JPWO2006134925A1 - アクリル酸系重合体及びその製造方法 - Google Patents

アクリル酸系重合体及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

式(I)

(式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、極性基を有する有機基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位をアーム部に有するスターポリマーであることを特徴とするアクリル酸系重合体、ポリ(α−低級アルキル)アクリレートから誘導される繰り返し単位と、式(I)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル酸系重合体、およびモノマーから、重合活性末端を有する平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下のオリゴマーを形成し、重合活性末端を有するオリゴマーを開始種としてリビング重合することを特徴とする重合体の製造方法。

Description

本発明は、レジスト等の材料に有用な新規なアクリル酸系共重合体及びその製造方法に関する。
本願は、2005年6月15日に出願された日本国特許出願2005−175804号、2005年6月15日に出願された日本国特許出願2005−175808号、および2005年6月15日に出願された日本国特許出願2005−175810号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
ArFレジスト用感光性材料として、例えば、極性基含有脂環式官能基、及び酸により、アルカリ可溶基を生じる官能基を1分子中にそれぞれ少なくとも1つ以上有する樹脂(A)、及び放射線照射により酸を発生する物質(B)からなる放射線感光材料が知られており、樹脂(A)として、モノ又はトリヒドロキシアダマンチルメタクリレートとt−ブチルメタクリレートの共重合体が例示されており、エキシマレーザー光に対して、透明性を有し、現像性に優れ、ドライエッチング耐性に優れた樹脂であることが記載されている。(特許文献1を参照)
また、低分子量でしかも分子量分布の狭いアクリル酸系重合体も、ArFレジスト用感光性材料として有用であることが知られている。(特許文献2を参照)
特開平11−109632号公報 特開2003−82010号公報
しかし、より微細なパターンの形成には必ずしも十分な性能のあるものとはいえなかった。
本発明は、より微細なパターンの形成が可能な性能を有するレジスト感光材料等の用途に有用なアクリル酸系重合体及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の官能基を有する(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を有するポリマーを、スターポリマーのアーム部とすること、または低分子量にコントロールすることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、
(1)式(I)
(式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、極性基を有する有機基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位をアーム部に有するスターポリマーであることを特徴とするアクリル酸系重合体。
(2)式(I)のRが、極性基を含有する脂環式官能基または極性基を有するラクトン環含有官能基であることを特徴とする(1)に記載のアクリル酸系重合体。
(3)式(I)中のRの極性基が、水酸基、保護された水酸基、カルボキシル基、又はエステル基であることを特徴とする(1)または(2)に記載のアクリル酸系重合体。
(4)コア部が、多官能性カップリング剤が架橋したコアであることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
(5)多官能性カップリング剤が、1分子あたり少なくとも2つの重合性2重結合を有する化合物であることを特徴とする(4)に記載のアクリル酸系重合体。
(6)多官能性カップリング剤が、ポリ(α−低級アルキル)アクリレートであることを特徴とする(4)または(5)に記載のアクリル酸系重合体。
(7)アーム部ポリマーの数平均分子量が、5000以下であることが特徴とする(1)〜(6)のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
(8)アーム部ポリマーの数平均分子量が、4000以下であることが特徴とする(1)〜(6)のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
(9)ポリ(α−低級アルキル)アクリレートから誘導される繰り返し単位と、式(I)
(式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、極性基を有する有機基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル酸系重合体。
(10)重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が1.01〜1.50であることを特徴とする(1)〜(9)のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
(11)式(II)

(式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、脂環式骨格含有官能基、またはラクトン環含有官能基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含み、数平均分子量(Mn)が4000以下であることを特徴とするアクリル酸系重合体。
(12)式(II)中のRが、極性基を有する脂環式骨格含有官能基、または極性基を有するラクトン環含有官能基であることを特徴とする(11)に記載のアクリル酸系重合体。
(13)式(II)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位以外の(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含む共重合体であることを特徴とする(11)又は(12)のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
(14)式(II-1)

(式中、R31は、水素原子又は低級アルキル基を表し、R41は、水酸基及び/又はカルボキシル基を有する脂環式骨格含有官能基またはラクトン環含有官能基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含み、数平均分子量(Mn)が5000以下であることを特徴とするアクリル酸系重合体。
(15)重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が1.01〜1.30であることを特徴とする(10)〜(14)のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
(16)リビング重合による重合体の製造方法であって、モノマーから、重合活性末端を有する平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下のオリゴマーを形成し、重合活性末端を有するオリゴマーを開始種として重合することを特徴とする重合体の製造方法。
(17)重合活性末端を有するオリゴマーの形成段階で、モノマーを消失させることを特徴とする(16)に記載の重合体の製造方法。
(18)モノマーを少なくとも2回以上に分割して添加し、重合活性末端を有するオリゴマーを形成することを特徴とする(16)又は(17)に記載の重合体の製造方法。
(19)リビング重合が、アニオン重合であることを特徴とする(16)〜(18)のいずれかに記載の重合体の製造方法。
(20)−20℃以下の条件下で、重合活性末端を有するオリゴマーの形成及び/又は重合を行うことを特徴とする(16)〜(19)のいずれかに記載の重合体の製造方法。
本発明のアクリル酸系重合体は、分子量分布が狭く、酸分解性にも優れ、また、溶剤への溶解性も極めて良好であるので、レジスト材料等に有用であり、本発明の製造方法によれば、分子量分布の狭い重合体を容易かつ確実に製造することができ産業上の利用価値は高いといえる。
本発明のアクリル酸系重合体は、式(I)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位をアーム部に有するスターポリマーである。尚、(α−低級アルキル)アクリル酸エステルとは、アクリル酸エステル及びα−低級アルキルアクリル酸エステルを意味し、(α−低級アルキル)アクリレートとは、アクリレート及びα−低級アルキルアクリレートを意味するが、以下、単に、(α−低級アルキル)アクリル酸エステルをアクリル酸エステルといい、(α−低級アルキル)アクリレートをアクリレートという。
式(I)中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、極性基を有する有機基を表す。低級アルキル基とは、C1〜C5のアルキル基をいい、具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基等を例示することができるが、特にメチル基が好ましい。以下、低級アルキル基と記載した場合は同様である。有機基とは、炭素原子を少なくとも1含む官能基の総称であり、C5以上のものが好ましく、C6〜C20のものがより好ましく、特に、脂環式骨格を有する官能基(脂環式官能基)、ラクトン環骨格を有する官能基(ラクトン環含有官能基)を好ましく例示することができる。
