JP3446858B2 - クリーンルーム用の昇降装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、荷の移載を行う移
載手段が備えられた昇降台と、その昇降台を昇降駆動す
る昇降駆動手段と、略筒状に形成されて、内部空間が前
記昇降台の昇降通路となる昇降枠体とが設けられ、前記
昇降枠体の周壁部における上下方向複数箇所に、前記荷
を移載するための開口が形成されたクリーンルーム用の
昇降装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかるクリーンルーム用の昇降装置は、
略筒状に形成された昇降枠体の内部空間を昇降通路とし
て、荷の移載を行う移載手段を備えた昇降台を、昇降枠
体に形成した荷を移載するための開口間に亘って昇降駆
動し、各開口で荷の移載を行うことで、各開口間で荷を
昇降搬送するものであり、例えば、クリーンルームを２
階建て以上の複数階構成とし、昇降枠体を複数階を貫通
する状態で設置し、昇降枠体の開口を各階毎に形成し
て、荷を各階間で搬送する場合等に利用される。ここ
で、昇降台の昇降通路を略筒状に形成しているのは、昇
降台の昇降機構により発生する塵埃がクリーンルーム内
に飛散するのを防止するためであり、又、昇降台に移載
手段を備えているのは、各開口毎に移載手段を設ける構
成に較べて構成の簡素化を図れるからである。

【０００３】クリーンルーム内で搬送対象となる荷は、
通常、極めて塵埃を嫌うものであり、これは昇降枠体内
の昇降通路を搬送する場合においても同様で、クリーン
ルーム内と同様に塵埃の除去を考慮する必要ある。昇降
枠体の内部空間を除塵する一般的な構成としては、昇降
枠体の内部空間に清浄空気をいわゆるダウンフロー状態
で通風する構成が従来から考えられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、可動部
を有することで塵埃の発生源となる移載手段が荷の昇降
搬送を行う昇降台に備えられる構成に対しては、上記従
来の除塵のための構成を適用しても、搭載される荷の近
くに塵埃の発生源が存在することから、除塵が不十分と
なる虞れがあった。本発明は、上記実情に鑑みてなされ
たものであって、その目的は、昇降台に移載手段が備え
られた場合においても、昇降通路を的確に除塵し、荷に
塵埃が付着するのを可及的に防止する点にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記請求項１記載の構成
を備えることにより、昇降台の昇降通路となる昇降枠体
の内部空間の塵埃を、清浄手段が通風によって除去する
と共に、昇降台の移載手段により発生する塵埃は、昇降
台に備えられた補助清浄手段が通風によって除去する。
つまり、昇降台の昇降通路全体を清浄手段にて除塵し、
搬送される荷と共に昇降移動する塵埃の発生源に対して
は、その発生源近くで的確に除塵する構成としているの
であり、もって、清浄手段と補助清浄手段とによって昇
降通路を的確に除塵し、荷に塵埃が付着するのを可及的
に防止できるものとなる。

【０００６】又、上記請求項１記載の構成を備えること
により、送風機と除塵フィルタとが一体的に備えられて
清浄空気を送風する送風ユニットにて、昇降枠体の内部
空間の塵埃を通風により除去するのであるが、その送風
ユニットは、昇降枠体において上下方向に並ぶ状態で複
数個設けられている。従って、昇降枠体の内部空間にお
いて単にダウンフロー状態で通風したのでは、下方に向
かうほど塵埃の密度が高くなって除塵が不完全になり、
又、昇降枠体の内部空間は必ずしも滑らかな側面を有す
るものではないので、通風の状態が乱れて部分的に除塵
が不完全となる場合もあることから、昇降通路の塵埃の
除去が上下方向で不均一となるのに対し、上記のように
送風ユニットを上下方向に複数個並べて配置すること
で、昇降通路の除塵を上下方向で均一に行うことができ
る。

