JPS62131130A - クリ−ンル−ムのコンベヤ出入口装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、食品・飲料の無菌充填ライン又は精密電子工
業等に適用されるクリーンルームに関する。

〔従来の技術〕

第５図及び第６図に、従来のコンベヤによる物品のクリ
ーンルームへの供給ないし排出の実施例を示す。同図に
おいて： Ａはクリーンルーム、Ｂは準備室（画家）等の外界であ
る。

１はコンベヤで、強制駆動式或は他動式を問わないが、
種々の物品を搬送するため、上面に物品を積載する型式
のもので、クリーンルームＡに物品を搬入出する搬送装
置である。

２α、２ｂはコンイヤ出入口チャンバで、コンベヤ入ロ
テヤンバ２αの時は、内部にエヤジャワ０５を持ち、コ
ンベヤが強制駆動・貫通式の場合は、チャンバ前後両側
にエヤカーテン０３を備える（第５図）。

コンベヤが他動・分割式の場合は、チャンバ両側に自動
ドア０６を備える（第６図）。更にコンベヤ出口チャン
バ２ｂの時は、内部には何も備えず、チャンバ両側にエ
ヤカーテン０３（強制駆動・貫通式コンベヤの場合）或
は自動ドア０６（他動・分割式コンベヤの場合）を備え
る。

０４は隔壁で、クリーンルームＡと準備室（前室）等の
外界Ｂを隔てるものである。クリーンルームＡと外界Ｂ
とは圧力差が１〜２ｘｘ水柱あり、これを維持するに足
る強度・気密性を持つ。

０７は物品であシ、種々の形状・寸法のものが、連続的
或は間欠的に搬送され、クリーンルームに搬入されて処
理を受けて搬出される。その搬送様態に応じて、強制駆
動貫通式コンベヤや、他動分割式コンベヤ等各種様式の
コンベヤが採用される。

０３はエヤカーテンで、コンベヤ出入口チャンバ２α、
２ｂの前後両側に備えられ、空気の細隙状の吹出口と吸
込口を対峙させたものである。この空気吹出口から高速
で空気を噴出させそれを吸込口で殆んど全量吸込むこと
によシ、空気のカーテンを形成させる。

０５はエヤジャワで、清浄空気の吹出ノズルと還気吸込
口を持ち、還気吸込口から吹出ノズルの間をプロアと空
気フィルタ及び空気ダクトで連結したものである。

０６は自動ドアで、他動・分割式コンベヤライン上の出
入口チャンバの前後両側に一対で設置された電動式或は
空気力式の扉で、一対の扉の間にはインタロックがとっ
てあシ、通常はいずれか一方の扉が閉状態にある。

次に前記従来装置の機能について説明する：■　第５図
の強制駆動・貫通式コンベヤの場合、種々の形状・寸法
の物品０７が、種々の様態（目白押し、不等ピッチの連
続、バラバラ、団子状態のものが間欠的に等）で搬送さ
れて来るので、コンベヤ出入口チャンバ２α、２ｂの開
口は、物品０７の最大寸法のものを通過させる大きさで
、ラインの運転中は常時開口している。外界Ｂから物品
０７がコンベヤ入口チャンバ２αを経由してクリーンル
ームＡに入る時は、物品０７及びコンベヤ０１に付着し
た塵埃・微粒子を除去する為にエヤジャワ０５を作動さ
せ、物品０７及びコンベヤ０１を清浄空気で洗浄し、清
浄な物品及びコンベヤをクリーンルームＡ内へ送シ込む
。

■　第５図の強制駆動・貫通式コンベヤのクリーンルー
ムＡからの出口部のコンベヤ出口チャンバ２ｂにおいて
は、清浄なりリーンルームＡで処理を受けた後の物品０
７やコンベヤ０１がよシ清浄度の低い外界Ｂに出て行く
のみであるからエヤジャワ０５は無意味且つ不要である
。ただ前記■の入口チャンバ２αの場合も同様であるが
、万一クリーンルームＡの陽圧が例らかの原因で零にな
シ大気圧になった時に、外界Ｂの塵埃が出口チャンバ２
ｂを経由して、クリーンルームＡに侵入するのを防ぐた
めに、また前記■の入口チャンバ２αの場合には、エヤ
ジャワ０５によシ物品０７及びコンベヤ０１から吹き飛
ばされた塵埃・微粒子がクリーンルームに侵入するのを
防ぐために、コンベヤ出入口チャンバ２α、２ｂの前後
両側又は片側にエヤカーテン０３を設け、それを運転し
て、外界Ｂ或はエヤジャワ室とクリーンルームＡとの空
気の絶縁を図っている。

