JPWO2007091541A1 - 半導体記憶装置 - Google Patents

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Abstract

回路面積を縮小することが可能なマルチポートの半導体記憶装置を提供する。メモリセルの動作電圧を供給する電源線(VDW)について、ワード線が形成される金属配線層(401,404)と同一の金属配線層に形成し、対応する第1のワード線(WLA)と、対応する第2のワード線(WLB)との間に互いに隣接して設ける。これにより、たとえば、同一行のメモリセル行がアクセスされた場合に、ワード線のカップリング容量により電源線の電圧レベルが上昇することになる。これにより、同一行アクセスの場合であっても別行アクセス時と同一行アクセス時のSNMをほぼ同じ大きさに保つことができるため、たとえば、ドライバトランジスタのサイズ等を大きくしない場合においても、SNMの劣化を抑制することができ、回路面積を縮小することが可能となる。

Description

本発明は、半導体記憶装置に関し、特にマルチポートを有するSRAM(Static Random Access Memory)に関する。
近年、携帯端末機器の普及に伴い、音声および画像のような大量のデータを高速に処理するデジタル信号処理の重要性が高くなってきている。このような携帯端末機器に搭載する半導体記憶装置として高速なアクセス処理が可能なSRAMが重要な位置を占めている。
一方、各々のポートを用いて独立してデータ書込および読出が可能なマルチポートの半導体記憶装置が注目されており、マルチポートを有するSRAMの需要が高まっている。
マルチポートの一種であるデュアルポートの場合、2つのポートから同時にデータ書込および読出を実行することが可能である。
しかしながら、このようなデュアルポートを有するSRAMの場合、たとえば同時に同一行に対してデータ書込を実行してしまうと、特にこの場合には、メモリセルに高負荷が印加される可能性があり、例外的にそのようなコマンドの入力が一般的に禁止されている。
この点に関して、特開平7−141859号公報においては、同一行への同時アクセスを簡易に検知する方式についての開示がなされている。
しかしながら、同一行への同時アクセスがあった場合、同時に同一行に対してデータ書込をする場合は禁止されるが、同時にデータ読出を実行する場合には何の障害もなくデータ読出を実行することが可能である。
特開平7−141859号公報
一方、一般的に、SRAMメモリセルを設計する際、データ読出破壊を防ぐためのマージン指標としてスタティックノイズマージン(以下、SNMとも称する)が知られている。
上述したデュアルポートを有するSRAMメモリセルの場合、同一行に対して2つのワード線が設けられており、2つのワード線が同時に立ち上がった場合と一方のワード線のみが立ち上がった場合の両方の場合が存在するので、その両方を考慮してSNMを考慮してSRAMメモリセルのマージン設計をする必要があった。
この点で、一方のワード線のみが立ち上がった場合よりも2つのワード線が同時に立ち上がった場合においては、SNMが小さくなるという傾向があった。
したがって、デュアルポートを有するSRAMメモリセルの場合、SNMを改善する方策として同一行のワード線と電気的に結合されるアクセストランジスタに比べてフリップフロップ回路のインバータを構成するNチャネルMOSトランジスタのドライバトランジスタのサイズを大きくすることによりSNMを確保する設計としていた。
それゆえ、シングルポートのSRAMメモリセルに比べて、デュアルポートのSRAMメモリセルは、トランジスタが2個増えるだけでなく、さらにドライバトランジスタのサイズも大きくする必要があり、全体としてセル面積が増大するという問題があった。
また、ドライバトランジスタのサイズを大きくすることにより、スタンバイ時のリーク電流も増加してしまうという問題も発生していた。
本発明の目的は、上記のような問題を解決するためになされたものであって、回路面積を縮小することが可能なマルチポートの半導体記憶装置を提供することである。
一方、たとえばデュアルポートのSRAMメモリセルの場合、2つのポートからそれぞれ独立にアクセス可能であるが、たとえば、互いに異なる2つのメモリセル行のワード線をそれぞれ選択した場合に、それぞれのポートからは、互いに異なるメモリセル行のデータ読出しか実行することができず、それらを組み合わせて出力することはできなかった。
本発明の別の目的は、自由度の高いデータ読出が可能なマルチポートの半導体記憶装置を提供することである。
本発明に係る半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルを有するメモリアレイと、互いに独立の入出力信号の授受を実行する第1および第2のポートと、第1および第2のポートにそれぞれ入力されたアドレスに従ってメモリアレイに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能な選択回路とを備える。
メモリアレイは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のビット線と、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が対応するメモリセル行のメモリセルのフリップフロップ回路の動作電圧を供給するための複数の電源線とを含む。
各メモリセルは、記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路を含む。さらに、各メモリセルは、対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含む。
選択回路は、第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する第1および第2の行デコーダと、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が第1および第2の行デコーダからの行選択結果に応じて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバとを含む。
各ワードドライバは、第1および第2の行デコーダの少なくとも一方から行選択指示の入力を受けた場合には、対応するワード線の電圧レベルを所定の電圧レベルに設定する。各メモリセル行において、対応する電源線は、ワード線が形成される金属配線層と同一の金属配線層に形成され、対応する第1のワード線と、対応する第2のワード線との間に互いに隣接して設けられる。
本発明に係る別の半導体記憶装置は、列方向に沿って設けられ、各々が、行列状に配置された複数のメモリセルを有するN個のメモリブロックを備える。
また、各々が、メモリブロックに対応して設けられる互いに独立の入出力信号の授受を実行するN個の第1および第2のポートと、各々が、メモリブロックに対応する第1および第2のポートにそれぞれ入力されたアドレスに従って対応するメモリブロックに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能なN個の選択回路とを備える。
各メモリブロックは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、対応する第1のポートと接続され、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1のビット線と、対応する第2のポートと接続され、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第2のビット線とを含む。各メモリセルは、記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含む。各選択回路は、第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する第1および第2の行デコーダと、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が第1および第2の行デコーダからの行選択結果に応じて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバとを含む。各々が、メモリブロックの一方側の第1のポートおよび他方側の第2のポートに対応してそれぞれ1個ずつ設けられ、隣接するメモリブロックの第1および第2のポートに対応して設けられた複数の第1および第2のビット線の一方および他方の少なくとも一方とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための(N+1)個の読出書込回路をさらに備える。同一のメモリブロックが選択されて第1および第2のポートを用いてデータ読出を実行する場合には、同一のメモリブロックの一方側の読出書込回路を用いて、複数の第1のビット線と接続されて第1のポートのデータ読出が実行され、他方側の読出書込回路を用いて、複数の第2のビット線と接続されて第2のポートのデータ読出が実行される。一方側および他方側の2つのメモリブロックが選択されて、第1および第2のポートを用いてデータ読出を実行する場合には、2つのメモリブロックの一方側のメモリブロックに対応して設けられた一方側の読出書込回路を用いて、複数の第1のビット線と接続されて第1のポートのデータ読出が実行され、2つのメモリブロックの他方側のメモリブロックに対応して設けられた他方側の読出書込回路を用いて、複数の第2のビット線と接続されて第2のポートのデータ読出が実行される。
本発明に係るさらに別の半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルを有するメモリアレイと、互いに独立の入出力信号の授受を実行する第1および第2のポートと、第1および第2のポートに対応して入力されたアドレスに従ってメモリアレイに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能な選択回路とを備える。メモリアレイは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のビット線とを含む。各メモリセルは、記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含む。選択回路は、第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する第1および第2の行デコーダと、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が第1および第2の行デコーダからの行選択結果に応じて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバとを含む。第1のポートに対応して設けられ、複数の第1のビット線とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための第1の読出書込回路と、第2のポートに対応して設けられ、複数の第2のビット線とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための第2の読出書込回路と、第1の読出書込回路に対応して、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられ、各々が、指示に応答して第1のビット線との接続を第2のビット線との電気的な接続に切り換える複数の切換回路とをさらに備える。
本発明に係るさらに別の半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルを有するメモリアレイと、互いに独立の入出力信号の授受を実行する第1および第2のポートと、第1および第2のポートに対応して入力されたアドレスに従ってメモリアレイに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能な選択回路とを備える。メモリアレイは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のビット線とを含む。各メモリセルは、記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線とフリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線と、フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含む。選択回路は、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する行デコーダと、各々が、2つの隣接するメモリセル行に対応する第1および第2のワード線にそれぞれ対応して設けられ、行選択結果に基づいて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバユニットとを含む。第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、複数の第1および第2のビット線とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための第1および第2の読出書込回路をさらに備える。
本発明に係る半導体記憶装置は、各メモリセル行において、メモリセルの動作電圧を供給する電源線は、ワード線が形成される金属配線層と同一の金属配線層に形成され、第1のワード線と、第2のワード線との間に互いに隣接して設けられる。これに従い、同一行のメモリセル行のアクセス時には、第1および第2のワード線が選択されることに従ってカップリング容量により電源線に浮き上がりが生じるため通常の電圧レベルよりも高く設定される。これにより、ドライバトランジスタのサイズ等を大きくしない場合においても、同一行のメモリセル行をアクセスする際、電源電圧の増加に伴いSNMの劣化を抑制することができるため、回路面積を縮小することが可能となる。
