JPH06239567A - クリーンルーム用エレベータ - Google Patents
クリーンルーム用エレベータInfo
- Publication number
- JPH06239567A JPH06239567A JP2706593A JP2706593A JPH06239567A JP H06239567 A JPH06239567 A JP H06239567A JP 2706593 A JP2706593 A JP 2706593A JP 2706593 A JP2706593 A JP 2706593A JP H06239567 A JPH06239567 A JP H06239567A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elevator
- air
- clean room
- dust
- bucket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Types And Forms Of Lifts (AREA)
- Cage And Drive Apparatuses For Elevators (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体，電子部品等を生産するクリーンルーム
において、異なるクリーン度雰囲気にある上下フロア間
を昇降するエレベータのエレベータバケット内で、作業
者あるいは搬送物に付着している塵埃のばらつきが少く
安定した除去を行う。 【構成】昇降動作を行うエレベータバケット６内に空気
を送風する送風機１と、この送風機１から送風された空
気を除塵する高性能フィルタ７と、この高性能フィルタ
７によって除塵された空気を噴出する吹き出しノズル２
とを備えたエアシャワ装置のユニットを有し、エレベー
タバケット６の昇降動作中に作業者と搬送物に清浄空気
を吹き付けて塵埃の除去を行う。
において、異なるクリーン度雰囲気にある上下フロア間
を昇降するエレベータのエレベータバケット内で、作業
者あるいは搬送物に付着している塵埃のばらつきが少く
安定した除去を行う。 【構成】昇降動作を行うエレベータバケット６内に空気
を送風する送風機１と、この送風機１から送風された空
気を除塵する高性能フィルタ７と、この高性能フィルタ
７によって除塵された空気を噴出する吹き出しノズル２
とを備えたエアシャワ装置のユニットを有し、エレベー
タバケット６の昇降動作中に作業者と搬送物に清浄空気
を吹き付けて塵埃の除去を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム用エレベ
ータに関し、特に半導体，電子部品等を生産するクリー
ンルーム間で使用するクリーンルーム用エレベータに関
する。
ータに関し、特に半導体，電子部品等を生産するクリー
ンルーム間で使用するクリーンルーム用エレベータに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、清浄度レベルがクラス１，０００
から１００，０００程度のクリーンルーム内で使用する
エレベータについては、エレベータバケット内部の清浄
度レベルをクラス１００程度に保持する為に、その天井
部にＨＥＰＡフィルタを取り付けたものは普及している
が、積極的な塵埃の除去を目的とするエアシャワ装置を
取り付けた例としては、図２に示すように、送風機１か
ら送られる空気を階段室側壁面に多数配置した吹き出し
ノズル２から噴出させて作業者が階段３を昇降する際に
無塵衣に付着している塵埃を除去する構造の階段型エア
シャワ装置がある（例えば、特公昭６２−１９６６３号
公報参照）。
から１００，０００程度のクリーンルーム内で使用する
エレベータについては、エレベータバケット内部の清浄
度レベルをクラス１００程度に保持する為に、その天井
部にＨＥＰＡフィルタを取り付けたものは普及している
が、積極的な塵埃の除去を目的とするエアシャワ装置を
取り付けた例としては、図２に示すように、送風機１か
ら送られる空気を階段室側壁面に多数配置した吹き出し
ノズル２から噴出させて作業者が階段３を昇降する際に
無塵衣に付着している塵埃を除去する構造の階段型エア
シャワ装置がある（例えば、特公昭６２−１９６６３号
公報参照）。
【０００３】また、図３に示すように、上下のフロア間
に構成した搬送室４内の壁面に吹き出しノズル２を多数
個配置してその内部を上下動する搬送物５に直接清浄空
気を吹き付ける構造のエアシャワ装置もある（例えば、
特開昭６３−１３５７３９号公報参照）。
に構成した搬送室４内の壁面に吹き出しノズル２を多数
個配置してその内部を上下動する搬送物５に直接清浄空
気を吹き付ける構造のエアシャワ装置もある（例えば、
特開昭６３−１３５７３９号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のエアシャワ
装置では下記の如き欠点を有しているすなわち、図２に
示す階段型エアシャワ装置では、作業者が階段３を歩行
することによって付着している塵埃の除去を行う為、対
