JPH0518576A

JPH0518576A - クリーンルーム

Info

Publication number: JPH0518576A
Application number: JP19593491A
Authority: JP
Inventors: Toshito Takenami; 敏人竹浪; Junta Hirata; 順太平田
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1991-07-10
Filing date: 1991-07-10
Publication date: 1993-01-26

Abstract

(57)【要約】【目的】ファンフイルタユニット１４、１６、１８か
ら清浄エアを効率良く吹き出して清浄エアの搬送費用を
低減することができるクリーンルーム１０を提供する。【構成】半導体製造装置２４、２６の稼働状態を検知
するセンサ３８、４４を半導体製造装置２４、２６に取
付けると共に、クリーンルーム１０で作業する作業者６
６の位置を感知するセンサ６４を半導体製造装置２４、
２６に取付け、そして前記センサ３８、４４から出力さ
れた製造装置２４、２６の稼働している状態を示す信号
がコントローラ３４、４０に入力されると、コントロー
ラ３４、４０がその製造装置２４、２６の上方にあるフ
ァンフイルタユニット１４、１８のファン３０、３０の
回転数を高くし、また、センサ６０から出力された作業
者６２の位置を感知した信号がコントローラ６６に入力
されると、コントローラ６６がその作業者６２の上方に
あるファンフイルタユニット１６のファン３０の回転数
を高くする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームに係り、
特にクリーンルームの天井室に供給された清浄エアを、
天井面に配設されたファンフイルタユニットで加圧して
クリーンルームに吹き出し、床面から排気する下向流型
のクリーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のクリーンルームは、空調
装置からクリーンルームの天井室に供給された清浄エア
が、天井面に全域に配設された複数のファンフイルタユ
ニットのファンで加圧され、半導体製造装置等が据え付
けられたクリーンルームに向けて垂直に吹き出される。
前記クリーンルームに吹き出された清浄エアは、床面グ
レーチングから床下チャンバに吸い込まれ、吸い込まれ
た清浄エアの一部が循環通路を介して前記天井室に戻さ
れ、また残りの清浄エアが吸引ファンによって大気に放
出されるか又は前記空調装置に循環供給される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームではクリーンルームの清浄度を維持する
為に、製造装置がＯＦＦ状態の時でも１日中（２４時
間）にわたりファンフイルタユニットのファンを連続運
転させて清浄エアを吹き出さなければならない。これに
より、クリーンルームに供給される清浄エアの供給量
は、クリーンルームの容積に対し１時間当たり３００倍
から５００倍にも達し極めて大量になるので、清浄エア
の搬送費用が莫大になるという欠点がある。具体的に
は、ファンフイルタユニットの運転コストが空調コスト
全体の４０％を占めている。

【０００４】このような不具合を解消する方法として、
クリーンルームの塵埃濃度を許容最低限に維持するよう
に必要最小限の清浄エアを供給するという手段が採られ
ているが、この方法では塵埃濃度が場所により不均一に
なるという欠点がある。また、近時、半導体製造装置の
性能向上に伴い、作業者からの塵埃汚染を防止して歩留
まりを向上させ、更に省人化を推進する等の目的でウエ
ハの自動搬送、自動移載装置等の自動化が積極的に行わ
れている。しかし、従来のクリーンルームは前記製造装
置の自動化が行われている反面、ファンフイルタユニッ
トのファンの運転が一定回転数で運転されているので、
空調除塵動力の省エネルギ化は進んでいないという欠点
がある。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、清浄エアを効率良くクリーンルームに吹き出し
て清浄エアの搬送費用を低減することができるクリーン
ルームを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、空調装置からクリーンルームの天井室に供給
された清浄エアを、天井面に配設された複数のファンフ
イルタユニットで加圧してクリーンルームに吹き出し、
クリーンルームの床面から排気するクリーンルームに於
いて、前記ファンフイルタユニットから吹き出される清
浄エアの気流速度は、クリーンルームに設置された製造
装置の稼働状態に応じて自動制御されたことを特徴とす
る。