本発明に係る別の半導体記憶装置は、N個のメモリブロックを設けて、N個のメモリブロックの一方側の第1のポートおよび他方側の第2のポートに対応してそれぞれ1個ずつ設けられ、隣接するメモリブロックの第1および第2のポートに対応して設けられた複数の第1および第2のビット線の一方および他方の少なくとも一方とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための(N+1)個の読出書込回路をさらに設ける。
当該構成により、隣接する2つのメモリブロック間に設けられた読出書込回路は、当該隣接する2つのメモリブロックにおいて共有されるため回路面積を縮小することが可能となる。
本発明に係るさらに別の半導体記憶装置は、メモリセル列に対応して設けられ、外部からの制御指示に応答して対応する第1および第2のビット線の一方のビット線との接続を他方のビット線との電気的な接続に切り換える切換回路を設ける。
これにより、第1および第2の読出書込回路にそれぞれ異なる2つのメモリセル行のデータ読出が実行される場合において、切換回路を用いることにより、ビット線の接続を切換可能であるため、互いに異なる2つのメモリセル行のワード線をそれぞれ選択した場合に、各メモリセル行のデータを組み合わせて出力することができるため、自由度の高いデータ読出を実行することができる。
本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置1の概略ブロック図である。 本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの構成を説明する図である。 本発明の実施の形態1に従うワードドライバWDの回路構成図である。 本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの下層領域のレイアウト構造を説明する詳細な図である。 比較例として用いる従来のメモリセルMCの下層領域のレイアウト構造を説明する詳細な図である。 本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの上層領域の第1の金属配線層を形成した場合のレイアウト構造を説明する詳細な図である。 本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの上層領域の第2の金属配線層を形成した場合のレイアウト構造を説明する詳細な図である。 本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの上層領域の第3の金属配線層を形成した場合のレイアウト構造を説明する詳細な図である。 本発明の実施の形態1に従うレイアウト構成に基づくワード線および電源線の関係を説明する図である。 別行アクセスおよび同一行アクセスの際の電源線の浮き上がりについて説明する図である。 本発明の実施の形態1に従う同一行アクセスおよび別行アクセスにおける電源線VMとワード線WLA,WLBの電圧関係を説明する図である。 本発明の実施の形態1に従うスタティックノイズマージンを説明する図である。 本発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置1#の概略ブロック図である。 本発明の実施の形態2に従うセレクタ回路SLCの回路構成図である。 本発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置1#が動作する場合を説明する図である。 フルスペックHDTV(High Definition TV)解像度の画素数を示した図である。 バッファメモリにマッピングする場合を説明する概念図である。 動画像の動き検出等の画像処理において、パネルの任意の先頭座標から画素データ群を読み出す場合を説明する図である。 8画素データに対してアクセスする場合の例を説明する図である。 本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体記憶装置1#aの概略ブロック図である。 本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体記憶装置1#aが動作する場合を説明する図である。 本発明の実施の形態2の変形例2に従う半導体記憶装置1#bの概略ブロック図である。 本発明の実施の形態2の変形例2に従う行系の選択動作を実行する回路群を説明する図である。 アドレス判定部に含まれるアドレス判定回路6を構成する論理回路を説明する図である。 本発明の実施の形態3に従う半導体記憶装置の概略構成を説明する図である。 異なる2つのメモリアレイ20aおよび20bが選択された場合に2つのポートからのデータ読出および書込を実行する場合の別の例を説明する図である。 本発明の実施の形態3の変形例に従う半導体記憶装置の概略構成を説明する図である。
符号の説明
1,1#,1#a,1#b 半導体記憶装置、5a,5b,5c,5d コントロール回路、10a,10b,10c,10d 行デコーダ、15a,15b,15c,15d センスアンプ/ライトドライバ、WD ワードドライバ、WDUAGa,WDUAGb,WDUAGc,WDUBGa,WDUBGb,WDUBGc ワードドライバユニット群、SLC0〜SLCm−1 セレクタ回路。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、その説明は繰返さない。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置1の概略ブロック図である。
図1を参照して、本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置1は、ポートPA用のコントロール回路5aと、ポートPB用のコントロール回路5bと、ポートPA用のセンスアンプ/ライトドライバ15aと、ポートPB用のセンスアンプ/ライトドライバ15bと、ポートPA用の行デコーダ10aと、ポートPB用の行デコーダ10bと、メモリアレイ20と、ワードドライバWD0〜WDn−1とを備える。
コントロール回路5aは、ポートPAから入力されたアドレス信号ADAの入力に基づいて、行デコーダ10aにバッファ処理した内部行アドレス信号IADAを出力する。さらに、コントロール回路5aは、ポートPAから入力されたコマンド信号CMDAに基づいて所定の動作を実行するように他の周辺回路に対して必要な指示あるいは制御を実行する。例えばデータ読出時においては、センスアンプ/ライトドラバ15aを制御して、ビット線を介して読み出された記憶データを外部に読出データDOAとして出力するように指示し、データ書込時には、外部から入力される書込データDIAについてビット線を介して選択されたアドレスに従うメモリセルに対して書込むように指示する。
コントロール回路5bもコントロール回路5aと同様であり、ポートPBから入力されたアドレス信号ADBの入力に基づいて、行デコーダ10bにバッファ処理した内部行アドレス信号IADBを出力する。さらに、コントロール回路5bは、ポートPBから入力されたコマンド信号CMDBに基づいて所定の動作を実行するように他の周辺回路に対して必要な指示あるいは制御を実行する。例えばデータ読出時においては、センスアンプ/ライトドラバ15bを制御して、ビット線を介して読み出された記憶データを外部に読出データDOBとして出力するように指示し、データ書込時には、外部から入力される書込データDIBについてビット線を介して選択されたアドレスに従うメモリセルに対して書込むように指示する。なお、図示しないがコントロール回路5a,5bは、クロック信号に同期してアドレス信号およびコマンド信号の入力に基づく一連の処理を実行するものとする。なお、コントロール回路5bには、コントロール回路5aに入力されるコマンドCMDAが入力されており、両方のコントロール回路5a,5bがともに書込コマンドを選択する場合には、例外的にコントロール回路5bにおける書込コマンドは実行されないように制御される。他の場合については、動作上書込コマンドと読出コマンドとが両ポートを用いて実行することが可能であるが、本例においては、簡易のためコントロール回路5a,5bに入力されるコマンドCMDとしてはともに読出コマンドであるとして以下に説明する。
行デコーダ10aは、コントロール回路5aよりバッファ処理された内部行アドレス信号IADAの入力に基づいて行選択結果であるデコード信号をワードドライバWD0〜WDn−1(以下、総括してワードドライバWDとも称する)に出力する。同様に、行デコーダ10bは、コントロール回路5bよりバッファ処理された内部行アドレス信号IADBの入力に基づいて行選択結果であるデコード信号をワードドライバWD0〜WDn−1に出力する。行デコーダ10aは、複数の論理回路ADで構成され、入力された内部行アドレス信号の組合せの一つに基づいて対応するワードドライバWDに対して本例においては「H」レベルのデコード信号(行選択信号)が出力されるものとする。
メモリアレイ20は、行列状に集積配置された複数のメモリセルMCを有する。
メモリアレイ20は、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられるポートPAおよびPB用の複数のワード線WLA,WLBを有する。そして、さらに、メモリアレイ20は、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、後述する電源電圧の供給を受ける電源線VDWを有する。
本例においてはn行のメモリセル行が配置されており、一例として第1行目と第n行目のメモリセル行にそれぞれ対応してワード線WLA0,WLB0およびWLAn−1,WLBn−1が示されている。
また、メモリセル列にそれぞれ対応してポートPAおよびPB用のビット線対BLAPおよびBLBPが設けられる。
本例においてはm個のメモリセル列が配置されており、一例として第1列目と第m列目のメモリセル列にそれぞれ対応してビット線対BLAP0,BLBP0およびBLAPm−1,BLBPm−1が示されている。
各ビット線対は、互いに相補の2本のビット線を有し、ビット線対BLAP0は、ビット線BLA0,/BLA0を含む(以下、総括してビット線BLA,/BLAとも称する)。同様にビット線対BLBP0は、ビット線BLB0,/BLB0を含む(以下、総括してビット線BLB,/BLBとも称する)。
ワードドライバWDは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、行デコーダ10a,10bから出力されるデコード信号に基づいて対応するワード線WLAもしくはWLBを選択的に活性化するとともにメモリセル行にそれぞれ対応して設けられた後述する電源線VDWを駆動する。
センスアンプ/ライトドライバ15a,15bは、コントロール回路5a,5bからの指示に応答してデータ読出時において、ビット線対BLAPもしくはBLBPに伝達されたデータを増幅して読出データDOA,DOBとして出力する。また、データ書込時において、ビット線対BLAPもしくはBLBPに書込データDIA,DIBに応じた電圧レベルをビット線対BLAPもしくはBLBPに伝達する。
図2は、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの構成を説明する図である。
図2を参照して、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCは、トランジスタPT1,PT2,NT1〜NT8を含む。なお、トランジスタPT1,PT2は、一例としてPチャネルMOSトランジスタとする。また、トランジスタNT1〜NT8は、一例としてNチャネルMOSトランジスタとする。ここで、トランジスタNT5〜NT8は、ビット線と記憶ノードとの間に設けられるアクセストランジスタである。また、トランジスタNT1〜NT4,PT1,PT2は、メモリセルMC内においてインバータを構成するドライバトランジスタである。
トランジスタPT1は、電源電圧が供給される電源線VDWと記憶ノードNd0との間に配置され、そのゲートは記憶ノードNd1と電気的に結合される。トランジスタNT1は、記憶ノードNd0と接地電圧GNDとの間に配置され、そのゲートは記憶ノードNd1と電気的に結合される。トランジスタNT2は、トランジスタNT1とともに記憶ノードNd0と接地電圧GNDとの間に並列に配置され、そのゲートは記憶ノードNd1と電気的に結合される。トランジスタPT2は、電源線VDWと記憶ノードNd1との間に配置され、そのゲートは記憶ノードNd0と電気的に結合される。トランジスタNT3は、記憶ノードNd1と接地電圧GNDとの間に配置され、そのゲートは記憶ノードNd0と電気的に結合される。トランジスタNT4は、トランジスタNT3とともに記憶ノードNd1と接地電圧GNDとの間に並列に配置され、そのゲートは記憶ノードNd0と電気的に結合される。このトランジスタPT1,PT2およびNT1〜NT4は、記憶ノードNd0およびNd1の信号レベルを保持するための、2個のCMOSインバータを形成し、クロスカップリングされることによりCMOS型のフリップフロップ回路となる。
アクセストランジスタNT7は、記憶ノードNd0とビット線BLAとの間に配置され、そのゲートはワード線WLAと電気的に結合される。アクセストランジスタNT8は、記憶ノードNd1とビット線/BLAとの間に配置され、そのゲートはワード線WLAと電気的に結合される。アクセストランジスタNT5は、記憶ノードNd0とビット線BLBとの間に配置され、そのゲートはワード線WLBと電気的に結合される。アクセストランジスタNT6は、記憶ノードNd1とビット線/BLBとの間に配置され、そのゲートはWLBと電気的に結合される。
記憶ノードNd0および記憶ノードNd1に対するデータ書込および読出は、ワード線WLAもしくはワード線WLBの活性化(Hレベル)に応答するアクセストランジスタNT7およびアクセストランジスタNT8のオンあるいはアクセストランジスタNT5およびNT6のオンによって、記憶ノードNd0およびNd1とビット線BLAおよび/BLAあるいはビット線BLBおよび/BLBとがそれぞれ電気的に結合されることによって実行される。
たとえば、ワード線WLAが非活性化(Lレベル)されて、アクセストランジスタNT7およびNT8がオフしている場合には、記憶ノードNd0およびNd1に保持されるデータレベルに応じて、それぞれのCMOSインバータにおいて、N型およびP型MOSトランジスタの一方がオンする。これにより、メモリセルに保持されるデータレベルに応じて、記憶ノードNd0およびNd1は、データの「H」レベルに対応する電源電圧およびデータの「L」レベルに対応する接地電圧GNDのうち一方および他方とそれぞれ結合される。これにより、周期的にワード線WLAをオンしてリフレッシュ動作を実行することなく、スタンバイ状態時においてメモリセル内にデータを保持することが可能となる。ワード線WLBについてもWLAと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
図3は、本発明の実施の形態1に従うワードドライバWDの回路構成図である。
図3を参照して、本発明の実施の形態1に従うワードドライバWDは、ワード線WLAに対応して設けられるワードドライバユニットWDUAと、ワード線WLBに対応して設けられるワードドライバユニットWDUBと、電源線VDWを駆動する電源線ユニットVDRとを含む。
ワードドライバユニットWDUAは、インバータIV0と、PチャネルMOSトランジスタPTA1と、NチャネルMOSトランジスタNTA1とを含む。
ワードドライバユニットWDUBは、インバータIV1と、PチャネルMOSトランジスタPTB1と、NチャネルMOSトランジスタNTB1とを含む。
トランジスタPTA1は、電源電圧VDDとワード線WLAとの間に配置され、トランジスタPTA1のゲートはインバータIV0を介するデコード信号WSAの反転信号の入力を受ける。トランジスタNTA1は、接地電圧GNDとワード線WLAとの間に配置され、トランジスタNTA1のゲートはインバータIV0を介するデコード信号WSAの反転信号の入力を受ける。
トランジスタPTB1は、電源電圧VDDとワード線WLBとの間に配置され、トランジスタPTB1のゲートはインバータIV1を介するデコード信号WSBの反転信号の入力を受ける。トランジスタNTB1は、接地電圧GNDとワード線WLBとの間に配置され、トランジスタNTB1のゲートはインバータIV1を介するデコード信号WSBの反転信号の入力を受ける。
電源線ユニットVDRは、NAND回路ND1と、PチャネルMOSトランジスタPTC1とを含む。NAND回路ND1は、デコード信号WSAの反転信号およびデコード信号WSBの反転信号の入力を受けて、NAND論理演算結果をトランジスタPTC1のゲートに出力する。トランジスタPTC1は、電源電圧VDDと電源線VDWとの間に設けられ、そのゲートは、NAND回路ND1の入力を受ける。
次に、本発明の実施の形態1に従うワードドライバWDの動作について説明する。
ポートPAおよびPB用のデコード信号WSA,WSBは、通常の非活性化状態においては、「L」レベルに設定されており、活性化状態においては、「H」レベルに設定される。
これに伴い、例えばワードドライバユニットWDUAにおいて、ポートPA用のデコード信号WSAが「H」レベルになるとトランジスタPTA1がオンし、ワード線WLAは、初期状態の「L」レベルから「H」レベルに変化し、ワード線WLAが活性化される。なお、デコード信号WSAが「L」レベルの場合には、トランジスタNTA1がオンしているためワード線WLAは「L」レベルに設定されている。
同様に、ワードドライバユニットWDUBにおいて、ポートPB用デコード信号WSBが「H」レベルになるとトランジスタPTB1がオンし、ワード線WLBは、初期状態の「L」レベルから「H」レベルに変化し、ワード線WLBが活性化される。なお、デコード信号WSBが「L」レベルの場合には、トランジスタNTB1がオンしているためワード線WLBは「L」レベルに設定されている。
ポートPAおよびPBにおいて互いに異なる行アドレスが選択された場合(以下、単に別行アクセスとも称する)にはワード線WLA,WLBの一方の電圧レベルは「H」レベル(電圧VDDレベル)に駆動される。
次に、ポートPA,PB同時に同一行の行アドレスが選択された場合(以下、単に同一行アクセスとも称する)について考える。この場合には、デコード信号WSA,WSBがともに「H」レベルになる。なお、本例においては、説明の簡易のために一例として同時に同一行の行アドレスが選択された場合について説明するが、本願の同一行アクセスは、同時に同一行の行アドレスが選択された場合に限られず、たとえば同一行の行アドレスがそれぞれ異なるタイミングで選択された場合であっても互いに同一行をアクセスするアクセス期間が重なる場合も含むものとする。
ここで、電源線ユニットVDRについて説明する。ポートPAおよびPB用のデコード信号WSA,WSBが通常の非活性化状態においては、「L」レベルであるためこの場合には、NAND回路ND1の出力信号は「L」レベルであり、トランジスタPTC1がオンして、電源電圧VDDは、電源線VDWと電気的に結合されている。すなわち、電源線VDWは、電源電圧VDDにプリチャージされた状態に設定されている。
一方、ポートPAおよびPBのデコード信号WSA,WSBのいずれか一方が「H」レベルに活性化された場合には、NAND回路ND1の出力信号は「H」レベルとなり、トランジスタPTC1はオフして、電源線VDWは、開放状態(オープン状態)に設定される。
図4は、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの下層領域のレイアウト構造を説明する詳細な図である。ここでは、第1の金属配線層までが示されている。
図4を参照して、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCは、上述したように10個のトランジスタを含む。具体的には、トランジスタNT1〜NT8と、トランジスタPT1,PT2とを含む。
ここで、トランジスタのレイアウトについて説明する。本例においては、両側にP型のウェル構造(PW)でNチャネルMOSトランジスタが形成され、その間にN型のウェル構造(NW)でPチャネルMOSトランジスタが形成される。
基板に対してY軸方向に沿って各トランジスタのソース領域およびドレイン領域となる拡散層が形成される。
具体的には、Y軸方向に沿ってトランジスタNT7,NT2,NT3,NT6の拡散層100が形成される。また、トランジスタPT1とPT2との拡散層120が形成される。また、トランジスタNT5,NT1,NT4,NT8の拡散層110が形成される。
拡散層100は、4つのトランジスタNT7,NT2,NT3,NT6のゲート領域により4分割されてソース/ドレイン領域を形成する。拡散層120は、2つのトランジスタPT1,PT2のゲート領域により2分割されてソース/ドレイン領域を形成する。拡散層110は、4つのトランジスタNT5,NT1,NT4,NT8のゲート領域により4分割されてソース/ドレイン領域を形成する。
トランジスタNT1〜NT6およびPT1,PT2のゲート領域を構成するゲートポリシリコンゲートはX軸方向に沿って形成されている。
トランジスタNT7の拡散層100は、ポリシリコンゲート103によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられコンタクト101および105を介して上層のメタルと電気的に結合される。また、ゲート領域において、トランジスタNT7のポリシリコンゲート103の上部にゲート電極102が設けられる。ゲート電極102は、コンタクト104を介して上層のメタルと電気的に結合される。
また、トランジスタNT2の拡散層100は、ポリシリコンゲート123によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられたコンタクト105および135を介して上層のメタルと電気的に結合される。コンタクト105は、トランジスタNT7およびNT2において、ともに共通コンタクトとして設けられる。また、トランジスタNT2のポリシリコンゲート123の上部に後述するトランジスタPT1およびNT5の共通のゲート電極122が設けられる。ゲート電極124は、コンタクト124を介して上層のメタルと電気的に結合される。なお、ポリシリコンゲート123は、拡散層100,120および110を跨るように形成されている。
トランジスタNT3の拡散層100は、ポリシリコンゲート136によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられたコンタクト135および137を介して上層のメタルと電気的に結合される。コンタクト135は、トランジスタNT2およびNT3の共通コンタクトとして設けられる。また、トランジスタNT3のポリシリコンゲート136の上部に後述するトランジスタPT2およびNT4の共通のゲート電極132が設けられる。ゲート電極132は、コンタクト133を介して上層のメタルと電気的に結合される。なお、ポリシリコンゲート136は、拡散層100,120および110を跨るように形成されている。
トランジスタNT6の拡散層100は、ポリシリコンゲート139によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられたコンタクト137および141を介して上層のメタルと電気的に結合される。コンタクト137は、トランジスタNT6およびNT3の共通コンタクトとして設けられる。また、トランジスタNT6のポリシリコンゲートの上部にゲート電極142が設けられる。ゲート電極142は、コンタクト143を介して上層のメタルと電気的に結合される。
トランジスタPT1の拡散層120は、ポリシリコンゲート123によりソース領域およびドレイン領域にそれぞれ分けられ、それぞれ設けられたコンタクト126および121を介して上層のメタルと電気的に結合される。そして、トランジスタPT1のゲート電極122は、ポリシリコンゲート123の上部に設けられ上述したようにトランジスタNT2およびNT1と共有される構成である。
トランジスタPT2の拡散層120は、ポリシリコンゲート136によりソース領域およびドレイン領域にそれぞれ分けられ、それぞれ設けられたコンタクト126およびコンタクト130を介して上層のメタルと電気的に結合される。そして、トランジスタPT2のゲート電極133は、ポリシリコンゲート136の上部に設けられ上述したようにトランジスタNT3およびNT4と共有される構成である。また、コンタクト126は、トランジスタPT1およびPT2の共通コンタクトとして設けられる。
トランジスタNT5の拡散層110は、ポリシリコンゲート113によりソース領域およびドレイン領域にそれぞれ分けられ、それぞれ設けられたコンタクト111および115を介して上層のメタルと電気的に結合される。トランジスタNT5のポリシリコンゲート113の上部にゲート電極112が設けられる。ゲート電極112は、コンタクト114を介して上層のメタルと電気的に結合される。
トランジスタNT1の拡散層110は、ポリシリコンゲート123によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられたコンタクト129およびコンタクト115を介して上層のメタルと電気的に結合される。そして、トランジスタNT1のゲート電極122は、ポリシリコンゲート123の上部に設けられ上述したようにトランジスタNT2およびPT1と共有される構成である。また、コンタクト115は、トランジスタNT5およびNT1の共通コンタクトとして設けられる。
トランジスタNT4の拡散層110は、ポリシリコンゲート136によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられたコンタクト129およびコンタクト115を介して上層のメタルと電気的に結合される。そして、トランジスタNT4のゲート電極132は、ポリシリコンゲート136の上部に設けられ上述したようにトランジスタNT3およびPT2と共有される構成である。また、コンタクト129は、トランジスタNT1およびNT4の共通コンタクトとして設けられる。
トランジスタNT8の拡散層110は、ポリシリコンゲート153によりソース領域およびドレイン領域に分けられ、それぞれ設けられたコンタクト151およびコンタクト155を介して上層のメタルと電気的に結合される。トランジスタNT8のポリシリコンゲート153の上部にゲート電極152が設けられる。ゲート電極152は、コンタクト154を介して上層のメタルと電気的に結合される。
ここでは、Y軸方向に沿って設けたトランジスタNT1〜NT8を形成する拡散層100および110の形状が直線状に均一な幅でレイアウトした構成について示している。
図5は、比較例として用いる従来のメモリセルMCの下層領域のレイアウト構造を説明する詳細な図である。ここでは、第1の金属配線層までが示されている。
図4と比較して異なるのは、拡散層100および110が拡散層100#および110#に置換された点と、ポリシリコンゲート103,113,123,136,139,153がそれぞれポリシリコンゲート103#,113#,123#,136#,139#,153#に置換された点が異なる。その他の点については同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
