JPWO2008035650A1 - ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム - Google Patents

ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム Download PDF

Info

Publication number
JPWO2008035650A1
JPWO2008035650A1 JP2008535343A JP2008535343A JPWO2008035650A1 JP WO2008035650 A1 JPWO2008035650 A1 JP WO2008035650A1 JP 2008535343 A JP2008535343 A JP 2008535343A JP 2008535343 A JP2008535343 A JP 2008535343A JP WO2008035650 A1 JPWO2008035650 A1 JP WO2008035650A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
terminal
terminals
module substrate
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008535343A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4947054B2 (ja
Inventor
高鳥 正博
正博 高鳥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2008535343A priority Critical patent/JP4947054B2/ja
Publication of JPWO2008035650A1 publication Critical patent/JPWO2008035650A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4947054B2 publication Critical patent/JP4947054B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/50Fixed connections
    • H01R12/51Fixed connections for rigid printed circuits or like structures
    • H01R12/52Fixed connections for rigid printed circuits or like structures connecting to other rigid printed circuits or like structures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0483Sockets for un-leaded IC's having matrix type contact fields, e.g. BGA or PGA devices; Sockets for unpackaged, naked chips
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441Details
    • G01R1/0466Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02Contact members
    • H01R13/22Contacts for co-operating by abutting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2201/00Connectors or connections adapted for particular applications
    • H01R2201/20Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)
  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)

Abstract

本発明のソケットは、裏面に第一の突起と、裏面に第一の突起に電気的に接続された第一の端子を有した蓋と、上面に第二の端子と、裏面に第二の端子に電気的に接続された第三の端子を有した本体と、本体に電子部品を格納し、蓋で挟んで固定した間に、第一の端子と第二の端子が電気的に接続される。本発明の検査システムは、本発明のソケットと、ソケットの第三の端子を電子部品の検査装置に電気的に接続して検査信号を伝播する評価基板とを備える。

Description

本発明は、LSI(Large Scale Integrated Circuit)またはIC(Integrated Circuit)等の電子部品が実装されたモジュール基板、モジュール基板を格納するソケット、電子部品を検査するシステムに関する。
近年、デジタルテレビ等のデジタル家電が一般家庭に普及しつつある。このデジタル家電の普及には、製品の高性能化および多機能化が大きな鍵を握っている。
デジタル家電の性能は、デジタル信号処理を高速化することで、より向上させることができる。デジタル信号処理の高速化は、システムLSIのクロック周波数の向上、データバス幅の拡張、およびDDR(double data rate)メモリ等の高速メモリを用いること等により実現することができる。
また、デジタル家電の機能を増加するためには、回路の高集積化が必要になる。回路の高集積化は、例えば、MCM(Multi Chip Module)またはSIP(System In Package)またはPOP(Package On Package)等の技術により、複数の電子部品を一つのパッケージ内に搭載することでより実現することができる。
ところで、回路の高集積化により、多数の機能を製品に搭載することが可能になるが、各機能が動作するために必要なインターフェース信号の数も増加する。それにより、パッケージ外部に設けられる外部端子の数も増加する。また、パッケージ内に収納される電子部品の数の増加に伴い、それらの検査用の外部端子の数も増加する。そのパッケージは、外部端子を介して外部基板に電気的に接続されるが、外部端子の数が増加することにより、パッケージが大型化してしまう。また、パッケージを実装するデジタル家電の基板は、パッケージの大型化に伴い大型化し、しいてはデジタル家電自体をも大型化してしまう。
そこで、例えば、特許文献1のICパッケージにおいては、二層構造を有するリード基板の1層目に下段リード端子を設け、2層目に試験用端子となる上段リード端子を設けている。この構成においては、リード基板の2層目に設けられる上段リード端子は回路基板と接続されない。すなわち、試験用端子をリード基板の2層目に設けることにより、回路基板が接続される領域(リード基板の1層目)に設けられる端子の数を減少させている。それにより、ICパッケージの小型化が可能になることが考えられる。
一方、パッケージ内の電子部品を検査して出荷する際には、パッケージの組み立てが完成した後に検査するのが一般的である。そのために、パッケージは検査装置へ取り外し可能に接続する必要がある。そこで、例えば、特許文献2のソケットにおいては、BGAパッケージ下部の半田ボールに対面したピンコンタクトと、そのピンコンタクトに対面したソケットコンタクトとをソケット本体に有している。そうして、BGAパッケージと基板を取り外し可能にすることが考えられている。
しかしながら、特許文献1のICパッケージの構成においては、試験用端子を設けるためにリード基板を2層構造にする必要がある。この場合、電子部品としての機能上は必要がない基板を設けることになり、製造コストおよび製造工程が増加する。
また、試験用端子は2層目のリード基板に形成されているので、試験用端子とICチップとを接続するワイヤの長さが長くなる。この場合、試験用端子とICチップとの間のインピーダンス整合を行うことが困難になる。それにより、ICチップの検査時に、試験用端子またはワイヤの端部で反射波が発生し、検査用信号に波形歪みが生じる。その結果、ICチップを正確に検査することが困難になる。
また、特許文献2のソケットと上記特許文献1のICパッケージを組み合わせた場合、試験用端子とピンコンタクトとを電気的に接続できない。よって、検査装置と試験用端子とを接続することができないためICパッケージ内部の電子部品を検査することができない。
特開2000−68440号公報 特開平8−31532号公報
本発明は、電子部品の検査を確実に行うことができかつ製造コストの増加が防止された小型のモジュール基板およびソケットおよびモジュール基板および検査システムを提供する。
本発明によれば、モジュール基板上面に試験用端子を設ける場合、試験用端子と検査装置とを電気的に接続できるので、モジュール基板内部の電子部品を検査することができる。
ソケットは、裏面に第一の突起と裏面に第一の突起に電気的に接続された第一の端子を有した蓋と、上面に第二の端子と裏面に第二の端子に電気的に接続された第三の端子を有した本体とを備え、本体に電子部品を格納し、蓋で挟んで固定した間に第一の端子と第二の端子が電気的に接続される。
モジュール基板は、上下方向に積層され各々が配線パターンを有する複数の回路基板と、複数の回路基板のうち少なくとも1つの回路基板上に実装され、配線パターンと電気的に接続される電子部品と、複数の回路基板のうち最下部の回路基板の下面に設けられ、配線パターンと電気的に接続される第六の端子と、複数の回路基板のうち最上部の回路基板の上面に露出するように設けられ、配線パターンと電気的に接続される第七の端子とを備え、第七の端子は電子部品の検査用端子であるとともに、第二のモジュール基板を積層するための接続端子を兼ねる。
検査システムは、ソケットと、電子部品を検査する検査装置と、ソケットの第三の端子および第五の端子を検査装置に電気的に接続して検査信号を伝播する評価基板とを備える。
検査システムは、ソケットと、モジュール基板と、電子部品を検査する検査装置と、電子部品を評価する評価基板とを備え、ソケットの第一の突起をモジュール基板の第七の端子に電気的に接続し、ソケットの第四の端子をモジュール基板の第六の端子に電気的に接続し、ソケットの第三の端子および第五の端子を検査装置に電気的に接続し、評価基板は検査信号を伝播する検査システム。
図1は実施の形態1に係るモジュール基板を示す外観斜視図である。 図2Aはモジュール基板の内部構造を説明するための図である。 図2Bはモジュール基板の内部構造を説明するための断面図である。 図3は第1の基板に形成される配線パターンを模式的に示した図である。 図4はソケットの内部構造を説明するための断面図である。 図5Aはソケットの蓋を示す概観上面図である。 図5Bはソケットの蓋を示す概観裏面図である。 図6Aはソケットの本体を示す概観上面図である。 図6Bはソケットの本体を示す概観裏面図である。 図7は本発明の実施の形態1に係るモジュール基板を外部基板に実装しテレビジョン受信機を製品化する場合の一部分解実装図である。 図8は本発明の実施の形態1に係るモジュール基板を実施の形態1に係るソケットに格納し、ソケットを評価基板に実装し、検査装置に接続するときの検査システムの一部分解実装図である。 図9は実施の形態2に係るモジュール基板を示す外観斜視図である。 図10Aはモジュール基板の内部構造を説明するための図である。 図10Bはモジュール基板の内部構造を説明するための断面図である。 図11はモジュール基板と積層されたモジュール基板に形成される配線パターンを模式的に示した図である。
符号の説明
11 第1の回路基板
12 第2の回路基板
21 第1のコンポジットシート
41,42,241,242,243,244 検査用端子
43,343 はんだボール
102,233,234 モジュール基板
111,112,113,114,115,116 配線パターン
410 第1の検査部
411,412,421,422 ビア
420 第2の検査部
500 配線基板
501 ソケット
502 蓋
503,517 雄端子
504,506 ピンコンタンクト
505,507 配線
508 サポートプレート
509,520 保持プレート
510 本体
511,515 雌端子
512,514,516 半田ボール
513 接触端子
527 成型部
518 スルーホール
519 孔部
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明を行う。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1を図面を参照しながら説明する。
図1は、実施の形態1に係るモジュール基板を示す外観斜視図である。なお、図1においては、位置関係を明確にするために互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印が付されている。X方向およびY方向は水平面内で互いに直交し、Z方向は鉛直方向に相当する。また、後述する図2A、図2B、図4、図5A、図5B、図6A、図6Bにおいても、同様にX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印が付されている。
図1に示すように、実施の形態1に係るモジュール基板102は、第1の回路基板11(以下、「第1の基板11」と略記する)、第1のコンポジットシート21、第2の回路基板12(以下、「第2の基板12」と略記する)が順に積層された構造を有する。第2の基板12の上面においては、封止層であるモールド部61が形成されている。なお、第1の基板11、第2の基板12の各々は、多層基板であってもよく、単層基板であってもよい。また、第1のコンポジットシート21としてはエポキシ樹脂を含む粘着性シートを用いることができる。例えば、プリプレグを用いることができる。第1のコンポジットシート21は、絶縁層としての役割を担う。
第2の基板12の上面のY方向の2辺に沿った所定の領域に第1の検査部410および第2の検査部420が設けられている。第1の検査部410および第2の検査部420には、複数の検査用端子41および複数の検査用端子42がそれぞれマトリクス状に配置されている。
検査用端子41,42は、後述するように、第1の基板11上に実装されるLSI等の電子部品と配線パターンを介して電気的に接続されている。検査用端子41,42としては、例えば、ランドまたはビアを用いることができる。検査用端子41,42には、後述するソケット501を介して検査装置603が接続される。
第1の基板11の下面には、複数のはんだボール43が形成されている。各はんだボール43は、第1の基板11に実装される電子部品と電気的に接続されている。
モジュール基板102は、はんだボール43を用いてはんだ付けすることにより後述する外部基板201に実装される。それにより、外部基板201とモジュール基板102に実装される電子部品とが電気的に接続される。モジュール基板102は、例えば、リフローはんだ付け法により外部基板202に実装される。
なお、詳細は後述するが、検査用端子41,42は、外部基板202に接続する必要がないので、リフローはんだ付け法によるはんだ付けを行う必要がない。そのため、検査用端子41,42は、後述するソケット501のピンコンタクト504、506が接触できる大きさを有していればよい。この場合、各検査用端子41,42を十分に小さくすることができるとともに、検査用端子41間のピッチおよび検査用端子42間のピッチを十分に小さくすることができる。
したがって、検査用端子41,42の大きさは、はんだボール43の大きさに比べて十分に小さくすることができる。また、検査用端子41間のピッチおよび検査用端子42間のピッチは、はんだボール43間のピッチに比べて十分に小さくすることができる。例えば、はんだボール43の大きさは約650μmであり、検査用端子41,42の大きさは約100μmである。例えば、はんだボール43間のピッチは1mmであり、検査用端子41間のピッチは150μmである。
この場合、第一の回路基板11または第2の回路基板12が大型化することを防止することができ、モジュール基板102の小型化が可能となる。
モジュール基板102の実現形態としては、LSIまたはICまたはMCMまたはSIP等が考えられる。
以下、モジュール基板102の内部構造について詳細に説明する。
図2Aは、モジュール基板102に実装される複数の電子部品のXY平面上での位置関係を示す図である。図2Bは、モジュール基板102の断面図である。
図2Bに示すように、第1のコンポジットシート21の中央部には、上下に貫通する空間部51が形成されている。空間部51内で第1の基板11上に、LSI(Large Scale Integrated Circuit)32、メモリ33およびメモリ34が実装されている。メモリ33,34は、LSI32の作業領域として機能するワークメモリである。メモリ33,34としては、例えばDDR(double data rate)メモリを用いることができる。この場合、LSI32とメモリ33,34との間で、400MHz以上の高周波号を転送することが可能となる。
また、図2Bに示すように、第2の基板12の中央部の所定の領域に、孔部53が形成されている。図1および図2Bに示すように、空間部51内および孔部53を封止するように封止層であるモールド部61が形成されている。これにより、外的影響からLSI32およびメモリ33,34を保護することができ、損傷および劣化を防止することができる。モールド部61は、例えば、樹脂材料からなる。
LSI32、メモリ33,34は、例えば、厚さ数μmの接着シート(図示せず)を介して第1の基板11上に接着される。また、LSI32、メモリ33,34は、例えば、ワイヤボンディング工法またはフリップチップ工法により第1の基板11に電気的に接続される。
ワイヤボンディング工法またはフリップチップ工法を用いることにより、LSI32、メモリ33およびメモリ34の第1の基板11上での高さを低く抑えることができる。それにより、第1のコンポジットシート21の厚さを小さくすることが可能になり、モジュール基板102の薄型化が可能になる。
図2Aおよび図2Bにおいては、LSI32、メモリ33およびメモリ34は、ワイヤボンディング工法により第1の基板11上の配線パターンに電気的に接続されている。
なお、LSI32、メモリ33,34としては、例えば、所定の大きさに研磨およびダイシングされたベアダイ、またはCSP(Chip Size Package)を用いることができる。第1のコンポジットシート21の厚さは、上記ベアダイまたはCSPの厚さより大きいことが好ましく、例えば、50μm〜800μmである。
また、図1には示していないが、図2Bに示すように、第1の基板11の下面ならびに第2の基板12の上面および下面には、接地導体層701(以降、「ECL701」と記載する)が形成されている。
第1の基板11の下面においては、はんだボール43が形成される領域を除く領域にECL701が形成されている。第2の基板12の上面においては、検査用端子41,42が形成される領域、および配線パターン(図示せず)が形成される領域を除く領域にECL701が形成されている。第2の基板12の下面においては、後述するビア411,412,421、422が形成される領域を除く領域にECL701が形成されている。なお、ECL701は、はんだボール43、検査用端子41,42、配線パターンおよびビア411,412,421、422に接触しないように、可能な限り広い領域に形成することが好ましい。ECL701の効果については後述する。
以下、さらに図3を参照しつつ、LSI32、メモリ33,34および検査用端子41,42の間の配線について説明する。
図3は、第1の基板11に形成される配線パターン111〜116を模式的に示した図である。なお、図2においては、配線パターン111〜116はそれぞれ1本ずつ代表的に示しているが、実際には配線パターン111〜116はそれぞれ複数形成されている。同様に、図2Aと図2Bにおいては、後述するビア411、412、421、422をそれぞれ1つずつ代表的に示しているが、実際には、ビア411、412、421、422はそれぞれ複数形成されている。
図3に示すように、複数の配線パターン111の一端は、複数のボンディングパッド322(図2A参照)および複数のワイヤ321(図2A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン111の他端は、複数の配線パターン112の中央部にそれぞれ接続されている。
複数の配線パターン112の一端は、ボンディングパッド332(図2A参照)およびワイヤ331(図2A参照)を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン112の他端は、ボンディングパッド342(図2A参照)およびワイヤ341(図2A参照)を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
図3に示すように、複数の配線パターン113の一端は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の一辺の近くに形成されるビア411(図2B参照)を介して複数の検査用端子41にそれぞれ電気的に接続されている。また、複数の配線パターン113の他端は、複数の配線パターン112にそれぞれ接続されている。このように、配線パターン113は配線パターン112から分岐するスタブ配線である。これにより、検査用端子41と配線パターン111,112とが電気的に接続される。
また、複数の配線パターン114の一端は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の他辺の近くに形成されるビア421(図2B参照)を介して複数の検査用端子42にそれぞれ電気的に接続されている。また、複数の配線パターン114の他端側は、複数の配線パターン112にそれぞれ接続されている。このように、配線パターン114は配線パターン112から分岐するスタブ配線である。これにより、検査用端子42と配線パターン111,112とが電気的に接続される。
複数の配線パターン115の一端は、ボンディングパッド322(図2A参照)およびワイヤ321(図2A)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン115の他端は、ボンディングパッド332(図2A参照)およびワイヤ331(図2A参照)を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
また、複数の配線パターン115は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の一辺の近くに形成されるビア412(図2B参照)を介して複数の検査用端子41にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、検査用端子41と配線パターン115とが電気的に接続される。
複数の配線パターン116の一端は、ボンディングパッド322(図2A参照)およびワイヤ321(図2A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン116の他端は、ボンディングパッド342(図2A)およびワイヤ341(図2A)を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
また、複数の配線パターン116は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の他辺の近くに形成されるビア422(図2B参照)を介して複数の検査用端子42にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、検査用端子42と配線パターン116とが電気的に接続される。
上記の構成により、配線パターン111,112を介してLSI32からメモリ33,34へアドレス信号およびクロック信号が転送される。また、配線パターン115,116を介してデータ信号がLSI32とメモリ33,34との間で転送される。
ここで、配線パターン111,112,115,116は、機能的には、LSI32とメモリ33,34とを接続する以外に必要のない配線である。すなわち、LSI32とメモリ33,34とを接続する配線は、各信号が転送される配線パターン111,112,115,116だけで機能的に十分である。また、配線パターン111,112,115,116は、第1のコンポジットシート21および第2の基板12およびモールド部61によって外気から遮断されている。すなわち、LSI32、メモリ33,34および配線パターン111,112,115,116は、モジュール基板102内に封止されている。
ところで、LSI32からメモリ33,34へ転送される各信号の波形およびパターンを検査するためには、モジュール基板102内に封止された配線パターン111,112,115,116に後述する検査装置603を接続する必要がある。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路を検査するためには、モジュール基板102の外部の検査装置603から検査信号をLSI32およびメモリ33,34に入力し、LSI32およびメモリ33,34から出力される信号と期待値とを照合する必要がある。
そこで、実施の形態1においては、図2および図3で説明したように、検査用端子41と配線パターン111,112とを電気的に接続している。それにより、検査用端子41に検査装置603を接続することにより、LSI32からメモリ33へ転送されるアドレス信号およびクロック信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子42と配線パターン111,112とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子42に検査装置603を接続することにより、LSI32からメモリ34へ転送されるアドレス信号およびクロック信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子41と配線パターン115とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子41に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ33との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子42と配線パターン116とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子42に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子41,42と検査装置603を接続することにより、検査用端子41,42に検査信号を入力し、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
また、実施の形態1においては、LSI32から出力される共通のアドレス信号およびクロック信号が、配線パターン111から配線パターン112によって2方向に分岐されてメモリ33,34へそれぞれ入力される。
この場合、例えば、図3において、LSI32からメモリ33,34へ6ビットのデータ信号がそれぞれ転送される場合、メモリ33,34の各々において共通のアドレス信号により指定される記憶領域にそれぞれ6ビットのデータ信号が記憶される。したがって、メモリ33,34に対して共通のアドレス信号およびクロック信号を用いて、合計12ビットのデータ信号を読み書きすることができる。つまり、LSI32により処理されるデータ信号のビット数を2倍に拡張することができる。それにより、低コストのメモリを用いてモジュール基板102の性能を向上させることができる。
なお、実施の形態1においては、同一の配線パターン112に接続される配線パターン113と配線パターン114とは、等しい長さに形成されている。また、配線パターン111は、配線パターン112を二等分する位置に接続されている。さらに、ビア411とビア421とは、等しい長さに形成されている。したがって、当該接続位置から検査用端子41までの配線長と、当該接続位置から検査用端子42までの配線長とが等しくなる。これにより検査用端子41または検査用端子42で反射波が発生することを防止することができ、配線パターンの信号に波形歪みが発生することを防止することができる。
各配線パターン111,112に転送される信号を検査するための検査用端子は、連結する1組の配線パターン111,112に対して本来一つで十分である。しかし、各配線パターン111または各配線パターン112から一つのスタブ配線を引き出し、そのスタブ配線を検査用端子に接続した場合、検査用端子で反射波が発生し、信号に波形歪が生じる。
そこで、実施の形態1においては、各配線パターン112から分岐する二つの配線パターン113,114により、連結する1組の配線パターン111,112ごとに2つの検査用端子41、42が接続されている。また、同一の配線パターン112から分岐する配線パターン113の長さと配線パターン114の長さとを等しく設定されている。さらに、配線パターン111は、配線パターン112を二等分する位置に接続されている。これらにより、検査用端子41および検査用端子42で反射波が発生することを防止することができる。その結果、アドレス信号およびクロック信号に波形歪みが発生することを防止することができる。
なお、配線パターン113,114は配線パターン112から分岐されずに配線パターン111から分岐されてもよい。
また、LSI32に接続されるメモリの数は2個に限定されず、3個以上のメモリを並列に接続してもよく1個でもよい。3個以上の場合は、LSI32により処理されるデータ信号のビット数をさらに拡張することが可能になる。
図3の構成では、LSI32に接続される配線パターンが2方向に分岐するが、メモリの数を3個以上にする場合には、LSI32に接続される配線パターンがメモリの数と同数の方向に分岐するように配線パターンが形成される。この場合、分岐された配線パターンにそれぞれ検査用端子を接続する際には、上記の場合と同様に、分岐点から各検査用端子までの配線長が等しくなるように各配線パターンを形成することが好ましい。それにより、各検査用端子で反射波が発生することを防止することができる。
また、上述したように、第1の基板11の下面ならびに第2の基板12の上面および下面には、可能な限り広い領域にECL701が形成されている。それにより、LSI32,メモリ33,34およびそれらに接続される配線パターン111〜116をECL701間に収納することができる。この場合、LSI32,メモリ33,34および配線パターン111〜116から放射される高周波ノイズがモジュール基板102の外部に漏洩することをECL701によって防止することができる。
また、上述したように、各検査用端子41,42の大きさは、十分に小さくすることができる。この場合、検査用端子41,42からモジュール基板102の外部に高周波ノイズが放射されることを防止することができる。
これらの結果、モジュール基板102から高周波ノイズが放射されることを確実に防止することができる。それにより、電子機器の誤作動を防止することができる。
図4は、実施の形態1に係るソケット501の内部構造を説明するための断面図である。図5Aは、実施の形態1に係るソケット501の蓋502の概観を説明するための上面図である。図5Bは、実施の形態1に係るソケット501の蓋502の概観を説明するための裏面図である。図6Aは、実施の形態1に係るソケット501の本体510の概観を説明するための上面図である。図6Bは、実施の形態1に係るソケット501の本体510の概観を説明するための裏面図である。
図4、図5A、図5B、図6A、図6Bに示すように、実施の形態1に係るソケット501は、蓋502、本体510から構成される。モジュール基板102は、図4に示すように蓋502と本体510との孔部519の間に挟まれて固定される。蓋502と本体510はクランプ(図示せず)により固定され格納される。
蓋502は、配線基板500、複数の雄端子503、517、複数のピンコンタンクト504、506、複数の配線505、507、保持プレート509、520、サポートプレート508から構成される。なお、雄端子503、517を総称して第一の端子と呼ぶ。雄端子503、517は第一の端子の一例である。また、ピンコンタンクト504、506を総称して第一の突起と呼ぶ。ピンコンタンクト504、506は第一の突起の一例である。
本体510は、成型部527、複数の雌端子511、515、複数の接触端子513、複数のスルーホール518、複数の半田ボール512、514、516、孔部519から構成される。なお、雌端子511、515を総称して第二の端子と呼ぶ。雌端子511、515は第二の端子の一例である。接触端子513を総称して第四の端子と呼ぶ。接触端子513は第四の端子の一例である。スルーホール518を総称して第三の端子と呼ぶ。スルーホール518は第三の端子の一例である。半田ボール512、514、516を総称して第五の端子と呼ぶ。半田ボール512、514、516は第五の端子の一例である。
本体510は絶縁材料である成型部527により形成されている。絶縁材料は、例えば、ガラスエポキシ樹脂などが考えられる。複数の接触端子513は、本体510の上面側の孔部519の底面にマトリクス状に配置されている。複数の接触端子513は、モジュール基板102の全ての半田ボール43に相対するように配置されている。よって、モジュール基板102の全ての半田ボール43と接触端子513は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。複数のスルーホール518は、複数の接触端子513の下側から成型部527の裏面側にかけて配置される。全てのスルーホール518は、全ての接触端子513に相対するように配置されている。全てのスルーホール518と全ての接触端子513は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。複数の半田ボール514は、複数のスルーホール518の下側の成型部527の裏面に配置される。全ての半田ボール514は、全ての複数のスルーホール518に相対するように配置されている。全ての半田ボール514は、全てのスルーホール518に個々に電気的に接続されている。複数の半田ボール514は、本体510の裏面にマトリクス状に配置されている。なお、半田ボール43を総称して第六の端子と呼ぶ。半田ボール43は第六の端子の一例である。
従って、モジュール基板102の全ての半田ボール43と全ての半田ボール514は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。また、結果的にモジュール基板102の半田ボール43と複数の接触端子513と半田ボール514は、同じ配列となる。
蓋502は、絶縁材料である配線基板500により形成されている。絶縁材料は、ガラスエポキシ樹脂などが考えられる。また、配線基板500は導電性の配線層を有する。配線層は絶縁材料の表面に銅薄膜などで形成されることが考えられる。図4では、配線基板500は、3層の絶縁材料と3層の配線層を有する例を示した。なお、配線層の数は3層に限定されるのもではなく、1層でも2層でも4層以上であっても良い。
複数のピンコンタクト504は、蓋502の裏面側にマトリクス状に配置されている突起である。複数のピンコンタクト504は、モジュール基板102の全ての検査用端子42に相対するように配置されている。よって、モジュール基板102の全ての検査用端子42と全てのピンコンタクト504は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。保持プレート509は、ガラスエポキシ樹脂などの絶縁材料により形成されている。保持プレート509は、ピンコンタクト504の先端を除いて覆うように形成されている。即ち、保持プレート509は、ピンコンタクト504で貫かれ且つ少なくとも蓋502の一部を覆うように形成されている。本体510の孔部519にモジュール基板102を格納し蓋502により挟んで固定したり外したりする時に生じる応力により、ピンコンタクト504が曲がったり折れたりして破損することを防いでいる。また、ピンコンタクト504の先端は覆われていないため、検査用端子42との電気的接続は保持される。複数の雄端子503は、蓋502の裏面側にマトリクス状に配置されている端子である。複数の雄端子503は、複数のピンコンタクト504より外側に配置される。複数の雄端子503は、全てのピンコンタクト504に対応して用意される。また、対応する全ての雄端子503と全てのピンコンタクト504は配線505により電気的に接続されている。配線505は、配線基板500の何れかの配線層を用いて形成される。
図5Aおよび図5Bにおいては、複数の配線505を3本だけ代表的に示しているが、実際には、全ての雄端子503と全てのピンコンタクト504間は、それぞれが配線505により電気的に接続されている。
複数の雌端子511は、本体510の上面側にマトリクス状に配置されている端子である。複数の雌端子511は、成型部527の裏面側にかけて配置される。複数の雌端子511は、蓋502の全ての複数の雄端子503に相対するように配置されている。本体510の全ての雌端子511と蓋502の全ての複数の雄端子503は、本体510の孔部519の外側に配置される。よって、本体510の全ての雌端子511と蓋502の全ての複数の雄端子503は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。複数の半田ボール512は、複数の雌端子511の下側の成型部527の裏面に配置される端子である。全ての半田ボール512は、全ての複数の雌端子511に相対するように配置されている。全ての半田ボール512は、全ての雌端子511に個々に電気的に接続されている。
従って、モジュール基板102の全ての検査用端子42と全ての半田ボール512は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々に電気的に接続されることになる。つまり、本発明のソケット501を用いることにより、モジュール基板102の上面に用意した検査用端子42の信号を、モジュール基板102の裏面に引き出すことができる。つまり、検査システムにおいて、モジュール基板102の上面に用意した検査用端子42の信号を、半田ボール43の信号と同様に取り扱うことが可能となる。結果的に半田ボール512は、半田ボール514より外側に配置されている。
ここで、雄端子503の配列は対応するピンコンタクト504の配列に同じとすることが望ましい。配列を同じとすることにより、全ての配線505の配線長を短く、概略等しくすることができる。配線長を短く、等しくすることにより、個々の検査用端子42の誘導性負荷と容量性負荷を小さく、等しくすることができる。その結果、検査用端子42の信号の波形歪は、極力抑えられ、ばらつき少なくすることができ、検査の精度を高めることが可能となる。また、雄端子503および雌端子511の直径またはピッチはピンコンタクト504の直径より大きくすることが望ましい。ピンコンタクト504の直径またはピッチは、検査用端子42の直径に合わせる必要があるが、雄端子503および雌端子511はその必要が無い。よって、雄端子503および雌端子511は、できる限り直径またはピッチを大きくすることにより、接触面積を増やすことができ、蓋502と本体510の接続強度を高めることが可能となる。また、ピンコンタクト504の直径またはピッチは、接触端子513の直径またはピッチに比べて十分に小さくすることが望ましい。検査用端子41、42間のピッチおよび検査用端子41、42の直径は、はんだボール43間のピッチ、はんだボール43の直径に比べて十分に小さくすることができるためである。ピンコンタクト504の直径またはピッチを十分に小さくすることにより所要面積を小さくできる。
また、サポートプレート508を用いて各接続部の勘合状態を調整することが望ましい。サポートプレート508の厚みは、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、全ての半田ボール43と全ての接触端子513と全てのスルーホール518、および全ての検査用端子42と全てのピンコンタクト504、および全ての雌端子511と全ての複数の雄端子503が電気的に接続されるように調整されている。図4ではサポートプレート508の厚みは、プラスの例を示したが、配線基板500をくり抜くようにマイナスであっても良い。
複数の雄端子517、複数のピンコンタンクト506、複数の配線507、保持プレート520、複数の雌端子515、複数の半田ボール516、検査用端子43については、複数の雄端子503、複数のピンコンタンクト504、複数の配線505、保持プレート509、複数の雌端子511、複数の半田ボール512、検査用端子42と同様であるので、説明は省略する。
図7は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板102を外部基板201に実装し、外部基板201を受信機筐体204内に実装するときのテレビジョン受信機の一部分解実装図である。実施の形態1に係るモジュール基板102を実装するとともに、例えば液晶ディスプレイ又はプラズマディスプレイなどのディスプレイ204Dを搭載し、テレビジョン受信機の製品化を実現した場合の例である。なお、図7は背面図であって、図7の裏側であるおもて面にディスプレイ204Dが搭載される。この場合、モジュール基板102は、テレビジョン受信機能を実現するモジュールである。すなわち、LSI32は、テレビジョン信号を入力して映像信号および音声信号を出力するデコード機能を備えているシステムLSIである。なお、その他のテレビション受信機、例えばセットトップボックスや携帯型端末やPCにおけるモジュール基板102をテレビジョン受信機に実装した構成であってもよい。なお、テレビジョン受信機に限定するものでなく、その他のデジタル家電製品であっても良い。
図7において、モジュール基板102は、各国や各地域毎のチューナ202と、各市場毎のCAモジュールを接続するためのソケット205と、デジタル音声信号又はアナログ音声信号とデジタル映像信号(音声や映像を含むコンテンツ信号)を出力するディスプレイインターフェース206が実装された外部基板201に実装される。ディスプレイインターフェース206は、モジュール基板102から出力される映像信号及び音声信号を、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、CRTディスプレイなどの、接続されるディスプレイに接続するためのインターフェースである。このディスプレイインターフェース206は、ディスプレイ側の接続仕様に応じて異なる回路で実現される。なお、音声信号はディスプレイ内又はディスプレイ外に設けられたスピーカ(図示せず)に出力される。外部基板201には、モジュール基板102の複数の半田ボール43の配置に対応した複数のランドが形成され、外部基板201とモジュール基板102は、リフロー工程により物理的にかつ電気的に接続される。モジュール基板102が接続された外部基板201は、支持台207により支持されるテレビジョン受像機204の筐体に、電源ユニット203と、ディスプレイ駆動ユニット208とともに組み込まれる。なお、ディスプレイインターフェース206は、ディスプレイ駆動回路208を介してディスプレイ204Dに接続される。
図7において、テレビジョン受信機のためのモジュール基板102は誘電体基板にてなる外部基板201の位置11Aに実装され、当該外部基板201は、受信機筐体204の位置201A内に実装される。
モジュール基板102の半田ボール43に対応したランドを備えた外部基板201を用意することにより、モジュール基板102と接続して、テレビジョン受信機を製品化することができる。
検査用端子41と検査用端子42は、モジュール基板102の検査用端子であり、テレビジョン受信機能に必要ない端子である。検査用端子41と検査用端子42に対応したランドは外部基板201に用意されない。つまり、外部基板201は、モジュール基板102の実装に要する面積を、検査用端子41と検査用端子42の分減らすことができる。従って、テレビジョン受信機の小型化が可能となる。
更に、検査用端子41と検査用端子42は、オープン状態である。検査用端子41と検査用端子42を外部基板201に接続することによる余分な誘導性負荷や容量性負荷を削除することができる。つまり、LSI32とメモリ33、34との間に転送されるアドレス信号およびクロック信号およびデータ信号の波形歪を抑制することができ、高速に動作させることが可能となる。従って、テレビジョン受信機の高性能化が可能となる。
図8は、実施の形態1に係る検査システムの一部分解実装図である。この検査システムは、実施の形態1に係るモジュール基板102を実施の形態1に係るソケット501に格納し、ソケット501を評価基板601に実装している。そうして、評価基板601は検査基板602に接続され、検査基板602は検査装置603に接続される。なお、図8におけるモジュール基板102、ソケット501、評価基板601、検査基板602は上面図であって、検査装置603は外観斜視図である。
検査装置603は、モジュール基板102を製造する際に、良品か不良品かを選別するための装置であり、いわゆる半導体テスターである。モジュール基板102を製造して出荷するメーカーの製造工場における検査工程に備えられる。例えば、LSIテスターやメモリーテスターなどである。
検査装置603は、モジュール基板102の検査用端子41、42に接続することにより、モジュール基板102内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子41,42から検査信号を入力させ、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
評価基板601には、ソケット501の複数の半田ボール512、514、516の配置に対応した複数のランドが形成され、評価基板601とソケット501は、リフロー工程により物理的にかつ電気的に接続される。半田ボール514の配置に対応したランドは評価基板601の位置1Aに用意され、半田ボール512、516の配置に対応したランドは評価基板601の位置1Aの外側かつ位置1Bの内側に用意される。なお、評価基板601は、ソケット501を4個実装できるようになっている。モジュール基板102を4個同時に検査できるようにするためである。ソケット501の実装する数は一例を示しただけであり、4個に限定されない。
図8において、テレビジョン受信機のためのモジュール基板102は、誘電体基板にてなる評価基板601の位置1Bに実装されたソケット501内に格納され、当該評価基板601は、検査基板602に接続されて、検査装置603の位置1Cに接続される。評価基板601は、プリント基板であって、誘電体に銅などの導電体の配線層を有し、配線層を用いた配線が可能である。モジュール基板102の検査に必要な信号は、半田ボール512、514、516の配置に対応したランドから評価基板601の裏面に実装されたコネクタ(図示しない)に電気的に接続されるように配線される。評価基板601と検査基板602と検査装置603の接続はそれらのコネクタにより電気的に接続される。コネクタの説明を省略したのは、実際の検査システムにおいては、評価基板601と検査基板602は検査装置603と一体であり、コネクタにより取り外しができるようになっているためである。
ソケット501、評価基板601、検査基板602、検査装置603から成る検査システムとすることにより、モジュール基板102と検査装置603を接続して、モジュール基板102を検査することができる。
検査用端子41と検査用端子42は、モジュール基板102の検査用端子であり、モジュール基板102の検査に必要な端子である。しかしながら、検査用端子41と検査用端子42はモジュール基板102の裏面の半田ボール43に用意されない。実施の形態1に係るソケット501を用いず、モジュール基板102を評価基板601に実装された場合は、評価基板601の位置1Aに実装されることになる。その場合、検査用端子41と検査用端子42は、オープンとなるため検査装置603と電気的に接続することができない。一方、実施の形態1に係るソケット501を用い、モジュール基板102をソケット501に格納した場合は、検査用端子41と検査用端子42は、ソケット501のピンコンタンクト504、506、配線505、507、雄端子503、517、雌端子511、515を介してソケット501裏面の半田ボール512、516に電気的に接続されることになる。よって、ソケット501を評価基板601の位置1Bに実装し、モジュール基板102を格納することにより、モジュール基板102の半田ボール43のみならず検査用端子41,42を検査装置603と電気的に接続することができる。その結果、モジュール基板102内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンの検査信号を検査装置603に伝播させて検査することができる。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査装置603から検査信号を伝播させて、検査用端子41,42から検査信号を入力させ、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
実施の形態1に係るモジュール基板102においては、第2の基板12上に検査用端子41,42が設けられている。
実施の形態1に係るテレビジョン受信機の外部基板201は、検査用端子41,42に対応したランドを設ける必要がなくなるため、モジュール基板102の実装に要する面積を、検査用端子41、42の面積分減らすことができる。また、検査用端子を形成する為に別個に基板を持つ必要がない。そのため、モジュール基板102の小型化が可能となる。結果、テレビジョン受信機の小型化が可能となる。
更に、検査用端子41と検査用端子42は、外部基板201に接続されずオープン状態である。よって、外部基板201に接続されることによる付加される余分な誘導性負荷や容量性負荷を削除することができる。つまり、LSI32とメモリ33、34との間に転送されるアドレス信号およびクロック信号およびデータ信号の波形歪を抑制することができ、高速に動作させることが可能となる。結果、テレビジョン受信機の高性能化が可能となる。
また、実施の形態1に係るソケット501を用いる検査システムにおいては、モジュール基板102をソケット501に格納した場合は、モジュール基板102の検査用端子41と検査用端子42を検査装置603と電気的に接続することができる。その結果、モジュール基板102内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。その結果、モジュール基板102内の電子部品の不良を確実に検出することができる。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子41,42から検査信号を入力させ、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
以上のように、モジュール基板102の検査用端子41,42に対応したランドは、モジュール基板102を製造して出荷するメーカーの製造工場における評価基板601においては設ける必要があるが、モジュール基板102を用いる製品の外部基板201においては設ける必要がない。よって、実施の形態1に係るモジュール基板102は、メーカーの製造工場を出荷後には、基板に必要なランドの数を減らすことができることから、実装に要する面積を削減できる。つまり、本実施の形態に係るモジュール基板102は、本実施の形態に係るソケット501を備えた検査システムを用いることにより、メーカーの製造工場を出荷後に小型化できることと同等の効果がある。また、小型化の効果を有しつつ、十分な検査を提供できるため、製造コストの増加を防止するコストダウンと電子部品の検査を確実に行うことができかる品質向上を両立できる効果がある。
上述した通り、複数の雄端子503、517が第一の端子、複数のピンコンタンクト504、506が第一の突起、保持プレート509、520が保持プレート、複数の雌端子511、515が第二の端子、複数の接触端子513が第四の端子、複数の半田ボール512、516が第三の端子、複数の半田ボール514が第五の端子、複数の半田ボール43が第六の端子、孔部519が孔部、評価基板601が評価基板に相当する。しかし、本発明は上記の例に限定されない。
(実施の形態2)
以下本発明の実施の形態2を、図面を参照しながら説明する。なお、実施の形態1と同じ構成要素については、同じ符号を付け詳細説明は省略する。
図9は、実施の形態2に係るモジュール基板を示す外観斜視図である。なお、図9においては、位置関係を明確にするために互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印を付している。X方向およびY方向は水平面内で互いに直交し、Z方向は鉛直方向に相当する。また、後述する図10Aと図10Bにおいても、同様にX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印を付している。
図9に示すように、実施の形態2に係るモジュール基板232は、第1の回路基板11、第1のコンポジットシート21、第2の回路基板12が順に積層された構造を有する。第2の基板12の上面においては、封止層であるモールド部61が形成されている。モジュール基板232は、実施の形態1におけるLSI32を備えている。
モジュール基板232において、第2の基板12の上面の4辺には、複数の検査用端子241および複数の検査用端子242および複数の検査用端子243および複数の検査用端子244がそれぞれマトリクス状にモジュール基板232の4辺に沿って配置されている。なお、検査用端子241、242、243、244を総称して第七の端子と呼ぶ。検査用端子241、242、243、244は第七の端子の一例である。
各検査用端子241,242、243、244は、後述するように、第1の基板11上に実装されるLSI等の電子部品と配線パターンを介して電気的に接続されている。つまり、各検査用端子241,242、243、244は、LSI32と電気的に接続されている。検査用端子241,242,243,244としては、例えば、ランドを用いることができる。検査用端子241,242,243,244には、実施の形態1と同様に、ソケット501を介して検査装置603が接続される。その場合のソケット501には、検査用端子241,242,243,244に対応する複数のピンコンタンクト504、506、複数の雄端子503、517、複数の配線505、507、複数の雌端子511、515、複数の半田ボール512、514、516から構成される。
また、検査用端子241,242,243,244には、第二のモジュール基板であるモジュール基板233が接続される。
