JPWO2002079699A1 - 生産システム - Google Patents

Abstract

本発明は、ワークの加工、組立等の作業時において塵埃の侵入を防止し得る環境が要求される場合に清浄雰囲気からなる作業環境を提供することができる生産システムに関するものである。生産システム（１）は、ワーク（２）に対して作業を行うワーク作業セクション（４ａ〜４ｐ）を有する複数の機械装置（３ａ〜３ｇ）と、ワーク作業セクション（４ａ〜４ｐ）を清浄雰囲気に保持する手段と、ワーク（２）の位置をそのワーク作業セクション（４ａ〜４ｐ）内で移動させる搬送手段（８）と、該搬送手段（８）を駆動するワーク作業セクション（４ａ〜４ｐ）の外側に設けた作業駆動手段と、各機械装置３のワーク作業セクション（４ａ〜４ｐ）を相互に連結しワーク（２）を一方の機械装置（３ａ〜３ｇ）から他方の機械装置（３ａ〜３ｇ）へ搬送する搬送管（７）とを備えることで、生産システム（１）における作業領域の小型化と機械装置（３ａ〜３ｇ）の移動、配置換えの簡便化を図る。

Description

技術分野
本発明は、生産システムに関する。さらに詳述すると、本発明はワークの加工作業時や組立作業時において塵埃の侵入を防止し得る環境が要求される場合に清浄雰囲気からなる作業環境を提供することができる生産システムの形態や構造に関する。
背景技術
内部に含まれる塵埃が少なく清浄度が高いモータ等を生産する場合にクリーンな環境を確保しながら加工・組立作業を行うべく、ワークの搬送、装置へのセット等の工程を清浄雰囲気下で行うようにした生産システムが開発されている。この場合、生産装置間におけるワーク搬送もクリーンルームやクリーンブース内で行われるため、搬送装置を低発塵とする対策がとられ、ワークそのものはクリーンルーム内を裸で搬送されるようになっている。
そこで、従来、このような生産システムにおいて大きいワークを搬送等する必要がある場合には、生産装置自体をクリーンルームに持ち込んで設置するのが便宜であった。
しかしながら、このような生産システムは、クリーンルームのサイズを作業員が作業しうる程度の大きさに確保し、さらにそのルーム内を常に必要とされるクラスのクリーン状態に保たなければならないので設備費にコストがかかる問題がある。
しかも、クリーン環境での生産システムにおいては、発熱・発塵などの面で生産装置そのものも大きな問題を有し、環境維持のコストやエネルギーが多大になってしまうことも問題である。
そこで、本発明は、ワークの加工作業や組立作業等に必要なクリーンルームを低コストで実現する生産システムを提供することを目的とする。
発明の開示
かかる目的を達成するため、本発明にかかる生産システムは、ワークに対して作業を行うワーク作業セクションを有する複数の機械装置と、ワーク作業セクションを清浄雰囲気に保持する手段と、ワークの位置をそのワーク作業セクション内で移動させる搬送手段と、該搬送手段を駆動するワーク作業セクションの外側に設けた作業駆動手段と、各機械装置のワーク作業セクションを相互に連結しワークを一方の機械装置から他方の機械装置へ搬送する搬送管とを備えるようにしたものである。
この生産システムでは、クリーンルーム内すべての雰囲気を清浄とする代わりに、少なくともワークに対して作業を行うよう外界と区切られた作業領域内を清浄雰囲気に保持するようにし、ワークの加工・組立に必要十分な範囲でクリーン環境をルーム内の一部に形成することにより、クリーンルーム内すべてを清浄とする場合に比べてコストを削減できる。このため、クリーン環境を形成する場合の低コスト化を図りながら清浄度が高いモータ等を生産することが可能となる。この生産システムでは、少なくともワークの加工や組立あるいは搬送に必要な領域を十分な清浄雰囲気にし得るようにしている。このため、クリーン化された装置の小型化を可能とし、コストダウンおよび装置の移動、配置換えが簡単となる。また、作業機械、ロボット等の発熱、発塵などの影響を受けない。