■　第６図の他動・分割式コンベヤの場合には、物品Ｍ
が個別且つ間欠的に搬送されて米るので、出口チャンバ
２ｈ１人ロチャンバ２αとも物品０７の収受・排出に応
じて自動ビア０６を開閉し、チャンバ内ｔ−エアロツク
状態にし、エヤジャワ０５を作動させたり、或は外界Ｂ
とクリーンルームＡ間の空気の流通の遮断を図っている
。この為、クリーンルームＡには、外界Ｂの塵埃・微生
物が入る余地が無いばかりか、クリーンルームＡ内の調
和空気の外界Ｂへの漏出も防いでいる。

次に前述のクリーンルームの全体的構成を第７図につい
て説明する。但し第７図においては、第５図、第６図に
示したコンベヤ出入口チャンバの具体的構造は省略する
。第７図において：Ａはクリーンルームで、内部が清浄
な調和空気で満たされ、陽圧（正圧）Ｐｌに維持される
。

７αは処理前の物品、７ｂは処理後の物品である。

０９、０１０　、０１１は処理機械で、クリーンルーム
Ａ内に設置され、コンベヤＯ１に積載され搬送されてく
る物品７αに種々の処理を行う。

０１２は空気調和機で、クリーンルームＡからの還気Ｑ
ｒと、外気吸入口０１７からの外気Ｑθを併せて温度・
湿度を調節し、除塵してクリーンルームＡへの給気ＱＢ
として送り出す装置である。

空気量バランスよりＱｒ＝Ｑｒ＋Ｑｅ　ｍ　／Ｈ００１
３はＨＥＰＡフィルタ（ｈｉｇｈ　５ｆｆｉｃｉａｎｃ
ｙ　ｐａｒ−ｔｉｃｕｌａｔｅ　ａｉｒ　ｆｉｌｔｅｒ
　）で、クリーンルームＡに付属する。

０１４は給気ダクトで、ＨＥＰＡフィルタ０１３に接続
する給気用のダクトである。

０１５は還気ガラリで、クリーンルームＡの床面或は床
面近くの側壁に設けた吸気口である。

０１６は還気ダクトで、還気ガラ！７０１５と空気調和
機０１２を結ぶ。

０１７は外気吸入口で、空気調和機０１２に連通ずる。

０１８は洗浄殺菌機で、コンベヤ０１及び物品７αを処
理前に洗浄殺菌する。

クリーンルームＡは、外界Ｂから塵埃が侵入するのを防
ぐ為、本来気密構造を持ち、更に室内にＨＥＰＡフィル
タ０１３を通して清浄空気を吹き込み陽圧Ｐｌをかけて
いる。しかしながら、クリーンルームＡ内には発塵源と
なる処理機械、０９．０１０゜０１１や、作業員（図示
せず）が存在し、又該処理機械のモータや加熱殺菌され
た物品等の熱諒も存在するので、空気フィルタや空気調
和機を備えた空気循環システムが必要である。空気は、
りＩＪ−ンルームの床面もしくは床面近くの側壁に設け
られた還気ガラリ０１５から吸入され、還気ダクト０１
６、空気調和機０１２を経由し、給気ダク）　０１４か
らＨＥＰＡフィルタ０１３を経てクリーンルームＡ内に
供給され空気循環システムを構成する。

もし、クリーンルームＡから、調和空気の漏出が無けれ
ば、空気調和機０１２の消費エネルギは、給気ｔｕＱ８
（＝還気ｆｔＱｒ）の加圧送気の動力分と、クリーンル
ームＡ内の発熱量を吸収・冷却するだめの冷却エネルギ
の和で示される。しかしながら、クリーンルームＡに、
物品搬送コンベヤ０１が貫通設置されておシ、クリーン
ルームＡ側壁の貫通口が閉鎖できぬ時は、クリーンルー
ムＡ内の陽圧Ｐ１と外界の大気圧Ｐｏの差に応じて、そ
こからＱｅ７ＦＩ３／／Ｈの調和空気の漏出が生ずる。