モジュール基板233においては、モジュール基板232同様に第1の回路基板11、第1のコンポジットシート21、第2の回路基板12が順に積層された構造を有する。第1の基板11の上面においては、実施の形態1におけるメモリ33、34を備えている。メモリ33、34は第1の基板12の上面の図示しないランドにリフロー工程により半田付けされていることが考えられる。
モジュール基板232とモジュール基板233が検査用端子241,242,243,244を介して接続されることによりモジュール基板101の機能を実現できる。つまり、検査用端子241,242,243,244は、モジュール基板232の検査用端子であるとともに、モジュール基板232とモジュール基板233の接続用端子を兼ねている。モジュール基板233の底面においては、複数のはんだボール343が形成されている。各はんだボール343は、モジュール基板233に実装される電子部品と電気的に接続されている。つまり、メモリ33、34とはんだボール343は電気的に接続されている。モジュール基板233は、はんだボール343を用いて検査用端子241,242,243,244にはんだ付けすることによりモジュール基板232に実装される。それにより、モジュール基板233とモジュール基板232に実装される電子部品とが電気的に接続される。つまり、LSI32とメモリ33,34は電気的に接続される。
モジュール基板232、233の実現形態は、LSIまたはICまたはMCMまたはSIP等が考えられる。また、モジュール基板232とモジュール基板233を接続しての実現形態は、POP(Packege On Package)等が考えられる。
以下、モジュール基板232の内部構造について詳細に説明する。
図10Aは、モジュール基板232に実装される複数の電子部品のXY平面上での位置関係を示す図であり、図10Bは、モジュール基板232の断面図である。
図10Bに示すように、第1のコンポジットシート21の中央部には、上下に貫通する空間部51が形成されている。空間部51内で第1の基板11上に、LSI32が実装されている。
また、図10Bに示すように、第2の基板12の中央部の所定の領域に、孔部53が形成されている。図9、図10Aおよび図10Bに示すように、空間部51内および孔部53を封止するように封止層であるモールド部61が形成されている。
図10Aおよび図10Bにおいては、LSI32は、ワイヤボンディング工法により第1の基板11上の配線パターンに電気的に接続されている。
以下、さらに図11を参照しつつ、LSI32、メモリ33,34および検査用端子241,242、243、244の間の配線について説明する。
図11は、モジュール基板232の第1の基板11から検査用端子241,242、243、244、はんだボール343を介してモジュール基板233の第2の基板に形成される配線パターン111〜116を模式的に示した図である。なお、配線パターン113、114は実施の形態2には無い。図10Aにおいては、配線パターン111〜116をそれぞれ1本ずつ代表的に示しているが、実際には配線パターン111〜116はそれぞれ複数形成されている。
図11に示すように、複数の配線パターン111の一端は、複数のボンディングパッド322(図10A参照)および複数のワイヤ321(図10A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン111の他端は、複数の配線パターン112の中央部にそれぞれ接続されている。
複数の配線パターン112の一端は、検査端子242を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン112の他端は、検査端子241および検査用端子242を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
複数の配線パターン115の一端は、ボンディングパッド322(図10A参照)およびワイヤ321(図10A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン115の他端は、検査用端子243を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
複数の配線パターン116の一端は、ボンディングパッド322(図10A参照)およびワイヤ321(図10A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン116の他端は、検査用端子244を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
また、図示していないがメモリ33、34の動作に必要な電源信号もモジュール基板232の第1の基板11から検査用端子241,242、243、244、はんだボール343を介してモジュール基板233の第2の基板に接続されている。
上記の構成により、配線パターン111,112、検査用端子241、242を介してLSI32からメモリ33,34へアドレス信号およびクロック信号が転送される。また、配線パターン115,116、検査用端子243、244を介してデータ信号がLSI32とメモリ33,34との間で転送される。
ここで、配線パターン111,112,115,116は、機能的には、LSI32とメモリ33,34とを接続する以外に必要のない配線である。すなわち、LSI32とメモリ33,34とを接続する配線は、各信号が転送される配線パターン111,112,115,116だけで機能的に十分である。また、配線パターン111,112,115,116は、はんだボール43には接続されていない。すなわち、LSI32、メモリ33,34および配線パターン111,112,115,116は、余分な配線が無く、モジュール基板232とモジュール基板233内に閉じている。
ところで、実施の形態2のPOPの場合、モジュール基板232とモジュール基板233を個別に検査して、モジュール基板232とモジュール基板233を接続した後に更に検査することが考えられる。双方を接続前に個別に検査することにより、良品同士を接続できることから、接続後の完成品の不良率を下げることができるためである。
ところで、モジュール基板232の個別の検査において、LSI32からメモリ33,34へ転送される全信号の波形およびパターンを検査するためには、モジュール基板232の全配線パターン111,112,115,116に後述する検査装置603を接続する必要がある。LSI32からメモリ33,34へ転送される全信号の波形およびパターンを検査するためには、メモリ33、34の機能を実現する手段が必要である。しかし、この場合、検査装置603にメモリ33,34の機能があっても良いし、評価基板601あるいは検査基板602あるいはソケット501上にメモリ33,34の機能があっても良い。つまり、検査装置603にメモリ33,34をエミュレートするソフトウェア、もしくは検査装置603あるいは評価基板601あるいは検査基板602あるいはソケット501上にメモリ33,34が実装されることが考えられる。それらのメモリ機能とモジュール基板232とを接続してLSI32からメモリ33,34へ信号を転送するとともに、転送される各信号の波形およびパターンを検査することができる。
モジュール基板232におけるLSI32のメモリ33,34に接続するための内部回路を検査するためには、モジュール基板232の外部の検査装置603から検査信号をLSI32に入力し、LSI32から出力される信号と期待値とを照合する必要がある。
そこで、実施の形態2においては、図10A、図10Bおよび図11で説明したように、検査用端子241と242と配線パターン111,112とは電気的に接続されている。それにより、検査用端子241または242に検査装置603を接続することにより、LSI32からメモリ33へ転送されるアドレス信号およびクロック信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子243と配線パターン115とが電気的に接続さえれている。それにより、検査用端子243に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ33との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子244と配線パターン116とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子244に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、LSI32のメモリ33,34に接続するための内部回路の検査を行う場合には、検査用端子241,242,243,244と検査装置603が接続される。そうすることにより、検査用端子241,242,243,244に検査信号を入力し、検査用端子241,242,243,244から出力される信号と期待値とを照合することができる。
実施の形態2に係るモジュール基板232においては、第2の基板12上に検査用端子241,242、243、244が設けられている。
実施の形態2に係るテレビジョン受信機の外部基板201は、検査用端子241,242、243、244に対応したランドを設ける必要がなくなるため、モジュール基板232およびモジュール基板233を接続した完成品の実装に要する面積を、検査用端子241、242、243、244の面積分減らすことができる。その結果、テレビジョン受信機の小型化が可能となる。
更に、検査用端子241、242、243、244は、モジュール基板232およびモジュール基板233を接続するための接続端子を兼ねている。よって、外部基板201に接続されるためまたは余分な検査端子、検査端子に引き出すための配線による付加される余分な誘導性負荷や容量性負荷を削除することができる。つまり、LSI32とメモリ33、34との間に転送されるアドレス信号およびクロック信号およびデータ信号の波形歪を抑制することができ、高速に動作させることが可能となる。結果、テレビジョン受信機の高性能化が可能となる。
また、実施の形態2に係るソケット501を用いる検査システムにおいては、モジュール基板232をソケット501に格納した場合は、モジュール基板232の検査用端子241または検査用端子242で反射波が発生することを防止することができる。そうして、配線パターンの信号に波形歪みが発生することを防止することができる。
検査用端子241、242、243、244を検査装置603と電気的に接続することができる。また、検査装置603にメモリ33,34をエミュレートするソフトウェア、あるいは検査装置603あるいは評価基板601あるいは検査基板602あるいはソケット501上にメモリ33,34が実装することもできる。その結果、モジュール基板232内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送される全てのデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。また、LSI32の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子241,242、243,244から検査信号を入力させ、検査用端子241,242、243、244から出力される信号と期待値とを照合することができる。その結果、モジュール基板232内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送される全てのデータ信号の波形およびパターンを検査、期待値照合することができることからモジュール基板232の品質を向上することができる。
以上のように、モジュール基板232の検査用端子241,242、243、244に対応したランドは、モジュール基板232を製造して出荷するメーカーの製造工場における評価基板601においては設ける必要があるが、モジュール基板232およびモジュール基板233を接続した完成品を用いる製品の外部基板201においては設ける必要がない。よって、モジュール基板232は、メーカーの製造工場を出荷後には、基板に必要なランドの数を減らすことができることから、実装に要する面積を削減できる。つまり、モジュール基板232は、実施の形態2に係るソケット501を備えた検査システムを用いることにより、メーカーの製造工場を出荷後に小型化できることと同等の効果がある。また、小型化の効果を有しつつ、十分な検査を提供できるため、製造コストの増加を防止するコストダウンと電子部品の検査を確実に行うことができる品質向上を両立できる効果がある。
本発明にかかるモジュール基板およびソケットおよびそれらを用いる検査システムは、メーカーの製造工場において検査した後の出荷後に小型化できることと同様の効果を有する。本発明にかかるモジュール基板およびソケットおよびそれらを用いる検査システムは、電子部品が実装されたモジュール基板、モジュール基板を格納するソケット、電子部品を検査するシステム等として有用である。
本発明は、LSI(Large Scale Integrated Circuit)またはIC(Integrated Circuit)等の電子部品が実装されたモジュール基板、モジュール基板を格納するソケット、電子部品を検査するシステムに関する。
近年、デジタルテレビ等のデジタル家電が一般家庭に普及しつつある。このデジタル家電の普及には、製品の高性能化および多機能化が大きな鍵を握っている。
デジタル家電の性能は、デジタル信号処理を高速化することで、より向上させることができる。デジタル信号処理の高速化は、システムLSIのクロック周波数の向上、データバス幅の拡張、およびDDR(double data rate)メモリ等の高速メモリを用いること等により実現することができる。
また、デジタル家電の機能を増加するためには、回路の高集積化が必要になる。回路の高集積化は、例えば、MCM(Multi Chip Module)またはSIP(System In Package)またはPOP(Package On Package)等の技術により、複数の電子部品を一つのパッケージ内に搭載することでより実現することができる。
ところで、回路の高集積化により、多数の機能を製品に搭載することが可能になるが、各機能が動作するために必要なインターフェース信号の数も増加する。それにより、パッケージ外部に設けられる外部端子の数も増加する。また、パッケージ内に収納される電子部品の数の増加に伴い、それらの検査用の外部端子の数も増加する。そのパッケージは、外部端子を介して外部基板に電気的に接続されるが、外部端子の数が増加することにより、パッケージが大型化してしまう。また、パッケージを実装するデジタル家電の基板は、パッケージの大型化に伴い大型化し、しいてはデジタル家電自体をも大型化してしまう。
そこで、例えば、特許文献1のICパッケージにおいては、二層構造を有するリード基板の1層目に下段リード端子を設け、2層目に試験用端子となる上段リード端子を設けている。この構成においては、リード基板の2層目に設けられる上段リード端子は回路基板と接続されない。すなわち、試験用端子をリード基板の2層目に設けることにより、回路基板が接続される領域(リード基板の1層目)に設けられる端子の数を減少させている。それにより、ICパッケージの小型化が可能になることが考えられる。
一方、パッケージ内の電子部品を検査して出荷する際には、パッケージの組み立てが完成した後に検査するのが一般的である。そのために、パッケージは検査装置へ取り外し可能に接続する必要がある。そこで、例えば、特許文献2のソケットにおいては、BGAパッケージ下部の半田ボールに対面したピンコンタクトと、そのピンコンタクトに対面したソケットコンタクトとをソケット本体に有している。そうして、BGAパッケージと基板を取り外し可能にすることが考えられている。
しかしながら、特許文献1のICパッケージの構成においては、試験用端子を設けるためにリード基板を2層構造にする必要がある。この場合、電子部品としての機能上は必要がない基板を設けることになり、製造コストおよび製造工程が増加する。
また、試験用端子は2層目のリード基板に形成されているので、試験用端子とICチップとを接続するワイヤの長さが長くなる。この場合、試験用端子とICチップとの間のインピーダンス整合を行うことが困難になる。それにより、ICチップの検査時に、試験用端子またはワイヤの端部で反射波が発生し、検査用信号に波形歪みが生じる。その結果、ICチップを正確に検査することが困難になる。
また、特許文献2のソケットと上記特許文献1のICパッケージを組み合わせた場合、試験用端子とピンコンタクトとを電気的に接続できない。よって、検査装置と試験用端子とを接続することができないためICパッケージ内部の電子部品を検査することができない。
特開2000−68440号公報 特開平8−31532号公報
本発明は、電子部品の検査を確実に行うことができかつ製造コストの増加が防止された小型のモジュール基板およびソケットおよびモジュール基板および検査システムを提供する。
本発明によれば、モジュール基板上面に試験用端子を設ける場合、試験用端子と検査装置とを電気的に接続できるので、モジュール基板内部の電子部品を検査することができる。
ソケットは、裏面に第一の突起と裏面に第一の突起に電気的に接続された第一の端子を有した蓋と、上面に第二の端子と裏面に第二の端子に電気的に接続された第三の端子を有した本体とを備え、本体に電子部品を格納し、蓋で挟んで固定した間に第一の端子と第二の端子が電気的に接続される。
モジュール基板は、上下方向に積層され各々が配線パターンを有する複数の回路基板と、複数の回路基板のうち少なくとも1つの回路基板上に実装され、配線パターンと電気的に接続される電子部品と、複数の回路基板のうち最下部の回路基板の下面に設けられ、配線パターンと電気的に接続される第六の端子と、複数の回路基板のうち最上部の回路基板の上面に露出するように設けられ、配線パターンと電気的に接続される第七の端子とを備え、第七の端子は電子部品の検査用端子であるとともに、第二のモジュール基板を積層するための接続端子を兼ねる。
検査システムは、ソケットと、電子部品を検査する検査装置と、ソケットの第三の端子および第五の端子を検査装置に電気的に接続して検査信号を伝播する評価基板とを備える。
検査システムは、ソケットと、モジュール基板と、電子部品を検査する検査装置と、電子部品を評価する評価基板とを備え、ソケットの第一の突起をモジュール基板の第七の端子に電気的に接続し、ソケットの第四の端子をモジュール基板の第六の端子に電気的に接続し、ソケットの第三の端子および第五の端子を検査装置に電気的に接続し、評価基板は検査信号を伝播する検査システム。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明を行う。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1を図面を参照しながら説明する。
図1は、実施の形態1に係るモジュール基板を示す外観斜視図である。なお、図1においては、位置関係を明確にするために互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印が付されている。X方向およびY方向は水平面内で互いに直交し、Z方向は鉛直方向に相当する。また、後述する図2A、図2B、図4、図5A、図5B、図6A、図6Bにおいても、同様にX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印が付されている。
図1に示すように、実施の形態1に係るモジュール基板102は、第1の回路基板11(以下、「第1の基板11」と略記する)、第1のコンポジットシート21、第2の回路基板12(以下、「第2の基板12」と略記する)が順に積層された構造を有する。第2の基板12の上面においては、封止層であるモールド部61が形成されている。なお、第1の基板11、第2の基板12の各々は、多層基板であってもよく、単層基板であってもよい。また、第1のコンポジットシート21としてはエポキシ樹脂を含む粘着性シートを用いることができる。例えば、プリプレグを用いることができる。第1のコンポジットシート21は、絶縁層としての役割を担う。
第2の基板12の上面のY方向の2辺に沿った所定の領域に第1の検査部410および第2の検査部420が設けられている。第1の検査部410および第2の検査部420には、複数の検査用端子41および複数の検査用端子42がそれぞれマトリクス状に配置されている。
検査用端子41,42は、後述するように、第1の基板11上に実装されるLSI等の電子部品と配線パターンを介して電気的に接続されている。検査用端子41,42としては、例えば、ランドまたはビアを用いることができる。検査用端子41,42には、後述するソケット501を介して検査装置603が接続される。
第1の基板11の下面には、複数のはんだボール43が形成されている。各はんだボール43は、第1の基板11に実装される電子部品と電気的に接続されている。
モジュール基板102は、はんだボール43を用いてはんだ付けすることにより後述する外部基板201に実装される。それにより、外部基板201とモジュール基板102に実装される電子部品とが電気的に接続される。モジュール基板102は、例えば、リフローはんだ付け法により外部基板202に実装される。
なお、詳細は後述するが、検査用端子41,42は、外部基板202に接続する必要がないので、リフローはんだ付け法によるはんだ付けを行う必要がない。そのため、検査用端子41,42は、後述するソケット501のピンコンタクト504、506が接触できる大きさを有していればよい。この場合、各検査用端子41,42を十分に小さくすることができるとともに、検査用端子41間のピッチおよび検査用端子42間のピッチを十分に小さくすることができる。
したがって、検査用端子41,42の大きさは、はんだボール43の大きさに比べて十分に小さくすることができる。また、検査用端子41間のピッチおよび検査用端子42間のピッチは、はんだボール43間のピッチに比べて十分に小さくすることができる。例えば、はんだボール43の大きさは約650μmであり、検査用端子41,42の大きさは約100μmである。例えば、はんだボール43間のピッチは1mmであり、検査用端子41間のピッチは150μmである。
この場合、第一の回路基板11または第2の回路基板12が大型化することを防止することができ、モジュール基板102の小型化が可能となる。
モジュール基板102の実現形態としては、LSIまたはICまたはMCMまたはSIP等が考えられる。
以下、モジュール基板102の内部構造について詳細に説明する。
図2Aは、モジュール基板102に実装される複数の電子部品のXY平面上での位置関係を示す図である。図2Bは、モジュール基板102の断面図である。
図2Bに示すように、第1のコンポジットシート21の中央部には、上下に貫通する空間部51が形成されている。空間部51内で第1の基板11上に、LSI(Large Scale Integrated Circuit)32、メモリ33およびメモリ34が実装されている。メモリ33,34は、LSI32の作業領域として機能するワークメモリである。メモリ33,34としては、例えばDDR(double data rate)メモリを用いることができる。この場合、LSI32とメモリ33,34との間で、400MHz以上の高周波号を転送することが可能となる。
また、図2Bに示すように、第2の基板12の中央部の所定の領域に、孔部53が形成されている。図1および図2Bに示すように、空間部51内および孔部53を封止するように封止層であるモールド部61が形成されている。これにより、外的影響からLSI32およびメモリ33,34を保護することができ、損傷および劣化を防止することができる。モールド部61は、例えば、樹脂材料からなる。
LSI32、メモリ33,34は、例えば、厚さ数μmの接着シート(図示せず)を介して第1の基板11上に接着される。また、LSI32、メモリ33,34は、例えば、ワイヤボンディング工法またはフリップチップ工法により第1の基板11に電気的に接続される。
ワイヤボンディング工法またはフリップチップ工法を用いることにより、LSI32、メモリ33およびメモリ34の第1の基板11上での高さを低く抑えることができる。それにより、第1のコンポジットシート21の厚さを小さくすることが可能になり、モジュール基板102の薄型化が可能になる。
図2Aおよび図2Bにおいては、LSI32、メモリ33およびメモリ34は、ワイヤボンディング工法により第1の基板11上の配線パターンに電気的に接続されている。
なお、LSI32、メモリ33,34としては、例えば、所定の大きさに研磨およびダイシングされたベアダイ、またはCSP(Chip Size Package)を用いることができる。第1のコンポジットシート21の厚さは、上記ベアダイまたはCSPの厚さより大きいことが好ましく、例えば、50μm〜800μmである。
また、図1には示していないが、図2Bに示すように、第1の基板11の下面ならびに第2の基板12の上面および下面には、接地導体層701(以降、「ECL701」と記載する)が形成されている。
第1の基板11の下面においては、はんだボール43が形成される領域を除く領域にECL701が形成されている。第2の基板12の上面においては、検査用端子41,42が形成される領域、および配線パターン(図示せず)が形成される領域を除く領域にECL701が形成されている。第2の基板12の下面においては、後述するビア411,412,421、422が形成される領域を除く領域にECL701が形成されている。なお、ECL701は、はんだボール43、検査用端子41,42、配線パターンおよびビア411,412,421、422に接触しないように、可能な限り広い領域に形成することが好ましい。ECL701の効果については後述する。