また、ワーク作業セクションどうしが中空の搬送管によって連結されているため、あるワーク作業セクションで作業を終えたワークは外気に触れることなく次のワーク作業セクションに移動することができる。しかも、装置間を連結する搬送管のコンパクト化を可能とし、必要最小限の大きさ、長さで作業ができる。
また、本発明にかかる生産システムにおいては、搬送管が清浄雰囲気に保持されていることが好ましい。この場合、搬送管は、必要な大きさの清浄雰囲気スペースを外界から区切って形成し、このスペースをワークが一のワーク作業セクションから他のワーク作業セクションまで清浄雰囲気下で移動するために必要な移動空間としている。したがって、この生産システムによると、ワークを加工・組立作業中において常に清浄雰囲気下で搬送することができる。
また、本発明にかかる生産システムにおいて、機械装置は、各々独立に清浄雰囲気に保持される複数のワーク作業セクションを有していることが好ましい。この場合、ある一つの機械装置において複数の作業を行うことが可能となる。
また、本発明にかかる生産システムにおいて、搬送手段は、ワーク作業セクションの外側からワークにアクセスしてこのワークを移動させるものであることが好ましい。この場合、搬送手段すべてを清浄雰囲気下に設ける必要がなくなる。したがって、一層のシステム小型化が図れる。
また本発明にかかる生産システムは、外界と区切られてワークに対する作業領域を形成し少なくともワークおよびこのワークを移動させる搬送手段の作業端をこの作業領城内に収容するワーク作業セクションと、該ワーク作業セクションの作業領域を清浄雰囲気に保持する清浄手段を含む清浄気流発生領域と、前記搬送手段を駆動する作業駆動手段の一部または全部が設けられる機構領域とを有し、かつ、ワーク作業セクションを相互に連結しワークを一つのワーク作業セクションから他のワーク作業セクションへ搬送する搬送管を備えている。この生産システムによると、ワークの加工・組立あるいは搬送に必要十分な領域で清浄雰囲気を提供でき、クリーン化された装置の小型化、コストダウンおよび装置の移動・配置換えの容易化を実現する。
また、本発明にかかる生産システムは、清浄雰囲気を作業駆動手段側でも保持する小孔、または搬送手段の移動を許容するスリットを備える隔壁が、ワーク作業セクションと作業駆動手段との間に設けられていることが好ましい。この場合、作業領域内における清浄度が維持されるように作業領域を機構領域に対して陽圧となるように保つことができ、尚かつ、清浄空気に対する抵抗を少なくして下方側に形成されている機構領域への十分な空気の流れを確保し、作業領域内の塵埃が外部に排出されやすくできる。
この隔壁は、小孔を通じて清浄空気を作業駆動手段側に流通させることから、作業駆動手段側でも清浄雰囲気を保持する。
この場合において、隔壁は、搬送管、作業駆動手段、および搬送手段の少なくともいずれか一が取付可能であることが好ましい。この場合の隔壁はこれらの取付基台として機能し、また、万が一ワークが落下してもこのワークを受け止める受け止め台としても機能する。
さらに、本発明にかかる生産システムにおいては、清浄気流を透過させる小孔、または搬送手段の移動を許容するスリットを備える隔壁が、ワーク作業セクションと機構領域との間に設けられていることが好ましい。
この場合において、隔壁は、搬送管、作業駆動手段、および搬送手段の少なくともいずれか一つが取付可能であることが好ましい。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