すなわち、Ｑｅ＝３６００ＸＳＶｅ＠３／Ｈ８：クリー
ンルーム側壁の開口面積ＴＬ２ｖｏ＝漏出空気の平均流
速ｒｆＬ／Ｌ３γ　：空気密度に９／ｍ　３ ｇ　：重力加速度９．８　ｍ／θ ＰＯ：大気圧−〇　ｋｇ／ｍ　２ゲージＰ１：クリーン
ルーム内陽圧に９／ｍ２ゲージξ１．ξ２：漏出空気通
路の抵抗係数 通常クリーンルーム側壁開口部の流入・流出抵抗係数ξ
１．ξ２はそれぞれ小であシ、クリーンルーム内陽圧Ｐ
１が２正水柱程度であっても開口面積Ｓいかんでは漏出
量は数百〜数千ｍ３／Ｈにおよぶ。

Ｑｅが存在する時のクリーンルームＡの空気収支は、供
給される空気ｆｉＱｏとクリーンルームＡから排出され
る空気量Ｑ　ｅ　＋　Ｑ　ｒが等しいことからＱ　ｓ　
＝　Ｑ　ｒ　＋　Ｑｅである。一方、クリーンルームＡ
用空気調和機０１２はＱ、の調和空気を給気ダクト０１
４に送）出しているが、クリーンルームＡからの還気は
Ｑｒだけであり、Ｑｅだけ外界から吸入し、還気Ｑｒと
併せて調和をしていることになる。

この時のＱｅに対する空気調和エネルギーは、夏期の高
温時には、クリーンルームＡ用空気調和機０１２の消費
エネルギーの５０〜７５％に達すると言われ、莫大なも
のである。又冬期にも、寒冷な外気をクリーンルームＡ
の室内条件に迄調和するため多量の蒸気又は電力を消費
し、運転費の高１：１誉は、クリーンルームＡ用空気調
和機０１２の設備費増大とともに大きな問題である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

クリーン・ルームでは、室内に調和した清浄空気を満し
、陽圧（正圧）を与えて外界からの塵埃・微粒子の侵入
を阻止する閉鎖構造をとっているが、クリーン・ルーム
から調和空気が外界へ漏出し易く、又漏出した量と同量
の外気を空気調和し、浄化した上でクリーン・ルームに
補充供給する必要があり、エネルギー節約上、調和空気
の不必要な漏洩を阻止することが重要である。

（Ｉ）シかし、最近の高能率且つ合理的な食品の光填・
包装ラインでは強制駆動・貫通式コンベヤを使用し、物
品の形状・寸法・搬送様態でも多様な条件に対応できる
ことを要求され、前出第６図の如きエヤロックシステム
は成９立たず、クリーンルームの陽圧による調和空気の
漏洩は防げなかった。しかも、物品の形状・寸法・搬送
様態によっては、漏洩量は大幅に変動し、量の規制すら
困難であった。この意味では、エヤカーテン０３は殆ん
ど無力で問題であった。

（２）クリーン・ルーム内の陽圧が何らかの原因で消失
し、大気圧になった時外界からクリーンルームへの競埃
・微生物の侵入は完全に阻止できない。

この場合、エヤカーテンは効果を発揮するが、コンベヤ
の入口部ではコンベヤの移動速度や物品の形状・寸法い
かんではかなυの塵埃・微粒子がクリーン・ルーム内に
まぎれ込む問題があった。

〔問題点を解決するだめの手段〕

（１１強制駆動・貫通式コンベヤのクリーンルームの出
入口は閉じる事ができず、また陽圧のため内部の調和空
気が漏出するのを阻止できないので、コンにヤ出入ロチ
ャンバを設け、そこに調和をしない清浄空気を送り込み
、クリーンルームに与えた陽圧に等しい内圧を与え、ク
リーンルームからの調和空気の漏出を阻止する。この時
コンベヤ出入口チャンバから外界へ漏出する空気は清浄
空気ではあるが、調和されていない安価な空気であシ、
本手段は、漏洩空気を高価なものから安価なものへ置換
したことである。