【０００７】又、上記請求項１記載の構成を備えること
により、昇降台は、平面視による断面形状が四角形とな
るように形成されて昇降通路を昇降して荷の昇降搬送を
行う。この昇降通路を形成する昇降枠体には、前記四角
形をなす一側面に送風ユニットが備えられており、送風
ユニットが備えられた側面に隣接する両側面は二重壁状
に形成されて、送風ユニットによる通風の帰還流路を形
成し、更に、送風ユニットが備えられた側面に対向する
側面は、その帰還流路に連通している。つまり、送風ユ
ニットから送風された清浄空気の主な流路は、昇降通路
を通過した後、対向する側面を経由して送風ユニットに
対して左右の側面となる二重壁状の帰還流路を通過して
送風ユニットを設けた側面に戻る。従って、清浄空気が
先ず除塵対象空間である昇降通路を通過することを基本
として、昇降通路を通過した後に左右の帰還流路に分か
れて戻ることになり、昇降通路を的確に除塵しながら、
送風ユニットによる通風の流路を全体として均整のとれ
たものとでき円滑に除塵を行える。

【０００８】又、上記請求項２記載の構成を備えること
により、二重壁状の側面にて形成される通風の帰還流路
内に設けられた昇降機構が昇降駆動手段の駆動力を伝達
して、昇降台を昇降させる。昇降機構は駆動力の伝達す
る機構であるので可動部を有し、塵埃の発生源となる。
このような塵埃の発生源を上記の帰還流路内に配置する
ことで、発生した塵埃が昇降通路に漏れ出るのを可及的
に防止でき、昇降通路を一層清浄なものとできる。

【０００９】又、上記請求項３記載の構成を備えること
により、昇降台は、昇降台に連設され且つ通風の帰還流
路内に位置する被案内体が、索状体に吊下げ支持された
状態で案内レールに昇降案内されることで昇降する。こ
のような構成で昇降案内されることで、昇降台は安定姿
勢で昇降するものとなるが、その反面で被案内体と案内
レールとの接触作用で塵埃が発生することになる。そこ
で、被案内体及び案内レール等からなる昇降機構を通風
の帰還流路内に配置することで、安定して昇降案内でき
ながらも、昇降通路を清浄なものとできる。

【００１０】又、上記請求項４記載の構成を備えること
により、昇降台に連設された被案内体を吊下げ支持する
索状体に、昇降台の重量を補償するためのバランスウェ
イトが連結されているので、昇降駆動手段にて昇降台を
昇降駆動するときに必要な駆動力を可及的に小さくでき
るが、その反面でバランスウェイトが周囲の部材との接
触により塵埃が発生する場合もある。そこで、このバラ
ンスウェイトも通風の帰還流路内に配置することで、小
さい駆動力で昇降台を昇降駆動できながらも、昇降通路
を清浄なものとできる。

【００１１】又、上記請求項５記載の構成を備えること
により、送風ユニットを備えた側面に対向する側面に装
置点検用のはしごが設けられている。昇降通路を構成す
る昇降枠体は一般的に上下方向に長尺となるので昇降枠
体の内部を点検するのが容易ではない。そこで、装置点
検用のはしごを設け、作業者がこのはしごを利用して昇
降通路を移動し、各種装置の点検を行えるようにしてい
る。しかも、この装置点検用のはしごの設置位置は、送
風ユニットを備えた側面に対向する側面に設置されてお
り、送風ユニットによる通風を乱すことも少ないものと
してあり、昇降通路の除塵を的確に行えるものとしなが
ら、装置のメンテナンスに便利なものすることができ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を、２階建てのクリ
ーンルーム間で、複数枚の半導体ウェハ等をキャリアに
収納した状態の荷Ｃを搬送する設備に適用した場合の実
施の形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示
すように、クリーンルームＣＬは２階建てに構成され、
荷Ｃの昇降搬送のための昇降枠体ＴＦが、一階の通風可
能な作業用床面ＷＦ及び天井フィルタＦＣ並びに２階の
建屋の床面ＣＦ及び作業用床面ＷＦを貫通する状態で設
置されている。