極性基として、具体的には、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、カルボキシル基、エステル基、アシル基、ベンゾイル基、スルホニル基、スルフィニル基、スルフェニル基、無置換若しくは置換アミノ基、カルバモイル基、又はスルファモイル基等を例示することができるが、特に、水酸基、保護された水酸基、カルボキシル基、又はエステル基を好ましく例示することができる。保護された水酸基とは、水酸基の保護基として使用できる官能基により活性水素が修飾された官能基を示し、具体的には、メトキシ基、エトキシ基、メトキシメトキシ基、1−メトキシエトキシ基、1−エトキシエトキシ基、1−メトキシプロポキシ基、1−メチル−1−メトキシエトキシ基、1−(イソプロポキシ)エトキシ基、2−メトキシエトキシメトキシ基、ビス(2−クロロエトキシ)メトキシ基、2−テトラヒドロピラニル基、4−メトキシ−2−テトラヒドロピラニル基、2−テトラヒドロフラニル基、トリフェニルメトキシ基、2−(トリメチルシリル)エトキシメトキシ基、トリメチルシリルメトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、ベンジルオキシ基、ナフチルオキシ基等のアリールオキシ基、アセトキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、メシルオキシ基、トシルオキシ基等のスルホニルオキシ基、ジメチルカルバモイルオキシ基等のジアルキルカルバモイルオキシ基、トリメチルシリルオキシ基、t−ブチルジメチルシリルオキシ基等のシリルオキシ基等を例示することができる。
また、エステル基として具体的には、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、t−ブトキシカルボニル基、1−エトキシエトキシカルボニル基等を例示することができる。
極性基の数は、特に限定されず、2以上含有していてもよく、その位置も特に制限されない。極性基を有することにより、溶剤への溶解性及び安定性等が向上する。
脂環式官能基として、下記式(III)で表される有機基を具体的に例示することができる。このとき、極性基は、下記Aに置換基として含有してもよいが、下記Bに含有することが好ましい。極性基として、水酸基、カルボキシル基を代表として例示するが、特にこれらに限定されるわけではない。
式中、Aは、単結合、エーテル基、エステル基、カルボニル基、アルキレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表し、さらに下記式に表される2価の基を具体的に例示することができる。
上記式中、RaおよびRbはそれぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基を表し、具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基等の低級アルキル基が好ましく例示することができる。置換アルキル基の置換基としては、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルコキシ基を挙げることができ、アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等のC1〜C4のものを例示することができる。ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、フッ素原子、沃素原子等を例示することができる。r1は1〜10のいずれかの整数を表し、mは1〜3のいずれかの整数を表す。
式中、Bは、下記式(IV-1)〜(IV-6)のいずれかを表す。
上記式(IV-1)及び(IV-6)中、R111は、水酸基、カルボキシル基、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいC1〜C5アルキル基を表し、Zは、炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を形成するのに必要な原子団を表し、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい。なお、R111がC1〜C5アルキル基の場合、直鎖又は分枝鎖を有していてもよい。以下、アルキル基と記載した場合は同様である。
上記式(IV-2)及び(IV-3)中、R112〜R116は、水酸基、カルボキシル基、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいC1〜C4アルキル基、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表す。但し、R112〜R114のうち少なくとも1つ、もしくはR115、R116のいずれかは置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表す。
上記式(IV-4)中、R117〜R121は、各々独立に、水酸基、カルボキシル基、水素原子、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいC1〜C4アルキル基、又は置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表す。但し、R117〜R121のうち少なくとも1つは、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表し、R119、R121のいずれかは、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいC1〜C4アルキル基、又は置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表す。
上記式(IV-5)中、R122〜R125は、各々独立に、水酸基、カルボキシル基、水素原子、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいC1〜C4アルキル基、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表す。但し、R122〜R125のうち少なくとも1つは、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基を表す。
置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよい脂環式炭化水素基としては、下記式に示す骨格を具体的に例示することができる。本発明においては、かかる脂環式炭化水素基に、水酸基及び/又はカルボキシル基を含有することが好ましく、置換する位置及びその数は特に制限されない。
として具体的には、以下に示す有機基を例示することができる。尚、t−ブトキシカルボニル基を極性基の例示の代表として用いたが、これに限定されるものではない。
これらの中でも、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有するアダマンチル基が好ましく、下記式(V-1)〜(V-3)で表されるアダマンチル基を好ましく例示することができ、特に、(V-3)で表されるアダマンチル基、及びそれらの活性水素を適当な官能基により保護されたアダマンチル基が好ましい。
式(V-1)及び式(V-2)中、R130は置換基を有していてもよいアルキル基を表し、R131〜R132はそれぞれ独立に水酸基、ハロゲン原子、カルボキシル基、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、又はアシル基を表し、R131〜R132の1以上が水酸基又はカルボキシル基である。p、q、rはそれぞれ独立に、0又は1〜3のいずれかの整数を表し、少なくともいずれか1つは、1以上である。p、q又はrが、2以上の場合、R131同士、R132同士、及びR133同士は、それぞれ同一であってもよいし、相異なっていてもよい。
極性基を有する脂環式官能基を含有する式(I)で表されるアクリル酸エステルとしては、下記式に示す化合物において、脂環式炭化水素基のいずれかの位置に置換基として極性基を1又は2以上含有するものを具体的に例示することができる。なお、R10及びR10’は、それぞれ独立して直鎖又は分岐低級アルキル基である。
また、ラクトン環を有する有機基を含有する式(I)で表されるアクリル酸エステルとしては、具体的には、ブチロラクトンアクリレート、ブチロラクトンメタクリレート、メバロニックラクトンメタクリレート、パントラクトンメタクリレート等を例示することができるが、下記式(VI)で表される有機基を好ましく例示することができる。このとき、極性基は、下記Aに置換基として含有してもよいが、下記Cに含有することが好ましい。尚、極性基として、水酸基、及びカルボキシル基を代表的に例示するが、これらに限定されるわけではない。
−A−C・・・(VI)
式中、Aは、上記した2価の基と同様の意味を表し、Cは、下記式(VI-1)〜(VI-5)のいずれかを表す。
式(VI-1)〜(VI-5)中、Xは、酸素原子、硫黄原子又は置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R201は、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいアルキル基、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいシクロアルキル基、置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を含有していてもよいアルケニル基、水酸基又はカルボキシル基を表し、m1は、0又は1〜5のいずれかの整数を表し、m1が1以上であることが好ましく、R201が水酸基及び/又はカルボキシル基を含有することが好ましい。m1が2以上の場合、R201同士はそれぞれ同一であっても相異なっていてもよく、また相互に結合して環を形成してもよい。
有機基がラクトン環を有する式(I)中で表されるアクリル酸エステルとしては、下記式に示す化合物において、ラクトン環のいずれかの位置に置換基として水酸基及び/又はカルボキシル基を1又は2以上含有するものを具体的に例示することができる。
本発明のアクリル酸系重合体のアーム部には、式(I)で表されるアクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位以外に他の繰り返し単位を含むことができる。