以下、さらに図3を参照しつつ、LSI32、メモリ33,34および検査用端子41,42の間の配線について説明する。
図3は、第1の基板11に形成される配線パターン111〜116を模式的に示した図である。なお、図2においては、配線パターン111〜116はそれぞれ1本ずつ代表的に示しているが、実際には配線パターン111〜116はそれぞれ複数形成されている。同様に、図2Aと図2Bにおいては、後述するビア411、412、421、422をそれぞれ1つずつ代表的に示しているが、実際には、ビア411、412、421、422はそれぞれ複数形成されている。
図3に示すように、複数の配線パターン111の一端は、複数のボンディングパッド322(図2A参照)および複数のワイヤ321(図2A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン111の他端は、複数の配線パターン112の中央部にそれぞれ接続されている。
複数の配線パターン112の一端は、ボンディングパッド332(図2A参照)およびワイヤ331(図2A参照)を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン112の他端は、ボンディングパッド342(図2A参照)およびワイヤ341(図2A参照)を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
図3に示すように、複数の配線パターン113の一端は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の一辺の近くに形成されるビア411(図2B参照)を介して複数の検査用端子41にそれぞれ電気的に接続されている。また、複数の配線パターン113の他端は、複数の配線パターン112にそれぞれ接続されている。このように、配線パターン113は配線パターン112から分岐するスタブ配線である。これにより、検査用端子41と配線パターン111,112とが電気的に接続される。
また、複数の配線パターン114の一端は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の他辺の近くに形成されるビア421(図2B参照)を介して複数の検査用端子42にそれぞれ電気的に接続されている。また、複数の配線パターン114の他端側は、複数の配線パターン112にそれぞれ接続されている。このように、配線パターン114は配線パターン112から分岐するスタブ配線である。これにより、検査用端子42と配線パターン111,112とが電気的に接続される。
複数の配線パターン115の一端は、ボンディングパッド322(図2A参照)およびワイヤ321(図2A)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン115の他端は、ボンディングパッド332(図2A参照)およびワイヤ331(図2A参照)を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
また、複数の配線パターン115は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の一辺の近くに形成されるビア412(図2B参照)を介して複数の検査用端子41にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、検査用端子41と配線パターン115とが電気的に接続される。
複数の配線パターン116の一端は、ボンディングパッド322(図2A参照)およびワイヤ321(図2A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン116の他端は、ボンディングパッド342(図2A)およびワイヤ341(図2A)を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
また、複数の配線パターン116は、モジュール基板102(図2B参照)のY方向の他辺の近くに形成されるビア422(図2B参照)を介して複数の検査用端子42にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、検査用端子42と配線パターン116とが電気的に接続される。
上記の構成により、配線パターン111,112を介してLSI32からメモリ33,34へアドレス信号およびクロック信号が転送される。また、配線パターン115,116を介してデータ信号がLSI32とメモリ33,34との間で転送される。
ここで、配線パターン111,112,115,116は、機能的には、LSI32とメモリ33,34とを接続する以外に必要のない配線である。すなわち、LSI32とメモリ33,34とを接続する配線は、各信号が転送される配線パターン111,112,115,116だけで機能的に十分である。また、配線パターン111,112,115,116は、第1のコンポジットシート21および第2の基板12およびモールド部61によって外気から遮断されている。すなわち、LSI32、メモリ33,34および配線パターン111,112,115,116は、モジュール基板102内に封止されている。
ところで、LSI32からメモリ33,34へ転送される各信号の波形およびパターンを検査するためには、モジュール基板102内に封止された配線パターン111,112,115,116に後述する検査装置603を接続する必要がある。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路を検査するためには、モジュール基板102の外部の検査装置603から検査信号をLSI32およびメモリ33,34に入力し、LSI32およびメモリ33,34から出力される信号と期待値とを照合する必要がある。
そこで、実施の形態1においては、図2および図3で説明したように、検査用端子41と配線パターン111,112とを電気的に接続している。それにより、検査用端子41に検査装置603を接続することにより、LSI32からメモリ33へ転送されるアドレス信号およびクロック信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子42と配線パターン111,112とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子42に検査装置603を接続することにより、LSI32からメモリ34へ転送されるアドレス信号およびクロック信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子41と配線パターン115とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子41に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ33との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子42と配線パターン116とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子42に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子41,42と検査装置603を接続することにより、検査用端子41,42に検査信号を入力し、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
また、実施の形態1においては、LSI32から出力される共通のアドレス信号およびクロック信号が、配線パターン111から配線パターン112によって2方向に分岐されてメモリ33,34へそれぞれ入力される。
この場合、例えば、図3において、LSI32からメモリ33,34へ6ビットのデータ信号がそれぞれ転送される場合、メモリ33,34の各々において共通のアドレス信号により指定される記憶領域にそれぞれ6ビットのデータ信号が記憶される。したがって、メモリ33,34に対して共通のアドレス信号およびクロック信号を用いて、合計12ビットのデータ信号を読み書きすることができる。つまり、LSI32により処理されるデータ信号のビット数を2倍に拡張することができる。それにより、低コストのメモリを用いてモジュール基板102の性能を向上させることができる。
なお、実施の形態1においては、同一の配線パターン112に接続される配線パターン113と配線パターン114とは、等しい長さに形成されている。また、配線パターン111は、配線パターン112を二等分する位置に接続されている。さらに、ビア411とビア421とは、等しい長さに形成されている。したがって、当該接続位置から検査用端子41までの配線長と、当該接続位置から検査用端子42までの配線長とが等しくなる。これにより検査用端子41または検査用端子42で反射波が発生することを防止することができ、配線パターンの信号に波形歪みが発生することを防止することができる。
各配線パターン111,112に転送される信号を検査するための検査用端子は、連結する1組の配線パターン111,112に対して本来一つで十分である。しかし、各配線パターン111または各配線パターン112から一つのスタブ配線を引き出し、そのスタブ配線を検査用端子に接続した場合、検査用端子で反射波が発生し、信号に波形歪が生じる。
そこで、実施の形態1においては、各配線パターン112から分岐する二つの配線パターン113,114により、連結する1組の配線パターン111,112ごとに2つの検査用端子41、42が接続されている。また、同一の配線パターン112から分岐する配線パターン113の長さと配線パターン114の長さとを等しく設定されている。さらに、配線パターン111は、配線パターン112を二等分する位置に接続されている。これらにより、検査用端子41および検査用端子42で反射波が発生することを防止することができる。その結果、アドレス信号およびクロック信号に波形歪みが発生することを防止することができる。
なお、配線パターン113,114は配線パターン112から分岐されずに配線パターン111から分岐されてもよい。
また、LSI32に接続されるメモリの数は2個に限定されず、3個以上のメモリを並列に接続してもよく1個でもよい。3個以上の場合は、LSI32により処理されるデータ信号のビット数をさらに拡張することが可能になる。
図3の構成では、LSI32に接続される配線パターンが2方向に分岐するが、メモリの数を3個以上にする場合には、LSI32に接続される配線パターンがメモリの数と同数の方向に分岐するように配線パターンが形成される。この場合、分岐された配線パターンにそれぞれ検査用端子を接続する際には、上記の場合と同様に、分岐点から各検査用端子までの配線長が等しくなるように各配線パターンを形成することが好ましい。それにより、各検査用端子で反射波が発生することを防止することができる。
また、上述したように、第1の基板11の下面ならびに第2の基板12の上面および下面には、可能な限り広い領域にECL701が形成されている。それにより、LSI32,メモリ33,34およびそれらに接続される配線パターン111〜116をECL701間に収納することができる。この場合、LSI32,メモリ33,34および配線パターン111〜116から放射される高周波ノイズがモジュール基板102の外部に漏洩することをECL701によって防止することができる。
また、上述したように、各検査用端子41,42の大きさは、十分に小さくすることができる。この場合、検査用端子41,42からモジュール基板102の外部に高周波ノイズが放射されることを防止することができる。
これらの結果、モジュール基板102から高周波ノイズが放射されることを確実に防止することができる。それにより、電子機器の誤作動を防止することができる。
図4は、実施の形態1に係るソケット501の内部構造を説明するための断面図である。図5Aは、実施の形態1に係るソケット501の蓋502の概観を説明するための上面図である。図5Bは、実施の形態1に係るソケット501の蓋502の概観を説明するための裏面図である。図6Aは、実施の形態1に係るソケット501の本体510の概観を説明するための上面図である。図6Bは、実施の形態1に係るソケット501の本体510の概観を説明するための裏面図である。
図4、図5A、図5B、図6A、図6Bに示すように、実施の形態1に係るソケット501は、蓋502、本体510から構成される。モジュール基板102は、図4に示すように蓋502と本体510との孔部519の間に挟まれて固定される。蓋502と本体510はクランプ(図示せず)により固定され格納される。
蓋502は、配線基板500、複数の雄端子503、517、複数のピンコンタンクト504、506、複数の配線505、507、保持プレート509、520、サポートプレート508から構成される。なお、雄端子503、517を総称して第一の端子と呼ぶ。雄端子503、517は第一の端子の一例である。また、ピンコンタンクト504、506を総称して第一の突起と呼ぶ。ピンコンタンクト504、506は第一の突起の一例である。
本体510は、成型部527、複数の雌端子511、515、複数の接触端子513、複数のスルーホール518、複数の半田ボール512、514、516、孔部519から構成される。なお、雌端子511、515を総称して第二の端子と呼ぶ。雌端子511、515は第二の端子の一例である。接触端子513を総称して第四の端子と呼ぶ。接触端子513は第四の端子の一例である。スルーホール518を総称して第三の端子と呼ぶ。スルーホール518は第三の端子の一例である。半田ボール512、514、516を総称して第五の端子と呼ぶ。半田ボール512、514、516は第五の端子の一例である。
本体510は絶縁材料である成型部527により形成されている。絶縁材料は、例えば、ガラスエポキシ樹脂などが考えられる。複数の接触端子513は、本体510の上面側の孔部519の底面にマトリクス状に配置されている。複数の接触端子513は、モジュール基板102の全ての半田ボール43に相対するように配置されている。よって、モジュール基板102の全ての半田ボール43と接触端子513は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。複数のスルーホール518は、複数の接触端子513の下側から成型部527の裏面側にかけて配置される。全てのスルーホール518は、全ての接触端子513に相対するように配置されている。全てのスルーホール518と全ての接触端子513は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。複数の半田ボール514は、複数のスルーホール518の下側の成型部527の裏面に配置される。全ての半田ボール514は、全ての複数のスルーホール518に相対するように配置されている。全ての半田ボール514は、全てのスルーホール518に個々に電気的に接続されている。複数の半田ボール514は、本体510の裏面にマトリクス状に配置されている。なお、半田ボール43を総称して第六の端子と呼ぶ。半田ボール43は第六の端子の一例である。
従って、モジュール基板102の全ての半田ボール43と全ての半田ボール514は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。また、結果的にモジュール基板102の半田ボール43と複数の接触端子513と半田ボール514は、同じ配列となる。
蓋502は、絶縁材料である配線基板500により形成されている。絶縁材料は、ガラスエポキシ樹脂などが考えられる。また、配線基板500は導電性の配線層を有する。配線層は絶縁材料の表面に銅薄膜などで形成されることが考えられる。図4では、配線基板500は、3層の絶縁材料と3層の配線層を有する例を示した。なお、配線層の数は3層に限定されるのもではなく、1層でも2層でも4層以上であっても良い。
複数のピンコンタクト504は、蓋502の裏面側にマトリクス状に配置されている突起である。複数のピンコンタクト504は、モジュール基板102の全ての検査用端子42に相対するように配置されている。よって、モジュール基板102の全ての検査用端子42と全てのピンコンタクト504は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。保持プレート509は、ガラスエポキシ樹脂などの絶縁材料により形成されている。保持プレート509は、ピンコンタクト504の先端を除いて覆うように形成されている。即ち、保持プレート509は、ピンコンタクト504で貫かれ且つ少なくとも蓋502の一部を覆うように形成されている。本体510の孔部519にモジュール基板102を格納し蓋502により挟んで固定したり外したりする時に生じる応力により、ピンコンタクト504が曲がったり折れたりして破損することを防いでいる。また、ピンコンタクト504の先端は覆われていないため、検査用端子42との電気的接続は保持される。複数の雄端子503は、蓋502の裏面側にマトリクス状に配置されている端子である。複数の雄端子503は、複数のピンコンタクト504より外側に配置される。複数の雄端子503は、全てのピンコンタクト504に対応して用意される。また、対応する全ての雄端子503と全てのピンコンタクト504は配線505により電気的に接続されている。配線505は、配線基板500の何れかの配線層を用いて形成される。
図5Aおよび図5Bにおいては、複数の配線505を3本だけ代表的に示しているが、実際には、全ての雄端子503と全てのピンコンタクト504間は、それぞれが配線505により電気的に接続されている。
複数の雌端子511は、本体510の上面側にマトリクス状に配置されている端子である。複数の雌端子511は、成型部527の裏面側にかけて配置される。複数の雌端子511は、蓋502の全ての複数の雄端子503に相対するように配置されている。本体510の全ての雌端子511と蓋502の全ての複数の雄端子503は、本体510の孔部519の外側に配置される。よって、本体510の全ての雌端子511と蓋502の全ての複数の雄端子503は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々が電気的に接続されることになる。複数の半田ボール512は、複数の雌端子511の下側の成型部527の裏面に配置される端子である。全ての半田ボール512は、全ての複数の雌端子511に相対するように配置されている。全ての半田ボール512は、全ての雌端子511に個々に電気的に接続されている。
従って、モジュール基板102の全ての検査用端子42と全ての半田ボール512は、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、個々に電気的に接続されることになる。つまり、本発明のソケット501を用いることにより、モジュール基板102の上面に用意した検査用端子42の信号を、モジュール基板102の裏面に引き出すことができる。つまり、検査システムにおいて、モジュール基板102の上面に用意した検査用端子42の信号を、半田ボール43の信号と同様に取り扱うことが可能となる。結果的に半田ボール512は、半田ボール514より外側に配置されている。
ここで、雄端子503の配列は対応するピンコンタクト504の配列に同じとすることが望ましい。配列を同じとすることにより、全ての配線505の配線長を短く、概略等しくすることができる。配線長を短く、等しくすることにより、個々の検査用端子42の誘導性負荷と容量性負荷を小さく、等しくすることができる。その結果、検査用端子42の信号の波形歪は、極力抑えられ、ばらつき少なくすることができ、検査の精度を高めることが可能となる。また、雄端子503および雌端子511の直径またはピッチはピンコンタクト504の直径より大きくすることが望ましい。ピンコンタクト504の直径またはピッチは、検査用端子42の直径に合わせる必要があるが、雄端子503および雌端子511はその必要が無い。よって、雄端子503および雌端子511は、できる限り直径またはピッチを大きくすることにより、接触面積を増やすことができ、蓋502と本体510の接続強度を高めることが可能となる。また、ピンコンタクト504の直径またはピッチは、接触端子513の直径またはピッチに比べて十分に小さくすることが望ましい。検査用端子41、42間のピッチおよび検査用端子41、42の直径は、はんだボール43間のピッチ、はんだボール43の直径に比べて十分に小さくすることができるためである。ピンコンタクト504の直径またはピッチを十分に小さくすることにより所要面積を小さくできる。
また、サポートプレート508を用いて各接続部の勘合状態を調整することが望ましい。サポートプレート508の厚みは、本体510の孔部519にモジュール基板102を格納して蓋502で挟んで固定した間に、全ての半田ボール43と全ての接触端子513と全てのスルーホール518、および全ての検査用端子42と全てのピンコンタクト504、および全ての雌端子511と全ての複数の雄端子503が電気的に接続されるように調整されている。図4ではサポートプレート508の厚みは、プラスの例を示したが、配線基板500をくり抜くようにマイナスであっても良い。
複数の雄端子517、複数のピンコンタンクト506、複数の配線507、保持プレート520、複数の雌端子515、複数の半田ボール516、検査用端子43については、複数の雄端子503、複数のピンコンタンクト504、複数の配線505、保持プレート509、複数の雌端子511、複数の半田ボール512、検査用端子42と同様であるので、説明は省略する。
図7は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板102を外部基板201に実装し、外部基板201を受信機筐体204内に実装するときのテレビジョン受信機の一部分解実装図である。実施の形態1に係るモジュール基板102を実装するとともに、例えば液晶ディスプレイ又はプラズマディスプレイなどのディスプレイ204Dを搭載し、テレビジョン受信機の製品化を実現した場合の例である。なお、図7は背面図であって、図7の裏側であるおもて面にディスプレイ204Dが搭載される。この場合、モジュール基板102は、テレビジョン受信機能を実現するモジュールである。すなわち、LSI32は、テレビジョン信号を入力して映像信号および音声信号を出力するデコード機能を備えているシステムLSIである。なお、その他のテレビション受信機、例えばセットトップボックスや携帯型端末やPCにおけるモジュール基板102をテレビジョン受信機に実装した構成であってもよい。なお、テレビジョン受信機に限定するものでなく、その他のデジタル家電製品であっても良い。
図7において、モジュール基板102は、各国や各地域毎のチューナ202と、各市場毎のCAモジュールを接続するためのソケット205と、デジタル音声信号又はアナログ音声信号とデジタル映像信号(音声や映像を含むコンテンツ信号)を出力するディスプレイインターフェース206が実装された外部基板201に実装される。ディスプレイインターフェース206は、モジュール基板102から出力される映像信号及び音声信号を、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、CRTディスプレイなどの、接続されるディスプレイに接続するためのインターフェースである。このディスプレイインターフェース206は、ディスプレイ側の接続仕様に応じて異なる回路で実現される。なお、音声信号はディスプレイ内又はディスプレイ外に設けられたスピーカ(図示せず)に出力される。外部基板201には、モジュール基板102の複数の半田ボール43の配置に対応した複数のランドが形成され、外部基板201とモジュール基板102は、リフロー工程により物理的にかつ電気的に接続される。モジュール基板102が接続された外部基板201は、支持台207により支持されるテレビジョン受像機204の筐体に、電源ユニット203と、ディスプレイ駆動ユニット208とともに組み込まれる。なお、ディスプレイインターフェース206は、ディスプレイ駆動回路208を介してディスプレイ204Dに接続される。
図7において、テレビジョン受信機のためのモジュール基板102は誘電体基板にてなる外部基板201の位置11Aに実装され、当該外部基板201は、受信機筐体204の位置201A内に実装される。
モジュール基板102の半田ボール43に対応したランドを備えた外部基板201を用意することにより、モジュール基板102と接続して、テレビジョン受信機を製品化することができる。
検査用端子41と検査用端子42は、モジュール基板102の検査用端子であり、テレビジョン受信機能に必要ない端子である。検査用端子41と検査用端子42に対応したランドは外部基板201に用意されない。つまり、外部基板201は、モジュール基板102の実装に要する面積を、検査用端子41と検査用端子42の分減らすことができる。従って、テレビジョン受信機の小型化が可能となる。