象は作業者並びに作業者が持って運搬できる資材に限定
される。従って、無人エレベータ，垂直搬送機等の場合
に搭載可能な作業者以外の搬送物については適用できな
い。
装置では下記の如き欠点を有しているすなわち、図２に
示す階段型エアシャワ装置では、作業者が階段３を歩行
することによって付着している塵埃の除去を行う為、対
象は作業者並びに作業者が持って運搬できる資材に限定
される。従って、無人エレベータ，垂直搬送機等の場合
に搭載可能な作業者以外の搬送物については適用できな
い。
【０００５】また、作業者の階段３の歩行時間のばらつ
きによってエアシャワによる塵埃の除去効率にもばらつ
きが生じ易く、その上建設コストの高いクリーンルーム
のスペースを有効利用すると云う点から見て階段型エア
シャワ装置をクリーンルーム内に設けることは非合理で
ある。
きによってエアシャワによる塵埃の除去効率にもばらつ
きが生じ易く、その上建設コストの高いクリーンルーム
のスペースを有効利用すると云う点から見て階段型エア
シャワ装置をクリーンルーム内に設けることは非合理で
ある。
【０００６】一方、図３に示すエアシャワ装置では、エ
レベータ装置で使用されるエレベータバケットが無く搬
送室４内全体がエアシャワ室となる為、除塵効率を向上
させる為には吹き出しノズル２を搬送ストローク全域に
渡って数多く設置する必要があり、上下のフロア間を連
結するような場合には、図２に示す階段式エアシャワ装
置同様相当に大規模なものとなる。また、当然のことな
がら作業者対応の塵埃除去は不可能である。
レベータ装置で使用されるエレベータバケットが無く搬
送室４内全体がエアシャワ室となる為、除塵効率を向上
させる為には吹き出しノズル２を搬送ストローク全域に
渡って数多く設置する必要があり、上下のフロア間を連
結するような場合には、図２に示す階段式エアシャワ装
置同様相当に大規模なものとなる。また、当然のことな
がら作業者対応の塵埃除去は不可能である。
【０００７】本発明の目的は、作業者と搬送物に適用で
き、塵埃の除去効率にばらつきがなく、クリーンルーム
のスペースを有効に利用できるクリーンルーム用エレベ
ータを提供することにある。
き、塵埃の除去効率にばらつきがなく、クリーンルーム
のスペースを有効に利用できるクリーンルーム用エレベ
ータを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
用エレベータは、昇降動作を行うエレベータバケット
と、該エレベータバケット内に収納され清浄な空気を噴
出させ被除塵物体に付着した塵埃を除去するエアシャワ
装置のユニットとを備え、前記エアシャワ装置のユニッ
トが、空気を送風する送風機と、該送風機により送風さ
れた空気を除塵する高性能フィルタと、該高性能フィル
タにて除塵された空気を少くとも一方向から噴出する複
数の吹き出しノズルとを備えている。
用エレベータは、昇降動作を行うエレベータバケット
と、該エレベータバケット内に収納され清浄な空気を噴
出させ被除塵物体に付着した塵埃を除去するエアシャワ
装置のユニットとを備え、前記エアシャワ装置のユニッ
トが、空気を送風する送風機と、該送風機により送風さ
れた空気を除塵する高性能フィルタと、該高性能フィル
タにて除塵された空気を少くとも一方向から噴出する複
数の吹き出しノズルとを備えている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例の
概略の構成を示す断面図およびそのエレベータバケット
のＡ−Ａ′線断面図である。図１（ａ），（ｂ）に示す
ように、エレベータバケット６内には、空気を送風する
送風機１とこの送風機１によって送られた空気を除塵す
る高性能フィルタ７とこの高性能フィルタ７によって除
塵された空気を噴出する吹き出しノズル２が収納され、
エアシャワ装置のユニットを形成する構造となってい
る。また、クリーンルームの上下のフロア９ａ，９ｂに
は、それぞれ自動ドア機構の乗り場戸８ａ，８ｂが設置
され、一方、エレベータバケット６には、付随して自動
ドア機構のバケット戸１０が設置されている。
概略の構成を示す断面図およびそのエレベータバケット
のＡ−Ａ′線断面図である。図１（ａ），（ｂ）に示す
ように、エレベータバケット６内には、空気を送風する
送風機１とこの送風機１によって送られた空気を除塵す
る高性能フィルタ７とこの高性能フィルタ７によって除
塵された空気を噴出する吹き出しノズル２が収納され、
エアシャワ装置のユニットを形成する構造となってい
る。また、クリーンルームの上下のフロア９ａ，９ｂに
は、それぞれ自動ドア機構の乗り場戸８ａ，８ｂが設置
され、一方、エレベータバケット６には、付随して自動
ドア機構のバケット戸１０が設置されている。
【００１１】次に、この構造のクリーンルーム用エレベ
ータの動作について説明する。まず、作業者がフロア９
ａまたは９ｂにてエレベータ呼釦（図視せず）を押して
エレベータバケット６を所望のフロア９ａまたは９ｂに
停止させる。エレベータバケット６が停止すると乗り場
戸８ａまたは８ｂとバケット戸１０が同時に開き、エレ
ベータバケット６内に作業者が乗り込むと数秒経過した