さらに、本発明のアクリル酸系共重合体は、R及びRが極性基を含んでいない式(I)で表されるアクリル酸エステルから誘導される1種又は2種以上の繰り返し単位を有していてもよい。そのようなアクリル酸エステルとして具体的には、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸t−ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸−t−オクチル、クロルエチルアクリレート、2−エトキシエチルアクリレート、2,2−ジメチル−3−エトキシプロピルアクリレート、5−エトキシペンチルアクリレート、1−メトキシエチルアクリレート、1−エトキシエチルアクリレート、1−メトキシプロピルアクリレート、1−メチル−1−メトキシエチルアクリレート、1−(イソプロポキシ)エチルアクリレート、ベンジルアクリレート、メトキシベンジルアクリレート、フルフリルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート等のアクリル酸エステル類、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、アミルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、ヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、クロルベンジルメタクリレート、オクチルメタクリレート、2−エトキシエチルメタクリレート、4−メトキシブチルメタクリレート、5−メトキシペンチルメタクリレート、2,2−ジメチル−3−エトキシプロピルメタクリレート、1−メトキシエチルメタクリレート、1−エトキシエチルメタクリレート、1−メトキシプロピルメタクリレート、1−メチル−1−メトキシエチルメタクリレート、1−(イソプロポキシ)エチルメタクリレート、フルフリルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等のメタクリル酸エステル類、クロトン酸メチル、クロトン酸エチル、クロトン酸プロピル、クロトン酸アミル、クロトン酸シクロヘキシル、クロトン酸エチルヘキシル、クロトン酸オクチル、クロトン酸−t−オクチル、クロルエチルクロトネート、2−エトキシエチルクロトネート、2,2−ジメチル−3−エトキシプロピルクロトネート、5−エトキシペンチルクロトネート、1−メトキシエチルクロトネート、1−エトキシエチルクロトネート、1−メトキシプロピルクロトネート、1−メチル−1−メトキシエチルクロトネート、1−(イソプロポキシ)エチルクロトネート、ベンジルクロトネート、メトキシベンジルクロトネート、フルフリルクロトネート、テトラヒドロフルフリルクロトネート等のクロトン酸エステル類、イタコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、イタコン酸ジプロピル、イタコン酸ジアミル、イタコン酸ジシクロヘキシル、イタコン酸ビス(エチルヘキシル)、イタコン酸ジオクチル、イタコン酸−ジ−t−オクチル、ビス(クロルエチル)イタコネート、ビス(2−エトキシエチル)イタコネート、ビス(2,2−ジメチル−3−エトキシプロピル)イタコネート、ビス(5−エトキシペンチル)イタコネート、ビス(1−メトキシエチル)イタコネート、ビス(1−エトキシエチル)イタコネート、ビス(1−メトキシプロピル)イタコネート、ビス(1−メチル−1−メトキシエチル)イタコネート、ビス(1−(イソプロポキシ)エチル)イタコネート、ジベンジルイタコネート、ビス(メトキシベンジル)イタコネート、ジフルフリルイタコネート、ジテトラヒドロフルフリルイタコネート等のイタコン酸エステル類等。 特に、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタクリレート、1,1−ジメチルプロピルアクリレート、1,1−ジメチルメタクリレート等のエステル酸素α位に3級炭素を有するアルキル基であるアクリル酸エステルを好ましく例示することができる。
さらに、式(I)において具体的に例示されたアクリル酸エステルにおいて極性基を除いたアクリル酸エステルを同様に例示することができる。エステル基部分が脂環式炭化水素骨格を有する有機基である場合には、当該繰り返し単位の割合は、全繰り返し単位中、10〜80モル%であることが好ましく、20〜70モル%であることが好ましく、20〜60%であることがより好ましく、20〜55モル%がさらに好ましく、25〜50モル%であることが特に好ましい。また、エステル基部分がラクトン環を有する有機基である場合には、当該繰り返し単位の割合は、全体の繰り返し単位中、0〜60モル%であることが好ましく、10〜50モル%であることがより好ましく、20〜50モル%であることがさらに好ましい。また、本発明のアクリル酸系重合体は、少なくとも式(I)で表されるアクリル酸エステルとは異なる2種以上の上記例示したアクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含むことが好ましく、その1種は、エステル基部分が脂環式炭化水素骨格を有する有機基であり、他の1種は、エステル基部分がラクトン環を有する有機基であるものが好ましい。また、本件発明のアクリル酸系共重合体をレジスト材として用いる場合には、エステル基部分が酸分解/脱離性基であるアクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含むのが好ましい。酸分解/脱離性基とは、酸の作用により、分解又は脱離する基を意味し、具体的には、1−アダマンチル基、2−エチル−2−アダマンチル基、1−エチル−1−シクロへキシル基等の脂環式炭化水素基、又はt−ブチル基等を例示することができる。また、式(I)で例示されたアクリル酸エステルにおいても、酸分解/脱離性基を有するアクリル酸エステルであれば、同様に具体例として例示することができる。
アーム部中、各繰り返し単位の比率は、反応に用いる単量体の比率で任意に選択することができ、例えば、脂環式炭化水素骨格を有する繰り返し単位の含有量は、アーム部全繰り返し単位中、通常15〜70モル%であり、好ましくは25〜65モル%、更に好ましくは30〜60モル%であり、ラクトン環を有する繰り返し単位の含有量は、アーム部全繰り返し単位中0〜60モル%であり、好ましくは10〜60モル%、更に好ましくは15〜55モル%である。脂環式炭化水素骨格またはラクトン環を含まない構造を有する繰り返し単位の含有量は、通常全単量体繰り返し単位中0モル%〜100モル%であり、好ましくは2〜70モル%、更に好ましくは5〜60モル%である。
各繰り返し単位は、ランダム、ブロック、グラフト、デンドリティク等重合様式には限定されず配列することができるが、スターポリマーの最外殻(アーム部の末端)には、脂環式炭化水素骨格を有する有機基を有した構成単位を備えていることが好ましい。すなわち、スターポリマーの最外殻に、脂環式炭化水素骨格を有する有機基を有したアクリル酸エステルから誘導される構成単位を備えたものが好ましい。
アーム部の数平均分子量Mnは、ゲル透過クロマトグラフィー法により、ポリスチレン標準で、好ましくは1,000〜30,000、より好ましくは1,500〜10,000、更に好ましくは2,000〜6,000、の範囲であり、レジスト材等への応用を考えた場合には、5000以下、さらに4000以下であるのが好ましく、さらに3500以下であることがより好ましく、100〜3300であることが特に好ましい。重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)は、1.01〜3.00の範囲が好ましく、1.01〜2.00、さらには1.01〜1.30、さらに1.01〜1.20、さらには、1.01〜1.15の範囲が好ましい。
上述したアーム部分のポリマーは、本願発明のスターポリマーのパーツとしてのみではなく、ポリマーそのものとしてもレジスト材等に好適に用いることができる。
式(II)中、Rは、水素原子又は低級アルキルを表し、式(I)におけるRと同様の具体例を例示することができる。Rは、脂環式骨格含有官能基、またはラクトン環含有官能基を表し、式(I)におけるRと同様のもの、Rにおける具体例から極性基を除いたもの、及びRにおける具体例中の極性基の有無にかかわらずその他の置換基を適当な位置に有するもののうち、脂環式骨格、またはラクトン環骨格を有するものを、具体例として例示することができる。
数平均分子量は、4000以下であり、さらに3500以下であることがより好ましく、100〜3300であることが特に好ましい。重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)は、1.01〜3.00の範囲が好ましく、1.01〜2.00、さらには1.01〜1.30、さらに1.01〜1.20、さらには、1.01〜1.15の範囲が好ましい。
また、式(II-1)中、R31は、Rと同様の意味を表し、R41は、水酸基及び/又はカルボキシル基を有する脂環式骨格含有官能基またはラクトン環含有官能基を表し、式(I)中のRの極性基が、水酸基及び/又はカルボキシル基であり、脂環式骨格またはラクトン環骨格を有するものを具体例として例示することができる。数平均分子量は、5000以下、さらに4000以下であるのが好ましく、さらに3500以下であることがより好ましく、100〜3300であることが特に好ましい。重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)は、1.01〜3.00の範囲が好ましく、1.01〜2.00、さらには1.01〜1.30、さらに1.01〜1.20、さらには、1.01〜1.15の範囲が好ましい。
本発明のアクリル酸系重合体のコア部としては、多官能性カップリング剤を好適に例示することができ、例えば、3官能以上の化合物を例示することができ、3官能化合物であっても、反応することにより3官能以上の化合物を形成できる場合は、使用を妨げるものではない。特に、多官能性カップリング剤が重合架橋した構造を有するコア部が好ましい。
多官能性カップリング剤としては、公知の化合物を例示することができるが、特にポリアクリレート(ポリ(α−低級アルキル)アクリレートを意味する。)を好ましく例示することができる。
ポリアクリレートとしては、1分子内にアクリル酸エステル部分を2以上有する化合物であれば、特に限定されず、具体的には、エチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、グリセリントリアクリレート、シクロヘキサン−1,4−ジオールジアクリレート等を例示することができるが、下記式(VII)で表される部分構造を有するポリアクリレートを好適に例示することができる。
式中、R32は、水素原子又は低級アルキル基を表し、R42及びRは、それぞれ独立に、炭素原子で結合する有機基を表す。