更に、検査用端子41と検査用端子42は、オープン状態である。検査用端子41と検査用端子42を外部基板201に接続することによる余分な誘導性負荷や容量性負荷を削除することができる。つまり、LSI32とメモリ33、34との間に転送されるアドレス信号およびクロック信号およびデータ信号の波形歪を抑制することができ、高速に動作させることが可能となる。従って、テレビジョン受信機の高性能化が可能となる。
図8は、実施の形態1に係る検査システムの一部分解実装図である。この検査システムは、実施の形態1に係るモジュール基板102を実施の形態1に係るソケット501に格納し、ソケット501を評価基板601に実装している。そうして、評価基板601は検査基板602に接続され、検査基板602は検査装置603に接続される。なお、図8におけるモジュール基板102、ソケット501、評価基板601、検査基板602は上面図であって、検査装置603は外観斜視図である。
検査装置603は、モジュール基板102を製造する際に、良品か不良品かを選別するための装置であり、いわゆる半導体テスターである。モジュール基板102を製造して出荷するメーカーの製造工場における検査工程に備えられる。例えば、LSIテスターやメモリーテスターなどである。
検査装置603は、モジュール基板102の検査用端子41、42に接続することにより、モジュール基板102内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子41,42から検査信号を入力させ、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
評価基板601には、ソケット501の複数の半田ボール512、514、516の配置に対応した複数のランドが形成され、評価基板601とソケット501は、リフロー工程により物理的にかつ電気的に接続される。半田ボール514の配置に対応したランドは評価基板601の位置1Aに用意され、半田ボール512、516の配置に対応したランドは評価基板601の位置1Aの外側かつ位置1Bの内側に用意される。なお、評価基板601は、ソケット501を4個実装できるようになっている。モジュール基板102を4個同時に検査できるようにするためである。ソケット501の実装する数は一例を示しただけであり、4個に限定されない。
図8において、テレビジョン受信機のためのモジュール基板102は、誘電体基板にてなる評価基板601の位置1Bに実装されたソケット501内に格納され、当該評価基板601は、検査基板602に接続されて、検査装置603の位置1Cに接続される。評価基板601は、プリント基板であって、誘電体に銅などの導電体の配線層を有し、配線層を用いた配線が可能である。モジュール基板102の検査に必要な信号は、半田ボール512、514、516の配置に対応したランドから評価基板601の裏面に実装されたコネクタ(図示しない)に電気的に接続されるように配線される。評価基板601と検査基板602と検査装置603の接続はそれらのコネクタにより電気的に接続される。コネクタの説明を省略したのは、実際の検査システムにおいては、評価基板601と検査基板602は検査装置603と一体であり、コネクタにより取り外しができるようになっているためである。
ソケット501、評価基板601、検査基板602、検査装置603から成る検査システムとすることにより、モジュール基板102と検査装置603を接続して、モジュール基板102を検査することができる。
検査用端子41と検査用端子42は、モジュール基板102の検査用端子であり、モジュール基板102の検査に必要な端子である。しかしながら、検査用端子41と検査用端子42はモジュール基板102の裏面の半田ボール43に用意されない。実施の形態1に係るソケット501を用いず、モジュール基板102を評価基板601に実装された場合は、評価基板601の位置1Aに実装されることになる。その場合、検査用端子41と検査用端子42は、オープンとなるため検査装置603と電気的に接続することができない。一方、実施の形態1に係るソケット501を用い、モジュール基板102をソケット501に格納した場合は、検査用端子41と検査用端子42は、ソケット501のピンコンタンクト504、506、配線505、507、雄端子503、517、雌端子511、515を介してソケット501裏面の半田ボール512、516に電気的に接続されることになる。よって、ソケット501を評価基板601の位置1Bに実装し、モジュール基板102を格納することにより、モジュール基板102の半田ボール43のみならず検査用端子41,42を検査装置603と電気的に接続することができる。その結果、モジュール基板102内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンの検査信号を検査装置603に伝播させて検査することができる。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査装置603から検査信号を伝播させて、検査用端子41,42から検査信号を入力させ、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
実施の形態1に係るモジュール基板102においては、第2の基板12上に検査用端子41,42が設けられている。
実施の形態1に係るテレビジョン受信機の外部基板201は、検査用端子41,42に対応したランドを設ける必要がなくなるため、モジュール基板102の実装に要する面積を、検査用端子41、42の面積分減らすことができる。また、検査用端子を形成する為に別個に基板を持つ必要がない。そのため、モジュール基板102の小型化が可能となる。結果、テレビジョン受信機の小型化が可能となる。
更に、検査用端子41と検査用端子42は、外部基板201に接続されずオープン状態である。よって、外部基板201に接続されることによる付加される余分な誘導性負荷や容量性負荷を削除することができる。つまり、LSI32とメモリ33、34との間に転送されるアドレス信号およびクロック信号およびデータ信号の波形歪を抑制することができ、高速に動作させることが可能となる。結果、テレビジョン受信機の高性能化が可能となる。
また、実施の形態1に係るソケット501を用いる検査システムにおいては、モジュール基板102をソケット501に格納した場合は、モジュール基板102の検査用端子41と検査用端子42を検査装置603と電気的に接続することができる。その結果、モジュール基板102内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。その結果、モジュール基板102内の電子部品の不良を確実に検出することができる。また、LSI32およびメモリ33,34の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子41,42から検査信号を入力させ、検査用端子41,42から出力される信号と期待値とを照合することができる。
以上のように、モジュール基板102の検査用端子41,42に対応したランドは、モジュール基板102を製造して出荷するメーカーの製造工場における評価基板601においては設ける必要があるが、モジュール基板102を用いる製品の外部基板201においては設ける必要がない。よって、実施の形態1に係るモジュール基板102は、メーカーの製造工場を出荷後には、基板に必要なランドの数を減らすことができることから、実装に要する面積を削減できる。つまり、本実施の形態に係るモジュール基板102は、本実施の形態に係るソケット501を備えた検査システムを用いることにより、メーカーの製造工場を出荷後に小型化できることと同等の効果がある。また、小型化の効果を有しつつ、十分な検査を提供できるため、製造コストの増加を防止するコストダウンと電子部品の検査を確実に行うことができかる品質向上を両立できる効果がある。
上述した通り、複数の雄端子503、517が第一の端子、複数のピンコンタンクト504、506が第一の突起、保持プレート509、520が保持プレート、複数の雌端子511、515が第二の端子、複数の接触端子513が第四の端子、複数の半田ボール512、516が第三の端子、複数の半田ボール514が第五の端子、複数の半田ボール43が第六の端子、孔部519が孔部、評価基板601が評価基板に相当する。しかし、本発明は上記の例に限定されない。
(実施の形態2)
以下本発明の実施の形態2を、図面を参照しながら説明する。なお、実施の形態1と同じ構成要素については、同じ符号を付け詳細説明は省略する。
図9は、実施の形態2に係るモジュール基板を示す外観斜視図である。なお、図9においては、位置関係を明確にするために互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印を付している。X方向およびY方向は水平面内で互いに直交し、Z方向は鉛直方向に相当する。また、後述する図10Aと図10Bにおいても、同様にX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印を付している。
図9に示すように、実施の形態2に係るモジュール基板232は、第1の回路基板11、第1のコンポジットシート21、第2の回路基板12が順に積層された構造を有する。第2の基板12の上面においては、封止層であるモールド部61が形成されている。モジュール基板232は、実施の形態1におけるLSI32を備えている。
モジュール基板232において、第2の基板12の上面の4辺には、複数の検査用端子241および複数の検査用端子242および複数の検査用端子243および複数の検査用端子244がそれぞれマトリクス状にモジュール基板232の4辺に沿って配置されている。なお、検査用端子241、242、243、244を総称して第七の端子と呼ぶ。検査用端子241、242、243、244は第七の端子の一例である。
各検査用端子241,242、243、244は、後述するように、第1の基板11上に実装されるLSI等の電子部品と配線パターンを介して電気的に接続されている。つまり、各検査用端子241,242、243、244は、LSI32と電気的に接続されている。検査用端子241,242,243,244としては、例えば、ランドを用いることができる。検査用端子241,242,243,244には、実施の形態1と同様に、ソケット501を介して検査装置603が接続される。その場合のソケット501には、検査用端子241,242,243,244に対応する複数のピンコンタンクト504、506、複数の雄端子503、517、複数の配線505、507、複数の雌端子511、515、複数の半田ボール512、514、516から構成される。
また、検査用端子241,242,243,244には、第二のモジュール基板であるモジュール基板233が接続される。
モジュール基板233においては、モジュール基板232同様に第1の回路基板11、第1のコンポジットシート21、第2の回路基板12が順に積層された構造を有する。第1の基板11の上面においては、実施の形態1におけるメモリ33、34を備えている。メモリ33、34は第1の基板12の上面の図示しないランドにリフロー工程により半田付けされていることが考えられる。
モジュール基板232とモジュール基板233が検査用端子241,242,243,244を介して接続されることによりモジュール基板101の機能を実現できる。つまり、検査用端子241,242,243,244は、モジュール基板232の検査用端子であるとともに、モジュール基板232とモジュール基板233の接続用端子を兼ねている。モジュール基板233の底面においては、複数のはんだボール343が形成されている。各はんだボール343は、モジュール基板233に実装される電子部品と電気的に接続されている。つまり、メモリ33、34とはんだボール343は電気的に接続されている。モジュール基板233は、はんだボール343を用いて検査用端子241,242,243,244にはんだ付けすることによりモジュール基板232に実装される。それにより、モジュール基板233とモジュール基板232に実装される電子部品とが電気的に接続される。つまり、LSI32とメモリ33,34は電気的に接続される。
モジュール基板232、233の実現形態は、LSIまたはICまたはMCMまたはSIP等が考えられる。また、モジュール基板232とモジュール基板233を接続しての実現形態は、POP(Packege On Package)等が考えられる。
以下、モジュール基板232の内部構造について詳細に説明する。
図10Aは、モジュール基板232に実装される複数の電子部品のXY平面上での位置関係を示す図であり、図10Bは、モジュール基板232の断面図である。
図10Bに示すように、第1のコンポジットシート21の中央部には、上下に貫通する空間部51が形成されている。空間部51内で第1の基板11上に、LSI32が実装されている。
また、図10Bに示すように、第2の基板12の中央部の所定の領域に、孔部53が形成されている。図9、図10Aおよび図10Bに示すように、空間部51内および孔部53を封止するように封止層であるモールド部61が形成されている。
図10Aおよび図10Bにおいては、LSI32は、ワイヤボンディング工法により第1の基板11上の配線パターンに電気的に接続されている。
以下、さらに図11を参照しつつ、LSI32、メモリ33,34および検査用端子241,242、243、244の間の配線について説明する。
図11は、モジュール基板232の第1の基板11から検査用端子241,242、243、244、はんだボール343を介してモジュール基板233の第2の基板に形成される配線パターン111〜116を模式的に示した図である。なお、配線パターン113、114は実施の形態2には無い。図10Aにおいては、配線パターン111〜116をそれぞれ1本ずつ代表的に示しているが、実際には配線パターン111〜116はそれぞれ複数形成されている。
図11に示すように、複数の配線パターン111の一端は、複数のボンディングパッド322(図10A参照)および複数のワイヤ321(図10A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン111の他端は、複数の配線パターン112の中央部にそれぞれ接続されている。
複数の配線パターン112の一端は、検査端子242を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン112の他端は、検査端子241および検査用端子242を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
複数の配線パターン115の一端は、ボンディングパッド322(図10A参照)およびワイヤ321(図10A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン115の他端は、検査用端子243を介して、メモリ33の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
複数の配線パターン116の一端は、ボンディングパッド322(図10A参照)およびワイヤ321(図10A参照)を介して、LSI32の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。複数の配線パターン116の他端は、検査用端子244を介して、メモリ34の複数の端子にそれぞれ電気的に接続されている。
また、図示していないがメモリ33、34の動作に必要な電源信号もモジュール基板232の第1の基板11から検査用端子241,242、243、244、はんだボール343を介してモジュール基板233の第2の基板に接続されている。
上記の構成により、配線パターン111,112、検査用端子241、242を介してLSI32からメモリ33,34へアドレス信号およびクロック信号が転送される。また、配線パターン115,116、検査用端子243、244を介してデータ信号がLSI32とメモリ33,34との間で転送される。
ここで、配線パターン111,112,115,116は、機能的には、LSI32とメモリ33,34とを接続する以外に必要のない配線である。すなわち、LSI32とメモリ33,34とを接続する配線は、各信号が転送される配線パターン111,112,115,116だけで機能的に十分である。また、配線パターン111,112,115,116は、はんだボール43には接続されていない。すなわち、LSI32、メモリ33,34および配線パターン111,112,115,116は、余分な配線が無く、モジュール基板232とモジュール基板233内に閉じている。
ところで、実施の形態2のPOPの場合、モジュール基板232とモジュール基板233を個別に検査して、モジュール基板232とモジュール基板233を接続した後に更に検査することが考えられる。双方を接続前に個別に検査することにより、良品同士を接続できることから、接続後の完成品の不良率を下げることができるためである。
ところで、モジュール基板232の個別の検査において、LSI32からメモリ33,34へ転送される全信号の波形およびパターンを検査するためには、モジュール基板232の全配線パターン111,112,115,116に後述する検査装置603を接続する必要がある。LSI32からメモリ33,34へ転送される全信号の波形およびパターンを検査するためには、メモリ33、34の機能を実現する手段が必要である。しかし、この場合、検査装置603にメモリ33,34の機能があっても良いし、評価基板601あるいは検査基板602あるいはソケット501上にメモリ33,34の機能があっても良い。つまり、検査装置603にメモリ33,34をエミュレートするソフトウェア、もしくは検査装置603あるいは評価基板601あるいは検査基板602あるいはソケット501上にメモリ33,34が実装されることが考えられる。それらのメモリ機能とモジュール基板232とを接続してLSI32からメモリ33,34へ信号を転送するとともに、転送される各信号の波形およびパターンを検査することができる。
モジュール基板232におけるLSI32のメモリ33,34に接続するための内部回路を検査するためには、モジュール基板232の外部の検査装置603から検査信号をLSI32に入力し、LSI32から出力される信号と期待値とを照合する必要がある。
そこで、実施の形態2においては、図10A、図10Bおよび図11で説明したように、検査用端子241と242と配線パターン111,112とは電気的に接続されている。それにより、検査用端子241または242に検査装置603を接続することにより、LSI32からメモリ33へ転送されるアドレス信号およびクロック信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子243と配線パターン115とが電気的に接続さえれている。それにより、検査用端子243に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ33との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、検査用端子244と配線パターン116とが電気的に接続されている。それにより、検査用端子244に検査装置603を接続することにより、LSI32とメモリ34との間で転送されるデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。
また、LSI32のメモリ33,34に接続するための内部回路の検査を行う場合には、検査用端子241,242,243,244と検査装置603が接続される。そうすることにより、検査用端子241,242,243,244に検査信号を入力し、検査用端子241,242,243,244から出力される信号と期待値とを照合することができる。
実施の形態2に係るモジュール基板232においては、第2の基板12上に検査用端子241,242、243、244が設けられている。
実施の形態2に係るテレビジョン受信機の外部基板201は、検査用端子241,242、243、244に対応したランドを設ける必要がなくなるため、モジュール基板232およびモジュール基板233を接続した完成品の実装に要する面積を、検査用端子241、242、243、244の面積分減らすことができる。その結果、テレビジョン受信機の小型化が可能となる。
更に、検査用端子241、242、243、244は、モジュール基板232およびモジュール基板233を接続するための接続端子を兼ねている。よって、外部基板201に接続されるためまたは余分な検査端子、検査端子に引き出すための配線による付加される余分な誘導性負荷や容量性負荷を削除することができる。つまり、LSI32とメモリ33、34との間に転送されるアドレス信号およびクロック信号およびデータ信号の波形歪を抑制することができ、高速に動作させることが可能となる。結果、テレビジョン受信機の高性能化が可能となる。
また、実施の形態2に係るソケット501を用いる検査システムにおいては、モジュール基板232をソケット501に格納した場合は、モジュール基板232の検査用端子241または検査用端子242で反射波が発生することを防止することができる。そうして、配線パターンの信号に波形歪みが発生することを防止することができる。
検査用端子241、242、243、244を検査装置603と電気的に接続することができる。また、検査装置603にメモリ33,34をエミュレートするソフトウェア、あるいは検査装置603あるいは評価基板601あるいは検査基板602あるいはソケット501上にメモリ33,34が実装することもできる。その結果、モジュール基板232内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送される全てのデータ信号の波形およびパターンを検査することができる。また、LSI32の内部回路の検査を行う場合には、検査用端子241,242、243,244から検査信号を入力させ、検査用端子241,242、243、244から出力される信号と期待値とを照合することができる。その結果、モジュール基板232内部のLSI32とメモリ33、34との間で転送される全てのデータ信号の波形およびパターンを検査、期待値照合することができることからモジュール基板232の品質を向上することができる。
以上のように、モジュール基板232の検査用端子241,242、243、244に対応したランドは、モジュール基板232を製造して出荷するメーカーの製造工場における評価基板601においては設ける必要があるが、モジュール基板232およびモジュール基板233を接続した完成品を用いる製品の外部基板201においては設ける必要がない。よって、モジュール基板232は、メーカーの製造工場を出荷後には、基板に必要なランドの数を減らすことができることから、実装に要する面積を削減できる。つまり、モジュール基板232は、実施の形態2に係るソケット501を備えた検査システムを用いることにより、メーカーの製造工場を出荷後に小型化できることと同等の効果がある。また、小型化の効果を有しつつ、十分な検査を提供できるため、製造コストの増加を防止するコストダウンと電子部品の検査を確実に行うことができる品質向上を両立できる効果がある。
本発明にかかるモジュール基板およびソケットおよびそれらを用いる検査システムは、メーカーの製造工場において検査した後の出荷後に小型化できることと同様の効果を有する。本発明にかかるモジュール基板およびソケットおよびそれらを用いる検査システムは、電子部品が実装されたモジュール基板、モジュール基板を格納するソケット、電子部品を検査するシステム等として有用である。
実施の形態1に係るモジュール基板を示す外観斜視図 モジュール基板の内部構造を説明するための図 モジュール基板の内部構造を説明するための断面図 第1の基板に形成される配線パターンを模式的に示した図 ソケットの内部構造を説明するための断面図 ソケットの蓋を示す概観上面図 ソケットの蓋を示す概観裏面図 ソケットの本体を示す概観上面図 ソケットの本体を示す概観裏面図 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板を外部基板に実装しテレビジョン受信機を製品化する場合の一部分解実装図 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板を実施の形態1に係るソケットに格納し、ソケットを評価基板に実装し、検査装置に接続するときの検査システムの一部分解実装図 実施の形態2に係るモジュール基板を示す外観斜視図 モジュール基板の内部構造を説明するための図 モジュール基板の内部構造を説明するための断面図 モジュール基板と積層されたモジュール基板に形成される配線パターンを模式的に示した図
符号の説明
11 第1の回路基板
12 第2の回路基板
21 第1のコンポジットシート
41,42,241,242,243,244 検査用端子
43,343 はんだボール
102,233,234 モジュール基板
111,112,113,114,115,116 配線パターン
410 第1の検査部
411,412,421,422 ビア
420 第2の検査部
500 配線基板
501 ソケット
502 蓋
503,517 雄端子
504,506 ピンコンタンクト
505,507 配線
508 サポートプレート
509,520 保持プレート
510 本体
511,515 雌端子
512,514,516 半田ボール
513 接触端子
527 成型部
518 スルーホール
519 孔部