後に乗り場戸８ａまたは８ｂとバケット戸１０が閉じ
る。同時に送風機１が作動すると高性能フィルタ７を通
過して除塵された空気が吹き出しノズル２から強い風と
なって噴出する。作業者および搬送物がこの風にあたる
ことによって除塵が行われる。
ータの動作について説明する。まず、作業者がフロア９
ａまたは９ｂにてエレベータ呼釦（図視せず）を押して
エレベータバケット６を所望のフロア９ａまたは９ｂに
停止させる。エレベータバケット６が停止すると乗り場
戸８ａまたは８ｂとバケット戸１０が同時に開き、エレ
ベータバケット６内に作業者が乗り込むと数秒経過した
後に乗り場戸８ａまたは８ｂとバケット戸１０が閉じ
る。同時に送風機１が作動すると高性能フィルタ７を通
過して除塵された空気が吹き出しノズル２から強い風と
なって噴出する。作業者および搬送物がこの風にあたる
ことによって除塵が行われる。
【００１２】次に、エレベータバケット６は、上昇また
は下降動作を開始し所定のフロア９ａまたは９ｂ迄移動
して停止する。その後、送風機１を停止させると同時に
乗り場戸８ａまたは８ｂとバケット戸１０が開く。尚、
エアシャワ時間を長くする為にはエレベータバケット６
の移動停止後でも必要時間運転し、その後にバケット戸
１０と乗り場戸８ａまたは８ｂを開けるようにしても良
い。
は下降動作を開始し所定のフロア９ａまたは９ｂ迄移動
して停止する。その後、送風機１を停止させると同時に
乗り場戸８ａまたは８ｂとバケット戸１０が開く。尚、
エアシャワ時間を長くする為にはエレベータバケット６
の移動停止後でも必要時間運転し、その後にバケット戸
１０と乗り場戸８ａまたは８ｂを開けるようにしても良
い。
【００１３】以上の説明は、作業者対応時の手動操作に
よるものであるが、例えば無人搬送者等を乗り込ませ
て、エレベータを全自動で運転する場合でも全く同様の
効果が得られる。
よるものであるが、例えば無人搬送者等を乗り込ませ
て、エレベータを全自動で運転する場合でも全く同様の
効果が得られる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、エアシャ
ワ装置をエレベータのエレベータバケット内に装備した
ので、エレベータが昇降動作をしている間にそのエレベ
ータバケット内において被除塵物体の塵埃除去が可能と
なる。従って、クリーン度の異なるフロア間において垂
直移動機能とインターロック機能が全く同時に実施でき
ると云う格別の効果が生じる。その上、建設コストの高
いクリーンルーム内において特別なフロア，空間を必要
とせず、また有人，無人運転あるいは手動，自動運転を
区別すること無く、従来のエアシャワ装置より小規模で
除塵効果のばらつきが少い安定したエアシャワ効果が得
られる等の利点がある。
ワ装置をエレベータのエレベータバケット内に装備した
ので、エレベータが昇降動作をしている間にそのエレベ
ータバケット内において被除塵物体の塵埃除去が可能と
なる。従って、クリーン度の異なるフロア間において垂
直移動機能とインターロック機能が全く同時に実施でき
ると云う格別の効果が生じる。その上、建設コストの高
いクリーンルーム内において特別なフロア，空間を必要
とせず、また有人，無人運転あるいは手動，自動運転を
区別すること無く、従来のエアシャワ装置より小規模で
除塵効果のばらつきが少い安定したエアシャワ効果が得
られる等の利点がある。
【図１】（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例の概略の構
成を示す断面図およびそのエレベータバケットのＡ−
Ａ′線断面図である。
成を示す断面図およびそのエレベータバケットのＡ−
Ａ′線断面図である。
【図２】従来の階段型エアシャワ装置の一例の一部切欠
き斜視図である。
き斜視図である。
【図３】従来の搬送兼エアシャワ装置の一例の断面図で
ある。
ある。
１ 送風機 ２ 吹き出しノズル ３ 階段 ４ 搬送室 ５ 搬送物 ６ エレベータバケット ７ 高性能フィルタ ８ａ，８ｂ 乗り場戸 ９ａ，９ｂ フロア １０ バケット戸
Claims (2)
- 【請求項１】 昇降動作を行うエレベータバケットと、
該エレベータバケット内に収納され清浄な空気を噴出さ
せ被除塵物体に付着した塵埃を除去するエアシャワ装置
のユニットとを備えたことを特徴とするクリーンルーム
用エレベータ。 - 【請求項２】 前記エアシャワ装置のユニットが、空気
を送風する送風機と、該送風機により送風された空気を
除塵する高性能フィルタと、該高性能フィルタにて除塵
された空気を少くとも一方向から噴出する複数の吹き出
しノズルとを備えたことを特徴とする請求項１記載のク
リーンルーム用エレベータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2706593A JPH06239567A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | クリーンルーム用エレベータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2706593A JPH06239567A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | クリーンルーム用エレベータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06239567A true JPH06239567A (ja) | 1994-08-30 |
