JPS6396095A - 壜のねじ口部検査装置 - Google Patents
壜のねじ口部検査装置Info
- Publication number
- JPS6396095A JPS6396095A JP61242693A JP24269386A JPS6396095A JP S6396095 A JPS6396095 A JP S6396095A JP 61242693 A JP61242693 A JP 61242693A JP 24269386 A JP24269386 A JP 24269386A JP S6396095 A JPS6396095 A JP S6396095A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bottle
- defect
- inspection device
- determining
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 77
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 113
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 54
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 235000013334 alcoholic beverage Nutrition 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 235000014214 soft drink Nutrition 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
- G01N21/9054—Inspection of sealing surface and container finish
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は壜のねじ口部に存在する石、泡、欠け、ヒビ、
異物付着、汚れ、ネジ山変形等の欠陥を検出する壜のね
じ口部検査装置に関する。
異物付着、汚れ、ネジ山変形等の欠陥を検出する壜のね
じ口部検査装置に関する。
酒類、清涼飲料、食品等を充填するガラス塩は、製壜装
置により作られた新壜でも、回収して再使用する回収壜
でも、欠陥が存在するか否かを検査する必要がある。壜
の検査は壜の各部、すなわち、壜胴、理屈、王冠口部、
ねじ口部を検査することになる。このうち、ねじ口部の
欠陥は壜の密閉を不完全なものとし、食品衛生上の問題
を起こす原因となるため、かかる欠陥を有する壜を排除
する必要かある。
置により作られた新壜でも、回収して再使用する回収壜
でも、欠陥が存在するか否かを検査する必要がある。壜
の検査は壜の各部、すなわち、壜胴、理屈、王冠口部、
ねじ口部を検査することになる。このうち、ねじ口部の
欠陥は壜の密閉を不完全なものとし、食品衛生上の問題
を起こす原因となるため、かかる欠陥を有する壜を排除
する必要かある。
しかしながら、壜のねじ口部は形状が複雑であり、かつ
壜種によりねじのパターンか異なるため、その検査が難
しい。またねじ口部のねじ形状を欠陥と区別することも
難しい。このため、従来は壜のねじ口部の検査の必要性
がありながら、実用になる壜のねじ口部検査装置がなか
った。
壜種によりねじのパターンか異なるため、その検査が難
しい。またねじ口部のねじ形状を欠陥と区別することも
難しい。このため、従来は壜のねじ口部の検査の必要性
がありながら、実用になる壜のねじ口部検査装置がなか
った。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、壜のねじ
口部の欠陥を正確にかつ高速に検査することができる壜
のねじ口部検査装置を提供することを目的とする。
口部の欠陥を正確にかつ高速に検査することができる壜
のねじ口部検査装置を提供することを目的とする。
」１記目的を解決するために、本発明による壜のねじ口
部検査装置は、回転する壜のねじ口部を照明する照明手
段と、この照明手段により照明されたねじ口部の透過映
像を光電変換する光電変換手段と、この光電変換手段に
より光電変換された透過映像画面中の所定領域を予め定
められた検出方向に沿った少なくとも２点の明るさに基
づいて欠陥点を検出する欠陥検出手段と、この欠陥検出
手段により検出された欠陥点の数を計数し、計数された
欠陥点数に基づいて前記壜のねじ口部の欠陥の有無を判
定する判定手段とを備えたことを特徴とする。
部検査装置は、回転する壜のねじ口部を照明する照明手
段と、この照明手段により照明されたねじ口部の透過映
像を光電変換する光電変換手段と、この光電変換手段に
より光電変換された透過映像画面中の所定領域を予め定
められた検出方向に沿った少なくとも２点の明るさに基
づいて欠陥点を検出する欠陥検出手段と、この欠陥検出
手段により検出された欠陥点の数を計数し、計数された
欠陥点数に基づいて前記壜のねじ口部の欠陥の有無を判
定する判定手段とを備えたことを特徴とする。
本発明による壜のねじ口部検査装置は、壜のねじ口部の
透過映像から欠陥点を検出し、この欠陥検出点数に基づ
いて欠陥の有無を判定する。
透過映像から欠陥点を検出し、この欠陥検出点数に基づ
いて欠陥の有無を判定する。
本発明の一実施例による壜のねじ口部検査装置を第１図
、第２図に示す。本実施例では検査される壜１２は回転
しながら連続して流れていく。この壜１２は均一な拡散
光を放つ面を有する拡散光源１０により照明される。こ
の壜１２のねじ口部の透過映像は振動ミラー１４を介し
て二次元光電変換装置１６に入射される。振動ミラー１
４は流れていく壜１２の動きに同期して動かされる。す
なわち、振動ミラー１４は流れていく壜１２を追跡し、
その壜］２のねじ口部の透過映像がちょうど二次元光電
変換装置］６に入射するように動かされる。二次元光電
変換装置１６は、例えばＣＣＤカメラであって、壜１２
のねじ口部１２ａの透−４＝ 過映像を電気的アナログ信号に変換する。
、第２図に示す。本実施例では検査される壜１２は回転
しながら連続して流れていく。この壜１２は均一な拡散
光を放つ面を有する拡散光源１０により照明される。こ
の壜１２のねじ口部の透過映像は振動ミラー１４を介し
て二次元光電変換装置１６に入射される。振動ミラー１
４は流れていく壜１２の動きに同期して動かされる。す
なわち、振動ミラー１４は流れていく壜１２を追跡し、
その壜］２のねじ口部の透過映像がちょうど二次元光電