この場合、有機基とは、少なくとも1つの炭素原子を有する官能基の総称を表し、炭素結合で結合する有機基とは、有機基中、C炭素のα位の元素が炭素原子であることを意味する。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、t−ブチル基、シクロプロピル基、シクロヘキシル基、ベンジル基、フェネチル基、フェニル基、1−ナフチル基、ビニル基、アリル基、エチニル基、プロパルギル基、クロロメチル基、2−クロロエチル基、1−クロロエチル基、2−ピリジル基、2−ピリジルメチル基等を例示することができる。
炭素は、酸素原子、R42及びRと結合する以外さらにもう一つの結合手を有するが、結合する相手方は、炭素原子である。すなわち、酸素原子、イオウ原子等の炭素原子以外の原子とは結合していないことを意味する。炭素原子を末端とするその他の部分としては、アクリル酸エステル構造を有する部分構造を少なくとも1つ有することのできる構造であれば特に制限されない。具体的には、下記式に示す構造を例示することができる。但し、式(VII)で表される部分構造、及びアクリル酸エステル部分構造は省略する。尚、2以上の式(VII)で表される部分構造は、同一であっても、相異なっていてもよい。
特に、下記式(VIII)で表される(α−低級アルキル)ポリアクリレートを好ましく例示することができる。
式(VIII)中、R11及びR21は、それぞれ独立に、水素原子又は低級アルキル基を表し、R12、R13、R22、及びR23は、それぞれ独立に、炭素原子を介して結合する有機基を表し、R及びRで例示した同様の具体例を例示することができる。R33は、2価連結基を表し、上記具体的に示した連結基のうち2価の連結基を同様に例示することができる。
式(VII)で表される部分構造を少なくとも2以上有する(α−低級アルキル)ポリアクリレートとして、以下に示す化合物を具体的に例示することができる。
本発明のアクリル酸系重合体において、アーム部とコア部の比率については特に限定されないが、式(I)で表されるアクリル酸エステル部分から誘導される繰り返し単位を含むアクリル酸エステルから誘導されるアーム部の繰り返し単位が、全ポリマー中、70モル%以上含まれていることが好ましく、70〜95モル%含まれていることがより好ましく、80〜95モル%含まれていることがさらに好ましい。
また、式(I)で表されるアクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位とコア部としてポリアクリレートから誘導される繰り返し単位を用いた場合の繰り返し単位の合計が、全ポリマー中、5モル%以上含まれていることが好ましく、5〜60モル%含まれていることがより好ましく、10〜40モル%含まれていることがさらに好ましい。また、式(I)で表されるアクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位は、溶剤への溶解性向上の点から、全ポリマー中、1モル%以上含まれていることが好ましく、1〜50モル%含まれていることがより好ましく、1〜20モル%含まれていることがさらに好ましく、1〜15モル%含まれていることが特に好ましい。
また、本発明のスターポリマーの重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との比(Mw/Mn)が1.00〜1.50の範囲にあることが好ましく、数平均分子量は、5,000〜100,000であるのが好ましい。
また、本発明のアクリル酸系重合体としては、ベンゼン環を含まないものが好ましい。ベンゼン環を含まないことにより、ArFレジスト材料としての使用に有利となり、例えば、ArFエキシマレーザー(193nm)を用いてレジストパターンを形成する際にも、193nm付近における透明性に優れているので、解像性を向上させることができる。
本発明のアクリル酸系重合体は、上記式(I)で表されるアクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を有するポリマー鎖をアーム部とし、ポリアクリレート等から誘導される繰り返し単位を有するポリマー鎖をコア部とするスターポリマーであることが好ましいが、特にその形状が限定されず、鎖状であっても、網目状構造であってもよい。スターポリマー以外の形状のポリマーであった場合であったとしても、構成単位として用いられる繰り返し単位は、先に例示したものと同様ものを例示することができる。
本発明のアクリル酸系共重合体又はスターポリマーの製造方法としては、反応速度やポリマーの立体構造を制御容易なアニオン重合が好ましく、これにより、上述したスターポリマーを容易に製造することができる。具体的に、かかる本発明のスターポリマーの製造方法としては、(1)アニオン重合開始剤の存在下、脂環式骨格、及びラクトン環等有するアクリル酸エステル等をアニオン重合してアームポリマーを合成し、次に、ポリアクリレート等のコア部となる多官能性カップリング剤を反応させる方法(アームファースト法)、(2)アニオン重合開始剤の存在下、ポリアクリレート等を反応させて、多官能性コアを形成した後、脂環式骨格、及びラクトン環等有するメタクリレート等をアニオン重合させる方法(コアファースト法)、(3)アニオン重合開始剤の存在下、脂環式骨格、及びラクトン環等有するアクリル酸エステル等をアニオン重合しアームポリマーを合成し、次に、多官能性カップリング剤を反応させ、さらに、アニオン重合可能なモノマーを反応させる方法等を例示することができる。上記(1)、(3)の方法が、反応の制御が容易であり、構造を制御したスターポリマーを製造する上で好ましい。
また、本発明のスターポリマーのアーム部を構成する低分子量で分子量分布の狭いアクリル酸系重合体を製造する方法として、モノマーから、重合活性末端を有する平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下のオリゴマーを形成し、該重合活性末端を有するオリゴマーを開始種として重合を行うことが好ましい。モノマーとしては、リビング重合を阻害しない構造を有するものであれば、特に限定されず、具体的には、上記例示した各アクリル酸エステルであって、リビング重合を阻害しない構造を有するものを例示することができる。かかる製造方法によれば、一旦、モノマーから重合活性末端を有する平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下の原料オリゴマーを形成するので、開始剤効率が明確となると共に反応開始活性種の量を確定することができ、重合体の分子制御が容易となって、分子量の揃った重合体を製造することができる。
上記(1)又は(3)の方法におけるアームポリマーを合成する重合反応としては、モノマー(混合)溶液中にアニオン重合開始剤を滴下する方法や、アニオン重合開始剤を含む溶液にモノマー(混合)液を滴下する方法のいずれの方法でも行うことができるが、分子量及び分子量分布を制御することができることから、アニオン重合開始剤を含む溶液にモノマー(混合)液を滴下する方法が好ましい。このアームポリマーの合成反応は、通常、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気下、有機溶媒中において、−100〜50℃、好ましくは−100〜40℃の範囲の温度下で行われる。
上記アームポリマーの合成反応に用いられる有機溶媒としては、n−ヘキサン、n−ヘプタン等の脂肪族炭化水素類、シクロヘキサン、シクロペンタン等の脂環族炭化水素類、ベンゼン、トルエン等の芳香族炭化水素類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン(THF)、ジオキサン等のエーテル類の他、アニソール、ヘキサメチルホスホルアミド等のアニオン重合において通常使用される有機溶媒を挙げることができ、これらは一種単独溶媒又は二種以上の混合溶媒として使用することができる。これらのうち、極性及び溶解性の観点から、テトラヒドロフランとトルエン、テトラヒドロフランとヘキサン、テトラヒドロフランとメチルシクロヘキサンの混合溶媒を好ましく例示することができる。
また、用いられる重合開始剤としては、アルカリ金属又は有機アルカリ金属を例示することができ、アルカリ金属としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、セシウム、ナトリウム−カリウム合金等を例示することができ、有機アルカリ金属としては、上記アルカリ金属のアルキル化物、アリル化物、アリール化物等を使用することができ、具体的には、エチルリチウム、n−ブチルリチウム、sec−ブチルリチウム、t−ブチルリチウム、エチルナトリウム、リチウムビフェニル、リチウムナフタレン、リチウムトリフェニル、ナトリウムナフタレン、カリウムナフタレン、α−メチルスチレンナトリウムジアニオン、1,1−ジフェニルヘキシルリチウム、1,1−ジフェニル−3−メチルペンチルリチウム、1,1−ジフェニルメチルカリウム、1,4−ジリチオ−2−ブテン、1,6−ジリチオヘキサン、ポリスチリルリチウム、クミルカリウム、クミルセシウム等を挙げることができ、これらの化合物は、1種単独で、または2種以上を混合して用いることができる。
本発明に用いられるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の鉱酸塩中、鉱酸としては、硫酸、硝酸、ホウ酸、塩酸、臭化水素酸、沃化水素酸、弗化水素酸、過塩素酸、炭酸等を例示することができ、特に、塩酸、臭化水素酸、沃化水素酸、弗化水素酸、過塩素酸が好ましく、さらに、塩酸が好ましい。
アルカリ金属およびアルカリ土類金属として具体的には、ナトリウム、カリウム、リチウム、バリウム、マグネシウム等を例示することができる。
アルカリ金属またはアルカリ土類金属の鉱酸塩として、特にアルカリ金属またはアルカリ土類金属のハロゲン化物が好ましく、具体的には、塩化リチウム、臭化リチウム、ヨウ化リチウム、フッ化リチウム、臭化ナトリウム、塩化マグネシウム、塩化カリウム、臭化カリウム等を例示することができ、特に塩化リチウムを使用することが好ましい。また、バリウムの塩化物、臭化物、ヨウ化物、ホウ酸リチウム、硝酸マグネシウム等を使用することも可能である。