Ｆｉｇ．１〜Ｆｉｇ．８に、本発明の一実施形態を示す。本発明の生産システム１は、ワーク２に対して作業を行うワーク作業セクション４を有する複数の機械装置３と、ワーク作業セクション４を清浄雰囲気に保持する手段５（以下「清浄手段５」という）と、ワーク２の位置をそのワーク作業セクション４内で移動させる搬送手段８と、該搬送手段８を駆動するワーク作業セクション４の外側に設けた作業駆動手段６と、各機械装置３のワーク作業セクション４を相互に連結しワーク２を一方の機械装置３から他方の機械装置３へ搬送する搬送管７とを備えるものである。なお、Ｆｉｇ．１においては、本実施形態における生産システム１の大きさの概略を示すため比較対象としてＡ４用紙（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）を一緒に記載している。
以下では、動圧軸受モータを生産する生産システム１の実施形態を説明する。本実施形態の生産システム１は、Ｆｉｇ．１のように符号３ａ〜３ｇで示す複数の機械装置３を備える。これら機械装置３ａ〜３ｇは、Ｆｉｇ．３に示すように清浄手段５からなる清浄下降気流発生領域、作業領域９、機構領域１０の３つの領域に区切られ、符号７ａ〜７ｇで示す複数の搬送管によって外気と遮断された状態で連結されている。ワーク２としての動圧軸受モータまたはこれを構成する部品は、搬送管７ａ〜７ｇを適宜通過して各機械装置３ａ〜３ｇ間を搬送される。
各機械装置３ａ〜３ｇは、シャフト供給セクション４ａなど各々独立で清浄雰囲気状態に保持され互いに機能が異なる単数ないし複数のワーク作業セクション４、別の言い方をすればワーク２たる動圧軸受モータの加工・組立を流れ作業的に行う各作業部門を有している。例えば本実施形態の場合、機械装置３ａはシャフト供給セクション４ａ，プレート供給セクション４ｂ，軸圧入セクション４ｃおよびヒータセクション４ｄからなり、機械装置３ｂは垂直度検査セクション４ｅからなり、機械装置３ｃは筒洗浄セクション４ｆからなり、機械装置３ｅは筒内径計測セクション４ｋからなり、機械装置３ｆは底接着封止セクション４ｍ，底焼嵌セクション４ｎおよびヒートセクション４ｏからなり、機械装置３ｇはオーブンセクション４ｐからなる。また、機械装置３ａから機械装置３ｄに至るまでの間に、軸径計測セクション４ｇ，軸組軸系毎ストックセクション４ｈ，対応軸組選択セクション４ｉおよび軸挿入セクション４ｊが設けられている。この場合、基本的にはワーク２を送る縦方向に各ワーク作業セクション４を配置しているが、必要に応じて横方向に追加の作業領域を設けても構わない。
清浄手段５は清浄下降気流発生領域において作業領域９内に清浄空気を送り出し、ワーク作業セクション４内の雰囲気を清浄状態に保持する手段である。例えば本実施形態の生産システム１の場合、清浄手段５はＦｉｇ．３に示すように空気を吹き出すブロワ５ａおよび吹き出された空気を清浄化するフィルタ５ｂによって構成され、作業領域９に清浄空気の下降流を送出することで作業領域９が外部や機構領域１０に対して常に陽圧状態（つまり正圧となる状態）となるように管理されている。また、適正な清浄加工気流を発生させるため、ブロワ５ａの吐出圧や吐出量を可変として調整するための図示しない制御構造が併設されている。
作業領域９は例えば４面の側壁１１を有しその上部に清浄手段５が取り付けられた陽圧状態の作業空間で、清浄雰囲気が保たれたこの空間内で動圧軸受モータの加工・組立が行われる。作業領域９の大きさはワーク２の加工・組立を行うのに必要な限度で小型化を図れる。ワーク作業セクション４に手作業用の手袋１５を設けるような場合は必要な大きさに適宜変更できる。
一方、機構領域１０は排気手段１４を持ち作業領域９より負圧かつ外気より陽圧（正圧）となる様にコントロールされている。外気以上の陽圧が得られている場合、排気手段１４をその都度停止させれば電力削減することができて好ましい。機構領域１０は４面の側壁１１の１面以上に設けられたドアを有している。また、特に図示していないが、機構領域１０の上部で発塵の可能性が高い個所は負圧源をチューブで誘導し、吸引を行うようにしている。