変換装置］６に入射するように動かされる。二次元光電
変換装置１６は、例えばＣＣＤカメラであって、壜１２
のねじ口部１２ａの透−４＝ 過映像を電気的アナログ信号に変換する。
二次元光電変換装置１６は壜］２のねじ口部１２ａから
第３図の矢印Ａの方向の光が入射するような位置に置か
れる。したがって、第４図に示すように、壜１２のねじ
口部１２ａを斜め上から見たような映像が、二次元光電
変換装置１６に入力される。
第３図の矢印Ａの方向の光が入射するような位置に置か
れる。したがって、第４図に示すように、壜１２のねじ
口部１２ａを斜め上から見たような映像が、二次元光電
変換装置１６に入力される。
なお、二次元光電変換装置１６を壜１−２のねじ口部１
２ａを斜め下から見るような位置に設け、ねじ口部１２
ａの手前側の透過影像を得るようにしてもよい。
２ａを斜め下から見るような位置に設け、ねじ口部１２
ａの手前側の透過影像を得るようにしてもよい。
二次元光電変換装置１６の走査は第４図の透過映像にお
いて例えば上下方向になされ、右側から順次左側に走査
される。この透過映像で黒い部分は壜１２の増目天面１
２ｂて、ねじ口部１２ａは全体が白くなり、ねじ山１．
２ ｃの盛上がりの境界部分が黒い線となって表れる。
いて例えば上下方向になされ、右側から順次左側に走査
される。この透過映像で黒い部分は壜１２の増目天面１
２ｂて、ねじ口部１２ａは全体が白くなり、ねじ山１．
２ ｃの盛上がりの境界部分が黒い線となって表れる。
Ａ／Ｄ変換器１８は二次元光電変換装置１６からのアナ
ログ映像信号を所定ビット数のディジタル映像信号に変
換する。このディジタル映像信号は検査ゲート設定回路
２０とバッファ２２と欠陥検出回路２４に出力される。
ログ映像信号を所定ビット数のディジタル映像信号に変
換する。このディジタル映像信号は検査ゲート設定回路
２０とバッファ２２と欠陥検出回路２４に出力される。
検査ゲート設定回路２０は、第４図に示すような透過映
像から後述する欠陥検出回路２４で欠陥を検出する所定
領域を定めるための回路である。
像から後述する欠陥検出回路２４で欠陥を検出する所定
領域を定めるための回路である。
本実施例では、第５図に示すような増目天面１２ｂより
下の中央の領域を検査領域ＣＡとする。
下の中央の領域を検査領域ＣＡとする。
検査ゲート設定回路２０は、入力するディジタル映像信
号から増目天面１２ｂを検出し、その検出点から一定距
離離れた一定長さのディジタル映像信号が通過するよう
なゲート信号を出力する。増目天面］、 ２ ｂの検出
は、例えば透過映像を」二から走査していって最初に黒
信号が表れたところを増目天面］、 ２ ｂとするよう
にすればよい。検査領域ＣＡの左右の端は予め全透過映
像内における位置を決めておくことにより定める。
号から増目天面１２ｂを検出し、その検出点から一定距
離離れた一定長さのディジタル映像信号が通過するよう
なゲート信号を出力する。増目天面］、 ２ ｂの検出
は、例えば透過映像を」二から走査していって最初に黒
信号が表れたところを増目天面］、 ２ ｂとするよう
にすればよい。検査領域ＣＡの左右の端は予め全透過映
像内における位置を決めておくことにより定める。
なお、透過影像を壜１２のねじ口部１２ａの全体が写る
ようにして、ねじ口部１２ａの左右の端の位置を検出し
、この検出位置から検査領域ＣＡの左右の端を定めても
よい。
ようにして、ねじ口部１２ａの左右の端の位置を検出し
、この検出位置から検査領域ＣＡの左右の端を定めても
よい。
バッファ２２には、後述する欠陥検出回路２４による欠
陥検出のために必要な検査領域ＣＡ内のディジタル映像
信号が蓄えられる。
陥検出のために必要な検査領域ＣＡ内のディジタル映像
信号が蓄えられる。
欠陥検出回路２４は、検査領域ＣＡ内のディジタル映像
信号を第６図に示すように仮想的に上辺を基準に並べか
え長方形になるようにする。するとねじ山１２ｃの映像
は検査領域ＣＡ内で一定の傾きをなす平行線となる。欠
陥検出回路２４は、この平行線に沿って一定距離離れた
少なくとも２点の明るさを比較演算することにより、欠
陥の検出を行う。比較演算方法としては、例えば次に示
すような種々の方法が考えられる。
信号を第６図に示すように仮想的に上辺を基準に並べか
え長方形になるようにする。するとねじ山１２ｃの映像
は検査領域ＣＡ内で一定の傾きをなす平行線となる。欠
陥検出回路２４は、この平行線に沿って一定距離離れた
少なくとも２点の明るさを比較演算することにより、欠
陥の検出を行う。比較演算方法としては、例えば次に示
すような種々の方法が考えられる。
■比較演算する２点の明るさをＱｌ、Ｑ２として、次式
が成立すれば欠陥ありとする。
が成立すれば欠陥ありとする。
ＩＱＩ−Ｑ２＋≧（定数Ａ）
■上記平行線に沿って等距離に並んでいる３点の明るさ
を、Ｑｌ、Ｑ２、Ｑ３として、次式が成立すれば欠陥あ
りとする。
を、Ｑｌ、Ｑ２、Ｑ３として、次式が成立すれば欠陥あ
りとする。
Ｉ Ｑ２−１（Ｑｌ ＋Ｑ３ ）／２＋ １≧（定数
Ｂ）■比較演算する２点の明るさをＱｌ、Ｑ２として、
次式のいずれかが成立すれば欠陥ありとする。
Ｂ）■比較演算する２点の明るさをＱｌ、Ｑ２として、
次式のいずれかが成立すれば欠陥ありとする。
Ｑｌ ／Ｑ２≧（定数Ｃ）
Ｑｌ ／Ｑ２≦１／（定数Ｃ）
■上記平行線に沿って等距離に並んでいる３点の明るさ
を、Ｑｌ、Ｑ２、Ｑ３として、次式のいずれかが成立す
れば欠陥ありとする。
を、Ｑｌ、Ｑ２、Ｑ３として、次式のいずれかが成立す
れば欠陥ありとする。
Ｑ２ ／ｉ（Ｑ＋ ±Ｑ３ ）／２１ ≧（定数Ｄ）Ｑ
２ ／１（Ｑｌ ＋Ｑ３ ）／２＋ ≦１／（定数Ｄ）
なお、欠陥を検出する平行線の方向、比較演算する点間
の距離、欠陥の有無を判断するだめの上記式における定
数Ａ、定数Ｂ１定数Ｃ１定数りは、壜の種類等に基づい
て予め決めておく。なお、定数０１定数りは１以上の数
、例えば２とする。
２ ／１（Ｑｌ ＋Ｑ３ ）／２＋ ≦１／（定数Ｄ）
なお、欠陥を検出する平行線の方向、比較演算する点間
の距離、欠陥の有無を判断するだめの上記式における定
数Ａ、定数Ｂ１定数Ｃ１定数りは、壜の種類等に基づい
て予め決めておく。なお、定数０１定数りは１以上の数
、例えば２とする。
第６図、第７図は平行線に沿った２点または３点間を比
較演算して、欠陥を検出する様子を示している。第６図
（ａ）、第７図（ａ）に示す透過映像に対し、第６図（
ｂ）、第７図（ｂ）に示す欠陥検出点が現れる。欠陥が
全くない場合でも、第６図に示すようにねじ山１２ｃの
始点および終点には、欠陥検出点が現れる。したがって
、本当の欠陥を示す欠陥検出点は、第７図に示すように
ねじ山１２ｃの始点および終点以外の欠陥検出点となる
。
較演算して、欠陥を検出する様子を示している。第６図
（ａ）、第７図（ａ）に示す透過映像に対し、第６図（
ｂ）、第７図（ｂ）に示す欠陥検出点が現れる。欠陥が
全くない場合でも、第６図に示すようにねじ山１２ｃの
始点および終点には、欠陥検出点が現れる。したがって
、本当の欠陥を示す欠陥検出点は、第７図に示すように
ねじ山１２ｃの始点および終点以外の欠陥検出点となる
。
欠陥判定回路２６は全ての検査画面の内、検査画面決定
回路３０からの検査画面決定信号によりサンプリングさ
れた検査画面について欠陥判定を行う。検査画面決定回
路３０は壜口転角度検出器２８からの壜口転角度信号に
基づいて、壜１２が所定角度回転するたびに検査画面決
定信号を出力する。例えば、壜口転角度が３．６°増加
するたびに、欠陥判定回路２６に検査画面信号を出力す
れば、壜１２の一回転当り１００画面について欠陥を検
査することになる。
回路３０からの検査画面決定信号によりサンプリングさ
れた検査画面について欠陥判定を行う。検査画面決定回
路３０は壜口転角度検出器２８からの壜口転角度信号に
基づいて、壜１２が所定角度回転するたびに検査画面決
定信号を出力する。例えば、壜口転角度が３．６°増加
するたびに、欠陥判定回路２６に検査画面信号を出力す
れば、壜１２の一回転当り１００画面について欠陥を検
査することになる。
欠陥判定回路２６は第１欠陥判定回路２６Ａおよび第２
欠陥判定回路２６Ｂを有し、検査画面決定回路３０から
の検査画面信号によりサンプリングされた検査画面につ
いて、欠陥検出回路２４からの欠陥検出信号に基づいて
、検査している壜］２の欠陥の有無を判定する。
欠陥判定回路２６Ｂを有し、検査画面決定回路３０から
の検査画面信号によりサンプリングされた検査画面につ
いて、欠陥検出回路２４からの欠陥検出信号に基づいて
、検査している壜］２の欠陥の有無を判定する。
まず、第１欠陥判定回路２６Ａについて説明する。欠陥
検出信号カウンタ２６１は、検査検出信号が入力したと
きの検査画面について、欠陥検出信号を計数する。一つ
の検査画面について欠陥検出信号を計数すると、その画
面についての欠陥検出点の合計値ＤＳがわかる。この合
計値ＤＳは、比較器２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃにお
いて、定数設定器２６３ａ、２６３ｂ、２６３ｃに設定
された設定値ＦＤａ、、ＦＤｂ、ＦＤｃと比較される。
検出信号カウンタ２６１は、検査検出信号が入力したと
きの検査画面について、欠陥検出信号を計数する。一つ
の検査画面について欠陥検出信号を計数すると、その画
面についての欠陥検出点の合計値ＤＳがわかる。この合
計値ＤＳは、比較器２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃにお
いて、定数設定器２６３ａ、２６３ｂ、２６３ｃに設定
された設定値ＦＤａ、、ＦＤｂ、ＦＤｃと比較される。
比較器２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃで、合計値ＤＳが
設定値ＦＤａ、ＦＤｂ、ＦＤｃより大きいと判断される
と、その検査画面が欠陥であることを示す欠陥画面信号
が出力される。この欠陥画面信号は、欠陥画面カウンタ
２６４ａ％２６４ｂ、２６４ｃに出力され、計数される
。すなわち、欠陥画面カウンタ２６４ａ、２６４ｂ。
設定値ＦＤａ、ＦＤｂ、ＦＤｃより大きいと判断される
と、その検査画面が欠陥であることを示す欠陥画面信号
が出力される。この欠陥画面信号は、欠陥画面カウンタ
２６４ａ％２６４ｂ、２６４ｃに出力され、計数される
。すなわち、欠陥画面カウンタ２６４ａ、２６４ｂ。
２６４Ｃは、比較器２６２ａ、２６２ｂ。
２６２Ｃで欠陥画面と判断された欠陥画面数を、計数す
ることになる。欠陥画面カウンタ２６４ａ。
ることになる。欠陥画面カウンタ２６４ａ。
２６４ｂ、２６４ｃの計数値ＳＳａ、ＳＳｂ。
ＳＳｃは、比較器２６５ａ、２６５ｂ、２６５ｃにおい
て、定数設定器２６６ａ、２６６ｂ。
て、定数設定器２６６ａ、２６６ｂ。
２６６Ｃに設定された設定値ＦＳａＳＦＳｂ、、ＦＳｃ
と比較される。比較器２６５ａ、２６５ｂ。
と比較される。比較器２６５ａ、２６５ｂ。
２６５Ｃで、計数値Ｓ Ｓ ａ、 Ｓ Ｓ ｂ、 Ｓ
Ｓ ｃが設定値ｐｓａ、ＦＳｂ、ＦＳｃより大きいと判
断されると、壜１２が欠陥壜であること示す欠陥信号が
出力される。この欠陥信号は、オアゲート２６７に人力
される。したがって、比較器２６５ａ、２６５ｂ、２６
５ｃの一つからでも欠陥信号が出力されると、オアゲー
ト２６７は欠陥信号を出力する。
Ｓ ｃが設定値ｐｓａ、ＦＳｂ、ＦＳｃより大きいと判
断されると、壜１２が欠陥壜であること示す欠陥信号が
出力される。この欠陥信号は、オアゲート２６７に人力
される。したがって、比較器２６５ａ、２６５ｂ、２６
５ｃの一つからでも欠陥信号が出力されると、オアゲー
ト２６７は欠陥信号を出力する。
欠陥検出点数の設定値ＦＤａ、ＦＤｂ、ＦＤｃおよび欠
陥画面数の設定値ＦＳａ、ＦＳｂ、ＦＳｃは、壜１２の
種類等により予め定める。これら設定値ＦＤａ、ＦＤｂ
、ＦＤｃおよび設定値Ｆ Ｓ ａ ｓ Ｆ Ｓ ｂ ％
Ｆ Ｓ ｃを適切に定めることにより、欠陥検出点数
にねじ山１２ｃの始点および終点によるものが含まれて
いても、欠陥壜を正しく判断することができる。例えば
、ねじ山１２ｃの始点または終点による欠陥検出点数が
５以下てあリ、１００の検査画面のうち１０画面でねじ
山１２ｃの始点または終点が検出されるとすると、ＦＤ
ａ−６、ＦＳａ＝１１ ；ＦＤｂ＝４、ＦＳｂ−１５；
ＦＤｃ＝］ ０１ＦＳｃ＝２のように定める。
陥画面数の設定値ＦＳａ、ＦＳｂ、ＦＳｃは、壜１２の
種類等により予め定める。これら設定値ＦＤａ、ＦＤｂ
、ＦＤｃおよび設定値Ｆ Ｓ ａ ｓ Ｆ Ｓ ｂ ％
Ｆ Ｓ ｃを適切に定めることにより、欠陥検出点数
にねじ山１２ｃの始点および終点によるものが含まれて
いても、欠陥壜を正しく判断することができる。例えば
、ねじ山１２ｃの始点または終点による欠陥検出点数が
５以下てあリ、１００の検査画面のうち１０画面でねじ
山１２ｃの始点または終点が検出されるとすると、ＦＤ
ａ−６、ＦＳａ＝１１ ；ＦＤｂ＝４、ＦＳｂ−１５；
ＦＤｃ＝］ ０１ＦＳｃ＝２のように定める。
すなわち、欠陥検出点数が６以上の欠陥画面が１１以上
あれば、それはねじ山１２ｃの始点または終点以外の本
当の欠陥によると判断する。また欠陥検出点数が４以上
の欠陥画面が１５もあれば、欠陥検出点数は少なくても
欠陥と判断する。また欠陥検出点数が１０以上あれば、
それはねじ山１２ｃの始点または終点によるものとは考
えられないから、欠陥画面数が２程度であっても欠陥と
判断する。
あれば、それはねじ山１２ｃの始点または終点以外の本
当の欠陥によると判断する。また欠陥検出点数が４以上
の欠陥画面が１５もあれば、欠陥検出点数は少なくても
欠陥と判断する。また欠陥検出点数が１０以上あれば、
それはねじ山１２ｃの始点または終点によるものとは考
えられないから、欠陥画面数が２程度であっても欠陥と
判断する。
次に第２欠陥判定回路２６Ｂについて説明する。
全欠陥検出信号カウンタ２６８は、検査検出信号が入力
したときの全ての検査画面について、欠陥検出信号を計
数する。全欠陥検出信号カウンタ２６８の計数値ＤＳＴ
は、比較器２６９により定数設定器２６１０に設定され
た設定値ＦＤＴと比較される。比較器２６９で計数値Ｄ
ＳＴが設定値ＦＤＴより大きいと判断されると、欠陥信
号を出力する。
したときの全ての検査画面について、欠陥検出信号を計
数する。全欠陥検出信号カウンタ２６８の計数値ＤＳＴ
は、比較器２６９により定数設定器２６１０に設定され
た設定値ＦＤＴと比較される。比較器２６９で計数値Ｄ
ＳＴが設定値ＦＤＴより大きいと判断されると、欠陥信
号を出力する。
設定値ＦＤＴは壜の種類により予め定められる。
上記した例の場合は、ＦＤＴ＝５０とする。すなわち、
全欠陥検出点数が５０以上もあれば、それはねじ山１２
ｃの始点または終点による欠陥検出点だけではなく、本
当の欠陥によるものもあると判断する。
全欠陥検出点数が５０以上もあれば、それはねじ山１２
ｃの始点または終点による欠陥検出点だけではなく、本
当の欠陥によるものもあると判断する。
第１欠陥判定回路２６Ａおよび第２欠陥判定回路２６Ｂ
からの欠陥信号はオアゲート２６１１に入力される。オ
アゲート２６１１からは最終的な判定信号が出力される
。
からの欠陥信号はオアゲート２６１１に入力される。オ
アゲート２６１１からは最終的な判定信号が出力される
。
このように本実施例によれば、ねじ山１２ｃの始点また
は終点による欠陥検出点があっても、壜のねじ口部の欠
陥をみつけることができる。
は終点による欠陥検出点があっても、壜のねじ口部の欠
陥をみつけることができる。
なお、本実施例によれば、ねじ口部１．２ ａのねじ口
火面１２ｂの欠は等の欠陥をも検出することができる。
火面１２ｂの欠は等の欠陥をも検出することができる。
すなわち、第８図（ａ）に示すようにねじ口火面１２ｂ
に欠けがあると、検査領域ＣＡの上下辺がこの欠けのた
めに曲がってしまう。そして欠陥検出回路２４か検査領
域ＣＡ内の映像信号を」−辺を基準に並べかえると、第
８図（ｂ）に示すようにねじ山１２ｃの像の一部が曲が
る。この検査画面について欠陥検出を行うと、第８図（
ｃ）に示すような欠陥検出点が表れることになる。した
がって、この欠陥検出点から、壜のねじ口天面の欠陥が
検出できる。
に欠けがあると、検査領域ＣＡの上下辺がこの欠けのた
めに曲がってしまう。そして欠陥検出回路２４か検査領
域ＣＡ内の映像信号を」−辺を基準に並べかえると、第
８図（ｂ）に示すようにねじ山１２ｃの像の一部が曲が
る。この検査画面について欠陥検出を行うと、第８図（
ｃ）に示すような欠陥検出点が表れることになる。した
がって、この欠陥検出点から、壜のねじ口天面の欠陥が
検出できる。
」１記実施例では、単一の検査領域ＣＡで欠陥を検査し
たか、検査領域を複数の領域に分けてもよい。例えば、
第９図に示すように、検査領域ＣＡを」−ド２つの検査
領域ＣＡＩ、ＣＡ２に分ける。
たか、検査領域を複数の領域に分けてもよい。例えば、
第９図に示すように、検査領域ＣＡを」−ド２つの検査
領域ＣＡＩ、ＣＡ２に分ける。
これら２つの検査領域ＣＡＩ、ＣＡ２に対して、それぞ
れ欠陥判定回路２６を設ける。上の検査領域ＣＡＩには
ねじの始点が含まれ、下の検査領域ＣＡ２にはねじの中
間部とねじの終点が含まれる。
れ欠陥判定回路２６を設ける。上の検査領域ＣＡＩには
ねじの始点が含まれ、下の検査領域ＣＡ２にはねじの中
間部とねじの終点が含まれる。
ねじの始点による欠陥検出点数は比較的大きいが、ねじ
の終点による欠陥検出点は比較的少ない場合、下の検査
領域ＣＡ２における欠陥検出感度を上げることができる
。また、第１０図に示すように検査領域ＣＡを」二中下
３つの検査領域ＣＡＩ、ＣＡ２、ＣＡ３に分けてもよい
。ねじの終点による欠陥検出点がねじの始点に比べて少
なくない場合、ねじの始点が含まれる検査領域ＣＡＬや
、ねじの終点が含まれる検査領域ＣＡ３に比べて、ねじ
の中間部分が含まれる検査領域ＣＡ２における欠陥検出
感度を」−げることかできる。
の終点による欠陥検出点は比較的少ない場合、下の検査
領域ＣＡ２における欠陥検出感度を上げることができる
。また、第１０図に示すように検査領域ＣＡを」二中下
３つの検査領域ＣＡＩ、ＣＡ２、ＣＡ３に分けてもよい
。ねじの終点による欠陥検出点がねじの始点に比べて少
なくない場合、ねじの始点が含まれる検査領域ＣＡＬや
、ねじの終点が含まれる検査領域ＣＡ３に比べて、ねじ
の中間部分が含まれる検査領域ＣＡ２における欠陥検出
感度を」−げることかできる。
なお、検査領域ＣＡＬ、ＣＡ２、ＣＡ３の境界はこの境
界部分での欠陥を検出するため、少し重なり合わせてお
く方がよい。
界部分での欠陥を検出するため、少し重なり合わせてお
く方がよい。
また、」−記実施例では、欠陥判定回路２６は２つの第
１欠陥判定回路２６Ａと第２欠陥判定回路２６Ｂにより
、壜の欠陥を判定したが、いずれか一方の欠陥判定回路
により判定してもよい。また上記実施例では欠陥検出点
数の多い欠陥検査画面を計数したが、逆に欠陥検出点数
の少ない無欠陥画面の数から、壜の欠陥の有無を判断す
るようにしてもよい。さらに、この判定方法を上記実施
例の方法と組合わせてもよい。
１欠陥判定回路２６Ａと第２欠陥判定回路２６Ｂにより
、壜の欠陥を判定したが、いずれか一方の欠陥判定回路
により判定してもよい。また上記実施例では欠陥検出点
数の多い欠陥検査画面を計数したが、逆に欠陥検出点数
の少ない無欠陥画面の数から、壜の欠陥の有無を判断す
るようにしてもよい。さらに、この判定方法を上記実施
例の方法と組合わせてもよい。
さらに、上記実施例では検査ゲート設定回路２０により
透過映像から検査する所定領域を定めたが、壜に位置が
それ程変動しない場合は所定領域を固定にしてもよい。
透過映像から検査する所定領域を定めたが、壜に位置が
それ程変動しない場合は所定領域を固定にしてもよい。
さらにまた、検査される壜の移動速度および回転速度が
一定である場合には、壜回転角度検出器２８や検査画面
決定回路３０を設けなくともよい。
一定である場合には、壜回転角度検出器２８や検査画面
決定回路３０を設けなくともよい。
その場合は振動ミラー１４と同期させてもよいし、時間
で検査画面を定めてもよい。
で検査画面を定めてもよい。
なお、第１１図に示すように停止した壜１２をスピンさ
せるような場合は、壜１２の回転速度が正確であるから
、時間により検査両面を定めても問題がない。
せるような場合は、壜１２の回転速度が正確であるから
、時間により検査両面を定めても問題がない。
本発明は上記実施例に限らずさらに種々の変形が可能で
あることは言うまでもない。
あることは言うまでもない。
以上の通り本発明によれば壜のねじ口部の欠陥を正確に
かつ高速に検査することができる。
かつ高速に検査することができる。
第１図、第２図は本発明の一実施例による壜のねじ口部
検査装置のブロック図、第３図は開場のねじ口部検査装
置の二次元光電変換装置が入力する映像光線の方向を示
す図、第４図は開場のねじ口部検査装置における壜の透
過映像を示す図、第５図は開場のねじ口部検査装置にお
ける壜の透過映像の検査領域を示す図、第６図、第７図
、第８図は開場のねじ口部検査装置における欠陥検出方
法を説明するための図、第９図、第１０図は開場のねじ
口部検査装置における壜の透過映像の検査領域の他の例
を示す図、第１１図は本発明による壜のねじ口部検査装
置の他の例を示す図である。 １０・・・拡散光源、１２・・・壜、１４・・・振動ミ
ラー、１６・・・二次元光電変換装置、１８・・・Ａ／
Ｄ変換器、２０・・・検査ゲート設定回路、２２・・・
バッファ、２４・・・欠陥検出回路、２６・・・欠陥判
定回路、２８・・・壜回転角度検出器、３０・・・検査
画面決定回路。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第５ （ａｌ （ａｌｆｂｌ
（ｂｌ第６図 第７
図 ｃｌ 第８図 第９図 第１１図 第１０図
検査装置のブロック図、第３図は開場のねじ口部検査装
置の二次元光電変換装置が入力する映像光線の方向を示
す図、第４図は開場のねじ口部検査装置における壜の透
過映像を示す図、第５図は開場のねじ口部検査装置にお
ける壜の透過映像の検査領域を示す図、第６図、第７図
、第８図は開場のねじ口部検査装置における欠陥検出方
法を説明するための図、第９図、第１０図は開場のねじ
口部検査装置における壜の透過映像の検査領域の他の例
を示す図、第１１図は本発明による壜のねじ口部検査装
置の他の例を示す図である。 １０・・・拡散光源、１２・・・壜、１４・・・振動ミ
ラー、１６・・・二次元光電変換装置、１８・・・Ａ／
Ｄ変換器、２０・・・検査ゲート設定回路、２２・・・
バッファ、２４・・・欠陥検出回路、２６・・・欠陥判
定回路、２８・・・壜回転角度検出器、３０・・・検査
画面決定回路。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第５ （ａｌ （ａｌｆｂｌ
（ｂｌ第６図 第７
図 ｃｌ 第８図 第９図 第１１図 第１０図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転する壜のねじ口部を照明する照明手段と、 この照明手段により照明されたねじ口部の透過映像を光
電変換する光電変換手段と、 この光電変換手段により光電変換された透過映像画面中
の所定領域を予め定められた検出方向に沿った少なくと
も２点の明るさに基づいて欠陥点を検出する欠陥検出手
段と、 この欠陥検出手段により検出された欠陥点の数を計数し
、計数された欠陥点数に基づいて前記壜のねじ口部の欠
陥の有無を判定する判定手段とを備えたことを特徴とす
る壜のねじ口部検査装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の壜のねじ口部検査装置
において、前記壜のねじ口部の透過映像に基づいて、前
記欠陥検出手段により検出する前記所定領域を定める検
出領域設定手段を備えたことを特徴とする壜のねじ口部
検査装置。 ３、特許請求の範囲第１項または第２項記載の壜のねじ
口部検査装置において、前記壜の回転角度を検出する回
転角度検出手段と、この回転角度検出手段により検出さ
れた回転角度に基づいて前記判定手段が欠陥の有無を検
査する透過映像画面を決定する検査画面決定手段とを備
えたことを特徴とする壜のねじ口部検査装置。 ４、特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載
の壜のねじ口部検査装置において、前記判定手段は、所
定数以上の欠陥点数がある検査画面が所定数以上あるか
否かに基づいて欠陥の有無を判定することを特徴とする
壜のねじ口部検査装置。 ５、特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記載
の壜のねじ口部検査装置において、前記判定手段は、全
検査画面の欠陥点数が所定数以上あるか否かに基づいて
欠陥の有無を判定することを特徴とする壜のねじ口部検
査装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61242693A JPS6396095A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 壜のねじ口部検査装置 |
| US07/106,583 US4831250A (en) | 1986-10-13 | 1987-10-08 | Apparatus for detecting defects on bottle mouth with screw thread |
| CA000549028A CA1272775A (en) | 1986-10-13 | 1987-10-09 | Apparatus for detecting defects on bottle mouth with screw thread |
| DE8787114827T DE3783852T2 (de) | 1986-10-13 | 1987-10-10 | Vorrichtung zum nachweis von defekten an einer flaschenmuendung mit schraubengewinde. |
| EP87114827A EP0264087B1 (en) | 1986-10-13 | 1987-10-10 | Apparatus for detecting defects on bottle mouth with screw thread |
| AU79579/87A AU596872B2 (en) | 1986-10-13 | 1987-10-12 | Apparatus for detecting defects on bottle mouth with screw thread |
| KR1019870011318A KR960010679B1 (ko) | 1986-10-13 | 1987-10-13 | 병의 나사입구부 결함검출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61242693A JPS6396095A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 壜のねじ口部検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6396095A true JPS6396095A (ja) | 1988-04-26 |
| JPH0570783B2 JPH0570783B2 (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=17092835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61242693A Granted JPS6396095A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 壜のねじ口部検査装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4831250A (ja) |
| EP (1) | EP0264087B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6396095A (ja) |
| KR (1) | KR960010679B1 (ja) |
| AU (1) | AU596872B2 (ja) |
| CA (1) | CA1272775A (ja) |
| DE (1) | DE3783852T2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3039500U (ja) * | 1996-09-06 | 1997-07-22 | 株式会社プレシジョン | 瓶口部・ネジ部ビリ検査装置 |
| JP2005214991A (ja) * | 2005-04-19 | 2005-08-11 | Toyo Glass Co Ltd | ガラスびんのねじ部検査装置及び検査方法 |
| JP2008275618A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Emhart Glass Sa | ガラス容器の検査機 |
| JP4986255B1 (ja) * | 2011-08-03 | 2012-07-25 | 東洋ガラス株式会社 | 容器口部検査方法及び装置 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63304146A (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-12 | Kirin Brewery Co Ltd | 壜の胴部検査装置 |
| JPH0641924B2 (ja) * | 1988-05-27 | 1994-06-01 | 株式会社キリンテクノシステム | 壜胴部の欠陥検出装置 |
| EP0344617B1 (en) * | 1988-05-30 | 1995-08-02 | Kabushiki Kaisha Kirin Techno System | Method and apparatus for inspecting sidewalls of bottles |
| DE3831401A1 (de) * | 1988-09-15 | 1990-03-29 | Kolb Gmbh & Co Hans | Verfahren und vorrichtung zur automatisierten beruehrungsfreien oberflaechenkontrolle von zylindrischen teilen |
| AU613516B2 (en) * | 1988-09-16 | 1991-08-01 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Inspection of container finish |
| US4958223A (en) * | 1988-09-16 | 1990-09-18 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Inspection of container finish |
| US4914289A (en) * | 1988-10-26 | 1990-04-03 | Inex-Vistech Technologies Incorporated | Article inspection system for analyzing end and adjacent sides |
| DE68928813T2 (de) * | 1989-02-06 | 1999-05-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Verfahren und vorrichtung zur kontrolle eines hitzebeständigen mehrschichtigen behälters aus kunstharz |
| US5085515A (en) * | 1990-02-08 | 1992-02-04 | Mitsubishi Metal Corporation | Method and apparatus for inspecting quality of manufactured articles |
| US5095204A (en) * | 1990-08-30 | 1992-03-10 | Ball Corporation | Machine vision inspection system and method for transparent containers |
| JPH0736001B2 (ja) * | 1990-10-31 | 1995-04-19 | 東洋ガラス株式会社 | びんの欠陥検査方法 |
| US5328018A (en) * | 1990-12-03 | 1994-07-12 | Dai Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | Transfer device including a rotating mechanism for rotating a container |
| DK0842415T3 (da) | 1995-08-04 | 2001-03-05 | Image Proc Systems Inc | Flaskegevindinspektionssystem og fremgangsmåde til betjening af samme |
| US6211952B1 (en) | 1998-10-02 | 2001-04-03 | Agr International, Inc. | Method and apparatus for inspecting glass containers for checks |
| US6304323B1 (en) * | 1998-11-30 | 2001-10-16 | Kirin Techno-System Corporation | Method for detecting defect in bottle |
| US6473169B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-10-29 | Air Logic Power Systems, Inc. | Integrated leak and vision inspection system |
| JP2007010620A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Fanuc Ltd | ねじ部検査装置及びねじ部検査方法 |
| JP2008014697A (ja) | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342093A (en) * | 1976-09-28 | 1978-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | Tester for glass bottle |
| JPS5576942A (en) * | 1979-11-16 | 1980-06-10 | Kirin Brewery Co Ltd | Foreign matter detector at bottle |
| JPS59217141A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Mitsubishi Electric Corp | ビンのねじ部の検査装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4213702A (en) * | 1978-10-02 | 1980-07-22 | Powers Manufacturing, Inc | Glass inspection method and apparatus |
| JPS5763438A (en) * | 1980-10-04 | 1982-04-16 | Suntory Ltd | Inspection method of bottle with thereaded mouth |
| US4492476A (en) * | 1981-02-20 | 1985-01-08 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Defect detecting method and apparatus |
| JPS603542A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-09 | Mitsubishi Electric Corp | ビン検査装置 |
| JPS60159637A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-21 | Kirin Brewery Co Ltd | 欠陥検出方法および装置 |
| US4601395A (en) * | 1984-04-23 | 1986-07-22 | Owens-Illinois, Inc. | Inspecting and sorting of glass containers |
| JPS61193009A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Toyo Glass Kk | 容器の開口天面欠陥検査方法 |
| JPS61207952A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Hajime Sangyo Kk | 透明材よりなるビンの欠陥検査方法 |
| US4679075A (en) * | 1985-04-29 | 1987-07-07 | Emhart Industries, Inc. | Glassware inspection using optical streak detection |
| DE3523975A1 (de) * | 1985-07-04 | 1987-01-08 | Oem Messtechnik Gmbh | Verfahren zur opto-elektronischen inspektion von flaschen |
| US4701612A (en) * | 1985-07-19 | 1987-10-20 | Owens-Illinois, Inc. | Inspection of container finish |
| JPS63304146A (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-12 | Kirin Brewery Co Ltd | 壜の胴部検査装置 |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP61242693A patent/JPS6396095A/ja active Granted
-
1987
- 1987-10-08 US US07/106,583 patent/US4831250A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-09 CA CA000549028A patent/CA1272775A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-10 EP EP87114827A patent/EP0264087B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-10 DE DE8787114827T patent/DE3783852T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-10-12 AU AU79579/87A patent/AU596872B2/en not_active Ceased
- 1987-10-13 KR KR1019870011318A patent/KR960010679B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342093A (en) * | 1976-09-28 | 1978-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | Tester for glass bottle |
| JPS5576942A (en) * | 1979-11-16 | 1980-06-10 | Kirin Brewery Co Ltd | Foreign matter detector at bottle |
| JPS59217141A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Mitsubishi Electric Corp | ビンのねじ部の検査装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3039500U (ja) * | 1996-09-06 | 1997-07-22 | 株式会社プレシジョン | 瓶口部・ネジ部ビリ検査装置 |
| JP2005214991A (ja) * | 2005-04-19 | 2005-08-11 | Toyo Glass Co Ltd | ガラスびんのねじ部検査装置及び検査方法 |
| JP2008275618A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Emhart Glass Sa | ガラス容器の検査機 |
| US8135206B2 (en) | 2007-05-02 | 2012-03-13 | Emhart Glass S.A. | Machine for inspecting glass containers |
| JP4986255B1 (ja) * | 2011-08-03 | 2012-07-25 | 東洋ガラス株式会社 | 容器口部検査方法及び装置 |
| WO2013018207A1 (ja) * | 2011-08-03 | 2013-02-07 | 東洋ガラス株式会社 | 容器口部検査方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0264087A2 (en) | 1988-04-20 |
| US4831250A (en) | 1989-05-16 |
| CA1272775A (en) | 1990-08-14 |
| AU596872B2 (en) | 1990-05-17 |
| EP0264087B1 (en) | 1993-01-27 |
| AU7957987A (en) | 1988-04-14 |
| KR960010679B1 (ko) | 1996-08-07 |
| EP0264087A3 (en) | 1989-10-18 |
| KR880005001A (ko) | 1988-06-27 |
| DE3783852D1 (de) | 1993-03-11 |
| DE3783852T2 (de) | 1993-05-19 |
| JPH0570783B2 (ja) | 1993-10-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6396095A (ja) | 壜のねじ口部検査装置 | |
| US5305391A (en) | Method of and apparatus for inspecting bottle or the like | |
| JPH04220551A (ja) | 透明物体の欠陥検査方法とその装置 | |
| CA1261026A (en) | Bottle mouth defect inspection apparatus | |
| JPS5821146A (ja) | 欠陥検査方法および装置 | |
| JPH0743326B2 (ja) | 物体端部の欠陥検査方法及びその装置 | |
| JP3216439B2 (ja) | 円形容器の内面検査装置 | |
| JPH0711414B2 (ja) | ガラスびんの偏肉検査方法 | |
| JP3044961B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
| JPH043820B2 (ja) | ||
| JPH0587782B2 (ja) | ||
| JP3682249B2 (ja) | ガラスびんのねじ部検査装置 | |
| JP2988059B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
| JPS6373139A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH04270951A (ja) | 瓶検査方法 | |
| JPS6310780B2 (ja) | ||
| JP3055322B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
| JPH0829357A (ja) | 自動化ライン外観検査装置 | |
| JPH04216444A (ja) | 瓶検査装置 | |
| JPS6252256B2 (ja) | ||
| JPH0210254A (ja) | 瓶外観検査装置 | |
| JPS5994006A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPS62249038A (ja) | 画像２値化処理回路 | |
| JPH0312545A (ja) | 回転体の検査方法及び装置 | |
| JPH01312846A (ja) | 半導体装置のマーク検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |