JPS6388818A - 基板収納用カセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は集積回路用のウェハ等の基板を収納するカセ
ットに関するものである。

〔従来の技術〕

第８図及び第９図に９例えば実開昭５６−２４１５２号
公報に示されたものに、情報カード挿入用の保持具を設
けた従来の基板収納用カセットを示す図で、第８因は斜
視図、第９図は第８図の■−［線断面図である。

図中、（１）は内壁に多数の溝（２）が形成されたカセ
ツ）、（３）は縁部が溝（２）内に挿入されてカセット
（１）内に収納された集積回路等の基板となるウェハ。

（４）はカセット（１）の外側面に縦方向に沿って形成
され内側に溝（５）が設けられた保持具、（６）はウェ
ハ（３）のロツ）Ｋ対応した製造工程（順序）や品質履
歴を追うための情報が記録された工０カード（集積回路
カード）、磁気カード等の情報カードで、その縁部が溝
（５）と係合して保持具１４）に挿入さでている。

従来の基板収納用カセットは上記のように構成され、集
積回路等の牛導体製造ラインでは、ウェハ（３）はカセ
ット（１）に収納して搬送される。そして。

ウェハ（３）は生産処理を行う度に、カセット（１）か
ら抜き出し１次工程に送るときにまたカセット（１）に
挿入される。一方、情報カード（６）はウェハ（３）の
製造工程の内容を表すカードでアシ、ウェハ（３）と対
応して扱われるものである。したがって、ウェハ（３）
がカセット（１）から抜き出されるときは、情報カード
（６）も保持具（４）から抜き出され、生産工程の−工
程が終わると、再びウニ／５ｆ３１の収納されたカセッ
ト０）の保持具〔４）に挿入される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の基板収納用カセットでは。

情報カード（６）はその縁部が保持具（４）の溝（５）
内に係合かつ接触しているため、情報カード（６１の抜
き差しによる摩擦で微粒子の塵が発生し、これがウェハ
（３）やカセット（１）に付着しやすく、半導体生産に
悪影響を与えるという問題点がβる。また、カセット（
１）を洗浄する際、保持具（４）の溝（５）内隅部の清
掃が困離で、かつ水切れが悪（、水分が残留して次工程
を阻害するという問題点もある。

この発明は上記問題点を解決するためになされたもので
、情報カードの抜き差しに伴う塵の発生を少な（シ、保
持具の清掃を容易にし、かつカセット洗浄後保持具の水
切れを良くすることができるようにした基板収納用カセ
ットを提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る基板収納用カセットは、カセットの外側
面に設けられた保持具を、複数本の突起によ力構成し、
これを情報カードの周縁部に配置したものである。

〔作用〕

この発明において（−ｉ、情報カードの周縁部は複数本
の突起によシ支持されるため、情報カードは保持具全長
にわたって接触することなく、その接触面は小さくなる
。また、突起相互間には空間が形成され、突起は全面が
露出される。

〔実施例〕

第１図〜第３図はこの発明の一実施例を示す図で、第１
図は斜視図、第２図は第１図の川−］腺断面図、第３図
は正面図であシ、（１）〜””　ｙ　１６１げ上記従来
装置と同様のものである。

図中、（８）はカセット（１）の外側面の情報カード（
６）と対向する部分に縦方向に設けられた四部、（９）
はカセット（１）の外側面に縦方向に複数本（図では３
本ンずつ並列して植設され円柱状の首部（９８）と頭部
（９１））　　’ｒ持つ突起からなる保持具、０（υは
同じ（カセット（１）の外側面の下部に横に配置されだ
円柱状の突起からなる保持具で、保持具＋９１．０１は
情報カード（６）の周縁部に配置されている。

上記のように構成された基板収納用カセン）においては
、情報カード（６１は、その側縁部が保持具（９）で、
下縁部が保持具０１でそれぞれ支持される。

したがって、情報カード（６）の周縁部は保持具（９）
。

翰と点で接触している状態となフ、従来装置のように保
持具［４）と面で接触しているものと異なシ。

接触面は極めて小さくなる。その結果、情報カード（６
１の抜き差しに伴う塵の発生は少ない。また。

情報カード（６１に対面するカセット（１）の外側面に
は。

凹部（８）が形成されているので、情報カード（６１の
全面がカセツ）　（１１の外側面に密着することはない
ので、この部分での塵の発生も少なくなる。更Ｋ。

保持具＋９１．　Ｈの相互間には空間が形成されている
ため、清掃は容易である。また、保持具＋９１．　（１
０はその全面が露出しておシ、従来装置の保持具（４）
と異なり、内隅部が存在しないから、洗浄後の水切れは
十分良い。

第４図及び第５図はこの発明の他の実施例を示す図で、
第４図は第２図の■部部分図、第５図は保持具の正面図
である。

この実施例は、保持具（９）を横断面がほぼ半円状の首
部（９リ　と頭部（９ｂ）とで形成したもので。

その機能は第２図のものと同様である。

第６図及び第１図もこの発明の他の実施例を示す図で、
第６図は第２図の■部部分図、第Ｔ図は保持具の正面図
で、保持具（９）は横断面かａぼ台形状の首部（９ａ）
と頭部（９ｂ）とで形成されておシ。

その機能は第２図のものと同様である。

なお、実施例では集積回路製造用ウェハ（３）をカセッ
ト（１）に収納するものとして説明したが、ウェハ（３
）に限らず、＠気ディスク、光ディスク等の基板を、清
浄な環境下で取り扱う場合に用いられるカセットにも適
用可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したとおシこの発明では、カセットの外側面に
複数本の突起からなる保持具を配置し。

これに情報カードの周縁部を支持するようにしたので、
情報カードの抜き差しに伴う塵の発生を少なくシ、保持
具の清掃を容易にし、かつカセット洗浄後保持具の水切
れを良（することができる効果がろる０

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による基板収納用カセットの一実施例
を示す斜視図、第２図は第１図の■−ｎ線断面図、第３
図は第１図の正面図、第４図はこの発明の他の実施例を
示す図で、第２図の■部部分図、第５図は第４図の保持
具の正面図、第６図もこの発明の他の実施例を示す図で
、第２図の■部相当図、第７図は第６図の保持具の正面
図、第８図は従来の基板収納用カセットを示す斜視図。 第９図は第８選のＩＸ−■線断面図である。 図中、（１）はカセット、（３）は基板（ウェハＬｔ６
＋は情報カード、　＋９１．　Ｈは保持具である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基板を収納するカセットの外側面に設けられた保持具
   に、上記基板の製造工程が記録された情報カードを挿入
   したものにおいて、上記保持具を複数本の突起によ力構
   成し、これを上記情報カードの周縁部に配置したことを
   特徴とする基板収納用カセット。