（２）　　コンベヤ出入口チャンバの外界への開口面積
は、搬送される食品の形状・寸法、搬送様態によって大
幅に変化し、それに伴って、外界へ漏出する清浄空気の
量が大幅に変化する。この時、コンベヤ出入口チャンバ
へ送気する量を漏出量に応じて増減しないと、チャンバ
内圧は変化し、クリーンルーム内陽圧との差が発生し、
比較的高価な調和空気が出入口チャンバ側に漏出して来
たシ、逆に、不必要なエネルギを消費し、清浄空気を多
量にクリーンルーム内へ送シ込んだりするという好まし
くない現象が発生する。これを解決するために、クリー
ン・ルームと出入口チャンバの境界近傍に両者の微圧差
を検出する検出装置（フラップ／ポテンショメータ方式
、ダイヤフラム方式他）を設け、その信号でインバータ
を制御し、出入口チャンバへの送風機モータの回転数を
調節し、常にクリーン・ルームと出入口チャンバの圧力
差ヲ零近傍に保つ。

〔作用〕

（１）コンベヤ出入口チャンバに供給された清浄空気が
クリーンルームからの調和空気の漏出を防止する。

＋２）　　クリーンルームとコンベヤ出入ロナヤンノＺ
との内圧差を検出する微圧差検出器によυ、前記内圧差
が最小に保たれ、クリーンユニットの風量が最小に保た
れる。

（３）コンベヤ出入口に設けられたトンネル状コンベヤ
カバーがコンベヤ出入口からのｔＨ浄空気の漏出を最小
に保つ。

〔実施例〕

（１）第１実施例 第１図、第２図及び第４図において、Ａはクリーンルー
ム、ＢはクリーンルームＡ外側の外界、１はクリーンル
ームＡを貫通するコンベヤ、７αは処理前の物品、７ｂ
は処理された物品である。

９．１０．１１はクリーンルームＡ内に設置された処理
機械、１２はクリーンルームＡからの還気Ｑθの温度、
湿度を調節し除塵してクリーンルームＡに供給する空気
調和機である。

１３はＨＥＰＡフィルタで、クリーンルームＡに付属す
る。

１４は給気ダクトで、１ｉＥＰＡフイルタ１３に接続す
る。

１５は還気ガラリで、クリーンルームＡの床面或は床面
近くの側壁に設けた吸気口である。

１６は還気ダクトで、還気ガラリ１５と空気調和機１２
を結ぶ。

１７は外気吸入口で、空気調和＠１２に連通する。

１８は洗浄殺菌機で、コンベヤ１及び物品γαを処理前
に洗浄殺菌する。

２１はコンベヤ出入ロテヤンバで、クリーンルームＡの
コンベヤ貫通開口を楓う小室で送気プロア２２及びＨＥ
ＰＡフィルタ２３により清浄空気を吸込まれ、室内圧力
がＰ２に保たれている。

２２は送気ブロアで、コンイヤ出入ロチャンノ象１の室
内圧力Ｐ２を検出しこれをクリーンルームＡの内圧力Ｐ
１と等しくなるように駆動モータ（図示せず）の回転数
が制御されたブロアである。

２３はｆ（ＥＰＡフィルタで、コンベヤ出入口チャンバ
２１に付属する。

２４はプレフィルタで、送気ブロア２２とＨＥＰＡフィ
ルタ２３とを連通ずるダクトに設けられる。

２５は微圧差検出フラップでコンベヤ出入口チャンバ２
１の室内圧力Ｐ２とクリーンルームＡの内圧力Ｐｌとの
差により、その軸２５ａを中心として垂直面に対して成
る角度で揺動する。

２６は揺動角検出装置で、微圧差検出フラップ２５の軸
２５ａに連結されて、垂直面に対するフラップ２５の揺
動角を電圧、電気抵抗、静電容量、発振周波数、流体圧
その他の遠隔伝送量に変換する。

２７は制御装置で、揺動角検出装置２６から伝送されて
来た信号を増幅しコンベヤ出入口チャンバ２１の室内圧
力Ｐ２がクリーンルームＡの内圧Ｐ１に等しくなるよう
に調節した信号としてインバータ２８に与える。

２８はインバータで、送気ブロア２２の駆動モータ（図
示せず）に動力を供給する周波数変換器である。

２９は微圧差検出チャンバで、前面には微圧差検出フラ
ップ２５が、後面には、クリーンルームへの開口がある
箱体で、コンベア出入口チャンバ２１とクリーンルーム
Ａとを連通する。

