ部(306Cまたは308C)と第2バネ部(306Dまたは308D)を有し、前記第1バネ部は前記遊動端から前記第1と第2バネ部の相互接続点まで第1方向へ伸び、前記第2バネ部は前記相互接続点から前記固定端まで第2方向へ伸び、前記第2バネ部(122D、306Dまたは308D)の長さが、前記第1バネ部(122C、306Cまたは308C)の長さより長く、
前記複数のバネ(306と308、または306と308と310)が、前記接触部について対称に配置された差圧センサ。
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