JPWO2008029827A1 - AlN結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
一方、AlNは、バンドギャップが紫外域にあり大きく、熱伝導率も高く、かつAlGaN等との格子定数の整合性も良いため、AlNを化合物半導体装置の基板として使用した場合、バッファ層を形成する必要がない。しかし、結晶性の良いAlN結晶を十分な大きさに成長させることはできなかった。
前記種結晶と前記溶融Alの界面に、窒化物の生成自由エネルギーがAlより小さい元素を供給し、
前記元素を触媒として前記溶融Alに溶解した窒素と前記溶融Alを反応させることにより、前記種結晶にAlN結晶を成長させるものである。
4…種結晶
10…容器
20…ヒータ
30…種結晶保持部
32…Al供給部
34…触媒元素供給部
50…チャンバー
52…窒素ガス供給部
54…ポンプ
56…触媒元素含有ガス供給部
本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
Claims (5)
- 窒素雰囲気下に位置している溶融Alに種結晶を接触させ、
前記種結晶と前記溶融Alの界面に、窒化物の生成自由エネルギーがAlより小さい元素を供給し、
前記元素を触媒として前記溶融Alに溶解した窒素と前記溶融Alを反応させることにより、前記種結晶にAlN結晶を成長させる、AlN結晶の製造方法。 - 前記元素はボロン、カルシウム、シリコン、鉄、モリブデン、クロム、バナジウム、マグネシウム、マンガン、インジウム、ガリウム、タンタル、ハフニウム、及びトリウムからなる群から選ばれた少なくとも一種である請求項1に記載のAlN結晶の製造方法。
- 前記窒素雰囲気を4気圧以上にする請求項1又は2に記載のAlN結晶の製造方法。
- 前記溶融Alと前記種結晶の界面の温度を800℃以上にする請求項1〜3のいずれか一項に記載のAlN結晶の製造方法。
- 前記窒素雰囲気に、前記元素を含む化合物の気体を混入させ、前記溶融Alに前記気体を溶かし込むことにより、前記種結晶と前記溶融Alの界面に前記元素を供給する請求項1〜4のいずれか一項に記載のAlN結晶の製造方法。
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