用いる量は、アニオン重合開始剤に対して、モル比で、0.1当量以上、1当量未満の範囲が好ましく、さらに、0.15〜0.7当量、さらには0.20〜0.55当量の範囲が特に好ましい。0.1当量未満では、重合反応を制御できず分子量分布の狭い重合体を得ることができない。また、1当量以上では、開始剤効率が著しく低下し、分子量制御が困難になる。アルカリ金属またはアルカリ土類金属の鉱酸塩は、単量体と混合して、アニオン重合開始剤に添加することもできるが、単量体添加前に、アニオン重合開始剤とあらかじめ混合して用いるのが好ましい。
アームポリマーの重合形態としては、先述べたように特に限定されず、各成分が共重合体鎖全体に統計的に分布しているランダム共重合体、部分ブロック共重合体、完全ブロック共重合体を挙げることができ、これらは、用いるアクリル酸エステル類の添加方法を選択することによりそれぞれ合成することができる。
このようにして得られたアームポリマーを分岐ポリマー鎖としてスターポリマーを生成せしめる反応は、アームポリマー合成反応終了後、反応液中へさらに前述のポリアクリレートを添加することにより行うことができる。この反応は通常、窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で、有機溶媒中において−100℃〜50℃、好ましくは−70℃〜40℃の温度で重合反応を行うことにより構造が制御され、且つ分子量分布の狭い重合体を得ることができる。また、かかるスターポリマーの生成反応は、アームポリマーを形成させるのに用いた溶媒中で連続して行うこともできる他、溶媒を添加して組成を変更して、又は溶媒を別の溶媒に置換して行うこともできる。かかる溶媒としては、アームポリマーの合成反応に用いられる溶媒と同様の溶媒を用いることができる。
本発明のスターポリマーの製造方法において、ポリアクリレート(P)と、アニオン重合開始剤を重合開始剤とするアニオン重合法により脂環式骨格、及びラクトン環を有するアクリル酸エステル等重合させたポリマー鎖の活性末端(D)のモル比[(P)/(D)]を0.1〜10とするのが好ましい。アームポリマー鎖とポリアクリレートとの反応は、活性末端を有するアームポリマー鎖にポリアクリレートを添加する方法、ポリアクリレートに活性末端を有するアームポリマー鎖を添加する方法のいずれの方法も採用することができる。
予め調整されたアームポリマー鎖とポリアクリレート等を反応させることにより形成される活性末端を有する多官能性コアに対して、アニオン重合可能なモノマーを反応させ新たなアームポリマー鎖を形成させる(3)の方法では、異なる種類のアームポリマー鎖有するスターポリマーを製造することができる。中心核に存在する活性末端に対して、直接重合可能なモノマーを反応させることもできるが、ジフェニルエチレン、スチルベン等の化合物を反応させた後、また、塩化リチウム等のアルカリ金属又はアルカリ土類金属の鉱酸塩を添加した後、モノマーを反応させた方が、アクリル酸誘導体のように反応性の高いモノマーを反応させる場合、ゆっくりと重合反応を進行させることができ、生成するスターポリマーの全体の構造を制御する上で有利となる場合がある。また、上記反応は、活性末端を有する中心核を形成させるのに用いた溶媒中で連続して行うこともできる他、溶媒を添加して組成を変更して、又は溶媒を別の溶媒に置換して行うこともできる。かかる溶媒としては、アームポリマーの合成に用いた溶媒と同様の溶媒を例示することができる。また、上記(3)の方法における中心核に存在する活性末端に対して新たに導入されたアームポリマー鎖、又は上記(2)の方法におけるアームポリマー鎖として、2種のモノマーを混合して反応させることにより、ランダム共重合したポリマー鎖とすることも、また、2種のモノマーを順次添加することでブロックポリマー鎖とすることも可能である。また、反応終了後、二酸化炭素、エポキシ等を添加することにより、末端に官能基を導入することも可能である。
また、上記のように、水酸基及び/又はカルボキシル基等の極性基を有する有機基を含有する式(I)で表されるアクリル酸エステルをそのままの状態で共重合させることにより、水酸基及び/又はカルボキシル基を有する有機基を含有する本発明のアクリル酸系重合体(スターポリマー)を製造することも可能であるが、アニオン重合をスムーズに進行させることができる点から、アニオン重合において、式(I)で表されるアクリル酸エステルにおける水酸基及び/又はカルボキシル基を保護基で保護して重合を行った後、脱保護を行うことにより、本発明のアクリル酸系重合体を製造することが好ましい。具体的には、例えば、水酸基及び/又はカルボキシル基を有する有機基を含有する式(I)で表されるアクリル酸エステルを溶媒に溶解後、アセタール等の保護基を形成可能な化合物を加えて、水酸基等の保護を行い重合した後、ポリアクリレート等の多官能性カップリング剤と重合を行い、次いで、酸を加えることにより、脱保護を行い、水酸基及び/又はカルボキシル基を有する有機基を含有するアクリル酸系共重合体(スターポリマー)を製造する。
本発明の重合体の製造方法としては、リビング重合による重合体の製造方法であって、モノマーから、重合活性末端を有する平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下のオリゴマーを形成し、該重合活性末端を有するオリゴマーを開始種として重合できる重合方法であれば、特に制限されず、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合のいずれの重合法であってもよいが、アニオン重合法が特に好ましい。
本発明における平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下とは、モル平均で平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下であることを意味し、ゲル浸透クロマトグラフ分析により求められた値をいう。平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下の重合活性末端を有する原料オリゴマーとしては、例えば、1〜5量体が90モル%以上であり、95モル%であることが好ましく、100モル%であることが特に好ましい。また、実際に目的の量体数の重合活性末端を有する原料オリゴマーを形成する際の容易性及び確実性の観点から、2量体又は3量体の重合活性末端を有する原料オリゴマー、すなわち、好ましくは平均1.5〜4.0量体、より好ましくは平均1.5〜3.5量体、さらに好ましくは平均2〜3.5の重合活性末端を有する原料オリゴマーを形成することが好ましい。また、成長反応をより規制できるよう初期の量体数を揃えるといった点まで考慮すると、例えば、2量体又は3量体が50モル%以上含まれていることが好ましく、60モル%であることがより好ましく、70モル%以上であることが特に好ましい。
また、本発明の製造方法においては、重合活性末端を有するオリゴマーの形成段階で、モノマーを消失させることが好ましい。モノマーを消失させることにより、開始種の量をより確実に把握することができる。モノマーが消失したことは、例えば、ガスクロマトグラフィー(GC)で確認することができる。また、重合活性末端を有するオリゴマーの形成段階で、モノマー及び重合活性末端を有する1量体を消失させることが好ましい。すなわち、原料モノマーのすべてが2量体以上になるような量のモノマーを加え、原料モノマー及び重合活性末端を有する1量体を消失させることにより、量子数を把握することによって、開始種の量を把握することができる。
また、モノマーを1度に添加して重合活性末端を有するオリゴマーを形成してもよいが、少なくとも2回以上に分割してのモノマーを添加して重合活性末端を有するオリゴマーを形成することが好ましい。これにより、前段階(例えば、1段階目)において、オリゴマー形成段階で最終的に加える予定のモノマーよりも少量を加えて、開始剤の活性量(活性効率)を確認することができるので、加えるモノマーの量を調整することが可能となる。すなわち、通常、重合条件等によって触媒効率が変化しやすく、予想外に活性効率が高い場合や低い場合も生じることが考えられるが、このような場合にも対応することができる。また、予想以上に活性効率が高かった場合でも、次段階で確実にモノマー(及び重合活性末端を有する1量体)を消失させることができる。
また、上記重合活性末端を有するオリゴマーの形成及び/又は他の原料との重合の反応は、通常、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気下、有機溶媒中において、−20℃以下の条件下で行うことが好ましく、−25℃以下の条件下で行うことがより好ましく、−70〜−30℃の条件下で行うことがさらに好ましい。これにより、より確実に反応を進めることができる。
本発明の製造方法に用いられるモノマーとしては、リビング重合が可能なモノマーであれば特に制限されるものではなく、例えば、エチレン、スチレン、ブタジエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、(α−低級アルキル)アクリル酸、(α−低級アルキル)アクリル酸メチル、メチルビニルケトン、(α−低級アルキル)アクリルアミド、(α−低級アルキル)アクリルニトリル、塩化ビニデン、(α−低級アルキル)アクリル酸エステル等を挙げることができる。尚、(α−低級アルキル)アクリル酸等が意味するところは、(α−低級アルキル)アクリル酸エステルの意味するところと同様である。
以下、本発明を実施例を用いてさらに詳細に説明するが、本発明の範囲は、実施例に限定されるものではない。
(合成例1)
窒素雰囲気下において、1−ヒドロキシ−3−メタクロイルオキシアダマンタン(HAMA)23.6g(0.1モル)をテトラヒドロフラン(THF)100mlに溶解後、ビニルエチルエーテル21.6g(0.3モル)と塩酸0.1ml(1ミリモル)を加え室温で3日間攪拌した。NaCO水溶液を加え中和後分液し、上層をpH=7になるまで水洗した。MgSO4を加え脱水濾過後、濃縮乾固することによって1−(1’−エトキシエトキシ)−3−メタクロイルオキシアダマンタン(EEAM)を得た。収量30g(収率99%)
窒素雰囲気下において、塩化リチウム8ミリモルを含むTHF360gを−40℃に保持し、撹拌下、sec−ブチルリチウム(SBL)14ミリモルを加えて、1−(1−メタクリロイルオキシ−1−メチルエチル)アダマンタン(IAMA)33ミリモルを含むTHF溶液25gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略す)にてIAMA単量体が完全に消費したことを確認した。次にIAMA45ミリモルと(±)−オクタヒドロ−3−オキソ−4,7−メタノイソベンゾフラン−5−イルメタクリレートとその位置異性体である(±)−オクタヒドロ−1−オキソ−4,7−メタノイソベンゾフラン−5−イルメタクリレートの混合物(TLMA)89ミリモルとEEAM11ミリモル、tert−ブチルメタクリレート(tBMA)20ミリモルを含むTHF溶液78gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した。