これら作業領域９と機構領域１０との間の隔壁１２は、機構領域１０側から作業領域９側への空気の侵入が無い様にする為、清浄手段５等が稼動することにより作業領域９が機構領域１０に対して陽圧となるように設けられている。この隔壁１２は、清浄手段５から流れる清浄空気に対する抵抗が少なく、下方側に形成されている機構領域１０への十分な空気の流れを確保したものであることが好ましい。例えばグレーティングやパンチメタル等のように複数の小孔を備えた隔壁１２は、作業領域９と機構領域１０とを隔てた上、空気の流れ抵抗を減少させるため清浄空気が機構領域１０側に吹き抜ける際の流れを妨げにくい。こうした場合、作業領域９内の塵埃が外部に排出されやすくなる。さらに隔壁１２は、搬送手段８のシャフト８ｂの移動経路どおりスリット１３が切り込まれ、必要な作業に関わる動作は妨げられない様な構造となっている。このスリット１３は、清浄手段５から流れてくる清浄空気が機構領域１０側に吹き抜ける際の流れをよくする機能も併せ有している。
さらに、隔壁１２は、例えばその表面に穿たれた孔を利用するなどして、作業駆動手段６、搬送管７あるいは搬送手段８等を取り付けることが可能となっていることが好ましい。例えば本実施形態の隔壁１２は、搬送管７、ワーク作業セクション４の取り付け基台として機能し、搬送手段８の作業端８ａが入り込み、作業端８ａ側と搬送手段８の駆動端側とを分離することにより、安全性を確保し、万が一ワーク２が落下した場合にもこのワーク２を受け止める機能を有している。
また、作業領域９の側壁１１に設けられた孔には外気と遮断しつつこの作業領域９内で作業できるようにした手袋１５を設けることで、マニュアルメンテナンス機能を備え付けることができる。この場合、隔壁１２を、この手袋１５に突っ込まれた人間の手を置くことのできる作業台とすることもできる。
搬送手段８は、ワーク作業セクション４の外側からワーク２の移動・搬送を行うように設置されるロボットなどの装置からなり、少なくともツールやハンドなどの作業端８ａが作業領域９に入り込むように設置され、この作業端８ａと、搬送手段８の駆動源となる作業駆動手段６とがシャフト８ｂによって接続されている。この搬送手段８は、ワーク作業セクション４の外側からワーク２にアクセスして（つまり近づき、把持する等して）ワーク２をそのワーク作業セクション４内であるいはワーク作業セクション４と搬送管７との間で移動させる。作業端８ａとしては、ワーク２を把持するものの他、掛けたり押し出したりする等の機能を有しワーク２を移動させ得るあらゆる手段が採用できる。さらに、搬送手段８は、作業端８ａの構成を替えることにより、それ自体がワーク２に対してかしめやねじ締め等の作業を行う手段とすることもできる。
搬送管７は、作業領城９と機構領域１０の間の一部に挿入され、上流側の機械装置３および下流側の機械装置３とを連結する管である。この搬送管７は管内が清浄雰囲気に保持され、生産途中のワーク２を上流側機械装置３から下流側機械装置３へクリーン度を保ったまま搬送し得るものがもっとも好ましい。この場合、この搬送管７としては作業領域９を外気から遮断し得る気密管が好適だが、完全な気密が実現されない場合であっても作業領域９を陽圧とすることで塵埃の侵入を防ぐことが可能となる。また、搬送管７の継ぎ手は規格化・標準化されたものであることが着脱を容易とし得る点で好ましい。本実施形態の生産システム１では、上述の搬送管７と搬送手段８とによって各ワーク作業セクション４にワーク２を供給しさらに排出するための供給排出機構を構成している。
以上の生産システム１においては、各機械装置３毎に装置内に清浄雰囲気に保持される作業領域９を設け、独立に各機械装置３内部の清浄度管理を行う一方、各機械装置３間を搬送管７で接続しワーク２を搬送している。このように複数の機械装置３を接続して生産システム１を構成すると一つの機械装置３において清浄雰囲気が損なわれ汚染が発生した場合、その汚染が他の機械装置３に伝播して生産システム１全体が汚染され生産途上のワーク２すべてが不良となる恐れがあり、再検査が必要となったり、生産システム１の稼動を中断して清浄度を回復させたり、または（あるいは、これらとともに）最初からシステムの設定をする必要があり大きなロスが発生する。また、ワーク２の補給やメンテナンス等の通常作業がある場合も、一時的に清浄度低下の恐れがあり同様である。