図5に示される構成は、拡散層100#において、ドライバトランジスタを形成するトランジスタNT2,NT3の幅が略2倍程度拡散層100よりも大きい場合が示されている。同様に拡散層1103において、ドライバトランジスタを形成するトランジスタNT1,NT4の幅が略2倍程度拡散層100よりも大きい場合が示されている。そして、これに伴って拡散層100#および110#を跨って設けられるポリシリコンゲート103#,113#,123#,136#,139#,153#も拡散層の幅の増加に従ってポリシリコンゲート103,113,123,136,139,153よりも長く設計する必要がある。すなわち、従来構成の単一のメモリセルMCのX軸方向の長さx2は、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの長さx1よりも長くなるように設計される必要がある。
上述したようにデュアルポートを有するSRAMメモリセルの場合、従来のSRAMメモリセルにおいてはSNMを改善する方策として同一行のワード線と電気的に結合されるアクセストランジスタに比べてフリップフロップ回路のインバータを構成するNチャネルMOSトランジスタであるドライバトランジスタ(NT2,NT3,NT1,NT4)のサイズを大きくすることによりSNMを確保する設計としていた。
したがって、従来のデュアルポートのSRAMメモリセルは、ドライバトランジスタのサイズを大きくする必要があり、全体としてセル面積が増大する構成であった。
これに対して、本発明の実施の形態1に従うメモリセルは、ドライバトランジスタのサイズを大きくすることなくSNMを確保することが可能な後述する方式が採用されるため従来のメモリセルのセル面積よりも小さいデュアルポートのSRAMメモリセルを実現することが可能となる。
図6は、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの上層領域の第1の金属配線層を形成した場合のレイアウト構造を説明する詳細な図である。
図6を参照して、コンタクト104およびコンタクト143を介してそれぞれトランジスタNT7およびNT6のゲート電極を電気的に結合するメタル200が設けられる。メタル200は、コンタクト201を介して上層(2層)のメタルと電気的に結合される。
また、トランジスタNT7においてソース領域に設けられたコンタクト101と電気的に結合され、コンタクト206を介して上層(2層)のメタルと電気的に結合されるメタル205が設けられる。
また、メタル204は、コンタクト105,121,115を介してそれぞれトランジスタNT2,PT1,NT5,NT1とそれぞれ電気的に結合されるとともにコンタクト133を介して、トランジスタNT3,PT2,NT4のゲート電極132のコンタクト133と電気的に結合される。すなわち、メタル204によりノードNd0に対応する領域が形成される。
また、メタル215は、コンタクト137,130,151を介してそれぞれトランジスタNT6,PT2,NT4,NT8とそれぞれ電気的に結合されるとともにコンタクト124を介して、トランジスタNT2,PT1,NT1のゲート電極122のコンタクト124と電気的に結合される。すなわち、メタル215によりノードNd1に対応する領域が形成される。
また、トランジスタNT5においてソース領域に設けられたコンタクト111と電気的に結合され、コンタクト208を介して上層のメタルと電気的に結合されるメタル207が設けられる。コンタクト114および154を介してそれぞれトランジスタNT5およびNT8のゲート電極を電気的に結合するメタル209が設けられる。メタル209は、コンタクト210を介して上層(2層)のメタルと電気的に都合される。
また、トランジスタNT8においてソース領域に設けられたコンタクト155と電気的に結合され、コンタクト212を介して上層のメタルと電気的に結合されるメタル211が設けられる。また、トランジスタNT6においてソース領域に設けられたコンタクト141と電気的に結合され、コンタクト214を介して上層のメタルと電気的に結合されるメタル212が設けられる。
また、トランジスタNT2およびNT3の共通コンタクト135と電気的に結合され、コンタクト203を介して上層のメタルと電気的に結合されるメタル202が設けられる。また、トランジスタNT1およびNT4の共通コンタクト129と電気的に結合され、コンタクト217を介して上層のメタルと電気的に結合されるメタル216が設けられる。また、トランジスタPT1およびPT2の共通コンタクト126と電気的に結合され、コンタクト219を介して上層のメタルと電気的に結合されるメタル218が設けられる。
図7は、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの上層領域の第2の金属配線層を形成した場合のレイアウト構造を説明する詳細な図である。
図7を参照して、ここでは、Y軸方向に沿ってメタルが設けられる。具体的には、コンタクト206を介して電気的に結合されるメタル301と、コンタクト203を介して電気的に結合されるメタル302と、コンタクト214を介して電気的に結合されるメタル303と、コンタクト219を介して電気的に結合されるメタル304と、コンタクト208を介して電気的に結合されるメタル305と、コンタクト217を介して電気的に結合されるメタル306と、コンタクト212を介して電気的に結合されるメタル307と、コンタクト210を介して電気的に結合されるメタル308とが設けられる。
メタル301,303は、図2で説明したビット線BLA,/BLAとして用いられる。また、メタル305,307は、ビット線BLB,/BLBとして用いられる。メタル302,306は後述するが、接地電圧GNDを供給する電圧供給線と電気的に結合される。
図8は、本発明の実施の形態1に従うメモリセルMCの上層領域の第3の金属配線層を形成した場合のレイアウト構造を説明する詳細な図である。
図8を参照して、ここでは、X軸方向に沿ってメタルが設けられる。具体的には、コンタクト410および411を介してメタル302および306とそれぞれ電気的に結合されるメタル409と、コンタクト400を介してメタル300と電気的に結合されるメタル401と、コンタクト403を介してメタル304と電気的に結合されるメタル402と、コンタクト405を介してメタル308と電気的に結合されるメタル404と、コンタクト407および408を介してメタル302および306とそれぞれ電気的に結合されるメタル406とが設けられる。
メタル401,404は、それぞれ図2で説明したワード線WLA,WLBとして用いられる。また、メタル402は、上述した電源電圧VDDを供給する電源線VDWとして用いられる。メタル406,409は、接地電圧GNDを供給する電圧供給線VGSとして用いられる。
当該構成に示されるようにメモリセルMCの動作電圧として供給される電源電圧VDDが供給される電源線は、ワード線WLAとWLBとの間に設けられ、ワード線WLAおよびWLBと互いに隣接した状態で設けられる。なお、上述したようにワード線WLA,WLBと電源電圧VDDを供給する電源線VDWは、同一の金属配線層(第3層)を用いて形成される。
図9は、本発明の実施の形態1に従うレイアウト構成に基づくワード線および電源線の関係を説明する図である。
図9に示されるように、ワード線WLAとWLBとの間に隣接して電源線を設けた場合、ワード線WLAおよびWLBと電源線VDWとの間にカップリング容量が働くことになる。このカップリング容量の影響により電源線VDWの電位レベルは、アクセス時に浮き上がることになる。なお、上述したように電源線VDWは、アクセス時においては、電源電圧VDDにプリチャージされた状態であるとともに開放状態に設定される。
一例としてワード線WLAとWLBとの間に働くカップリング容量をC1とする。また、電源線402の対接地容量をC2とする。
そうすると、電源線402に蓄積される電荷量Qは、次式で表される。
Figure 2007091541
図10は、別行アクセスおよび同一行アクセスの際の電源線の浮き上がりについて説明する図である。
図10(a)には、別行アクセスの際の電源線の浮き上がりが示されている。
たとえば、ここでは、ワード線WLAが選択される場合が示されている。なお、ワード線WLBは別行をアクセスしているものとする。
期間t1においてはまだアクセス状態ではないので、ワード線WLAは「L」レベルに設定されている。すなわち、0Vである。一方、電源線VDWは、電源電圧VDDレベルに設定されている。期間t2において、ワード線WLAが選択された場合には、ワード線WLAからのカップリング容量により電源線VDWの電位レベルが上昇し、電源電圧VDDよりも高い電圧Vd1に設定される。
この期間t1における電荷量Qは、次式で表される。
Figure 2007091541
次に、期間t2における電荷量Qは、次式で表される。
Figure 2007091541
図10(b)には、同一行アクセスの際の電源線の浮き上がりが示されている。
たとえば、ここでは、ワード線WLAおよびWLBがともに選択される場合が示されている。
期間t1については、上記と同様である。期間t2において、ワード線WLAおよびWLBがともに選択された場合には、ワード線WLAおよびWLBからのカップリング容量により電源線VDWの電位レベルが上昇し、電圧Vd1よりも高い電圧Vd2に設定される。
この期間t2#における電荷量Qは、次式で表される。
Figure 2007091541
これらをまとめると、次式となる。
Figure 2007091541
ここで、たとえば90nm世代において、ワード線WLA,WLBの配線幅を0.1μm、電源線VDWの配線幅を0.1μmとした場合に、カップリング容量C1およびC2をそれぞれ1fF,10fFとすると、上式の電圧Vd1およびVd2は、次式で表される。なお、ここでは、電源電圧VDDは1Vとする。
Figure 2007091541
したがって、本発明の実施の形態1に従うレイアウト構成とした場合には、たとえば10%以上も通常の値から電位レベルが浮き上がる。
図11は、本発明の実施の形態1に従う同一行アクセスおよび別行アクセスにおける電源線VMとワード線WLA,WLBの電圧関係を説明する図である。
図11に示されるように別行アクセスの場合には、カップリング容量の影響により電源線VDWの電位レベルが電圧Vd1まで浮き上がり、同一行アクセスの場合には、カップリング容量の影響により電源線VDWの電位レベルが電圧Vd2まで浮き上がる。
図12は、本発明の実施の形態1に従うスタティックノイズマージンを説明する図である。
図12に示されるように、従来の構成においては、電源電圧VDDの供給を受けて動作する場合には、同一行アクセスを実行した場合には、SNMについて充分なマージンを確保することができない。一方、本発明の実施の形態1に従うレイアウト構成によりワード線のカップリング容量により電源線VDWの電圧レベルを上昇させることができるため別行アクセス時には、従来の別行アクセスよりもSNMのマージンを向上させることができる。さらに、同一行アクセスの場合であっても図示されるように電源線VDWの電位レベルを上昇させることができるため別行アクセス時とほぼ同じSNMを確保することが可能となる。すなわち、SNMについて十分なマージンを確保することができる。
すなわち、本願構成においては、ドライバトランジスタのサイズ等を大きくしない場合においても、同一行のメモリセル行をアクセスする際、電源電圧の増加に伴いSNMの劣化を抑制することができる。また、別行のメモリセル行をアクセスする場合においてもSNMをさらに向上させることが可能となる。
また、ドライバトランジスタのサイズ等を大きくしないためメモリセルのセル面積を縮小し、全体のレイアウト面積を縮小することができる。
(実施の形態2)
上記の実施の形態1においては、センスアンプ/ライトドライバ15aについては、ポートPA用のビット線対BLAを用いて、センスアンプ/ライトドライバ15bについては、ポートPB用のビット線対BLBを用いてそれぞれデータ読出および書込を実行する構成について説明した。すなわち、それぞれ独立のビット線対を用いてデータ読出および書込を実行する構成について説明した。
本実施の形態2においては、例えば、センスアンプ/ライトドライバ15bにおいても、ビット線対BLAを用いてデータ読出およびデータ書込を実行可能な構成について説明する。なお、ここでは、データ読出について説明するがデータ書込についても同様に適用可能である。
図13は、本発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置1#の概略ブロック図である。
図13を参照して、本発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置1#は、図1で説明した半導体記憶装置1と比較して、メモリセル列にそれぞれ対応してデータ線対DLPと、セレクタ回路SLCを設けた点が異なる。その他の点については図1で説明した半導体記憶装置1と同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。なお、データ線対DLPは、データ線DL,/DLを含む。本例においては、データ線対DLP0と、データ線対DLPm−1とが示されている。
なお、本例においては、ワードドライバWDについては、実施の形態1と同様の構成である場合として説明するがこれに限られず、図3で説明した電源線ユニットVDRが設けられていないワードドライバユニットWDUAおよびWDUBのみの構成とすることも可能である。この場合、メモリセルMCに電源電圧を供給する電源線VDWは、電源電圧VDDと固定的に接続されているものとする。