Claims (13)

  1. 裏面に第一の突起と、前記第一の突起に電気的に接続された第一の端子を有した蓋と、
    上面に第二の端子と、裏面に前記第二の端子に電気的に接続された第三の端子を有した本体とを備え
    前記本体に電子部品を格納し、前記蓋で挟んで固定した間に、前記第一の端子と前記第二の端子が電気的に接続されるソケット。
  2. 前記第一の端子と前記第二の端子は相対するように配置される請求項1記載のソケット。
  3. 前記本体は上面に前記電子部品を格納する孔部を有し、
    前記第一の突起は前記孔部の内側に配置され、
    前記第一の端子および前記第二の端子は前記孔部の外側に配置される請求項2記載のソケット。
  4. 前記孔部は底面に第四の端子と、
    前記第四の端子に電気的に接続された前記本体裏面に第五の端子を有する請求項3記載のソケット。
  5. 前記第一の突起と前記第一の端子は同じ配列である請求項2記載のソケット。
  6. 前記第一の突起の直径またはピッチは前記第四の端子の直径またはピッチより小さい請求項4記載のソケット。
  7. 前記第一の端子の直径は前記第一の突起の直径より大きい請求項2記載のソケット。
  8. 前記第一の突起で貫かれ且つ少なくとも前記蓋の一部を覆うように形成された保持プレートを備えた請求項2記載のソケット。
  9. 上下方向に積層され、各々が配線パターンを有する複数の回路基板と、
    前記複数の回路基板のうち少なくとも1つの回路基板上に実装され、前記配線パターンと電気的に接続される電子部品と、
    前記複数の回路基板のうち最下部の回路基板の下面に設けられ、前記配線パターンと電気的に接続される第六の端子と、
    前記複数の回路基板のうち最上部の回路基板の上面に露出するように設けられ、前記配線パターンと電気的に接続される第七の端子とを備え、
    前記第七の端子は、前記電子部品の検査用端子であるとともに、第二のモジュール基板を積層するための接続端子を兼ねるモジュール基板。
  10. 前記電子部品のうち少なくとも1つの電子部品は封止された請求項9記載のモジュール基板。
  11. 前記複数の回路基板内に空間部が形成され、前記電子部品のうち少なくとも1つの電子部品は前記空間部に配置され、
    前記空間部は封止された、請求項9または10記載のモジュール基板。
  12. 請求項4から8の何れか1項に記載のソケットと、
    前記電子部品を検査する検査装置と、
    前記ソケットの前記第三の端子および前記第五の端子を前記検査装置に電気的に接続して検査信号を伝播する評価基板と
    を備えた検査システム。
  13. 請求項4から8の何れか1項に記載のソケットと、
    請求項9から11の何れか1項に記載のモジュール基板と、
    前記電子部品を検査する検査装置と、
    前記電子部品を評価する評価基板と
    を備え、
    前記ソケットの第一の突起を前記モジュール基板の前記第七の端子に電気的に接続し、
    前記ソケットの前記第四の端子を前記モジュール基板の前記第六の端子に電気的に接続し、
    前記ソケットの前記第三の端子および前記第五の端子を前記検査装置に電気的に接続し、
    前記評価基板は検査信号を伝播する検査システム。
JP2008535343A 2006-09-19 2007-09-18 ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム Expired - Fee Related JP4947054B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008535343A JP4947054B2 (ja) 2006-09-19 2007-09-18 ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006252061 2006-09-19
JP2006252061 2006-09-19
PCT/JP2007/068037 WO2008035650A1 (fr) 2006-09-19 2007-09-18 Douille, carte de module et système d'inspection utilisant la carte de module
JP2008535343A JP4947054B2 (ja) 2006-09-19 2007-09-18 ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2008035650A1 true JPWO2008035650A1 (ja) 2010-01-28
JP4947054B2 JP4947054B2 (ja) 2012-06-06

