JPS61173132U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61173132U JPS61173132U JP5664485U JP5664485U JPS61173132U JP S61173132 U JPS61173132 U JP S61173132U JP 5664485 U JP5664485 U JP 5664485U JP 5664485 U JP5664485 U JP 5664485U JP S61173132 U JPS61173132 U JP S61173132U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- gas inlet
- boat
- vertical diffusion
- diffused
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の実施例を示す縦型拡散装置の
構造図、第2図は従来の縦型拡散装置の構造図、
第3は本考案の他の実施例を示す縦型拡散装置の
構造図である。 1……筐体、2……ヒータエレメント、4……
炉心管、4a……ガス注入口、4b……炉口、6
……クリーンルーム、8……排気空間、10……
ローデイング装置、10,11……アーム、12
……支持棒、13……ヒートカバー、14……ボ
ート、15……半導体ウエハ、20……ボツクス
、21……ガス流入口、22……開閉扉、23…
…炉心管キツプ、25……熱遮蔽板。
構造図、第2図は従来の縦型拡散装置の構造図、
第3は本考案の他の実施例を示す縦型拡散装置の
構造図である。 1……筐体、2……ヒータエレメント、4……
炉心管、4a……ガス注入口、4b……炉口、6
……クリーンルーム、8……排気空間、10……
ローデイング装置、10,11……アーム、12
……支持棒、13……ヒートカバー、14……ボ
ート、15……半導体ウエハ、20……ボツクス
、21……ガス流入口、22……開閉扉、23…
…炉心管キツプ、25……熱遮蔽板。
Claims (1)
- 縦方向に設置され一端にガス注入口を他端に被
拡散物挿入用の炉口を有する炉心管と、この炉心
管に配設されたヒータと、ボートに収納された被
拡散物を前記炉口へ挿脱する昇降装置とを備えた
縦型拡散装置において、前記ボートの装着と取外
しを行なうための開閉扉と、ガス流入口とを有す
るボツクスを、排気空間を介して前記炉口に取付
けたことを特徴とする縦型拡散装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985056644U JPH0447956Y2 (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985056644U JPH0447956Y2 (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61173132U true JPS61173132U (ja) | 1986-10-28 |
JPH0447956Y2 JPH0447956Y2 (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=30580438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985056644U Expired JPH0447956Y2 (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0447956Y2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62188312A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-17 | Deisuko Saiyaa Japan:Kk | 縦型半導体熱処理装置の外気混入防止装置 |
JPS62290126A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-12-17 | Deisuko Haitetsuku:Kk | 縦型半導体熱処理装置への半導体基板の搬入出方法および外気混入防止装置 |
JPH0193112A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Tel Sagami Ltd | 加熱装置 |
JPH01280312A (ja) * | 1987-09-29 | 1989-11-10 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636130A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Nec Corp | Manufacturing device of semiconductor |
JPS5875840A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-07 | Fujitsu Ltd | 半導体用加熱処理炉 |
JPS61208218A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-16 | Toshiba Corp | 縦型拡散炉装置 |
-
1985
- 1985-04-16 JP JP1985056644U patent/JPH0447956Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636130A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Nec Corp | Manufacturing device of semiconductor |
JPS5875840A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-07 | Fujitsu Ltd | 半導体用加熱処理炉 |
JPS61208218A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-16 | Toshiba Corp | 縦型拡散炉装置 |
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---|---|---|---|---|
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JPS62290126A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-12-17 | Deisuko Haitetsuku:Kk | 縦型半導体熱処理装置への半導体基板の搬入出方法および外気混入防止装置 |
JPH01280312A (ja) * | 1987-09-29 | 1989-11-10 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
JPH0193112A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Tel Sagami Ltd | 加熱装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0447956Y2 (ja) | 1992-11-12 |
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