このようなロスを防止するために、生産システム１は、各機械装置３の清浄度を個々にモニターすることにより、清浄度管理の異常状態（即ち、汚染）を検出する。一の機械装置３に汚染が検出された場合は、他の機械装置３に伝播させないための制御作動を行い、その際、他の機械装置３の清浄度は維持し続けるように構成する。そして、汚染の発生した機械装置３についてのみ清浄度を回復させ、当該機械装置３の清浄度が回復したことを検出した時点で、汚染伝播防止の制御を解除して、生産システム１を再稼動させる。このように構成する生産システム１は、汚染発生（清浄度低下）した場合に、迅速に回復してシステム全体への影響を最小限に止めて、迅速な再稼動を実現できる。
各機械装置３における清浄度低下および汚染発生のいずれか一方または双方を検出する手段としては、▲１▼パーティクルカウンタや沈降したパーティクルを画像処理等で検出により直接清浄度を観測する方法のほかに、▲２▼代用特性によって検出する方法として、装置外部と作業領域９との気圧を比較して作業領域９の陽圧が一定水準を下回った場合に汚染発生と判断する圧力測定装置による方法、または、ダウンフローの流速を測定しその流速が落ちた場合に汚染発生を判断する流速計等による方法がある。また、ワーク２の補給やメンテナンス等の通常作業による一時的な清浄度低下に対応する方法として、作業領域９の扉が開けられた場合に扉の開閉を検出したり、作業者がメンテナンスを行う事前手続きとしてスイッチを押す等の方法が可能である。これらの検出手段を複数配置することもできる。
次に、一の機械装置３で発生した汚染を他の機械装置３に伝播させないための制御作動として、▲１▼汚染が発生した機械装置３の作業領域９を減圧する。▲２▼機械装置３の作業領域９に接続されている汚染のない機械装置３から清浄なエアが流れ込むようにする。その場合、汚染の無い機械装置３のダウンフローの流量を上げる、汚染された機械装置３のダウンフローを止める、または、汚染された機械装置３の排気ファンの速度を上げる等の方法がある。また、例えば搬送管７内を移動するワーク載置台１７に搬送管７を搬送方向に二分する壁部を設け、汚染が発生した場合に汚染側の搬送管接続部にワーク載置台１７を移動するなどして、▲３▼搬送管７の開断面積を機械的に狭めることも別の方法である。もちろん、上述した方法を複数組み合わせて動作させることもできる。
ここで、Ｆｉｇ．４〜Ｆｉｇ．８にリニアモータを用いた搬送管７について示す。これら図に示した例では一方の機械装置３から他方の機械装置３へワーク載置台１７にワーク２を載せて搬送するようにしている。Ｆｉｇ．４に示す搬送管７は隣り合う機械装置３の間に設けられたカバー１６付きの管であり、カバー１６を取り外した状態を示すＦｉｇ．５のようにカバー１６の内側にはワーク載置台１７が設けられている。また、このワーク載置台１７の下側にはＦｉｇ．６に示すようにリニアモータの固定子１８と移動子１９とが設けられている。移動子１９はＦｉｇ．７（Ａ）〜Ｆｉｇ．７（Ｃ）に示すようにワーク載置台１７を支持しており、固定子１８に沿って直線移動する。符号２０はリニアモータへ電源供給などするワイヤである。また、搬送管７のカバー１６のない部分は、機械装置３の内部に対して開口した窓２１となっており、搬送手段８がこの窓２１を通じてワーク２を取り出せるようになっている。さらに、Ｆｉｇ．８に、真ん中の機械装置３を貫通して３台の機械装置３に跨るように設けられた搬送管７を示す。この搬送管７には、各機械装置３に対応して窓２１が複数設けられている。なお、Ｆｉｇ．８においてのみ機械装置３の内側を斜線で示している。
また、図７に示すとおり、搬送管７には、リニアモータの上部にはシールド部材２２が備えられ、このシールド部材２２には、ワーク載置台１７を支持する移動子１９が移動するところにスリット２２ａが形成されている。これにより、リニアモータで発生した塵、埃等をワーク載置台１７側に拡散しないようになっている。
以上の生産システム１によって動圧軸受モータを生産する場合、まず動圧軸受モータを構成する各ユニット例えばシャフトやプレート等をワーク作業セクション４の側壁１１から供給する。筒洗浄は、例えば洗浄液を噴き出している先に超音波を発生させる超音波流水、あるいはブラシを使ったスクラブ洗浄等により、適宜噴出の向きを変えて行う。なお、筒洗浄セクション４ｆにおけるチャンバー自体の取替は可能としてあるが、このチャンバーの設置数をいくつとするかは自由である。また、軸圧入の後にはシャフト径を測り、径ごとに分類してストックする。そして、筒の内径を計測してこれに合う内径の軸を選択し、筒に挿入する。さらに、プレートをかしめ、オイルが漏れないように接着剤を塗布し、組立後、加熱により接着剤を溶かして接着封止する。この場合、本実施形態のようにオーブンで加熱することにより一度に複数のワーク（モータ部品）を焼くことが可能となる。また、オーブンの中には常に少なくとも一品が入っているようにし、タイマで時間を知らせ、焼かれたワーク２がオーブンから運ばれたら次の品をオーブンの末尾に並ばせることで効率アップを図ることができる。
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、本実施形態では上流側機械装置３と下流側機械装置３とを連結する搬送管７を通してワーク２が移動できるようにしたが、ワーク２を清浄雰囲気下で移動させるための手段として密閉式のトレイあるいはシャトルを利用することもできる。例えば密閉式のトレイは、トレイ開口部蓋を作業領域９の側壁１１のドアに密着させた状態でドアを開けることにより作業領域９の内気と連結する構造とする等により、トレイ内の清浄雰囲気を保ちながら搬送することが可能となる。
ここで、生産システム１の別の実施形態を以下に説明する。特に図示していないが、以下に示す生産システム１において精密加工を施すクリーンブース（各ワーク作業セクション４の作業領域９）は例えば一辺３０ｃｍ程度の従来に比べて小さいサイズで、各ユニット（各機械装置３）はそれぞれ上部に清浄手段５を備え、常に下に向けてフィルタ５ｂを通した清浄空気を吹き付けるように構成すると、部屋全体を清浄に保つクリーンルームに比べて必要な空調コストが格段に低くできる。このような生産システム１は、電子・精密機械を取り扱う場合だけでなく、食品や医薬品など量産過程で無菌状態を必要とする物品・商品等を取り扱う場合にも適用可能である。また、機構領域１０に機械装置３や搬送手段８の電源や駆動源となる特殊なポンプ等も内蔵されており配線や配管の手間がない。また、各ユニット（各機械装置３）は、切削・穴開け・研磨・組立・加熱炉・洗浄などといった諸機能の中の一機能をそれぞれ受け持つ。このようなクリーンブースは、製造工程に合わせて連結され、連結時に例えば１００ｃｍ×２００ｃｍ程度のスペース内で工場のセル方式ライン等を構成できる。この場合、ユニットはキャスターの付いた可動式であることが好ましい。このような生産システム１は、生産品目に合わせて各ユニットを自在に組み替えて工程を変更でき、品目変更の際に短時間での立ち上げが可能である。
また、各クリーンブースを連結した状態でその前やサイドに各クリーンブース間でワーク２を搬送するためにレール等の手段を配置し、ワーク２を載置したパレットを車台等で走らせることも可能である。パレットは、ワーク２が動圧軸受モータの部品であるなど小型である場合、ワークサイズに応じたクレジットカードサイズ程度であることが望ましい。この場合の作業台の位置決め精度は例えば１０μｍ程度である。さらに、レール等の手段を上述した搬送管内に収納するようにしてもよい。また、部材や部品（ワーク２）は四角いケースに入れることもできる。この四角いケースは蓋をしたままクリーンブースの受け入れ口に差し込まれる。この場合、ケースをクリーンブースに取り入れてから蓋を開けて加工に移る。完成すると別のケースに入れ蓋をして運び出す。ケース内部は清浄環境に保たれている。
また、本実施形態では生産システム１の一例をＦｉｇ．１に示したがシステム形態は特に限られることはなく、機械装置３や搬送管７の自由な配置と組合せにより例えばＦｉｇ．９に示すような生産システム１を構築してもよいし、さらに他の形態としてももちろん構わない。
【図面の簡単な説明】
Ｆｉｇ．１は本発明の一実施形態を示す生産システムの平面図である。Ｆｉｇ．２は搬送管によって連結されたワーク作業セクションの内部構造の一例を示す平面図である。Ｆｉｇ．３は搬送管によって連結されたワーク作業セクションの内部構造の一例を示す正面からの断面図である。Ｆｉｇ．４は、側壁とカバー付き搬送管を示す平面図である。Ｆｉｇ．５は、側壁とカバーとが取り外された搬送管の構造を示す平面図である。Ｆｉｇ．６は、ワーク載置台が取り外されリニアモータのみが示された搬送管の平面図である。Ｆｉｇ．７（Ａ）は、カバー付きの搬送管の構造を示す平面図である。Ｆｉｇ．７（Ｂ）は、カバー付きの搬送管の構造を示す正面図である。Ｆｉｇ．７（Ｃ）は、カバー付きの搬送管の構造を示す右側面図である。Ｆｉｇ．８は、３台の機械装置に跨るように設けられた搬送管を示す正面からの図である。Ｆｉｇ．９は本発明の他の実施形態を示す生産システムの平面図である。

Claims (9)

1. ワークに対して作業を行うワーク作業セクションを有する複数の機械装置と、上記ワーク作業セクションを清浄雰囲気に保持する手段と、上記ワークの位置をそのワーク作業セクション内で移動させる搬送手段と、該搬送手段を駆動する上記ワーク作業セクションの外側に設けた作業駆動手段と、上記各機械装置の上記ワーク作業セクションを相互に連結し上記ワークを一方の機械装置から他方の機械装置へ搬送する搬送管とを備えることを特徴とする生産システム。
2. 上記搬送管が清浄雰囲気に保持されていることを特徴とする請求の範囲第１項記載の生産システム。
3. 上記機械装置は、各々独立に清浄雰囲気に保持される複数のワーク作業セクションを有することを特徴とする請求の範囲第１項または第２項記載の生産システム。
4. 上記搬送手段は、上記ワーク作業セクションの外側から上記ワークにアクセスしてこのワークを移動させるものであることを特徴とする請求の範囲第１項から第３項のいずれかに記載の生産システム。
5. 外界と区切られてワークに対する作業領域を形成し少なくとも上記ワークおよびこのワークを移動させる搬送手段の作業端をこの作業領域内に収容するワーク作業セクションと、該ワーク作業セクションの作業領域を清浄雰囲気に保持する清浄手段を含む清浄気流発生領域と、前記搬送手段を駆動する作業駆動手段の一部または全部が設けられる機構領域とを有し、かつ、上記ワーク作業セクションを相互に連結し上記ワークを一のワーク作業セクションから他のワーク作業セクションへ搬送する搬送管を備えることを特徴とする生産システム。
6. 上記清浄雰囲気を作業駆動手段側でも保持する小孔、または上記搬送手段の移動を許容するスリットを備える隔壁が、上記ワーク作業セクションと上記作業駆動手段との間に設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項記載の生産システム。
7. 上記隔壁は、上記搬送管、上記作業駆動手段、および上記搬送手段の少なくともいずれか一が取付可能であることを特徴とする請求の範囲第６項記載の生産システム。
8. 上記清浄気流を透過させる小孔、または上記搬送手段の移動を許容するスリットを備える隔壁が、上記ワーク作業セクションと上記機構領域との間に設けられていることを特徴とする請求の範囲第５項記載の生産システム。
9. 上記隔壁は、上記搬送管、上記作業駆動手段、および上記搬送手段の少なくともいずれか一が取付可能であることを特徴とする請求の範囲第８項記載の生産システム。

Images