図14は、本発明の実施の形態2に従うセレクタ回路SLCの回路構成図である。
図14を参照して、本発明の実施の形態2に従うセレクタ回路SLCは、トランスファゲートTG1〜TG4と、インバータ51とを含む。
トランスファゲートTG1,TG2は、ビット線BLA,BLBとデータ線DLとの間にそれぞれ並列に接続される。トランスファゲートTG3,TG4は、ビット線/BLA,/BLBとデータ線/DLとの間にそれぞれ並列に接続される。
トランスファゲートTG1,TG2は、制御信号SEL0およびインバータ51を介するその反転信号の入力を受ける。トランスファゲートTG3,TG4についてもトランスファゲートTG1,TG2と同様に動作する。すなわち、本発明の実施の形態2に従うセレクタ回路SLCは、制御信号SEL0の入力に応じてデータ線DLとの接続状態をビット線対BLAPおよびビット線対BLBPのいずれか一方に切り換えるものである。
したがって、制御信号SEL0が「L」レベルの場合には、通常時と同様に、ポートPB用のビット線対BLBPがデータ線対DLPを介してセンスアンプ/ライトドライバ15bと電気的に接続されている。一方、制御信号SEL0が「H」レベルの場合には、ポートPA用のビット線対BLAPがデータ線対DLPを介してセンスアンプ/ライトドライバ15bと電気的に接続される。
なお、ここで、制御信号SELは、制御情報CTに基づいてコントロール回路5bから出力されるものとする。ここでは、コントロール回路5bからセレクタ回路SLC0〜SLCm−1に制御信号SEL0〜SELm−1がそれぞれ出力されているものとする。
図15は、本発明の実施の形態2に従う半導体記憶装置1#が動作する場合を説明する図である。
図15(a)を参照して、本例においては、2行のメモリセル行および4列のメモリセル列で構成されるメモリアレイが一例として示されている。
また、メモリアレイの両側にはワード線WLAあるいはWLBを駆動するワードドライバユニットWDUAあるいはWDUBで構成されるワードドライバユニット群WDUAG,WDUBGが設けられる。なお、ワードドライバユニットWDUAあるいはWDUBについては、図3で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
本例においては、ワード線WLAに対応して設けられるワードドライバユニットWDUAと、ワード線WLBに対応して設けられるワードドライバユニットWDUBとをそれぞれメモリアレイの両側に配置することにより、ワードドライバユニットWDUAあるいはWDUBのレイアウトピッチ間隔を十分確保することも可能である。
ここで、図15のメモリアレイに示されるように1行目のメモリセル群に順番に「1」、「2」、「3」、「4」のデータが格納され、2行目のメモリセル群に順番に「5」、「6」、「7」、「8」のデータが格納されているとする。そして、ポートPAに対応するワードドライバユニット群において、ワード線WLA0が選択され、ポートPBに対応するワードドライバユニット群において、ワード線WLB1が選択されるとする。
さらに、制御信号SEL0,SEL1を「H」レベル、制御信号SEL2,SEL3を「L」レベルに設定するものとする。これに伴い、セレクタ回路SLC0は、データ線対DLP0とビット線対BLBP0との電気的な結合をビット線対BLAP0に切り換える。同様にセレクタ回路SEC1は、データ線対DLP1とビット線対BLBP1との電気的な結合をビット線対BLAP1に切り換える。セレクタ回路SLC2,SLC3については、データ線対DLP2,DLP3は、ビット線対BLBP2,BLBP3との電気的な結合を維持する。
そうすると、図15(b)に示されるようにポートPAに対応するセンスアンプ/ライトドライバ15aは、ビット線対BLAP0〜BLAP3を介してメモリセルから読み出された「1」、「2」、「3」、「4」のデータを出力するが、ポートPBに対応するセンスアンプ/ライトドライバ15bは、ビット線対BLAP0,BLAP1,BLBP2,BLBP3を介してメモリセルから読み出された「1」、「2」、「7」、「8」のデータを出力する。
したがって、セレクタ回路SLCを用いることにより、センスアンプ/ライトドライバ15bにおいても、ビット線対BLAを用いてデータ読出を実行することが可能となる。
これにより、一度のデータ読出により2つのメモリセル行のいずれか一方に格納されたデータを自由に読み出すことが可能となり、データ読出の自由度が向上し、効率的なデータ読出が可能となる。
なお、本例においては、センスアンプ/ライトドライバ15b側にセレクタ回路SLCを設けてビット線対BLBPからビット線対BLAPへの切換が可能な構成について説明したが、たとえばセンスアンプ/ライトドライバ15a側にセレクタ回路SLCを設けてビット線対BLAPからビット線対BLBPへの切換を実行する構成とすることも当然に可能である。
(実施の形態2の変形例1)
本実施の形態2の変形例1においては、上記で説明した半導体記憶装置を画像処理用のバッファメモリに適用する構成について説明する。
図16は、フルスペックHDTV(High Definition TV)解像度の画素数を示した図である。
図16を参照して、ここで示されるパネルは、垂直画素が1080個、水平画素が1920個の1080×1920のハイビジョン画像が示されている。近年、このような高精度画像の符号化/復号化(コーディック)方式として、いわゆるH.264、MPEG4、JPEG等が提案されている。
この動画像をリアルタイムに処理するためには、図示しないがコーディック処理を実行するためのコーディック回路が必須であり、その処理においてバッファメモリが用いられる。
例えば、本例においては、パネルの8画素単位毎のデータをグルーピングして、バッファメモリにマッピングする場合について説明する。
なお、図16の左上端から順番に「0」番目から始まって1画素ずつ昇順的にナンバリングされているものとする。
図17は、バッファメモリにマッピングする場合を説明する概念図である。
図17を参照して、ここでは、8画素単位毎のデータが行毎にマッピングされた場合が示されている。具体的には、「0」〜「7」番目の画素のデータが最下位のアドレスにマッピングされ、そして、次に、「8」〜「15」番目の画素のデータが次の上位のアドレスに対応する行にマッピングされている。
さらに、次に、「16」〜「23」番目の画素のデータがその次の行、さらに、「24」〜「31」番目の画素のデータがさらにその次の行に順番にマッピングされている場合が示されている。同様にして上位アドレスの方向に順番に1画素ずつ8画素単位毎にマッピングする。
なお、1画素のデータとしては、例えば、H.264コーディック方式の場合、1つの画素のデータとして、例えば8ビットの輝度信号(Y信号)および4ビットの色差信号(U信号、V信号)で構成される場合が一般的であるが、簡易のため本例においては1画素のデータについては1ビットの信号として説明する。
図18は、動画像の動き検出等の画像処理において、パネルの任意の先頭座標から画素データ群を読み出す場合を説明する図である。
ここでは、8×8画素のデータ群にアクセスする場合について、先頭行の8画素データを読み出す場合について説明する。なお、ここでは擬似的に8×8画素のブロック領域群にパネルが分割されている場合が示されている。
図18を参照して、例えばここで、8×8画素のデータ群を指定する場合に指定したP領域の8×8のデータ群の先頭行の8画素の最初の先頭の画素が8の倍数番目から始まる場合には、バッファメモリが8画素単位毎にマッピングされたデータを格納しているため図19(a)に示されるように1行に並んだ8画素データに対してアクセスすればよいことになる。
一方、8×8画素のデータ群を指定する場合に指定したQ領域の8×8のデータ群の先頭行の8画素の最初の先頭の画素が8の倍数番目ではない場合には、バッファメモリが8画素単位毎にマッピングされたデータを格納しているため図19(b)に示されるように2行に跨って並んだ8画素に対して、すなわちある特定の行の途中から次の行の途中までの8画素データに対してアクセスすることが必要である。
図20は、本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体記憶装置1#aの概略ブロック図である。
図20を参照して、本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体記憶装置1#aは、図13で説明した半導体記憶装置1#と比較して、ポートPA用およびポートPB用のコントロール回路5a,5bをポートPA,PB全体を制御する1つのコントロール回路5cに置換した点が異なる。また、並び替え回路16をさらに備えた点が異なる。その他の点については、半導体記憶装置1#と同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
具体的には、コントロール回路5cは、入力されたアドレス信号ADCの入力に基づいて、行デコーダ10a,10bにバッファ処理した内部行アドレス信号IADA,IADBを出力する。さらに、コントロール回路5cは、入力されたコマンド信号CMDCに基づいて所定の動作を実行するように他の周辺回路に対して必要な指示あるいは制御を実行する。例えばデータ読出時においては、センスアンプ/ライトドラバ15a,15bを制御して、ビット線を介して読み出された記憶データを外部に読出データDOA,DOBとして出力するように指示し、データ書込時には、外部から入力される書込データDIA,DIBについてビット線を介して選択されたアドレスに従うメモリセルに対して書込むように指示する。
並び替え回路16は、センスアンプ/ライトドライバ15bに対応して設けられ、データ読出時において、センスアンプ/ライトドライバ15bから出力された出力データの配列順序をコントロール回路5cの指示に従って並び替えて読出データDOBとして出力する。
なお、本例においては、ワードドライバWDについては、実施の形態1と同様の構成である場合として説明するがこれに限られず、図3で説明した電源線ユニットVDRが設けられていないワードドライバユニットWDUAおよびWDUBのみの構成とすることも可能である。この場合、メモリセルMCに電源電圧を供給する電源線VDWは、電源電圧VDDと固定的に接続されているものとする。
図21は、本発明の実施の形態2の変形例1に従う半導体記憶装置1#aが動作する場合を説明する図である。
図21を参照して、本例においては、上述したように8画素単位毎にマッピングされたメモリアレイが一例として示されている。具体的には、ここでは2行のメモリセル行および8列のメモリセル列で構成されるメモリアレイがバッファメモリとして用いられる場合が示されている。そして、図21のメモリアレイに示されるように1行目のメモリセル群に「0」〜「7」番目の画素データが格納され、2行目のメモリセル群に順番に「8」〜「15」番目の画素データが格納されているものとする。
ここで、入力されたアドレス信号ADCが「1」番目の画素データを指定して、「1」〜「8」番目の8画素のデータを読み出す場合について説明する。
なお、ここでは、上述したように8画素単位毎にマッピングされた場合が示されており、8画素単位毎にデータ読出を実行するものとする。
また、上述したように8列のメモリセル列で構成されるため入力されるアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号(CA)は、3ビットで構成され、8の倍数番目の「0」、「8」、16番目の画素データに対応する1列目のコラムアドレス信号(CA2〜CA0)は「000」に対応付けられているものとする。また、2列目のコラムアドレス信号(CA2〜CA0)は「001」に対応付けられているものとする。同様にして3ビットのコラムアドレス信号CAがインクリメントされて8列目のコラムアドレス信号まで対応付けられているものとする。
コントロール回路5cは、入力されたアドレス信号ADCの入力に従って内部行アドレス信号IADA,IADBを出力する。例えば、コントロール回路5cは、入力されたアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」であるかどうかを判定する。コラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」である場合には、先頭行の8画素の最初の先頭の画素が8の倍数番目から始まる場合であるため1行に並んだ8画素データに対してアクセスする。そして、コントロール回路5cは、入力されたアドレス信号ADCに含まれるロウアドレス信号に従って対応するメモリセル行を活性化するための内部行アドレス信号IADAを出力する。
一方、コラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」ではない場合には、先頭行の8画素の最初の先頭の画素が8の倍数番目から始まる場合ではないため2行に跨って8画素データに対してアクセスする。そして、コントロール回路5cは、入力されたアドレス信号ADCに含まれるロウアドレス信号に従って対応するメモリセル行を活性化するための内部行アドレス信号IADAを出力するとともに隣接するメモリセル行をアクセスするための内部行アドレス信号IADBを出力する。
本例においては、入力されたアドレス信号ADCが「1」番目の画素データを指定するものとすると、入力されたアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号(CA2〜CA0)は「000」ではないため2行に跨って8画素データに対してアクセスする必要があり、入力されたアドレス信号ADCに含まれるロウアドレス信号に従って互いに隣接する2つのメモリセル行のうち下位アドレス行であるメモリセル行を活性化するための内部行アドレス信号IADAおよび隣接する上位アドレス行であるメモリセル行をアクセスするための内部行アドレス信号IADBを出力する。具体的には、ポートPA用ワードドライバユニットWDUAGは、内部行アドレス信号IADAに従ってワード線WLA0を活性化する。また、ポートPB用ワードドライバユニットWDUBGは、内部行アドレス信号IADBに従ってワード線WLB1を活性化する。