【０００７】

【作用】本発明によれば、ファンフイルタユニットから
吹き出される清浄エアの気流速度を、クリーンルームに
設置された製造装置の稼働状態に応じて自動制御する。
即ち、前記製造装置が稼働している間は、前記清浄エア
の気流速度を速くして高い清浄度を維持し、製造装置が
停止している間は清浄エアの気流速度を遅くして許容最
低限の清浄度を維持する。

【０００８】また、製造装置のＯＮ−ＯＦＦ状態を検知
する第１のセンサを、製造装置に取付けると共に、クリ
ーンルームで作業する作業者の位置を感知する第２のセ
ンサをクリーンルームの所定位置に取付ける。そして、
第１のセンサから出力された製造装置のＯＮ状態を示す
信号が第１のコントローラに入力されると、第１のコン
トローラがその製造装置の上方に設置されたファンフイ
ルタユニットのファンの回転数を高くする。また、第２
のセンサから出力された作業者の位置を示す信号が第２
のコントローラに入力されると、第２のコントローラが
作業者の上方に設置されたファンフイルタユニットのフ
ァンの回転数を高くする。これにより、清浄エアを効率
良くクリーンルームに吹き出すことができる。

【０００９】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの好ましい実施例を詳説する。図１は本発明に係
るクリーンルーム１０の第１実施例が示され、このクリ
ーンルーム１０の天井室１２にはファンフイルタユニッ
ト１４、１６、１８がその清浄エア吹出し面が天井面２
０と同一面上になるように設置される。前記ファンフイ
ルタユニット１４、１８は、クリーンルーム１０の床面
グレーチング２２上に設置された半導体製造装置２４、
２６の上方に設けられている。

【００１０】各ファンフイルタユニット１４、１６、１
８は、ファンケーシング２８内にファン３０が設けられ
ると共に、塵埃除去フイルタ３２がファン３０の後流側
でファン３０に連結されている。ファンフイルタユニッ
ト１４のファン３０には、ファン３０の回転速度を調節
するコントローラ３４が接続され、このコントラーラ３
４はケーブル３６を介してセンサ３８に接続される。前
記センサ３８は半導体製造装置２４に内蔵されると共
に、半導体製造装置２４の稼働状態、即ちＯＮ若しくは
ＯＦＦ状態を検知して、その検知信号をケーブル３６を
介してコントローラ３４に出力する。

【００１１】また、ファンフイルタユニット１８のファ
ン３０にも同様に、ファン３０の回転速度を調節するコ
ントローラ４０が接続され、このコントラーラ４０はケ
ーブル４２を介してセンサ４４に接続される。前記セン
サ４４は半導体製造装置２６に内蔵されると共に、半導
体製造装置２６のＯＮ若しくはＯＦＦ状態を検知して、
その検知信号をケーブル４２を介してコントローラ４０
に出力する。

【００１２】前記天井室１２にはダクト４６を介して空
調装置４８が連通される。この空調装置４８には、外気
を空調装置４８に吸引する為の図示しない吸引ファンが
連結される。更に、前記床面グレーチング２２の下方
は、床下チャンバ５０が形成される。この床下チャンバ
の図中左側はダクト５２を介して排気ファン５４が連結
されると共に、床下チャンバの図中右側はダクト５６を
介して前記空調装置４８に連結される。