【００１３】昇降枠体ＴＦは略筒状に形成され、昇降枠
体ＴＦ内には昇降枠体ＴＦの内部空間を昇降通路とする
昇降台１が昇降自在に設けられ、昇降枠体ＴＦの一側面
には送風機２ａとその送風機２ａの送風方向下手側に位
置する高性能の除塵フィルタ２ｂとを備えた送風ユニッ
ト２が昇降枠体内方側に送風する姿勢で上下方向に並ぶ
状態で複数個取付られている。又、昇降枠体ＴＦ内を冷
却する等のために、昇降枠体ＴＦの上端及び２階のクリ
ーンルームＣＬの作業用床面ＷＦの下方側に外気取り入
れ口ＡＩが備えられ、２階のクリーンルームＣＬの作業
用床面ＷＦの下方側及び昇降枠体ＴＦの下端近くに排気
ファンを備えた排気口ＡＯが備えられており、更に、昇
降枠体ＴＦの上端から取り入れた空気を清浄にするため
に昇降枠体ＴＦの上端近くにも、下方に向けて送風する
送風ユニット２が取り付けられている。

【００１４】昇降台１は、昇降枠体ＴＦ内を昇降して１
階のクリーンルームＣＬと２階のクリーンルームＣＬと
の間で荷Ｃを昇降搬送するのであるが、昇降台１に荷Ｃ
を移載するために、１階及び２階のクリーンルームＣＬ
の夫々において昇降枠体ＴＦに上下一対の開口３が形成
され、各開口３の夫々には、自動開閉式の扉ユニットＤ
Ｕが取り付けられ、各開口３の夫々に対応して荷Ｃを搬
送するコンベア装置ＴＣが１階及び２階のクリーンルー
ムＣＬに設置されている。尚、コンベア装置ＴＣと昇降
台１との荷Ｃの移載は、昇降台１に備えられた移載手段
ＭＭにて行う。

【００１５】昇降台１を昇降させるための構成は、図３
に概略的に示すように、昇降台１を昇降案内するための
案内レール４、その案内レール４に接触案内される案内
用ローラ５ａを備えて昇降台１に連設される被案内体
５、その被案内体５を吊下げ支持する索状体であるワイ
ヤ６、ワイヤ６の途中に連結されて昇降台１の重量を補
償するためのバランスウェイト７及びワイヤ６を案内す
るガイドプーリ８等から構成される昇降機構ＵＭを、ワ
イヤ６の巻き取り及び送り出しをする巻き取り装置９の
駆動力にて作動させるものである。この昇降機構ＵＭ等
について更に説明すると、図４に示すように、昇降台１
を昇降駆動する昇降駆動手段である巻き取り装置９は、
駆動源である昇降駆動用モータ９ａ、その昇降駆動用モ
ータ９ａの回転速度を減速する減速機９ｂ及びその減速
機９ｂの出力軸にて一体的に回転駆動される一対の巻き
取りドラム９ｃ，９ｄとから構成され、被案内体５、ワ
イヤ６及びバランスウェイト７も一対の巻き取りドラム
９ｃ，９ｄに対応して夫々一対に設けられている。

【００１６】昇降台１の昇降通路を形成する昇降枠体Ｔ
Ｆは、図１におけるＡ−Ａ断面図である図５に示すよう
に、昇降通路の平面視による断面が四角形となるよう
に、昇降枠体ＴＦ自体が略正方形となっている。昇降枠
体ＴＦは、第１〜第４の主マスト１０ａ，１０ｂ，１０
ｃ，１０ｄ、６本の補助マスト１１、上下方向適宜箇所
においてこれらの主マスト１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１
０ｄ及び補助マスト１１を連結する横フレーム１２並び
にこれらを四方からカバーする外パネル１３を主体とし
て構成されている。第１〜第４の主マスト１０ａ，１０
ｂ，１０ｃ，１０ｄのうち、第１主マスト１０ａ及び第
３主マスト１０ｃは、それの一部に昇降台１の被案内体
５を昇降案内する案内レール４が一体的に形成されてお
り、昇降枠体ＴＦと支持部材としての機能と、昇降台１
と昇降案内する昇降機構ＵＭとしての機能とを兼ね備え
ている。又、第２主マスト１０ｂ及び第４主マスト１０
ｄには、バランスウェイト７の案内用ローラ７ａの案内
面１６が形成されて、バランスウェイト７を昇降案内す
る。

【００１７】この昇降枠体ＴＦにおいて、昇降通路の四
角形を構成する一側面に、除塵フィルタ２ｂが昇降枠体
ＴＦの内方側を向く姿勢で補助マスト１１に取り付けら
れており、送風ユニット２を設置している側面に隣接す
る両側面は、補助マスト１１に取り付けられた一対の内
カバー１４ａ，１４ｂによって二重壁状としてある。更
に、送風ユニット２を設置している側面に対向する側面
には、装置点検用のはしご１５が備えられ、図示を省略
する扉から昇降枠体ＴＦ内に入った作業者が昇降枠体Ｔ
Ｆ内を装置の点検のために昇降できるようにしてある。
昇降枠体ＴＦの一側面に備えた送風ユニット２を送風作
動させると、送風機２ａから送り出された風は、図５と
同位置を示す図６において概略的に矢印Ｂに示すよう
に、主に、除塵フィルタ２ｂを通過して除塵された後、
昇降通路を通過して送風ユニット２設置側面に対向する
側面から二重壁状の側面の内部を通り送風機２ａの背面
側に戻る。従って、二重壁状の側面で送風ユニット２に
よる通風の帰還流路を形成しており、送風ユニット２設
置側面に対向する側面がその帰還流路と連通して、被案
内体５，ワイヤ６及びバランスウェイト７等の昇降機構
ＵＭが通風の帰還流路に位置している。尚、送風ユニッ
ト２による通風経路を平面視によって説明したが、昇降
枠体ＴＦの上端には昇降枠体ＴＦ内を冷却する等のため
に下方に送風する送風ユニット２が備えられているの
で、矢印Ｂで示す通風は必ずしも水平方向を向くもので
はない。送風ユニット２による通風によって昇降枠体Ｔ
Ｆの内部空間の塵埃が除塵フィルタ２ｂに集められるの
で、送風ユニット２は、昇降枠体ＴＦの内部空間の塵埃
を通風により除去する清浄手段ＡＣとして機能する。

【００１８】次に、昇降台１の構成について説明する。
昇降台１は、図７及び図８に示すように、被案内体５に
連設される架台１７に、主に架台１７の上方側に位置す
る荷Ｃの移載手段ＭＭと、架台１７の下部にカバー体１
８にて覆われる状態の小型送風ユニット１９とが備えら
れて構成されている。移載手段ＭＭは、荷Ｃを把持する
左右一対の把持アーム２０ａをモータ２０ｂにて接近離
間方向に駆動移動自在の把持装置２０と、その把持装置
２０をクリーンルームＣＬに設置されたコンベア装置Ｔ
Ｃに対してモータ２１ａの駆動力にて出退させるいわゆ
るランニングフォーク機構を備えた出退装置２１と、把
持装置２０及び出退装置２１取り付けた旋回台２２ｂを
モータ２２ａの駆動力にて縦軸芯回りで旋回させる旋回
装置２２とから構成されている。移載手段ＭＭは、図３
に示すように昇降台１側と地上側とに夫々設けられた光
伝送装置２３，２４との通信によって地上側からの指令
を受け取り、出退装置２１が出退動作し、又、旋回装置
２２が旋回作動する。

【００１９】小型送風ユニット１９は、昇降枠ＴＦに備
えられる送風ユニット２と同様の構成で、送風機１９ａ
及び除塵フィルタ１９ｂからなり、移載手段ＭＭ内を送
風機１９ａにて吸引して除塵フィルタ１９ｂにて除塵し
た後、下方に向けて排出することで、移載手段ＭＭにて
発生した塵埃を通風により除去している。移載手段ＭＭ
のうち把持装置２０は小型送風ユニット１９の吸引力を
直接作用させるのは困難であるので、把持装置２０と旋
回台２２ｂをパイプ２２ｃで接続し、図示しない真空ポ
ンプにて把持装置２０内を吸引して旋回台２２ｂ内に排
出することで把持装置２０内の除塵を行っている。従っ
て、小型送風ユニット１９は、移載手段ＭＭにより生じ
た塵埃を通風により除去する補助清浄手段ＳＡとして機
能する。

【００２０】この移載手段ＭＭが、コンベア装置ＴＣに
対して荷Ｃの移載を行う開口３には、上述のように扉ユ
ニットＤＵが設けられ、この扉ユニットＤＵは、図１に
おけるＤ−Ｄ断面図である図９及び図１０に示すよう
に、昇降枠体ＴＦの内方側へ観音開き式に開閉自在の左
右一対の扉体２５ａ，２５ｂが備えられ、扉体２５ａ，
２５ｂが閉じ状態のときには、昇降枠体ＴＦの開口３を
ほぼ密閉状態とする。左右一対の扉体２５ａ，２５ｂを
開閉するための機構は、図１０に示すように扉体２５
ａ，２５ｂの下方側に設けられ、図１１に示すように、
扉体２５ａ，２５ｂの回動軸を連結杆２６ａ，２６ｂを
介して回動駆動する回転駆動体２７と、扉体２５ａ，２
５ｂを回動駆動するためのモータ２８と、そのモータ２
８の回転軸とタイミングベルト２８ａによって連動し、
回転駆動体２７の回転軸２７ａに回転自在に取り付けら
れたプーリ２９と、プーリ２９の回転力を回転駆動体２
７の回転軸２７ａに伝達して縦軸芯回りに回動させる状
態と伝達を切り離す状態との切換える電磁クラッチ３０
とから構成され、扉体２５ａ，２５ｂの開閉を検出する
ために、回転駆動体２７の周部の適宜位置に形成された
回転位置検出用凸部２７ｂに押し操作される一対のリミ
ットスイッチ３１が設けられている。

【００２１】この電磁クラッチ３０は、通電状態でプー
リ２９の回転力を回転軸２７ａに伝達する状態となって
おり、通常は通電状態で使用される。この状態で、図示
しない制御手段からの指令により、昇降台１の昇降とタ
イミングと取りながらリミットスイッチ３１の検出信号
に基づいてモータ２８を作動させて扉体２５ａ，２５ｂ
を開閉操作する。但し、手動操作で扉体２５ａ，２５ｂ
を開閉操作することも可能で、図１０に示すように扉ユ
ニットＤＵのクリーンルームＣＬ側の面に備えられた操
作スイッチ３２にて自動開閉から手動開閉に切り換え
て、開きスイッチ又は閉じスイッチを押し操作して扉体
２５ａ，２５ｂの開閉を行う。又、電磁クラッチ３０
は、図３に示す煙感知器３３が昇降枠体ＴＦ内で煙を感
知すると非通電状態となって、プーリ２９と回転駆動体
２７の回転軸２７ａとの連結を切り離し、図示しない付
勢手段によって閉じ側に付勢された扉体２５ａ，２５ｂ
は閉じ作動する。つまり、扉体２５ａ，２５ｂは防火扉
としての機能をも備えている。尚、停電や断線によって
電磁クラッチ３０が非通電状態となったときも同様の動
作をする。

【００２２】上記構成の扉ユニットＤＵを備えた開口３
は、各階に上下に２箇所設けられ、上側の開口３はクリ
ーンルームＣＬからの荷Ｃの搬出用であり、下側の開口
３はクリーンルームＣＬへの荷Ｃの搬入用である。これ
ら各開口３に適正に昇降台１を停止させるために、図５
及び図７に示すように、昇降台１にフォトインタラプタ
形式の光センサ３４が備えられ、昇降枠体ＴＦ側に、光
センサ３４の検出対象となる被検出板３５が適宜位置に
設置されている。光センサ３４の検出信号を伝える信号
線は、電力供給線等ともにケーブルベア式の電線保持具
３６に保持された状態で地上側の制御手段に接続され
る。昇降台１を各開口３に位置させる場合、昇降台１の
停止高さは、把持装置２０の把持アーム２０ａの高さが
コンベア装置ＴＣ上に載置されている荷Ｃを把持可能な
高さとなる把持アーム操作位置と、その把持アーム操作
位置より若干高い持ち上げ位置とがあり、これらの位置
に対応して上記光センサ３４の検出対象である被検出板
３５が設置されている。

【００２３】地上側の制御手段による昇降台１の昇降制
御を簡単に説明すると、例えば、荷Ｃを１階のクリーン
ルームＣＬから２階のクリーンルームＣＬに搬送する場
合は、昇降駆動用モータ９ａを作動させて１階の上側の
開口３に対する把持アーム操作位置に昇降台１を位置さ
せ、扉体２５ａ，２５ｂを開き操作する。次に、移載手
段ＭＭの出退装置２１を作動させて一対の把持アーム２
０ａを荷Ｃの両側位置に進出させた後、モータ２０ｂを
作動させて一対の把持アーム２０ａを接近方向に移動さ
せて荷Ｃを把持する。荷Ｃを把持すると昇降台１を持ち
上げ位置に上昇させて、把持装置２０を昇降枠体ＴＦ内
に引き込み、扉２５ａ，２５ｂを閉じ操作する。この状
態で、昇降台１を２階の下側の開口３に対する持ち上げ
位置に移動させ、扉２５ａ，２５ｂを開き操作した後、
出退装置２１により把持している荷Ｃをコンベア装置Ｔ
Ｃ上に位置させる。この後、昇降台１を把持アーム操作
位置に降下させて荷Ｃをコンベア装置ＴＣ上に載置し、
把持アーム２０ａによる把持を解除して、把持装置２０
を昇降枠体ＴＦ内に引き込み、扉体２５ａ，２５ｂを閉
じ操作して、荷Ｃの昇降搬送を終了する。

【００２４】〔別実施形態〕 以下、別実施形態を列記する。 上記実施の形態で
は、昇降枠体ＴＦの上端近くに昇降枠体ＴＦ内の冷却等
のために送風ユニット２を配置しているが、この送風ユ
ニット２の設置を省略しても良い。 上記実施の形態
では、移載手段ＭＭをランニングフォーク式の出退装置
２１等にて構成しているが、多関節式のマニピュレータ
等により構成しても良い。 上記実施の形態では、移
載手段ＭＭにより生じた塵埃を通風により除去する補助
清浄手段ＳＡを送風機と除塵フィルタを一体化した小型
送風ユニット１９にて構成しているが、送風機と除塵フ
ィルタを別体とし、設置箇所も異ならせる構成としても
良い。

【００２５】 上記実施の形態では、２階建てのクリ
ーンルームＣＬ間で荷の搬送を行う場合に本発明を適用
しているが、例えば、一つのクリーンルーム内におい
て、天井近くに設置された案内レールに沿って移動体が
荷搬送を行う天井搬送式の搬送設備のステーションに設
置して、案内レールの設置位置と床面側との間で荷の昇
降搬送を行う場合に適用しても良い。

【００２６】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構造に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる昇降装置の概略構
成を示す側面図

【図２】本発明の実施の形態にかかる昇降装置の概略構
成を示す正面図

【図３】本発明の実施の形態にかかる概略構成図

【図４】本発明の実施の形態にかかる昇降機構の説明図

【図５】本発明の実施の形態にかかる要部断面図

【図６】本発明の実施の形態にかかる要部断面図

【図７】本発明の実施の形態にかかる昇降台の側面図

【図８】本発明の実施の形態にかかる昇降台の正面図

【図９】本発明の実施の形態にかかる要部断面図

【図１０】本発明の実施の形態にかかる要部正面図

【図１１】本発明の実施の形態にかかる要部平面図

【符号の説明】

１ 昇降台 ２ 送風ユニット ２ａ 送風機 ２ｂ 除塵フィルタ ３ 開口 ４ 案内レール ５ 被案内体 ６ 索状体 ７ バランスウェイト ９ 昇降駆動手段 １５ はしご ＡＣ 清浄手段 ＭＭ 移載手段 ＳＡ 補助清浄手段 ＴＦ 昇降枠体 ＵＭ 昇降機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B66B 7/00 - 11/08 B65G 1/00 - 49/08

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 荷の移載を行う移載手段（ＭＭ）が備え
   られた昇降台（１）と、 その昇降台（１）を昇降駆動する昇降駆動手段（９）
   と、 略筒状に形成されて、内部空間が前記昇降台（１）の昇
   降通路となる昇降枠体（ＴＦ）とが設けられ、 前記昇降枠体（ＴＦ）の周壁部における上下方向複数箇
   所に、前記荷を移載するための開口（３）が形成された
   クリーンルーム用の昇降装置であって、 前記昇降枠体（ＴＦ）の内部空間の塵埃を通風により除
   去する清浄手段（ＡＣ）が設けられ、 前記昇降台（１）に、前記移載手段（ＭＭ）により生じ
   た塵埃を通風により除去する補助清浄手段（ＳＡ）が設
   けられ、 前記清浄手段（ＡＣ）が、送風機（２ａ）と除塵フィル
   タ（２ｂ）とが一体的に備えられた送風ユニット（２）
   にて構成され、 前記昇降枠体（ＴＦ）に、前記送風ユニット（２）が上
   下方向に並ぶ状態で複数個設けられ、 前記昇降通路の平面視による断面形状が四角形となるよ
   うに前記昇降枠体（ＴＦ）が形成され、 前記送風ユニット（２）が、前記昇降枠体（ＴＦ）にお
   ける前記四角形をなす一側面に備えられ、 前記送風ユニット（２）設置側面に隣接する両側面が二
   重壁状に形成されて、前記送風ユニット（２）による通
   風の帰還流路を形成するように構成され、 前記送風ユニット（２）設置側面に対向する側面が前記
   帰還流路と連通するように構成されている クリーンルー
   ム用の昇降装置。
2. 【請求項２】 前記昇降駆動手段（９）の駆動力により
   前記昇降台（１）を昇降させるための昇降機構（ＵＭ）
   が、前記通風の帰還流路内に設けられている請求項１記
   載のクリーンルーム用の昇降装置。
3. 【請求項３】 前記昇降機構（ＵＭ）は、前記昇降台
   （１）に連設され且つ前記通風の帰還流路内に位置する
   被案内体（５）と、その被案内体（５）を昇降 案内する
   案内レール（４）と、前記被案内体（５）を吊下げ支持
   する索状体（６）とを備えて構成されている請求項２記
   載のクリーンルーム用の昇降装置。
4. 【請求項４】 前記昇降機構（ＵＭ）に、前記昇降台
   （１）の重量を補償するためのバランスウェイト（７）
   が、前記通風の帰還流路内に位置する前記索状体（６）
   に連結される状態で備えられている請求項３記載のクリ
   ーンルーム用の昇降装置。
5. 【請求項５】 前記送風ユニット（２）設置面に対向す
   る側面に装置点検用のはしご（１５）が設けられている
   請求項１、２、３又は４記載のクリーンルーム用の昇降
   装置。