ワード線WLA0の活性化に応答して「0」〜「7」番目の画素データに対応するメモリセルは、ビット線対BLAPと電気的に接続される。ワード線WLB1の活性化に応答して「8」〜「15」番目の画素データに対応するメモリセルは、ビット線対BLBPと電気的に接続される。
また、コントロール回路5cは、入力されたアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号に従って制御信号SELを出力する。具体的には、8画素データについて、ワード線WLAに従って読み出される列に対応するセレクタ回路SLCに対して制御信号SELを「H」レベルに設定する。一方、ワード線WLBに従って読み出される列に対応するセレクタ回路SLCに対して制御信号SELを「L」レベルに設定する。
本例においては、上述したように入力されたアドレス信号ADCが「1」番目の画素データを指定して、「1」〜「8」番目の8画素のデータを読み出す場合であり、入力されたアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号(CA2〜CA0)は2列目を指定する「001」が与えられているものとする。
これに伴ない、コントロール回路5cは、入力されたコラムアドレス信号に従ってワード線WLAに従って読み出される列に対応する2列目〜8列目のセレクタ回路SLCに対応する制御信号SEL1〜SEL7を「H」レベルに設定する。そして、入力されたコラムアドレス信号に従ってワード線WLBに従って読み出される列に対応する1列目のセレクタ回路SLCに対応する制御信号SEL0を「L」レベルに設定する。
これに伴ない、セレクタ回路SLC0は、データ線対DLP0とビット線対BLBP0との電気的な結合を維持する。一方、セレクタ回路SLC1〜SLC7は、データ線対DLP1〜DLP7とビット線対BLBP1〜BLBP7との電気的な結合をビット線対BLAP1〜BLAP7にそれぞれ切り換える。
そうすると、センスアンプ/ライトドライバ15bは、ビット線対BLBP0,BLAP1〜BLAP7を介して「8」、「1」、「2」、「3」、「4」、「5」、「6」、「7」番目の画素データを出力する。
すなわち、入力されたアドレス信号ADCが「1」番目の画素データを指定した場合に、「1」〜「8」番目の8画素のデータを読み出すことが可能である。
ここで、バッファメモリに格納される画素データは8画素単位毎に順番どおりに格納されているが、センスアンプ/ライトドライバ15bから読み出される画素データは、左から見ると順番通りではない。
したがって、このバッファメモリと画像処理エンジンとのインターフェースを統一するため常に一番左から連続した画素データとする並び替え回路16が設けられている。
具体的には、入力されたアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号に従って並び替え回路16により順番を並び替える。本例においては、左側から「1」、「2」、「3」、「4」、「5」、「6」、「7」、「8」番目の画素データとなるように並び替えて出力する。
すなわち、当該構成の如く、入力されたアドレス信号ADCに従って指定される8画素データの最初の先頭の画素が8の倍数番目から始まる場合ではない場合、すなわち、2行に跨って8画素データに対してアクセスする必要がある場合であっても1回のアクセスにより8画素データを読み出すことが可能である。
一方、入力されたアドレス信号ADCに従って指定される8画素データの最初の先頭の画素が8の倍数番目から始まる場合は、コラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」である場合であり、1行に並んだ8画素データに対してアクセスする。すなわち、上述したように入力されたアドレス信号ADCに含まれるロウアドレス信号に従って対応するメモリセル行のワード線WLAが活性化される。
この場合、コントロール回路5cは、入力されたコラムアドレス信号に従ってワード線WLAに従って読み出される列に対応する1列目〜8列目のセレクタ回路SLCに対応する制御信号SEL0〜SEL7を「H」レベルに設定する。
これに伴ない、セレクタ回路SLC0〜SLC7は、データ線対DLP0〜DLP7とビット線対BLBP0〜BLBP7との電気的な結合をビット線対BLAP0〜BLAP7にそれぞれ切り換える。
そうすると、センスアンプ/ライトドライバ15bは、ビット線対BLAP0〜BLAP7を介して1行に並んだ8画素データを出力する。
なお、この場合、センスアンプ/ライトドライバ15bから読み出される画素データは、バッファメモリに順番どおりに格納されている連続した画素データとなるため並び替え回路16は、入力されたアドレス信号ADCに含まれるコラムアドレス信号に従ってそのままの順序で出力する。
したがって、本願構成とすることにより、図18で説明したような、動画像の動き検出等の画像処理において、パネルの任意の先頭座標からの画素データ群を読み出す場合に8画素単位毎に画素データがマッピングされたバッファメモリから任意の8画素データを1回のアクセスにより読み出すことが可能であり、画像処理の高速化を実現することが可能である。
なお、本例においては、8画素単位毎に画素データがマッピングされたバッファメモリから任意の8画素データを1回のアクセスにより読み出す構成について説明したが、8画素に限られず自由に変更することが可能である。
また、本例においては、8画素単位毎に画素データがマッピングされた8列のバッファメモリの1列目に対応するコラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」に対応付けられるためコラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」であるかどうかに基づいて1行に対応する8画素データをアクセスするか2行に跨った8画素データをアクセスするかを判定していたが、1列目に対応するコラムアドレス信号(CA2〜CA0)が「000」以外のアドレス値に対応付けられている場合には、それに併せて判定するアドレス値を変更することも当然に可能である。
なお、本例においては、センスアンプ/ライトドライバ15bに対応してセレクタ回路SLCが設けられた構成であるためビット線対BLAPを介する画素データの読み出しを行う場合に、セレクタSLCを介するビット線対BLBPとセンスアンプ/ライトドライバ15bとの接続をビット線対BLAPとセンスアンプ/ライトドライバ15bとの接続に切換を行う構成について説明した。
一方、センスアンプ/ライトドライバ15aに対応してセレクタ回路SLCを設けた構成の場合には、ビット線対BLBPを介する画素データの読み出しを行う場合に、セレクタSLCを介するビット線対BLAPとセンスアンプ/ライトドライバ15aとの接続をビット線対BLBPとセンスアンプ/ライトドライバ15aとの接続に切換ることにより同様の構成を実現可能である。
(実施の形態2の変形例2)
上記の実施の形態2の変形例1においては、ポートPA,PB用の行デコーダ10a,10bを用いて隣接する2つのメモリセル行をアクセスする方式について説明した。本実施の形態2の変形例2においては、簡易な構成で隣接する2つのメモリセル行をアクセスする方式について説明する。
図22は、本発明の実施の形態2の変形例2に従う半導体記憶装置1#bの概略ブロック図である。
図22を参照して、本発明の実施の形態2の変形例2に従う半導体記憶装置1#bは、図21で説明した半導体記憶装置1#aと比較して、コントロール回路5cをコントロール回路5dに置換するとともにポートPA用およびポートPB用の行デコーダ10a,10bを1つの行デコーダ10dに置換した点が異なる。また、行デコーダ10dからの行選択指示に応答してワード線WLA,WLBを駆動するワードドライバユニット群WDUDGを設けた点が異なる。その他の点については、半導体記憶装置1#bと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
具体的には、コントロール回路5dは、入力されたアドレス信号ADDの入力に基づいて、行デコーダ10dにバッファ処理した内部行アドレス信号IADAを出力する。さらに、コントロール回路5dは、入力されたコマンド信号CMDDに基づいて所定の動作を実行するように他の周辺回路に対して必要な指示あるいは制御を実行する。例えばデータ読出時においては、センスアンプ/ライトドラバ15a,15bを制御して、ビット線を介して読み出された記憶データを外部に読出データDOA,DOBとして出力するように指示し、データ書込時には、外部から入力される書込データDIA,DIBについてビット線を介して選択されたアドレスに従うメモリセルに対して書込むように指示する。
また、コントロール回路5dは、後述するアドレス判定部を含み、入力されたアドレス信号ADDに含まれるアドレス信号が所定条件を満たす場合にはワードドライバユニット群WDUDGに制御信号を出力する。
図23は、本発明の実施の形態2の変形例2に従う行系の選択動作を実行する回路群を説明する図である。
図23を参照して、ここでは、行系の選択動作を実行する回路群として、行デコーダ10d、ワードドライバユニット群WDUDGを構成するワードドライバWDD、およびコントロール回路5dに含まれるアドレス判定部が示されている。
具体的には、行デコーダ10dは、コントロール回路5dよりバッファ処理された内部行アドレス信号IADAの入力に基づいて行選択結果であるデコード信号をワードドライバWDDに出力する。行デコーダ10dは、複数の論理回路AD#で構成され、入力された内部行アドレス信号の組合せの一つに基づいて対応するワードドライバWDDに対して本例においては「L」レベルのデコード信号(行選択信号)が出力されるものとする。
ワードドライバユニット群WDUDGは、各々が、2つの隣接するメモリセル行に対応するワード線WLA,WLBにそれぞれ対応して設けられ、行選択結果であるデコード信号に基づいて対応するワード線WLA,WLBを駆動するための複数のワードドライバユニットWDDを含む。ワードドライバユニット群WDUDGを構成するワードドライバWDDは、行デコーダ10dの対応する論理回路AD#から出力される「L」レベルのデコード信号の入力を受けて対応するワード線を駆動する。一例として、ここでは、1行目のメモリセル行に対応して設けられたワード線WLA0と、2行目のメモリセル行に対応して設けられたワード線WLB1とに対応してワードドライバWDD0が設けられ、2行目のメモリセル行に対応して設けられたワード線WLA1と、3行目のメモリセル行に対応して設けられたワード線WLB2とに対応してワードドライバWDD1が設けられている場合が示されている。他のワードドライバWDDについても同様に設けられるものとする。
なお、本構成においては、特にワード線WLB0を選択する必要は無い構成であるためワードドライバWDDとは接続されない構成となっているが、ワード線WLB0を用いる構成に変更することも可能である。
また、コントロール回路5dに含まれるアドレス判定部は、アドレス判定回路6と、バッファ7とを含む。アドレス判定回路6は、入力されたアドレス後述するアドレス判定部を含み、入力されたアドレス信号ADDに含まれるアドレス信号が所定条件を満たす場合にはワードドライバユニット群WDUDGに制御信号を出力する。
次に、ワードドライバWDDの構成について説明する。
ワードドライバWDDは、2つの隣接するメモリセル行に対応するワード線WLA,WLBにそれぞれ対応して設けられる。具体的には、ワードドライバWDDは、ワード線WLA,WLBにそれぞれ対応して設けられる論理回路8,9を含む。
論理回路8は、行デコーダ10dの行選択結果であるデコード信号(「L」レベル)を受けてワード線WLAを駆動する。論理回路9は、行デコーダ10dの行選択結果であるデコード信号および制御信号NRを受けてワード線WLBを駆動する。具体的には、デコード信号(「L」レベル)を受けて論理回路8は、ワード線WLAを活性化する。また、論理回路9は、デコード信号(「L」レベル)および制御信号NR(「L」レベル)を受けてワード線WLBを活性化する。
したがって、制御信号NR(「L」レベル)がワードドライバWDDに入力されている場合、ワードドライバWDDは、ワード線WLA,WLBをともに駆動するすなわち活性化する。
ここで、実施の形態2の変形例1で説明した如く、動画像の動き検出等の画像処理において、パネルの任意の先頭座標からの画素データ群を読み出す場合に、本実施の形態2の変形例2に従うメモリアレイを8画素単位毎に画素データがマッピングされたバッファメモリとして用いる場合について説明する。
この場合、上述したように入力されたアドレス信号に従って指定された8画素データが、2行に跨って並んだ8画素に対してアクセスする場合であっても、それぞれ独立の行デコーダを用いてワード線WLA,WLBを駆動する必要は無く、1つの行デコーダからのデコード信号(「L」レベル)の指示に従ってワード線WLAおよび隣接するメモリセル行に対応するワード線WLBを駆動することが可能である。
ここで、2行に跨って並んだ8画素に対してアクセスする場合か1行に並んだ8画素に対してアクセスするか否かをアドレス判定部で判定する。
図24は、アドレス判定部に含まれるアドレス判定回路6を構成する論理回路を説明する図である。