加は微圧差検出チャンバー２９のステーで、７ラツプ軸
２５αを揺動自在に支持する。

３１ｄコンベヤカバーで、トンネル状ニコンベヤを覆い
、物品７鮨７ｈの存在下で漏洩空気の抵抗を生む。コン
イヤ出入口チャンバ２１に交換自在に固着される。

このような装置において、送気ブロア２２は外界Ｂの空
気を吸入し、加圧してプレフィルタ２４及びＨＥＰＡフ
ィルタ２３を通して清浄化した上でコンベヤ出入口チャ
ンバ２１に供給し、チャンツク２１内圧力をＰ２にして
いる。この時、コノ（ヤ出入口チャンバ２１から外界Ｂ
へ漏出する清浄空気量Ｑｌ及びクリーンルームＡからコ
ンベヤ出入口チャンバ２１へ漏出する調和空気の量Ｑｅ
はそれぞれ次の通シでちる。

Ａ：開口面積 この時、空気調和機１２が吸入する外気量はＱｌでなく
てＱｅである。もし、送気ブロア２２の駆動モータの回
転数を制御して送気ブロア２２の送風量を制御し常にＰ
２！＝ｉＰ１とすると、■８″＝−０ゆえにＱｅ：Ｑ　
　となり、空気調和機１２の外気吸入量は零近傍となる
。一方、Ｑｌはもともと、クリーンルームＡ内の調和空
気が直接外界へ漏出すると見られていた景、すなわち、 Ｑｌ＃Ａｖ８但し　ξ３−ξ２　のとき　Ｖ　ｌ’−；
　Ｖ　６となり、相邑量の清浄空気が外界Ｂへ漏出する
ことになるが、冷却も加熱も調湿もしていないのでエネ
ルギー費としては送気ブロア２２の駆動電力だけとなる
。

コンイヤ出入口チャンバ２１の室内圧力Ｐ２を、クリー
ンルームＡの内圧Ｐ１にはソ等しくする制御装置を第２
図及び第３図で証明する。先づ第２図は、コンベヤ出入
口チャンバ２１の入口用としての実施例を示したもので
あるが、出口用としての実施例も、コンベヤ１及び物品
７ｂの走行方向が逆であることを除けば第２図と同じで
ある。第３図は微圧差検出フラップ２５周辺の詳細図で
ある。

微圧差検出フラップ２５は、微圧差検出チャンバ２９側
の圧力Ｐ１とコンベヤ出入口チャンバ２１側の圧力Ｐ２
が等しい時には軸２５ａ　より垂直に懸下し、微圧差検
出チャンツク２９の開口部を塞ぐ様に構成され、この時
、軸２５αに直接連結された揺動角検出装置１２６は、
角度零の信号を出す。この角度零信号を受けて、制御装
置２７は、インバータ２８に対し、若干の周波数増加を
行なって保持する様操作を行う。これによって送気ブロ
ア２２は、若干ｈヒカを増した状態で運転を続け、コン
ベヤ出入口チャンバ２１の圧力Ｐ２は、クリーンルーム
Ａの内圧力Ｐ１より若干高めを維持し、調和空気の漏出
ｆｊＸ　ＱθをＱθ≦０　とする。

クリーンルームＡの内圧Ｐ１が何らかの理由で増加しだ
υ、又、物品７αの供給が一時途絶えたシ、或は寸法の
小なるものに切換った時には、清浄空気の漏出抵抗が減
少し、Ｐ２は低下するのでＰ２＜ＰＩとなシ、微圧差検
出フラップ２５は時計回りに揺動する。この揺動角をフ
ラップ軸２５αの時計回シの回転から揺動角検出装置２
６が検出すると、直ちにその旨、信号を制御装置２７に
伝送し、制御装置２７はこれを受けてインバータ２８に
対し、周波数を増加する様操作を行う。これによって送
気プロア２２はその送気能力を増加し、Ｐ２＝Ｐｘ　　
になると、微圧差検出フラップ２５は垂直位置に戻シ、
送気ブロア２２の能力増加は止シ、Ｐ２≧Ｐ１　のま＼
暫時推移する。その結果ＱθンＯであったものがＱｅ≦
０　となる。

１ム１」御装置２７は、揺動角検出装置２６が角度零〇
信号を出している時には一定周期で周波数を若干量づつ
低下させるようインバータ２８を操作する様構成しであ
るので、Ｐ２＞ＰＩの状態が長時間維持されることはな
く、コンベヤ出入口チャンバｚ２１の内部の清浄空気が
クリーンルームＡ内に多量に入シ込み、空気調和機１２
の負荷を増すことがないようになっている。

