JPS6413121U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6413121U JPS6413121U JP10610787U JP10610787U JPS6413121U JP S6413121 U JPS6413121 U JP S6413121U JP 10610787 U JP10610787 U JP 10610787U JP 10610787 U JP10610787 U JP 10610787U JP S6413121 U JPS6413121 U JP S6413121U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- tube
- reaction
- horizontal
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図〜第３図は一実施例を説明するもので、
第１図ａは横型半導体製造装置の概略構成図、第
１図ｂはその右側面図、第１図ｃは蓋を取り外し
た右側面図、第２図ａ，ｂはウエハーローダアー
ム上のウエハーボート、ウエハーを示す図、第３
図は替蓋の正面図である。第４図は従来の横型半
導体製造装置の概略構成図である。 ２……ウエハーボート、３……ウエハー、４…
…ヒータ、１０……反応管、１１……本体管、１
２……導入管、１１ａ……ガス導入口、１１ｂ…
…ガス排気口、２１……蓋、２２……替蓋、１１
０……開口、１１１……円形部、１１２……矩形
部。
第１図ａは横型半導体製造装置の概略構成図、第
１図ｂはその右側面図、第１図ｃは蓋を取り外し
た右側面図、第２図ａ，ｂはウエハーローダアー
ム上のウエハーボート、ウエハーを示す図、第３
図は替蓋の正面図である。第４図は従来の横型半
導体製造装置の概略構成図である。 ２……ウエハーボート、３……ウエハー、４…
…ヒータ、１０……反応管、１１……本体管、１
２……導入管、１１ａ……ガス導入口、１１ｂ…
…ガス排気口、２１……蓋、２２……替蓋、１１
０……開口、１１１……円形部、１１２……矩形
部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 長手方向を水平方向として設置された反応管内
に被処理物を載置収容し、反応管を高温に加熱し
つつ管内に反応ガスを導入して前記被処理物の表
面を処理するようにした横型半導体製造装装置に
おいて、 前記反応管は、前記被処理物を載置収容し反応
室を形成する水平方向に延在する本体管と、この
本体管の長手方向端部に位置し本体管より垂直下
方に拡がる副室を形成する導入管とから成り、こ
の導入管の端部に前記被処理物の導出入用開放部
を設けたことを特徴とする横型半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10610787U JPS6413121U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10610787U JPS6413121U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413121U true JPS6413121U (ja) | 1989-01-24 |
Family
ID=31339321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10610787U Pending JPS6413121U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6413121U (ja) |
-
1987
- 1987-07-10 JP JP10610787U patent/JPS6413121U/ja active Pending
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