次いで、2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール ジメタクリレート(MDMA) 25ミリモルを含むTHF溶液14gを滴下し、更に30分反応を継続して反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてMDMA単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー54gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=28500、Mw/Mn=1.25、面積=55%、アームポリマー部分でMw=3700、Mw/Mn=1.22、面積=45%であった。
次に、得られたポリマー54gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー53gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=28300、Mw/Mn=1.25、面積=55%、アームポリマー部分でMw=3600、Mw/Mn=1.22、面積=45%であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、IAMA:HAMA:TLMA:tBMA:MDMA=35:5:40:9:11(モル比)であった。
以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、IAMA/HAMA/TLMA/tBMAをアーム部とし、MDMAをコア部とするスターポリマーが生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム10ミリモルを含むTHF310gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL19ミリモルを加えて、IAMA27ミリモルを含むTHF溶液20gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてIAMA単量体が完全に消費したことを確認した。次にIAMA30ミリモルとTLMA76ミリモルとEEAM19ミリモル、tBMA7ミリモルを含むTHF溶液65gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した。
次いで、MDMA 29ミリモルを含むTHF溶液16gを滴下し、更に30分反応を継続して反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてMDMA単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー47gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=29000、Mw/Mn=1.34、面積=57%、アームポリマー部分でMw=2900、Mw/Mn=1.22、面積=43%であった。
次に、得られたポリマー47gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー46gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=29300、Mw/Mn=1.33、面積=58%、アームポリマー部分でMw=2800、Mw/Mn=1.21、面積=42%であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、IAMA:HAMA:TLMA:tBMA:MDMA=30:10:40:4:16(モル比)であった。以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、IAMA/HAMA/TLMA/tBMAをアーム部としMDMAをコア部とするスターポリマーが生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム10ミリモルを含むTHF320gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL19ミリモルを加えて、IAMA27ミリモルを含むTHF溶液20gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてIAMA単量体が完全に消費したことを確認した。次にIAMA30ミリモルとTLMA67ミリモルとEEAM28ミリモル、tBMA7ミリモルを含むTHF溶液67gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した。
次いで、MDMA 29ミリモルを含むTHF溶液16gを滴下し、更に30分反応を継続して反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてMDMA単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー48gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=26000、Mw/Mn=1.30、面積=58%、アームポリマー部分でMw=2900、Mw/Mn=1.22、面積=42%であった。
次に、得られたポリマー48gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー46gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=25900、Mw/Mn=1.29、面積=58%、アームポリマー部分でMw=2800、Mw/Mn=1.22、面積=42%であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、IAMA:HAMA:TLMA:tBMA:MDMA=30:15:35:4:16(モル比)であった。以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、IAMA/HAMA/TLMA/tBMAをアーム部とし、MDMAをコア部とするスターポリマーが生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム7ミリモルを含むTHF310gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL14ミリモルを加えて、1−エチル−1−シクロへキシルメタクリレート(ECHMA)31ミリモルを含むTHF溶液12gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMA単量体が完全に消費したことを確認した。次にECHMA42ミリモルとTLMA84ミリモルとEEAM10ミリモル、tBMA19ミリモルを含むTHF溶液68gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した。
次いで、MDMA 23ミリモルを含むTHF溶液13gを滴下し、更に30分反応を継続して反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてMDMA単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー46gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=23000、Mw/Mn=1.24、面積=61%、アームポリマー部分でMw=3500、Mw/Mn=1.22、面積=39%であった。
次に、得られたポリマー46gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー45gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=22700、Mw/Mn=1.23、面積=61%、アームポリマー部分でMw=3400、Mw/Mn=1.22、面積=39%であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:HAMA:TLMA:tBMA:MDMA=35:5:40:9:11(モル比)であった。以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、ECHMA/HAMA/TLMA/tBMAをアーム部とし、MDMAをコア部とするスターポリマーが生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム8ミリモルを含むTHF320gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL15ミリモルを加えて、ECHMA33ミリモルを含むTHF溶液13gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMA単量体が完全に消費したことを確認した。次にECHMA44ミリモルとTLMA88ミリモルとEEAM22ミリモル、tBMA9ミリモルを含むTHF溶液75gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した。
次いで、MDMA 24ミリモルを含むTHF溶液14gを滴下し、更に30分反応を継続して反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてMDMA単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー50gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=24700、Mw/Mn=1.24、面積=58%、アームポリマー部分でMw=3300、Mw/Mn=1.20、面積=42%であった。