図24を参照して、一例として、アドレス判定回路6は、論理回路11を含み入力されたアドレス信号ADDに含まれるコラムアドレス信号CA0〜CA2の組み合わせに基づいて制御信号を出力する。なお、本例においては、図22で説明した如くコラムアドレス信号が対応付けられているものとする。
一例として、コラムアドレス信号(CA0〜CA2)が「000」の場合に「L」レベルを出力するものとする。そして、バッファ回路7により論理回路11の出力信号の反転信号が制御信号NRとしてワードドライバユニット群WDUDGに出力される。ここで、コラムアドレス信号(CA0〜CA2)が「000」の場合に制御信号NRは「H」レベルに設定され、それ以外の場合に制御信号NRは「L」レベルに設定される。
制御信号NRが「H」レベルの場合には、ワードドライバWDDの論理回路9は、行デコーダ10dの行選択結果であるデコード信号(「L」レベル)を受けた場合であってもワード線WLBを非活性化状態に維持する。
したがって、この場合には、行選択結果であるデコード信号(「L」レベル)に従ってワードドライバWDDの論理回路8によりワード線WLAのみが駆動される。
すなわち、当該構成により、実施の形態2の変形例1と同様の機能を実現することが可能である。
したがって、本実施の形態2の変形例2に従う構成により、変形例1に従う構成と比較して、行デコーダを削除し、簡易な構成で行系の選択回路を構成することにより部品点数が削減されるとともに、行系の選択回路の小面積化さらには低消費電力化を図ることが可能である。また、当該構成は、同一行のワード線WLA,WLBが同時に選択される構成ではないため安全性確保のためのトランジスタの寸法比をシングルポート並みのトランジスタサイズとすることも可能であり、これに伴ない、メモリセルの小面積化および低リーク電流化を図ることが可能である。
(実施の形態3)
本実施の形態3においては、複数個のメモリアレイを設けた場合に、センスアンプ/ライトドライバを共有することにより回路面積を縮小することが可能な構成について説明する。
図25は、本発明の実施の形態3に従う半導体記憶装置の概略構成を説明する図である。
図25を参照して、ここでは、複数個のメモリアレイが列方向に沿って設けられた構成である。具体的には、列方向に沿ってメモリアレイ20a,20b,20cの順に上側メモリアレイから下側メモリアレイへと設けられた構成であるものとする。
また、メモリアレイの両側にはワード線WLAあるいはWLBを駆動するワードドライバユニットWDUAあるいはWDUBで構成されるワードドライバユニット群WDUAG,WDUBGが設けられる。なお、ワードドライバユニットWDUAあるいはWDUBについては、図3で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
本例においては、ワード線WLAに対応して設けられるワードドライバユニットWDUAと、ワード線WLBに対応して設けられるワードドライバユニットWDUBとをそれぞれメモリアレイの両側に配置することにより、ワードドライバユニットWDUAあるいはWDUBのレイアウトピッチ間隔を十分確保する事が可能となる。なお、メモリアレイ20aの両側には、ポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGaと、ポートPB用のワードドライバユニット群WDUBGaが設けられている。同様に、メモリアレイ20bの両側には、ポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGbと、ポートPB用のワードドライバユニットグWDUBGbとが設けられている。さらに、メモリアレイ20cの両側には、ポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGcと、ポートPB用のワードドライバユニット群WDUBGcとが設けられている。
そして、センスアンプ/ライトドライバ15aは、メモリアレイ20aにおいて、ビット線対BLAPと電気的に結合される。また、センスアンプ/ライトドライバ15bは、メモリアレイ20aにおいて、ビット線対BLBPと電気的に結合される。当該構成は、図1で説明した構成と同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
本発明の実施の形態3においては、メモリアレイ20bにおいて、センスアンプ/ライトドライバ15bは、ビット線対BLAPと電気的に結合される。すなわち、センスアンプ/ライトドライバ15bは、メモリアレイ20a,20bにおいて共有される構成である。センスアンプ15cは、メモリアレイ20bにおいて、ビット線対BLBPと電気的に結合される。そして、センスアンプ15cは、メモリアレイ20cにおいて、上記と同様にビット線対BLAPと電気的に結合される。すなわち、センスアンプ15cは、メモリアレイ20b,20cにおいて共有される構成である。センスアンプ15dは、メモリアレイ20cにおいて、ビット線対BLBPと電気的に結合される。
本実施の形態3においては、メモリアレイの両側に一個ずつセンスアンプ/ライトドライバを設けるとともに、互いに隣接する2つのメモリアレイの間に設けられたセンスアンプ/ライトドライバは、一方のメモリアレイのビット線対BLAPと電気的に結合され、他方のメモリアレイのビット線対BLBPと電気的に結合される。
当該構成により、例えば同一のメモリアレイが選択されてメモリアレイ20aに対して2つのポートからのデータ読出および書込を実行する場合には、ポートPAおよびPB用のセンスアンプ/ライトドライバとしてセンスアンプ/ライトドライバ15a,15bを用いる。この点については、上記と同様である。
一方、異なる2つのメモリアレイ20aおよび20bが選択された場合に2つのポートからのデータ読出および書込を実行する場合、メモリアレイ20aについては、センスアンプ/ライトドライバ15aを用いる。一方、メモリアレイ20bについてはセンスアンプ/ライトドライバ15cを用いる。なお、本例においては、異なる2つのメモリアレイが選択される場合には、上側メモリアレイのワード線の選択動作については、ポートPA用ワードドライバユニット群WDUAGが用いられ、下側メモリアレイのワード線の選択動作については、ポートPB用ワードドライバユニット群WDUBGが用いられるようにコントロール回路により制御されているものとする。
すなわち、本例においては、2つのポートからのデータ読出および書込を実行する場合には、選択された一方側および他方側の2つのメモリアレイのうちポートPAからのデータ読出および書込を実行する場合には、2つのメモリアレイのうちの一方側のメモリアレイの一方側に対応して設けられたセンスアンプ/ライトドライバを用いてデータ読出および書込が実行される。また、ポートPBからのデータ読出および書込を実行する場合、2つのメモリアレイのうちの他方側のメモリアレイの他方側に対応して設けられたセンスアンプ/ライトドライバを用いてデータ読出および書込を実行する。例を挙げて説明すると、一方側および他方側としてメモリアレイ20a,20bが選択された場合には、ポートPAからの読出および書込については、メモリアレイ20aの一方側に設けられたセンスアンプ/ライトドライバ15aを選択して、ポートPAからのデータ読出および書込を実行する。また、メモリアレイ20bについては、他方側に設けられたセンスアンプ/ライトドライバ15cを選択して、ポートPBからのデータ読出および書込を実行する。
当該構成により、隣接する2つのメモリアレイ間に設けられたセンスアンプ/ライトドライバを当該2つのメモリアレイにおいて共有して用いることが可能であるため、複数個のメモリアレイを設けた場合であっても、それぞれのメモリアレイにおいて、ポートPA用およびPB用としてセンスアンプ/ライトドライバを独立に2個ずつ設ける必要がなく、共有することにより回路面積を縮小することが可能となる。
(実施の形態3の変形例)
図26は、異なる2つのメモリアレイ20aおよび20bが選択された場合に2つのポートからのデータ読出および書込を実行する場合の別の例を説明する図である。
図25の構成においては、上側メモリアレイのワード線の選択動作については、ポートPA用ワードドライバユニット群WDUAGが用いられ、下側メモリアレイのワード線の選択動作については、ポートPB用ワードドライバユニット群WDUBGが用いられる点について説明したが、仮に、上側メモリアレイ20aのワード線の選択動作についてポートPB用のワードドライバユニット群WDUBGが用いられ、下側メモリアレイ20bのワード線の選択動作についてポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGが用いられた場合について考える。
そうすると、図26に示されるようにポートPAおよびポートPBがともにセンスアンプ/ライトドライバ15bを用いるように競合して動作することになり選択動作を同時に実行することができない可能性がある。
図27は、本発明の実施の形態3の変形例に従う半導体記憶装置の概略構成を説明する図である。
図27を参照して、図25で説明した実施の形態3に従う半導体記憶装置と比較して、セレクタ回路群をさらに設けた点が異なる。具体的には、本例においては、メモリアレイ20aとセンスアンプ/ライトドライバ15bとの間にセレクタ回路で構成されるセレクタ回路群SLCGaが設けられ、メモリアレイ20bとセンスアンプ/ライトドライバ15cとの間にセレクタ回路で構成されるセレクタ回路群SLCGbが設けられ、メモリアレイ20cとセンスアンプ/ライトドライバ15dとの間にセレクタ回路で構成されるセレクタ回路群SLCGcが設けられる点が異なる。なお、総称してセレクタ回路群SLCGと称することとする。その他の点については同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
なお、セレクタ回路群SLCGは、図13の半導体記憶装置1#の構成で説明した複数のセレクタ回路SLCを含み、各セレクタ回路SLCは、図13で説明したのと同様にセンスアンプ/ライトドライバと接続されているものとする。セレクタ回路SLCの構成については、図14で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
従って、上述したようにセンスアンプ/ライトドライバとメモリアレイとの間にセレクタ回路SLCを設けた構成とすることにより、例えばセンスアンプ/ライトドライバ15bは、制御信号SELに応答してビット線対BLBPからビット線対BLAPへの切換が可能な構成となっている。
同様に、センスアンプ/ライトドライバ15c,15dについても同様である。
したがって、例えば、図26の構成で説明したように上側メモリアレイ20aのワード線の選択動作についてポートPB用のワードドライバユニット群WDUBGが用いられ、下側メモリアレイ20bのワード線の選択動作についてポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGが用いられる場合には、セレクタ回路群SLCGを用いてビット線対BLBPからビット線対BLAPの切換動作を実行することにより、ポートPAおよびポートPBが同一のセンスアンプ/ライトドライバを用いるように競合して動作することを回避することが可能である。
具体的には、上側メモリアレイ20aのワード線の選択動作についてポートPB用のワードドライバユニット群WDUBGが用いられ、下側メモリアレイ20bのワード線の選択動作についてポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGが用いられる場合には、下側メモリアレイ20bとセンスアンプ/ライトドライバ15cとの間に設けられたセレクタ回路群SLCGbに対して図示しないコントロール回路は、制御信号SELを「H」レベルに設定するものとする。一方、センスアンプ/ライトドライバ15bに対する制御信号は、「L」レベルに設定される。
これに伴ない、通常時においては、ポートPB用のビット線対BLBPがデータ線対DLPを介してセンスアンプ/ライトドライバ15cと電気的に接続されていた関係が、ポートPA用のビット線対BLAPがデータ線対DLPを介してセンスアンプ/ライトドライバ15cと電気的に接続される。
したがって、ポートPAの選択動作について、通常時においてはセンスアンプ/ライトドライバ15bを用いる構成からセンスアンプ/ライトドライバ15cに切り替えることが可能となる。すなわち、上側メモリアレイ20aのワード線の選択動作について、ポートPB用のワードドライバユニット群WDUBGが用いられ、下側メモリアレイ20bのワード線の選択動作についてポートPA用のワードドライバユニット群WDUAGが用いられる場合には、上側メモリアレイ20aに対応してセンスアンプ/ライトドライバ15bが選択され、下側メモリら例20bに対応してセンスアンプ/ライトドライバ15cが選択されるため同一のセンスアンプ/ライトドライバを用いるように競合して動作することを回避することが可能であり、ポートPAおよびポートPBにおいてそれぞれ独立な動作を実行することが可能である。
したがって、本実施の形態3の変形例に従う構成においては、異なる2つのメモリアレイが選択される場合には、上側メモリアレイおよび下側メモリアレイの区別無く、任意のメモリアレイに対してポートPA用ワードドライバユニット群WDUAGおよびポートPB用ワードドライバユニット群WDUBGはアクセス可能である。
なお、本例においては、メモリアレイ20aとセンスアンプ/ライトドライバ15bとの間、メモリアレイ20bとセンスアンプ/ライトドライバ15cとの間、メモリアレイ20cとセンスアンプ/ライトドライバ15dとの間にセレクタ回路群SLCGを設けた構成について説明したが、特にこれに限られず、メモリアレイ20aとセンスアンプ/ライトドライバ15aとの間、メモリアレイ20bとセンスアンプ/ライトドライバ15bとの間、メモリアレイ20cとセンスアンプ/ライトドライバ15cとの間にセレクタ回路群SLCGを設けた構成として、ビット線対BLAPからビット線対BLBPへの切換を実行する構成とすることも当然に可能である。