Family
ID=12210678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2706593A Pending JPH06239567A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | クリーンルーム用エレベータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06239567A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100758651B1 (ko) * | 2007-05-16 | 2007-09-13 | 주식회사 신한엘리베이타 | 에어 샤워가 장착된 엘리베이터 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02295879A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-06 | Fuji Electric Co Ltd | クリーンルーム用エレベータ装置 |
-
1993
- 1993-02-17 JP JP2706593A patent/JPH06239567A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02295879A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-06 | Fuji Electric Co Ltd | クリーンルーム用エレベータ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100758651B1 (ko) * | 2007-05-16 | 2007-09-13 | 주식회사 신한엘리베이타 | 에어 샤워가 장착된 엘리베이터 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6616764B2 (en) | Powder coating booth with a cleaning device and method | |
| TWI693187B (zh) | 物品搬送設備 | |
| JPH06239567A (ja) | クリーンルーム用エレベータ | |
| KR870001594B1 (ko) | 스프레이 도장용 부우드(booth) | |
| KR100579939B1 (ko) | 고층건물의 외벽 도장시스템 및 도장공법 | |
| JP2001313325A (ja) | 物品容器開閉・転送装置 | |
| JPS60140035A (ja) | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 | |
| JP4126250B2 (ja) | 搬送システム | |
| JP2003146429A (ja) | キャリア受け渡し方法及びキャリア受け渡し装置 | |
| JPH11130360A (ja) | 除塵装置 | |
| JP2935444B2 (ja) | クリーンルーム用垂直搬送装置 | |
| JPH08119430A (ja) | 石炭搬送用ベルトコンベヤ装置の清掃装置 | |
| JP2979846B2 (ja) | 無人搬送車 | |
| JPH04365777A (ja) | 昇降路清掃装置 | |
| JPH09255260A (ja) | クリーンルーム用昇降装置 | |
| KR20220102393A (ko) | 접철식 무인로봇 도장장치 | |
| JPH0555350A (ja) | オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置 | |
| JP3446858B2 (ja) | クリーンルーム用の昇降装置 | |
| JPH06183663A (ja) | クリーンルーム用昇降機 | |
| JP4851678B2 (ja) | 施釉装置 | |
| JPS61295903A (ja) | クリ−ンル−ム間の搬送装置 | |
| JPH1017252A (ja) | エレベータの乗りかご | |
| JPH10182055A (ja) | 乗客コンベアの保守用具運搬台車 | |
| JPH0231495Y2 (ja) | ||
| JPH07331498A (ja) | メッキ設備ヒューム回収装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19950627 |