次に、得られたポリマー50gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状スターポリマー48gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=24200、Mw/Mn=1.24、面積=58%、アームポリマー部分でMw=3300、Mw/Mn=1.20、面積=42%であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:HAMA:TLMA:tBMA:MDMA=35:10:40:4:11(モル比)であった。
以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、ECHMA/HAMA/TLMA/tBMAをアーム部とし、MDMAをコア部とするスターポリマーが生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム7ミリモルを含むTHF320gを−40℃に保持し、撹拌下、sec−ブチルリチウム(SBL)14ミリモルを加えて、1−エチル−1−シクロヘキシルメタクリレート(ECHMA)25ミリモルを含むTHF溶液10gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略す)にてECHMA単量体が完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均2.5量体であることを確認した。次にECHMA5ミリモルを含むTHF溶液2gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMA単量体が完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均3量体であることを確認した。次いで、ECHMA41ミリモルと(±)−オクタヒドロ−3−オキソ−4,7−メタノイソベンゾフラン−5−イルメタクリレートとその位置異性体である(±)−オクタヒドロ−1−オキソ−4,7−メタノイソベンゾフラン−5−イルメタクリレートの混合物(TLMA)82ミリモルとEEAM10ミリモル、tert−ブチルメタクリレート(tBMA)18ミリモルを含むTHF溶液66gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー39gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、Mw=2800、Mw/Mn=1.14であった。
次に、得られたポリマー39gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー38gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、Mw=2700、Mw/Mn=1.14であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:HAMA:TLMA:tBMA=39:6:45:9(モル比)であった。
以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、ECHMA/HAMA/TLMA/tBMA共重合体が生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム8ミリモルを含むTHF330gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL16ミリモルを加えて、ECHMA25ミリモルを含むTHF溶液10gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMA単量体が完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均2.5量体であることを確認した。次にECHMA5ミリモルを含むTHF溶液2gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMA単量体が完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均3量体であることを確認した。次いで、ECHMA51ミリモルとTLMA82ミリモルとEEAM41ミリモルを含むTHF溶液84gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー48gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、Mw=3500、Mw/Mn=1.16であった。
次に、得られたポリマー39gをTHFに溶解して30%溶液とし、3%塩酸2gを加えて室温で1時間反応を行った後、反応液を大量のメタノールに投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー36gを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、Mw=3200、Mw/Mn=1.15であった。13C−NMRにより93ppm付近のエトキシエトキシ基に由来するシグナルが消失したことから、脱エトキシエトキシ化反応が完結していることを確認した。また。13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:HAMA:TLMA=40:20:40(モル比)であった。
以上のことから、反応およびその後の脱離反応は目標通り行われ、ECHMA/HAMA/TLMA共重合体が生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム8ミリモルを含むTHF330gを−40℃に保持し、撹拌下、sec−ブチルリチウム(SBL)16ミリモルを加えて、1−エチル−1−シクロヘキシルメタクリレート(ECHMA)25ミリモルを含むTHF溶液10gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略す)にてECHMAモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均2.5量体であることを確認した。次にECHMA5ミリモルを含むTHF溶液2gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMAモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均3.0量体であることを確認した。次いで、ECHMA51ミリモルと±)−オクタヒドロ−3−オキソ−4,7−メタノイソベンゾフラン−5−イルメタクリレートとその位置異性体である(±)−オクタヒドロ−1−オキソ−4,7−メタノイソベンゾフラン−5−イルメタクリレートの混合物(TLMA)82ミリモルとEEAM41ミリモルを含むTHF溶液84gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてモノマーが完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー43g(収率100%)を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、開始剤と各モノマーのモル比と分子量から算出した計算値Mn=3000に対し、Mn=3100、Mw=3500、Mw/Mn=1.15であった。また、13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:EEAM:TLMA=40:20:40(モル比)であった。
以上のことから、反応は目標通りに行われると共に高い開始剤効率を示し、狭い分子量分布を有するECHMA/EEAM/TLMA共重合体が生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム120ミリモルを含むTHF300gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL27ミリモルを加えて、ECHMA40ミリモルを含むTHF溶液10gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略す)にてECHMAモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均1.7量体であることを確認した。次にECHMA6ミリモルを含むTHF溶液3gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてECHMAモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均2.0量体であることを確認した。次いで、ECHMA46ミリモルとTLMA92ミリモルとEEAM46ミリモルを含むTHF溶液62gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてモノマーが完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー54g(収率100%)を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、開始剤と各モノマーのモル比と分子量から算出した計算値Mn=2000対し、Mn=1900、Mw=2100、Mw/Mn=1.11であった。また、13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:EEAM:TLMA=40:20:40(モル比)であった。