なお、上記の実施の形態においては、主にマルチポートの一種であるデュアルポートを有する半導体記憶装置について説明したがこれに限られずさらに多くのポートを有する場合においても同様に適用可能である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

Claims (9)

  1. 行列状に配置された複数のメモリセルを有するメモリアレイと、
    互いに独立の入出力信号の授受を実行する第1および第2のポートと、
    前記第1および第2のポートにそれぞれ入力されたアドレスに従って前記メモリアレイに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能な選択回路とを備え、
    前記メモリアレイは、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、
    メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のビット線とを含み、
    各前記メモリセルは、
    記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、
    対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、
    対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含み、
    前記メモリアレイは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が対応するメモリセル行のメモリセルのフリップフロップ回路の動作電圧を供給するための複数の電源線をさらに含み、
    前記選択回路は、
    前記第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する第1および第2の行デコーダと、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が前記第1および第2の行デコーダからの行選択結果に応じて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバとを含み、
    各前記ワードドライバは、前記第1および第2の行デコーダの少なくとも一方から行選択指示の入力を受けた場合には、対応するワード線の電圧レベルを所定の電圧レベルに設定し、
    各前記メモリセル行において、前記対応する電源線は、ワード線が形成される金属配線層と同一の金属配線層に形成され、前記対応する第1のワード線と、前記対応する第2のワード線との間に互いに隣接して設けられる、半導体記憶装置。
  2. 列方向に沿って設けられ、各々が、行列状に配置された複数のメモリセルを有するN個のメモリブロックと、
    各々が、前記メモリブロックに対応して設けられる互いに独立の入出力信号の授受を実行するN個の第1および第2のポートと、
    各々が、前記メモリブロックに対応する第1および第2のポートにそれぞれ入力されたアドレスに従って対応するメモリブロックに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能なN個の選択回路とを備え、
    各前記メモリブロックは、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、
    前記対応する第1のポートと接続され、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1のビット線と、
    前記対応する第2のポートと接続され、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第2のビット線とを含み、
    各前記メモリセルは、
    記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、
    対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、
    対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含み、
    各前記選択回路は、
    前記第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する第1および第2の行デコーダと、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が前記第1および第2の行デコーダからの行選択結果に応じて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバとを含み、
    各々が、前記メモリブロックの一方側の前記第1のポートおよび他方側の前記第2のポートに対応してそれぞれ1個ずつ設けられ、隣接するメモリブロックの前記第1および第2のポートに対応して設けられた前記複数の第1および第2のビット線の一方および他方の少なくとも一方とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための(N+1)個の読出書込回路をさらに備え、
    同一のメモリブロックが選択されて前記第1および第2のポートを用いてデータ読出を実行する場合には、前記同一のメモリブロックの一方側の読出書込回路を用いて、前記複数の第1のビット線と接続されて前記第1のポートのデータ読出が実行され、他方側の読出書込回路を用いて、前記複数の第2のビット線と接続されて前記第2のポートのデータ読出が実行され、
    一方側および他方側の2つのメモリブロックが選択されて、前記第1および第2のポートを用いてデータ読出を実行する場合には、前記2つのメモリブロックの一方側のメモリブロックに対応して設けられた一方側の読出書込回路を用いて、前記複数の第1のビット線と接続されて前記第1のポートのデータ読出が実行され、前記2つのメモリブロックの他方側のメモリブロックに対応して設けられた他方側の読出書込回路を用いて、前記複数の第2のビット線と接続されて前記第2のポートのデータ読出が実行される、半導体記憶装置。
  3. 行列状に配置された複数のメモリセルを有するメモリアレイと、
    互いに独立の入出力信号の授受を実行する第1および第2のポートと、
    前記第1および第2のポートに対応して入力されたアドレスに従って前記メモリアレイに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能な選択回路とを備え、
    前記メモリアレイは、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、
    メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のビット線とを含み、
    各前記メモリセルは、
    記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、
    対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、
    対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含み、
    前記選択回路は、
    前記第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する第1および第2の行デコーダと、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられ、各々が前記第1および第2の行デコーダからの行選択結果に応じて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバとを含み、
    前記第1のポートに対応して設けられ、前記複数の第1のビット線とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための第1の読出書込回路と、
    前記第2のポートに対応して設けられ、前記複数の第2のビット線とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための第2の読出書込回路と、
    前記第1の読出書込回路に対応して、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられ、各々が、指示に応答して第1のビット線との接続を第2のビット線との電気的な接続に切り換える複数の切換回路とをさらに備える、半導体記憶装置。
  4. 前記メモリアレイに含まれる前記複数のメモリセルは、行に沿って所定単位毎に配列され、
    前記所定単位毎のメモリセル群は、外部からの所定単位毎のデータを連続的に下位アドレス行から上位アドレス行に向かって格納し、
    前記複数の切換回路を制御する制御回路をさらに備え、
    前記選択回路の前記第1および第2の行デコーダの少なくとも一方は、データ読出時に前記入力されたアドレスに従って選択された所定単位のメモリセル群をアクセスするための行選択指示を出力し、
    前記第1および第2の行デコーダの少なくとも一方の行選択指示に従って互いに隣接する下位アドレス行および上位アドレス行に対応する第1および第2のワード線の少なくとも一方が活性化され、
    前記制御回路は、前記互いに隣接する下位アドレス行および上位アドレス行に対応する第1および第2のワード線がともに活性化された場合には、前記複数の切換回路のうち、前記入力されたアドレスに従って前記選択された所定単位のメモリセル群のうち上位アドレス行のメモリセル列に対応する切換回路に対して切換指示する、請求の範囲3に記載の半導体記憶装置。
  5. 前記入力されたアドレスは、所定単位のメモリセル群をアクセスするための行および列をそれぞれ指定するロウアドレスおよびコラムアドレスを有し、
    前記入力されたアドレスに含まれるロウアドレスおよびコラムアドレスが前記所定単位毎に配列された先頭のメモリセルを選択する場合には、前記選択回路の前記第1の行デコーダは、前記ロウアドレスに基づいて前記第1のワード線を活性化する行選択指示を出力し、
    前記入力されたアドレスに含まれるロウアドレスおよびコラムアドレスが前記所定単位毎に配列された先頭のメモリセル以外を選択する場合には、前記入力されたアドレスに含まれるロウアドレスに基づいて、前記選択回路の前記第1の行デコーダは、下位アドレス行に対応する前記第1のワード線を活性化する行選択指示を出力するとともに、前記選択回路の前記第2の行デコーダは、上位アドレス行に対応する第2のワード線を活性化する行選択指示を出力する、請求の範囲4に記載の半導体記憶装置。
  6. 前記第1の読出書込回路に対応して設けられ、前記入力されたアドレスに従って、前記第1の読出書込回路から出力されたデータビットの配列を並び替える並び替え回路をさらに備える、請求の範囲3に記載の半導体記憶装置。
  7. 行列状に配置された複数のメモリセルを有するメモリアレイと、
    互いに独立の入出力信号の授受を実行する第1および第2のポートと、
    前記第1および第2のポートに対応して入力されたアドレスに従って前記メモリアレイに対してそれぞれアクセス期間が重なりながら選択可能な選択回路とを備え、
    前記メモリアレイは、
    メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のワード線と、
    メモリセル列にそれぞれ対応して設けられる複数の第1および第2のビット線とを含み、
    各前記メモリセルは、
    記憶するデータに応じて、第1および第2の記憶ノードを第1および第2の電位レベルの一方および他方にそれぞれ設定するためのフリップフロップ回路と、
    対応する第1のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第1のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第1のゲートトランジスタと、
    対応する第2のワード線とゲートとが電気的に結合され、対応する第2のビット線と前記フリップフロップ回路との間を電気的に結合するための第2のゲートトランジスタとを含み、
    前記選択回路は、
    入力されたアドレスに従って行選択指示をそれぞれ出力する行デコーダと、
    各々が、2つの隣接するメモリセル行に対応する第1および第2のワード線にそれぞれ対応して設けられ、行選択結果に基づいて対応する第1および第2のワード線を駆動するための複数のワードドライバユニットとを含み、
    前記第1および第2のポートにそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第1および第2のビット線とそれぞれ電気的に結合されてデータ読出およびデータ書込を実行するための第1および第2の読出書込回路をさらに備える、半導体記憶装置。
  8. 各前記ワードドライバユニットは、制御指示に応答して対応する第1および第2のワード線のいずれか一方のみを駆動する、請求の範囲7に記載の半導体記憶装置。
  9. 前記入力されたアドレスに含まれるコラムアドレスに基づいて前記制御指示を出力するアドレス判定回路をさらに備える、請求の範囲8に記載の半導体記憶装置。
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