Family

ID=39200476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008535343A Expired - Fee Related JP4947054B2 (ja) 2006-09-19 2007-09-18 ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7956632B2 (ja)
EP (1) EP2071680A4 (ja)
JP (1) JP4947054B2 (ja)
CN (1) CN101517845B (ja)
WO (1) WO2008035650A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2256868A1 (de) * 2009-05-27 2010-12-01 Siemens Aktiengesellschaft Automatisierungsgerät mit einem Terminalmodul
US8441275B1 (en) * 2010-01-14 2013-05-14 Tapt Interconnect, LLC Electronic device test fixture
JP5870493B2 (ja) * 2011-02-24 2016-03-01 セイコーエプソン株式会社 半導体装置、センサーおよび電子デバイス
EP2535926A3 (en) * 2011-06-17 2015-08-05 BIOTRONIK SE & Co. KG Semiconductor package
US8466705B1 (en) 2012-09-27 2013-06-18 Exatron, Inc. System and method for analyzing electronic devices having a cab for holding electronic devices
US9733304B2 (en) * 2014-09-24 2017-08-15 Micron Technology, Inc. Semiconductor device test apparatuses
JP7281250B2 (ja) * 2018-05-11 2023-05-25 株式会社アドバンテスト 試験用キャリア
CN109738734A (zh) * 2018-12-28 2019-05-10 南通同洲电子有限责任公司 一种多功能机顶盒自动测试工装治具
TWI821525B (zh) * 2020-02-17 2023-11-11 日商山一電機股份有限公司 檢查用插槽

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01173637A (ja) * 1987-12-26 1989-07-10 Mitsubishi Electric Corp Icパツケージ用ソケツト
JPH0831532A (ja) * 1994-07-19 1996-02-02 Kel Corp Bga−pga変換装置
JP2000068440A (ja) * 1998-08-20 2000-03-03 Nec Corp Icパッケージ
JP2001264383A (ja) * 2000-03-21 2001-09-26 Nec Corp Ic測定用ソケット

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06232233A (ja) * 1992-12-23 1994-08-19 Honeywell Inc 裸ダイの試験装置
JPH08213128A (ja) * 1995-02-08 1996-08-20 Texas Instr Japan Ltd ソケット
US6181149B1 (en) * 1996-09-26 2001-01-30 Delaware Capital Formation, Inc. Grid array package test contactor
US6819127B1 (en) * 1999-02-19 2004-11-16 Micron Technology, Inc. Method for testing semiconductor components using interposer
JP2000357571A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Tokyo Eletec Kk Icソケット
JP4845304B2 (ja) * 2000-10-25 2011-12-28 株式会社センサータ・テクノロジーズジャパン ソケット及びこれを備えた電子部品装着装置
DE102004007696B4 (de) * 2004-02-16 2009-01-02 Infineon Technologies Ag Testvorrichtung zum Prüfen eines Halbleiterbauteils mit Kontaktflächen auf seiner Oberseite und seiner Unterseite und Verfahren zum Prüfen des Halbleiterbauteils
US7042240B2 (en) * 2004-02-27 2006-05-09 Wells-Cti, Llc Burn-in testing apparatus and method
US7064567B2 (en) * 2004-08-12 2006-06-20 Agilent Technologies, Inc. Interposer probe and method for testing
JP2006292727A (ja) * 2005-03-18 2006-10-26 Alps Electric Co Ltd 半導体搬送トレイ、これを用いたバーンインボード、バーンイン試験用の検査装置及びバーンイン試験方法並びに半導体の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01173637A (ja) * 1987-12-26 1989-07-10 Mitsubishi Electric Corp Icパツケージ用ソケツト
JPH0831532A (ja) * 1994-07-19 1996-02-02 Kel Corp Bga−pga変換装置
JP2000068440A (ja) * 1998-08-20 2000-03-03 Nec Corp Icパッケージ
JP2001264383A (ja) * 2000-03-21 2001-09-26 Nec Corp Ic測定用ソケット

Also Published As

Publication number Publication date
JP4947054B2 (ja) 2012-06-06
CN101517845B (zh) 2012-10-17
US7956632B2 (en) 2011-06-07
CN101517845A (zh) 2009-08-26
US20100097085A1 (en) 2010-04-22
EP2071680A4 (en) 2012-11-07
WO2008035650A1 (fr) 2008-03-27
EP2071680A1 (en) 2009-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4947054B2 (ja) ソケットおよびモジュール基板およびそれを用いる検査システム
JP5371932B2 (ja) モジュール基板
KR100724916B1 (ko) 전자회로 패키지
KR20090027573A (ko) 반도체장치
JP2002305286A (ja) 半導体モジュールおよび電子部品
US8552549B2 (en) Semiconductor device, and inspection method thereof
US20090108431A1 (en) Inverted package-on-package (POP) assemblies and packaging methods for integrated circuits
JP2009141228A (ja) 配線用基板とそれを用いた積層用半導体装置および積層型半導体モジュール
KR20100123664A (ko) 매입형 상호접속체를 구비하는 보강 봉입체를 포함하는 집적회로 패키징 시스템 및 그 제조 방법
JP2009188325A (ja) 半導体パッケージおよび半導体パッケージの製造方法
US7952186B2 (en) Semiconductor package land grid array substrate and plurality of first and second electrodes
JP2006080564A (ja) 半導体装置のパッケージ構造
US7180171B1 (en) Single IC packaging solution for multi chip modules
US8044498B2 (en) Interposer, semiconductor chip mounted sub-board, and semiconductor package
US20060097129A1 (en) Lens module structure
JP2005347470A (ja) 半導体パッケージ用中継基板、半導体サブパッケージおよび半導体装置
JP4303772B2 (ja) 半導体パッケージ
JP2009052910A (ja) 半導体検査治具、これを備えた半導体検査装置及び半導体検査方法
JP2003068968A (ja) 半導体集積回路装置
JP4388989B2 (ja) 半導体チップマウント封止サブ基板
JP2002124628A (ja) 半導体装置
TWM555474U (zh) 半導體封裝元件之高頻訊號測試裝置
JP2008141077A (ja) 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP2006245500A (ja) 半導体装置およびその製造方法
KR20050011470A (ko) 적층 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110210

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110802

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110825

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120207

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120220

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4947054

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees