JPS6412365B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6412365B2 JPS6412365B2 JP6406581A JP6406581A JPS6412365B2 JP S6412365 B2 JPS6412365 B2 JP S6412365B2 JP 6406581 A JP6406581 A JP 6406581A JP 6406581 A JP6406581 A JP 6406581A JP S6412365 B2 JPS6412365 B2 JP S6412365B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding plate
- light shielding
- light
- image
- pupil
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- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 18
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/40—Optical focusing aids
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Focusing (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は顕微鏡等の光学系におけるピント合わ
せ装置に関するものである。
せ装置に関するものである。
顕微鏡対物レンズは高倍の場合は像側焦点深度
が深いので、接眼レンズを通して観察しながら対
物レンズのピント合わせを行なうと、比較的正確
にピントが合つている。これに対し４倍程度の低
倍の場合には高倍の対物レンズに比べれば像側焦
点深度が浅いために接眼レンズを通して観察され
る物体像が肉眼の調整作用によつて良好に観察さ
れたとしても正確にピントが合つているとは限ら
ない。従つてこれを写真撮影装置にて撮影した場
合には良好な写真が得られず、ピンぼけとなるこ
とがしばしば起る。このような欠点を除くため
に、補助的望遠鏡を付加し、これによつて像を拡
大してピント合わせを行なう方法がある。この方
法では操作が面倒である上に精度もほとんど改善
されない。又観察者の眼を光軸に垂直な面内で振
動させてピントグラスとのパララツクスが生じな
い位置を捜すことによつてピント合わせを行なう
方法がある。この方法も一般には行ないにくゝあ
まり勧められる方法ではない。
が深いので、接眼レンズを通して観察しながら対
物レンズのピント合わせを行なうと、比較的正確
にピントが合つている。これに対し４倍程度の低
倍の場合には高倍の対物レンズに比べれば像側焦
点深度が浅いために接眼レンズを通して観察され
る物体像が肉眼の調整作用によつて良好に観察さ
れたとしても正確にピントが合つているとは限ら
ない。従つてこれを写真撮影装置にて撮影した場
合には良好な写真が得られず、ピンぼけとなるこ
とがしばしば起る。このような欠点を除くため
に、補助的望遠鏡を付加し、これによつて像を拡
大してピント合わせを行なう方法がある。この方
法では操作が面倒である上に精度もほとんど改善
されない。又観察者の眼を光軸に垂直な面内で振
動させてピントグラスとのパララツクスが生じな
い位置を捜すことによつてピント合わせを行なう
方法がある。この方法も一般には行ないにくゝあ
まり勧められる方法ではない。
又上記方法のうち、後者の原理を利用したピン
ト検出装置が知られている。それは第１図に示す
ようにレンズ１の前にピンホール４ａを有する遮
光板４を軸４ｂのまわりに回転し得るように配置
し、物体２をピンホール４ａを通して結像させ
る。この場合ピントがあつている面Q1ではＡに
示すピンホール４ａが上方に位置する場合と、Ｂ
に示すピンホール４ａが下方に位置する場合とで
全く同じ位置に像３が形成されるが、ピント位置
以外の面Q2ではＡの場合の像３′とＢの場合の像
３″とで異なつた位置で形成される。したがつて
遮光板４を回転させても像位置が移動しないよう
に調整すればレンズのピントが正しく調整され
る。
ト検出装置が知られている。それは第１図に示す
ようにレンズ１の前にピンホール４ａを有する遮
光板４を軸４ｂのまわりに回転し得るように配置
し、物体２をピンホール４ａを通して結像させ
る。この場合ピントがあつている面Q1ではＡに
示すピンホール４ａが上方に位置する場合と、Ｂ
に示すピンホール４ａが下方に位置する場合とで
全く同じ位置に像３が形成されるが、ピント位置
以外の面Q2ではＡの場合の像３′とＢの場合の像
３″とで異なつた位置で形成される。したがつて
遮光板４を回転させても像位置が移動しないよう
に調整すればレンズのピントが正しく調整され
る。
このようなピント検出装置を用いた顕微鏡写真
装置を説明する。第２図は顕微鏡写真装置の光学
系の一例を示すもので、１１は光源、１２はコレ
クターレンズ、１３は光学系の瞳位置P0に置か
れた照明系の開口絞り、１４はコンデンサーレン
ズ、１５は標本、１６は対物レンズ、１７は接眼
レンズ、１８はビームスプリツター、１９はフイ
ルム面、２０はリレーレンズ、２１は焦点鏡、２
２はビユーアーである。
装置を説明する。第２図は顕微鏡写真装置の光学
系の一例を示すもので、１１は光源、１２はコレ
クターレンズ、１３は光学系の瞳位置P0に置か
れた照明系の開口絞り、１４はコンデンサーレン
ズ、１５は標本、１６は対物レンズ、１７は接眼
レンズ、１８はビームスプリツター、１９はフイ
ルム面、２０はリレーレンズ、２１は焦点鏡、２
２はビユーアーである。
このような顕微鏡写真撮影装置において、その
瞳位置P0、P1、P2のいずれかの場所の近傍に第
３図Ａ又はＢに示すピンホール２３ａ又はスリツ
ト２４ａを有する遮光板２３又は２４をその中心
（ピンホール又はスリツトの中心）が光軸と一致
するように配置し、これを矢印方向に振動させる
ことによつてピント合わせを行なう。又瞳位置に
配置する遮光板は、ピンホール又はスリツトが一
つのものに限らず、第４図に示すような複数を一
列に並べた遮光板２３′，２４′でも良い。更に第
５図は遮光板の他の例で、円板２３″又は２４″の
周辺部分に多数のピンホール２３″ａまたはスリ
ツト２４″ａ（一個のピンホールまたはスリツトで
もよい）を円形に並べ配置したもので、この遮光
板２３″又は２４″を軸２３″ｂ又は軸２４″ｂを中
心に回転させることによつて同様の効果を得るよ
うにしたものである。これら遮光板２３″又は２
４″のピンホール２３″ａ又はスリツト２４″ａの
位置は回転させた時にその中心が光学系の光軸０
を通るようにする必要がある。
瞳位置P0、P1、P2のいずれかの場所の近傍に第
３図Ａ又はＢに示すピンホール２３ａ又はスリツ
ト２４ａを有する遮光板２３又は２４をその中心
（ピンホール又はスリツトの中心）が光軸と一致
するように配置し、これを矢印方向に振動させる
ことによつてピント合わせを行なう。又瞳位置に
配置する遮光板は、ピンホール又はスリツトが一
つのものに限らず、第４図に示すような複数を一
列に並べた遮光板２３′，２４′でも良い。更に第
５図は遮光板の他の例で、円板２３″又は２４″の
周辺部分に多数のピンホール２３″ａまたはスリ
ツト２４″ａ（一個のピンホールまたはスリツトで
もよい）を円形に並べ配置したもので、この遮光
板２３″又は２４″を軸２３″ｂ又は軸２４″ｂを中
心に回転させることによつて同様の効果を得るよ
うにしたものである。これら遮光板２３″又は２
４″のピンホール２３″ａ又はスリツト２４″ａの
位置は回転させた時にその中心が光学系の光軸０
を通るようにする必要がある。
以上の構成の顕微鏡写真装置において光学系の
瞳位置に第３図乃至第５図のいずれかの遮光板を
配置し、これを光軸に垂直な面内で振動させれば
（第５図Ａ又はＢの遮光板を使用した時はこれを
回転させる。これによつてピンホール又はスリツ
トを振動させたのと同じことになる。）顕微鏡の
ピントが合つていない時は像が動き、ピントが合
つていれば像は動かないので、これをビユーアー
２２にて観察することによつて正確なピント合わ
せが出来る。
瞳位置に第３図乃至第５図のいずれかの遮光板を
配置し、これを光軸に垂直な面内で振動させれば
（第５図Ａ又はＢの遮光板を使用した時はこれを
回転させる。これによつてピンホール又はスリツ
トを振動させたのと同じことになる。）顕微鏡の
ピントが合つていない時は像が動き、ピントが合
つていれば像は動かないので、これをビユーアー
２２にて観察することによつて正確なピント合わ
せが出来る。
以上説明したような従来のピント合わせ装置の
うち、第３図や第４図に示すような遮光板を振動
させる方法の場合は、遮光板の振動によつて光学
系に有害な振動を生じさせるために好ましくな
い。また第５図のような遮光板を回転させる方法
の場合は、振動の問題は発生しないが、遮光板は
常に回転しているために遮光板が停止した状態が
存在せず、したがつてある遮光状態の画像情報を
撮像素子で得ることが不可能である。即ち撮像素
子で画像をサンプルしている間に画像が変化して
しまい好ましくない。
うち、第３図や第４図に示すような遮光板を振動
させる方法の場合は、遮光板の振動によつて光学
系に有害な振動を生じさせるために好ましくな
い。また第５図のような遮光板を回転させる方法
の場合は、振動の問題は発生しないが、遮光板は
常に回転しているために遮光板が停止した状態が
存在せず、したがつてある遮光状態の画像情報を
撮像素子で得ることが不可能である。即ち撮像素
子で画像をサンプルしている間に画像が変化して
しまい好ましくない。
本発明は以上のような従来例の欠点を除去する
ためになされたもので光学系の瞳または瞳の近傍
に瞳を通過する光束の一部を遮光し一部を通過さ
せる遮光板を配置しこれを光学系の光軸に垂直な
面内で移動させて瞳を通る光線の通過位置を変化
させることによつて合焦位置以外では像が振動す
るようにして合焦を検出する装置で、瞳を分割す
る境界が遮光板の回転中心に関して同心円的な形
状をしている遮光板を用いたもので撮像中に瞳の
遮光部が変化しないようにしたピント合わせ装置
を提供するものである。
ためになされたもので光学系の瞳または瞳の近傍
に瞳を通過する光束の一部を遮光し一部を通過さ
せる遮光板を配置しこれを光学系の光軸に垂直な
面内で移動させて瞳を通る光線の通過位置を変化
させることによつて合焦位置以外では像が振動す
るようにして合焦を検出する装置で、瞳を分割す
る境界が遮光板の回転中心に関して同心円的な形
状をしている遮光板を用いたもので撮像中に瞳の
遮光部が変化しないようにしたピント合わせ装置
を提供するものである。
以下図示する実施例にもとづいて本発明のピン
ト合わせ装置の詳細な内容を説明する。第６図は
本発明で用いられる遮光板の一例を示す図で、瞳
３１を遮光板３２の回転中心３２ａを中心とした
円周をなす線３３にて分割するように線３３を境
にして開口部３２ｃと遮光部３２ｆを形成し更に
遮光板３３を４分割する線３４，３５，３６，３
７にて区切られた区画Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ毎に開口部
と遮光部とを交互に変えて配置したものである。
つまり区画Ａでは線３３を境にした外側に遮光部
３２ｂ、内側には開口部３２ｃが、又区画Ｂは外
側が開口部３２c′で内側が遮光部３２b′、区画Ｃ
は外側が遮光部３２b″で内側が開口部３２c″、区
画Ｄは外側が開口部３２ｃで内側が遮光部３２
ｂになつている。このように夫々遮光部３２
ｂ，３２b′，３２b″，３２ｂ又開口部３３ｃ，
３３c′，３３c″，３３ｃが配置されている。こ
のような遮光板３２を例えば第２図に示す顕微鏡
光学系の瞳P0、P1、P2のいずれかの位置又はそ
の近傍に配置して使用する。
ト合わせ装置の詳細な内容を説明する。第６図は
本発明で用いられる遮光板の一例を示す図で、瞳
３１を遮光板３２の回転中心３２ａを中心とした
円周をなす線３３にて分割するように線３３を境
にして開口部３２ｃと遮光部３２ｆを形成し更に
遮光板３３を４分割する線３４，３５，３６，３
７にて区切られた区画Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ毎に開口部
と遮光部とを交互に変えて配置したものである。
つまり区画Ａでは線３３を境にした外側に遮光部
３２ｂ、内側には開口部３２ｃが、又区画Ｂは外
側が開口部３２c′で内側が遮光部３２b′、区画Ｃ
は外側が遮光部３２b″で内側が開口部３２c″、区
画Ｄは外側が開口部３２ｃで内側が遮光部３２
ｂになつている。このように夫々遮光部３２
ｂ，３２b′，３２b″，３２ｂ又開口部３３ｃ，
３３c′，３３c″，３３ｃが配置されている。こ
のような遮光板３２を例えば第２図に示す顕微鏡
光学系の瞳P0、P1、P2のいずれかの位置又はそ
の近傍に配置して使用する。
以上のようにして第６図に示した構成の遮光板
を回転して観察すると合焦位置以外では像が振動
するために像の振動しない位置をみつけることに
よつて合焦位置を求めることが出来る。又このよ
うな遮光板を用いた場合、第６図において遮光板
が90゜回転する間は瞳が遮光されている部分が変
化せず、撮像素子によつて画像情報を得る時間が
ある。また一方向の回転であるから鏡体に有害な
振動を生ずることがない。第６図に３８に示す位
置にフオトインタラプタ等のセンサーをおくこと
によつて３４，３５，３６及び３７にて示す部分
の明暗の変化を用いて回転する遮光板の位置情報
が得られるので撮像する場合のタイミングを決定
するのに便利である。
を回転して観察すると合焦位置以外では像が振動
するために像の振動しない位置をみつけることに
よつて合焦位置を求めることが出来る。又このよ
うな遮光板を用いた場合、第６図において遮光板
が90゜回転する間は瞳が遮光されている部分が変
化せず、撮像素子によつて画像情報を得る時間が
ある。また一方向の回転であるから鏡体に有害な
振動を生ずることがない。第６図に３８に示す位
置にフオトインタラプタ等のセンサーをおくこと
によつて３４，３５，３６及び３７にて示す部分
の明暗の変化を用いて回転する遮光板の位置情報
が得られるので撮像する場合のタイミングを決定
するのに便利である。
第７図は本発明で用いられる遮光板の他の例を
示す図である。この遮光板４０は各区画内の遮光
部と開口部との境の線４１，４２，４３，４４が
区画毎に交互にずれている。そのために瞳３１内
の開口部の面積が小さく遮光部が大になつてい
る。
示す図である。この遮光板４０は各区画内の遮光
部と開口部との境の線４１，４２，４３，４４が
区画毎に交互にずれている。そのために瞳３１内
の開口部の面積が小さく遮光部が大になつてい
る。
この第７図の遮光板を用いた場合、開口部の面
積が小さいために、第６図の遮光板に比べて透過
光量が少なくなる。しかし瞳位置で開口部が瞳の
中心部になく比較的端に位置するのでデフオーカ
スに対する感度は第７図に示す遮光板の方がよ
い。
積が小さいために、第６図の遮光板に比べて透過
光量が少なくなる。しかし瞳位置で開口部が瞳の
中心部になく比較的端に位置するのでデフオーカ
スに対する感度は第７図に示す遮光板の方がよ
い。
以上説明したように本発明のピント合わせ装置
によれば撮像素子によつて画像情報を得ることが
出来、しかも光学系に有害な振動を生じさせるこ
とがない。
によれば撮像素子によつて画像情報を得ることが
出来、しかも光学系に有害な振動を生じさせるこ
とがない。
尚実施例では遮光板を連続回転させるものにつ
いて述べたが、ステツピングモーター等を用いて
段階的に回転するようにしてもよい。
いて述べたが、ステツピングモーター等を用いて
段階的に回転するようにしてもよい。
第１図はピント検出の原理を示す図、第２図は
ピント検出装置が用いられる光学系の一例として
の顕微鏡光学系を示す図、第３図乃至第５図はい
ずれも従来のピント検出装置で用いられる遮光板
の形状を示す図、第６図は本発明で用いる遮光板
の一例を示す図、第７図は本発明で用いる遮光板
の他の例を示す図である。 ３１……瞳、３２，４０……遮光板。
ピント検出装置が用いられる光学系の一例として
の顕微鏡光学系を示す図、第３図乃至第５図はい
ずれも従来のピント検出装置で用いられる遮光板
の形状を示す図、第６図は本発明で用いる遮光板
の一例を示す図、第７図は本発明で用いる遮光板
の他の例を示す図である。 ３１……瞳、３２，４０……遮光板。
Claims (1)
- １ 光学系の瞳の近傍に瞳を通る光束の一部が通
過する遮光板を配置し、遮光板の開口部が光軸に
垂直な面内で移動するように構成して合焦位置以
外で像を振動させて合焦位置を検出する装置にお
いて、前記遮光板の開口部と遮光部との境界線が
該遮光板の回転中心を中心とした円周上に位置す
るようにした光学系のピント合わせ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6406581A JPS57179809A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Focusing device for optical system |
| US06/372,374 US4521108A (en) | 1981-04-30 | 1982-04-27 | Focusing device for optical system |
| DE3215595A DE3215595C2 (de) | 1981-04-30 | 1982-04-27 | Fokussiereinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6406581A JPS57179809A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Focusing device for optical system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57179809A JPS57179809A (en) | 1982-11-05 |
| JPS6412365B2 true JPS6412365B2 (ja) | 1989-02-28 |
Family
ID=13247314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6406581A Granted JPS57179809A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Focusing device for optical system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57179809A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4358872B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2009-11-04 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | 高さ検出装置 |
| JP2009189467A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Topcon Corp | スリットランプ |
-
1981
- 1981-04-30 JP JP6406581A patent/JPS57179809A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57179809A (en) | 1982-11-05 |
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