JPH02295879A - クリーンルーム用エレベータ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、クリーンルーム施設の建屋内で使用するエレ
ベータ装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体を中心とした電子工業０食品工業などの生産分野
では、塵埃による汚染を極度に嫌うことから、工場の建
屋全体をクリーンルーム施設とすることが多い。

一方、このような建屋において、各階のクリーンルーム
の間で作業員の往来、材料、製品の移送に用いるエレベ
ータ装置として、エレベータのケージに送風機１高性能
フイルタを経てケージ室内へクリーンエアを供給するク
リーンユニットを装備し、エレベータのケージ室内の空
気清浄度をクリーンルームの通路と同程度なレベルに維
持するようにしたものが特開昭６２−２４０２８４号と
して同じ出願人より既に提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、エレベータで作業員、物品などを運搬する場
合にはケージ室内への人の出入り、物品の搬出入作業に
伴う発塵があり、その汚染の影響を受けてケージ室内の
空気清浄度が低下する。これに対して人の立ち入り、物
の搬出入がなくケージ室内が空である非運搬状態では、
室内での発塵も殆どなく空気清浄度に与える影響も軽微
である。

しかして、前記した従来のエレベータ装置では、人、物
の有無、運搬、非運搬時の如何に関係なくケージ室内の
空気清浄度を常に所定レベル以上に保つために、エレベ
ータで運搬作業を行っている状態での発！１量を想定し
、最も苛酷な条件を基準としてケージ室内に供給するク
リーンエアの風量を設定し継続運転しているのが現状で
ある。

しかしながら、前述のようにエレベータの非運搬状態で
はケージ室内での発塵量も少なく、所定の清浄レベルを
維持するには少ないクリーンエアの送風量で十分対応で
きる。しかもエレベータについて、−日のうち実際に運
搬作業を行う以外の非運搬時間もかなりの多い時間を占
める。それにもかかわらず、エレベータの稼働中は発塵
量の多少に関係なく苛酷な条件を基準に常に多量のクリ
ーンエアを送風し続ける従来の運転方式では、その分だ
けクリーンユニットの送風機で必要以上の電力を浪費す
るために運転コストが嵩む。

本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、エレ
ベータのケージ室内における塵埃汚染の状況に対応して
クリーンエアの送風量を適正に調整することにより、非
運搬時などのようにケージ室内の塵埃汚染が少ない状態
ではクリーンエアの送風量を低め、消費電力量の浪費を
抑えて省エネルギー化が図れるようにしたクリーンルー
ム用のエレベータ装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明のエレベータ装置に
おいては、ケージ室内の空気清浄度を検出するセンサと
、該センサの検出出力を基にケージ室内の空気清浄度の
高、低状況に対応してクリーンエアの供給量を低、高風
量に制御する送風機の運転制御手段とを備えるものとす
る。

〔作用〕

上記の構成で、センサはケージ室内の空気中に含まれる
塵埃量を測定して空気清浄度を検出、監視するものであ
る。一方、送風機の運転制御手段には、前記センサの検
出出力を基に送風機を回転数制御するインバータなどが
採用される。

ここで、エレベータのケージ室への人、物の出入および
搬出入作業を伴う運搬時など、室内の塵埃汚染が多い状
態では、送風機モータの回転数を上げてケージ室内に供
給するクリーンエアの送風量を高め、逆に非運搬時のよ
うに室内での塵埃汚染が少ない状態では、送風機の回転
数を下げてクリーンエアの送風Ｗを低めるように運転制
御する。

これにより、ケージ室内の空気清浄度を所定レベルに維
持しつつ、特にケージ室内の空気の汚れが少ない状態で
は送風機で消費する余分な電力の浪費を抑えて省エネル
ギー化が達成できる。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例を示すものであり、図において
、１はエレベータのケージ、２はケージ１を吊りさげて
いる索条、３はケージ１の昇陪駆動装置である。一方、
ケージ１には扉４．内隔壁５で仕切られたケージ室６の
他、ケージ室６の外周側にはケージ室内を経由してその
天井と床面との間に循環通風路７が画成されており、か
つ循環通風路７にはケージ室の天井に設置した高性能フ
ィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）８と駆動モータ９で駆動さ
れる送風機１０とを組合せたクリーンユニットが設備さ
れている。なお、１１：よ空気吸込口を兼ねたゲージ室
６のフロアである。かかる構成で送風機１０を運転する
と、点線矢印で示すようにケージ室内には高性能フィル
タ８を透過して清浄化されたクリーンエアがフロア１１
に向けてダウンフローする。そして、ケージ室内で発生
した浮遊塵埃はフロア１１より吸い込まれ、循環通風路
７０通風途上で高性能フィルタ８により除塵される。

一方、ゲージ室６には室内空気の清浄度を検出するセン
サ１２が設置されている。また、駆動モータ９の電源側
には送風機の運転制御手段として回転数制御用の、イン
バータ１３が接続されており、このインバータ１３に前
記センサ１２の検出信号を与えてインバータ出力を制御
するようにしている。

ここで、前記したセンサ１２はケージ室６の室内空気の
清浄度を監視し、時）を刻々に検出出力をインバータ１
３に与える。一方、インバータ１３はセンサ１２の検出
出力を基に、あらかじめ設定した空気清浄度の基準レベ
ルに対してケージ室内の空気清浄度が低い、つまり室内
空気が汚れている状態では、駆動モータ９の回転数を上
げて送風機１０の送風量を高める。これに対して、逆に
ケージ室内の空気清浄度が高い、つまり室内空気の汚れ
の度合が基準レベル以下である状態では、駆動モータ９
の回転数を下げて送風８１１０の送風量を低めるように
段階的、ないし無段階的に運転制御する。

これにより、エレベータケージ１の扉４の開閉、ケージ
室内への人、物の出入りなどに伴うケージ室内の塵埃汚
染の度合に応じてクリーンエアの送風量が最適な風量に
調整され、特に非運搬時のようにケージ室内空気の汚れ
が少ない状態では、余分な電力消費を抑えながらケージ
室内の空気清浄度を所定レベルに維持することができる
。

〔発明の効果〕

本発明によるエレベータ装置は、以上説明したように構
成されているので、次記の効果を奏する。

すなわち、センサで検出したケージ室内の空気清浄度を
基に、送風機を運転制御してクリーンエアの送風量を適
正風量に調整することにより、ケージ室内の空気清浄度
を所定レベルに維持しつつ、しかもエレベータの全稼働
時間を通して必要以上な消費電力の浪費を抑えて運転コ
ストの節減化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成図である０図において、 １：ケージ、６：ケージ室、７：循環通風路、８：高性
能フィルタ、９：駆動モータ、１０：送風機、１２：空
気清浄度検出用センサ、１３：インバータ（送風機の運
転制御手段）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）クリーンルーム施設の建屋内で使用するエレベータ
   装置であり、エレベータのケージに送風機、高性能フィ
   ルタを経てケージ室内へクリーンエアを供給するクリー
   ンユニットを装備したものにおいて、ケージ室内の空気
   清浄度を検出するセンサと、該センサの検出出力を基に
   ケージ室内の空気清浄度の高、低状況に対応してクリー
   ンエアの供給量を低、高風量に制御する送風機の運転制
   御手段とを備えたことを特徴とするクリーンルーム用エ
   レベータ装置。