コンベヤカッ！−３１は、コンベヤを＆５トンネル状の
もので、物品７α、７ｂを支障なく通過させる最小寸法
のものである。従って、搬送する物品７α、７ｂの形状
寸法を切換える都度、最小最適寸法のカバーに交換する
必要があるが、これを使用することによう、漏出清浄空
気の流出抵抗係数ξ３の値を増加させ、Ｑｌを減少させ
る作用と、清浄空気によるエヤジャワの効果を高める作
用をする。

（２）第２実施例 第３図に基づいて第１実施例との差異を記載する。

第１実施例との差異は、微圧差検出フラップ２５、揺動
角検出装置２６等を使用せず、よシ直接的な微圧差検出
伝送器３２を使用している点である。この検出伝送器３
２はクリーンルームＡに連通ずる通気孔３３から導入し
た圧力Ｐ１とコンベヤ出入ロチャンバ２１側の通気孔３
４から導入した圧力Ｐ２との差圧をダイヤフラム或はベ
ローズの微小な変形として検出し、電気、流体その他の
物理信号に変換し、制御装置へ伝送するもので、第１実
施例の機能に比較してＰ２）Ｐｔの場合も差圧に比例的
な信号を出すので、より安定した制御を可能にする。

なお、第１実施例及び第２実施例において、コンベヤ１
に代えてレール上を荷台が物品を積載して搬送する場合
も同様な構成で適用可能であシ、前記した作用効果が得
られる。

〔発明の効果〕

（１）クリーンルーム内の調和空気のコンベヤ出入口部
からの漏出を防ぐことにより、クリーンルーム用空気調
和機の冷却設備及び加熱設備能力を／２〜／４に削減で
きる。又これに伴って夏期及び冬期の運転費を大幅に低
減できる。

（２）強制駆動コンベヤで、種々の形状・寸法の物品を
種々の様態でクリーンルームへ搬入及びクリーンルーム
から搬出する際に、コンイヤカバーを物品の形状・寸法
に合せて交換するのみで省エネルギー運転ができる。

（３）　　コンベヤ出入口チャンバは一種のエヤジャワ
の働きをすることが期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明クリ−／ルームのコンベヤ出入口装置の
第１実施例の縦断面図、第２図は第１図の微圧差検出フ
ラップ周辺の斜視図、第３図は本発明装置の第２実施例
の縦断面図、第４図は本発明装置を具えたクリーンルー
ムの概略図である。 第５図は従来の強制駆動貫通式コンベヤのクリーンルー
ムへの出入口部の例を示す縦断面図、第６図は従来の他
動分割式コンベヤのクリーンルームへの出入口部の例を
示す縦断面図、第７図は従来のクリーンルームの実施例
を示す説明図である。 Ａ・・・クリーンルーム、Ｂ・・・外界、１・・・コン
ベヤ、　　　　７α、７ｂ・・・物品、２１・・・コン
ベヤ出入口チャンバ、２２・・・送気ビロア、２３・・
・ＨＥＰＡフィルタ、２４・・・プレフィルタ、２５・
・・微差圧検出フラップ、２７・・・１ＩＩＩＪ御装置
、３１・・・コンベヤカバー 復代理人　弁理士　岡　本　重　窯 外２名 第１図 ３１−コン公ヤカハ”− 第３図 手続補正書 昭ｆ０６１年５月６日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 室内を室外よりも高い気圧に保持するクリーンルームの
   コンベヤ出入口装置において、クリーンルームに付加さ
   れたコンベヤ出入口チャンバと、コンベヤ出入口チャン
   バに清浄空気を供給する送風機、プレフィルタ、及びＨ
   ＥＰＡフィルタを組込んだクリーンユニットと、クリー
   ンルーム内圧とコンベヤ出入口チャンバの内圧の差を検
   出する微圧差検出器と、前記微圧差検出器からの信号を
   受け前記クリーンユニット内の送風機の送風容量を増減
   する制御装置と、コンベヤ出入口チャンバに至るコンベ
   ヤ上に物品を支障なく通過させる最小寸法のコンベヤカ
   バーとを具備したことを特徴とするクリーンルームのコ
   ンベヤ出入口装置。