JPS6388817A - 基板収納用カセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は集積回路用のウェハ等の基板を収納するカセ
ットに関するものである。

〔従来の技術〕

第４図及び第５図は９例えば実開昭５６−２４１５２　
　号公報に示されたものに、情報カード挿入用の保持具
を設けた従来の基板収納用カセットを示す図で、第４図
は斜視図、第５図は８ｇ４図のＶ−Ｖ線断面図である。

図中、（１）は内壁に多数の溝（２）が形成されたカセ
ット、＋３１は縁部が溝（２）内に挿入されてカセット
（１）内に収納された集積回路等の基板となるウェハ。

（４）はカセット（１）の外側面に縦方向に沿って形成
され内側に溝（５）が設けられた保持具、（６１はウェ
ハ（３）のロンドに対応した製造工程（順序）や品質履
歴を追うための情報が記録された工０カード（集積回路
カードＬＶＩｋ気カード等の情報カードで、その縁部が
溝（５）と係合して保持具（４）に挿入されている。

従来の基板収納用カセットは上記のように構成され、集
積回路等の半導体製造ラインでは、ウェハ（３）はカセ
ツｌ）Ｋ収納して搬送される。そして。

ウェハ（３）は生産処理を行う度に、カセットｆ１）か
ら抜き出し１次工程に送るときにまたカセットｆｉｌに
挿入される。一方、情報カード（６）はウェハ（３）の
製造工程の内容を表すカードでアシ、ウェハ（３）と対
応して扱われるものである。したがって、ウェハ（３）
がカセット（１）から取シ出されるときは、情報カード
（６１も保持具（４）から抜き出され、生産工程の−工
程が終わると、再びウェハ（３）の収納されたカセット
（１）の保持具（４）に挿入される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の基板収納用カセットでは。

情報カード（６）はカセット（１）の外側面に密着した
状態となっているため、情報カード（６１を保持具（４
）から抜き出す際に円滑に脱出しないという問題点があ
る。また、情報カードｔ６１　Ｉｆｉカセット（１）の
外側面に全面接触するため１両者の摩擦によシ微粒子の
塵が発生し、ウエノ・（３）やカセット（１）に付着し
やす（半導体生産に幾影響を与えるという問題点もある
。

この発明は上記問題点を解決するためになされたもので
、情報カードをカセットの保持共から容易に抜き出すこ
とができ、かつ塵の発生を少な（することができるよう
にした基板収納用カセットを提供することを目的とする
。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る基板収納用カセットは、カセットの外側
面に凹部又は凸部を設け、カセットの外側面と情報カー
ドの間に隙間を形成したものである。

〔作用〕

この発明においては、カセットの外側面と情報カードの
間に隙間が形成されているため、情報カードはカセット
に全面接触することはな（、その接触面は小さくなる。

〔実施例〕

第１図及び第２図はこの発明の一実施例を示す図で、第
１図は斜視図、第２図は第１図の１１−１［線断面図で
ろ、ｉｌ）、（１１〜ｆ３１．　ｔ６１は上記従来装置
と同様のものである。

図中、（８）はカセット（１）の外側面の情報カード（
６）と対向する部分に縦方向に殺げられた凹部、（９）
はカセット（１）の外側面に縦方向に複数本（図では３
　　　′本）ずつ並列して植設され円柱状の首部（９ａ
）と頭部（９ｂ）を持つ突起からなる保持具である。

上記のように構成された基板収納用カセットにおいては
、カセット（１）の側面に設けられた凹部（８）によシ
、情報カード＋６１　ｉｌ−を凹部（８）以外の部分だ
けに接触し、カセット（１）の外側面全面に密着するこ
とな（、その抜き出しは容易になる。また、情報カード
（６１とカセット（１）の間には隙間が形成されている
ため、情報カード（６１を手で抜く場合も、情報カード
（６）の上下を指で持てるので、操作は容易である。更
に、情報カード（６）とカセット（１１の接触面は従来
のものに比べて小さくなっているので９両者の摩擦に伴
う塵の発生は少な（なる。また、保持具（９）は突起に
より形成されているため、清掃は容易でロシ、洗浄後の
水切れもよく、半導体生産上好ましいものとなっている
。

第３図はこの発明の他の実施例を示す第２図相当図で、
第２図の凹部（８）の代わシに凸部Ｑｌを設けたもので
、情報カード（６）は凸部ＯＩの先端部分だけに接触し
、カセン）　ｆｌ）の外側面全面に密着することはない
ので、第２図のものと同様の作用を得ることができる。

なお、実施例では集積回路製造用ウェハ（３）をカセッ
ト（１）に収納するものとして説明したが、ウェハ（３
）に限らず、磁気ディスク、元ディスク等の基板を、清
浄な環境下で取シ扱う場合に用いられるカセットにも適
用可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したとおシこの発明では、カセットの外側面に
凹部又は凸部を設け、カセットの外側面とこれに設けら
れた保持具に挿入された情報カードの間に隙間を形成し
たので、情報カードを保持具から容易に抜き出すことが
でき、かつ情報カードとカセットの摩擦に伴う塵の発生
を少なくすることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による基板収納用カセットの一実施例
を示す斜視図、第２図は第１図のＩ−■線断面図、第３
図はこの発明の他の実施例を示す図で、第２図相当図、
第４図は従来の基板収納用カセットを示す斜視図、第５
図は第４図の■−■線断面図である。 図中、（１）はカセツ）、（Ｓ）はウェハ、（６）は情
報カード、１８）は四部、　（ｌ［Ｉは凸部である。 なお９図中同一符号は同一部分を示す。 第１図 第２図 第３図 １０８音Ｐ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基板を収納するカセットの外側面に設けられた保持具
   に、上記基板の製造工程が記録された情報カードを挿入
   したものにおいて、上記カセットの外側面に凹部又は凸
   部を設け、上記外側面と上記情報カードの間に隙間を形
   成したことを特徴とする基板収納用カセット。