【００１３】また、循環通路５８、５８がクリーンルー
ム１０の両側面に形成され、循環通路５８、５８によっ
て前記天井室１２と床下ャンバ５０とが連通される。次
に、前記の如く構成されたクリーンルーム１０の第１実
施例の作用について説明する。先ず、吸引ファンで吸引
した外気を空調装置４８で空調した後、前記ダクト４６
を介して天井室１２に供給する。天井室１２に供給され
た空調エアは、ファンフイルタユニット１４、１６、１
８で加圧されると共に、各ファンフイルタユニット１
４、１６、１８の塵埃除去フイルタ３２、３２、３２を
通過することにより清浄化された後、クリーンルーム１
０に吹き出される。クリーンルーム１０に吹き出された
清浄エアは、床面グレーチング２２を介して床下チャン
バ５０に導入され、このうちの一部が循環通路５８、５
８を介して天井室１２に戻され、また残りがダクト５２
を介して排気ファン５４で外部に排気されるか、又はダ
クト５６を介して空調装置４８に導入されて天井室１２
に循環供給される。

【００１４】次に、ファンフイルタユニット１４、１８
に取付けられた各コントローラ３４、４０の制御方法に
ついて説明する例えば、図中右側の半導体製造装置２６
がＯＮになると、センサ４４が半導体製造装置２６のＯ
Ｎ状態を検知し、この検知信号をケーブル４２を介して
コントローラ４０に出力する。コントローラ４０は前記
検知信号が入力されると、この検知信号に基づいて半導
体製造装置４０の上方に設置されたファンフイルタユニ
ット１８のファン３０の回転数を高くする。これによ
り、前記半導体製造装置４０には気流速度の早い清浄エ
アが吹き出されるので、半導体製造装置４０の雰囲気を
高い清浄度に維持することができる。

【００１５】また、半導体製造装置４０がＯＮからＯＦ
Ｆになると、センサ４４が半導体製造装置２６のＯＦＦ
状態を検知し、この検知信号をケーブル４２を介してコ
ントローラ４０に出力する。コントローラ４０はこの検
知信号に基づいて前記ファン３０の回転数を０．２ｍ／
ｓから０．３ｍ／ｓに低くする。これにより、前記半導
体製造装置４０には気流速度の遅い清浄エアが吹き出さ
れるようになり、半導体製造装置４０の雰囲気の清浄度
が低下するが、許容最低限の清浄度を維持することがで
きる。

【００１６】一方、コントローラ３４の場合でも同様
に、センサ３８の検知信号に基づいて半導体製造装置２
４の上方に設置されたファンフイルタユニット１４のフ
ァン３０の回転速度を調節する。このように、第１実施
例では半導体製造装置２４、２６の稼働状態に応じてフ
ァンフイルタユニット１４、１８から吹き出される清浄
エアの気流速度を変えたので、清浄エアを効率良く吹き
出すことができる。従って、清浄エアの搬送費用を、従
来のクリーンルームと比較して大幅に低減することがで
きる。

【００１７】図２には本発明に係るクリーンルームの第
２実施例が示され、図１に示した第１実施例と同一若し
くは類似の部材については同一の符号を付している。第
２実施例によれば、半導体製造装置２４の前面にセンサ
６０が取付けられている。前記センサ６０は、半導体製
造装置２４で作業する作業者６２、若しくは半導体製造
装置２４に接近してくる作業者６２を感知することがで
き、その感知信号はケーブル６４を介してコントローラ
６６に出力される。

【００１８】前記コントローラ６６は、前記作業者６２
の上方に設置されたファンフイルタユニット１６のファ
ン３０に接続され、ファン３０の回転数を適宜に変える
ことができる。第２実施例によれば、センサ６０が作業
者６２を感知すると、コントローラ６６がファン３０の
回転数を高くして、作業者６２に向けて気流速度の早い
清浄エアを吹き出す。これにより、作業者６２の雰囲気
を高い清浄度に維持できるので、作業者６２による塵埃
汚染を防止することができる。尚、センサ６０が作業者
６２を感知しない場合には、ファン３０の回転数を０．
２ｍ／ｓから０．３ｍ／ｓに低くして気流速度の遅い清
浄エアを吹き出す。従って、第２実施例も第１実施例と
同様に、清浄エアを効率良く吹き出して清浄エアの搬送
費用を大幅に低減することができる。

【００１９】尚、前記センサ６０を半導体製造装置２４
に取付けるとしたが、これに限られるものではなく、半
導体製造装置２６及びクリーンルーム１０の壁面等に取
付けても良い。これにより、クリーンルーム１０に於け
る作業者６２の位置が常に監視され、その作業者６２に
向けて清浄エアが常時吹き出されるようになる。また、
半導体製造装置２４と作業者６２との上方に１台のファ
ンフイルタユニット１４しかない場合には、半導体製造
装置２４がＯＮ状態の時に高速の清浄エアを吹き出すよ
うにし、半導体製造装置２４がＯＦＦ状態の時に中速の
清浄エアを吹き出すようにすれば、清浄エアを更に効率
良く吹き出すことができる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るクリー
ンルームによれば、ファンフイルタユニットから吹き出
される清浄エアの気流速度を、クリーンルームに設置さ
れた製造装置が稼働している間は、製造装置が停止して
いる時よりも、前記清浄エアの気流速度を速くしたの
で、清浄エアを効率良くクリーンルームに吹き出して清
浄エアの搬送費用を低減することができる。

【００２１】また、製造装置のＯＮ−ＯＦＦ状態を検知
する第１のセンサを製造装置に取付けると共に、クリー
ンルームで作業する作業者の位置を感知する第２のセン
サをクリーンルームの所定位置に取付け、第１のセンサ
から出力された製造装置のＯＮ状態を示す信号が第１の
コントローラに入力されると、第１のコントローラがそ
の製造装置の上方に設置されたファンフイルタユニット
のファンの回転数を高くし、また、第２のセンサから出
力された作業者の位置を感知した信号が第２のコントロ
ーラに入力されると、第２のコントローラがその作業者
の上方に設置されたファンフイルタユニットのファンの
回転数を高くして、清浄度の高い清浄エアを稼働中の製
造装置に向けて、また作業者に向けて吹き出すようにし
たので、清浄エアを効率良くクリーンルームに吹き出し
て清浄エアの搬送費用を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルームの第１実施例を示
す説明図

【図２】本発明に係るクリーンルームの第１実施例を示
す説明図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム１２…天井室１４、１６、１８…ファンフイルタユニット２２…床面グレーチング２４、２６…半導体製造装置３０…ファン３２…塵埃除去フイルタ３４、４０、６６…コントローラ３８、４４、６０…センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空調装置からクリーンルームの天井室に
供給された清浄エアを、天井面に配設された複数のファ
ンフイルタユニットで加圧してクリーンルームに吹き出
し、クリーンルームの床面から排気するクリーンルーム
に於いて、前記ファンフイルタユニットから吹き出される清浄エア
の気流速度は、クリーンルームに設置された製造装置の
稼働状態に応じて自動制御されたことを特徴とするクリ
ーンルーム。
【請求項２】空調装置からクリーンルームの天井室に
供給された清浄エアを、天井面に配設された複数のファ
ンフイルタユニットで加圧してクリーンルームに吹き出
し、クリーンルームの床面から排気するクリーンルーム
に於いて、前記クリーンルームに設置された製造装置のＯＮ−ＯＦ
Ｆ状態を検知する第１のセンサと、第１のセンサから出力された製造装置のＯＮ若しくはＯ
ＦＦ状態を示す信号に基づいて、その製造装置の上方に
設置された前記ファンフイルタユニットのファンの回転
数を制御する第１のコントローラと、前記クリーンルームの所定位置に取付けられ、クリーン
ルームで作業する作業者の位置を感知する第２のセンサ
と、第２のセンサから出力された作業者の位置を示す信号に
基づいて、その作業者の上方に設置された前記ファンフ
イルタユニットのファンの回転数を制御する第２のコン
トローラと、を備えたことを特徴とするクリーンルーム。