以上のことから、反応は目標通り行われると共に高い開始剤効率を示し、狭い分子量分布を有するECHMA/EEAM/TLMA共重合体が生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム8ミリモルを含むTHF310gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL16ミリモルを加えて、EEAM24ミリモルを含むTHF溶液10gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略す)にてEEAMモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均2.5量体であることを確認した。次にEEAM4ミリモルを含むTHF溶液3gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてEEAMモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均3.0量体であることを確認した。次いで、ECHMA76ミリモルとTLMA76ミリモルとEEAM10ミリモルを含むTHF溶液84gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにて単量体が完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマー48g(収率100%)を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、開始剤と各モノマーのモル比と分子量から算出した計算値Mn=2800対し、Mn=3400、Mw=4000、Mw/Mn=1.16であった。また、13C−NMR測定からこのポリマー組成比は、ECHMA:EEAM:TLMA=40:20:40(モル比)であった。
以上のことから、反応は目標通り行われると共に高い開始剤効率を示し、狭い分子量分布を有するECHMA/EEAM/TLMA共重合体が生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、塩化リチウム6ミリモルを含むTHF300gを−40℃に保持し、撹拌下、SBL16ミリモルを加えて、1−(1−メタクリロイルオキシ−1−メチルエチル)アダマンタン(IAMA)32ミリモルを含むTHF溶液9gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応液を少量取り出し、GCにてIAMAモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均2.5量体であることを確認した。次にIAMA4ミリモルを含むTHF溶液5gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてIAMAモノマーが完全に消費したことを確認し、GPC分析から平均3.0量体であることを確認した。次いでIAMA67ミリモルとTLMA54ミリモルとtBMA34ミリモルを含むTHF70gを滴下し、30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてモノマーが完全に消費したことを確認した。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、開始剤と各モノマーのモル比と分子量から算出した計算値Mn=2800対し、Mn=2800、Mw=3200、Mw/Mn=1.15であった。
次に、2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール ジメタクリレート(MDMA)36ミリモルを含むTHF溶液20gを滴下し、更に30分反応を継続して、反応系から反応溶液を少量取り出し、GCにてMDMAモノマーが完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量の水に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、乾燥して白色粉末状ポリマーを得た。得られたポリマーをTHFに再溶解後、多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、10時間減圧乾燥して白色粉末状スターポリマーを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、スターポリマー部分でMw=32000、Mw/Mn=1.24、面積=75%、アーム部分でMw=3000、Mw/Mn=1.25、面積=25%であり、13C―NMR測定からこのポリマー組成比は、IAMA:TLMA:tBMA:MDMA=45:24:15:16(モル比)であった。
以上のことから、反応は効率良く行われ、最外殻にIAMAユニットを配置したIAMA/HAMA/TLMA/tBMAをアーム部としMDMAをコアー部とするスターポリマーが生成したことを確認した。
窒素雰囲気下において、を含むTHF300gを−40℃に保持し、撹拌下、を加えて、ECHMA82ミリモル、TLMA82ミリモル、EEAM41ミリモルを含むTHF溶液10gを滴下し30分反応を継続した。反応系から反応溶液を少量取り出し、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略す)にてモノマーが完全に消費したことを確認した後、塩酸を含むTHF溶液により反応を停止させた。反応停止液を多量のメタノール中に投入してポリマーを析出させ、ろ過、洗浄後、減圧乾燥して白色粉末状ポリマーを得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、開始剤と各モノマーのモル比と分子量から算出した計算値Mn=1200対し、Mn=3200、Mw=3800、Mw/Mn=1.22であった。
以上のように、低分子量であり、かつ分子量の揃った共重合体の製造を確認した。

Claims (20)

  1. 式(I)
    (式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、極性基を有する有機基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位をアーム部に有するスターポリマーであることを特徴とするアクリル酸系重合体。
  2. 式(I)のRが、極性基を含有する脂環式官能基または極性基を有するラクトン環含有官能基であることを特徴とする請求項1に記載のアクリル酸系重合体。
  3. 式(I)中のRの極性基が、水酸基、保護された水酸基、カルボキシル基、又はエステル基であることを特徴とする請求項1または2に記載のアクリル酸系重合体。
  4. コア部が、多官能性カップリング剤が架橋したコアであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
  5. 多官能性カップリング剤が、1分子あたり少なくとも2つの重合性2重結合を有する化合物であることを特徴とする請求項4に記載のアクリル酸系重合体。
  6. 多官能性カップリング剤が、ポリ(α−低級アルキル)アクリレートであることを特徴とする請求項4または5に記載のアクリル酸系重合体。
  7. アーム部ポリマーの数平均分子量が、5000以下であることが特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
  8. アーム部ポリマーの数平均分子量が、4000以下であることが特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
  9. ポリ(α−低級アルキル)アクリレートから誘導される繰り返し単位と、式(I)
    (式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、極性基を有する有機基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル酸系重合体。
  10. 重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が1.01〜1.50であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
  11. 式(II)

    (式中、Rは、水素原子又は低級アルキル基を表し、Rは、脂環式骨格含有官能基、またはラクトン環含有官能基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含み、数平均分子量(Mn)が4000以下であることを特徴とするアクリル酸系重合体。
  12. 式(II)中のRが、極性基を有する脂環式骨格含有官能基、または極性基を有するラクトン環含有官能基であることを特徴とする請求項11に記載のアクリル酸系重合体。
  13. 式(II)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位以外の(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含む共重合体であることを特徴とする請求項11又は12のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
  14. 式(II-1)

    (式中、R31は、水素原子又は低級アルキル基を表し、R41は、水酸基及び/又はカルボキシル基を有する脂環式骨格含有官能基またはラクトン環含有官能基を表す。)で表される(α−低級アルキル)アクリル酸エステルから誘導される繰り返し単位を含み、数平均分子量(Mn)が5000以下であることを特徴とするアクリル酸系重合体。
  15. 重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が1.01〜1.30であることを特徴とする請求項10〜14のいずれかに記載のアクリル酸系重合体。
  16. リビング重合による重合体の製造方法であって、モノマーから、重合活性末端を有する平均1.0量体を超えて平均4.0量体以下のオリゴマーを形成し、重合活性末端を有するオリゴマーを開始種として重合することを特徴とする重合体の製造方法。
  17. 重合活性末端を有するオリゴマーの形成段階で、モノマーを消失させることを特徴とする請求項16に記載の重合体の製造方法。
  18. モノマーを少なくとも2回以上に分割して添加し、重合活性末端を有するオリゴマーを形成することを特徴とする請求項16又は17に記載の重合体の製造方法。
  19. リビング重合が、アニオン重合であることを特徴とする請求項16〜18のいずれかに記載の重合体の製造方法。
  20. −20℃以下の条件下で、重合活性末端を有するオリゴマーの形成及び/又は重合を行うことを特徴とする請求項16〜19のいずれかに記載の重合体の製造方法。
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