JPWO2007049345A1 - テーブルの位置決め制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるテーブルの位置決め制御装置の構造を示す一部切り欠け平面図である。この実施の形態1は4軸を用い移動テーブルをXYθ制御する例について説明する。
移動テーブル10は、均一な平面の基準面を有し、テーブル台座20の上に設置された4個の支持手段30によって4箇所の支持点A,B,C,Dで基準面が常に水平となるように支持されている。支持手段30は、軸37の周りを回動する回動部材38を持ち、回動部材38の外縁を移動テーブル10に設けた孔11にはめ込むことにより移動テーブル10を回動可能に支持している。4個の支持手段30の駆動制御はそれぞれのモータM1〜M4によって行われる。
M1の移動量=△XM1X (1)
M2の移動量=△XM2X (2)
M3の移動量=△YM3X (3)
M4の移動量=△YM4X (4)
次に、図4に示すように、移動テーブル10をY方向に微小量△YTだけ移動させ、このときエンコーダの出力から求めた各モータの移動量を下記の値とする。
M1の移動量=△XM1Y (5)
M2の移動量=△XM2Y (6)
M3の移動量=△YM3Y (7)
M4の移動量=△YM4Y (8)
続いて、図5に示すように、移動テーブル10をθ方向に微小量△θTだけ移動させ、このときエンコーダの出力から求めた各モータの移動量を下記の値とする。
M1の移動量=△XM1θ (9)
M2の移動量=△XM2θ (10)
M3の移動量=△YM3θ (11)
M4の移動量=△YM4θ (12)
M1の移動量
=△X・△XM1X/△XT+△Y・△XM1Y/△YT+△θ・△XM1θ/△θT (13)
M2の移動量
=△X・△XM2X/△XT+△Y・△XM2Y/△YT+△θ・△XM2θ/△θT (14)
M3の移動量
=△X・△XM3X/△XT+△Y・△XM3Y/△YT+△θ・△XM3θ/△θT (15)
M4の移動量
=△X・△XM4X/△XT+△Y・△XM4Y/△YT+△θ・△XM4θ/△θT (16)
上記の算出方法での位置決め動作は、実機での組み立て誤差も、吸収した制御値となるため、設計理論値で制御する場合に比べて、より正確に、位置決めが可能となる。
図6において、現在、移動テーブル10は、実線で示す位置にあるものとする。すなわち、二点鎖線で下に示されたテーブル10bの位置(位置決めの目標位置)に対してずれた位置にある。そこで、移動テーブル10の基準面10a上の任意の指定位置(例えば2個の+印)の目標位置に対するX、Yおよびθ方向のずれ量を、上述したように顕微鏡カメラにより測定して得る。次に、(13)式〜(16)式を用いて、上記測定値に基づいてX、Yおよびθ方向の移動指令を与えるための4個のモータM1〜M4の軸移動目標値のそれぞれを算出する。
ΔST=ΔSM×LT/LM (17)
ここで、LTがLMに対して大きい場合、その比例値によってΔSTが増幅され無視できなくなる。
制御部100は、CPU部101、制御パルス発生部102、エンコーダパルスカウンタ103および入出力部104を備えている。制御パルス発生器102は、プログラムに基づいてCPU部101により制御され、モータ毎の位置決め制御パルスs1を発生する手段である。ただし、モータ毎の位置決め制御パルスs1には、相互に同期関係にないものが使用される。エンコーダパルスカウンタ103は、モータM1〜M4の各エンコーダ51bが発生するパルスs2のそれぞれを計数し、モータの制御位置を算出する手段である。入出力部104は、CPU部101からの指令に従って位置決め制御とトルク制御の運転を切り替える運転切替信号s3をモータドライバ201〜204の対応するドライバに出力する手段である。モータドライバ201〜204は、位置決め制御パルスs1に基づいたモータドライブ信号s4を所定のモータに出力してそれぞれを駆動して位置決め制御し、また運転切替信号s3に応じて指定されたモータに対してはトルク制御に設定する手段である。モータM1〜M4には、上述したように、サーボモータで、位置決め制御とトルク制御を切り換えて運転することができるエンコーダ51b付きの位置制御モータが使用される。
図10はこの発明の実施の形態2によるテーブルの位置決め制御装置の構造を示す一部切り欠け平面図である。この例は、矩形の移動テーブル10を6個の支持手段30の支持点A〜Fで支持し、モータM21〜M26により6軸制御する場合を示している。この制御方法では、最初の位置決め制御を、例えば3個のモータM21,M25,M26で行った場合、その間、他のモータM22,M23,M24はトルク制御を行い、モータM21,M25,M26の位置決め制御の完了直前または完了直後に他のモータM22,M23,M24で位置決め制御を行うようにする。このモータM22,M23,M24の位置決め制御時の動作も、同時に開始し、互いに非同期で行う。
この実施の形態2によれば、上記実施の形態1の例に比べて、より大面積の移動テーブルを使用して、テーブルの位置剛性を高める場合に有効である。
Claims (2)
- テーブル台座に設置した少なくとも4個の支持手段により、移動テーブルをテーブル台座に対して水平に、かつ各支持手段の支持点の周りに回動可能に支持し、これらの支持手段が、対応するモータの軸回転をそれぞれ直線駆動に変換することにより前記移動テーブルを前記テーブル台座に対してX方向、Y方向、θ方向に相対移動させ、前記移動テーブルを目標位置に位置決めするテーブルの位置決め制御装置において、
現在置かれている前記移動テーブルの基準面上の任意の指定位置の目標位置に対するずれ量の測定値から算出した、X、Yおよびθ方向の移動指令を与えるための各モータの軸移動目標値に基づいて、任意の3個のモータによる位置決め制御を非同期で同時に開始し、対応する3個の支持手段の移動速度のそれぞれを単独に制御して、当該3個のモータの全てが対応する軸移動目標値に到達した時点で3軸による位置決め制御を終了させ、
一方、前記3個のモータが位置決め制御を行っている期間、残りのモータを、前記3軸による位置決め方向へ補助力を与えるようトルク制御で駆動させ、前記3軸全ての位置決め制御の終了直前または終了直後にトルク制御から位置決め制御に切り替えて自己の軸移動目標値と一致するまで駆動させることを特徴とするテーブルの位置決め制御装置。 - 移動テーブルが5個以上の支持手段で支持された場合、最初に位置決め制御を行う任意の3個のモータ以外で、トルク制御から位置決め制御に切り替えて用いる複数のモータは、その位置決め制御時に互いに非同期で駆動することを特徴とする請求項1記載のテーブルの位置決め制御装置。
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