JPS6380510A - ロータリートランス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオテープレコーダやデジタルオーディオ
テープレコーダ等の回転磁気ヘッド装置に使用されるロ
ータリートランスの製造方法に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、ロータリートランスを製造するにあたり、 フォトリソグラフィ技術にてコイル導体を形成するとと
もに、予め該コイル導体と外部リード線をワイヤボンデ
ィングにて結線することにより、上記結線工程の工数削
減を図ると同時に、生産性や信軟性の向上を図ろうとす
るものである。

〔従来の技術〕

ロータリートランスは、例えばビデオテープレコーダの
回転磁気へノド装置において、回転側に設けた回転１．
４１気ヘツドにて得られる信号を固定側の回路に伝送す
るための接続手段として広く用いられている。

このロータリートランスは、回転側に設けられたロータ
一部と同定側に設けられたステータ部とから構成され、
これらロータ一部及びステータ部を互いに微小間隙をも
って対向配置してなるものであって、上記ロータ一部や
ステータ部はそれぞれ略円盤状の磁気コアの一側面にヘ
ッドのチャンネル数に応じた同心円状のコイルを巻装し
た構成となっている。したがって、ロータ一部に接続さ
れた例えば回転磁気ヘッドとステータ部に接続された例
えば再生回路とは、″＠磁結合により接続された構成と
なっている。

ここで、上記ロータ一部及びステータ部は、フェライト
等の磁性材料よりなる磁性コアに対して、該磁性コアに
設けられた溝部に渦巻状のコイル巻線を組み込み接着固
定して作成される。しかしながら、この方法では、作業
能率、製造コスト、ロータリートランスの小型化等の点
で問題を抱えていた。

かかる状況より、本願出願人は、特開昭６１−２４８４
８号明細書において、基体上にフォトリソグラフィ技術
にてコイル導体を形成し、ＨＳ　＆体を磁性コアに一体
化した後、基体のみを除去しコイル導体を磁性コアに転
写する方法を提案した。

この製法では、コイル導体を薄膜形成技術で形成してい
るので、生産性や小型化等の点で有利であ〔発明が解決
しようとする問題点］ ところで、上記ロータリートランスにおいては、回転磁
気ヘッドや再生回路等との接続を図るために外部リード
線を上記コイル導体の両端部に結線している。

この結線方法としては、例えば第９図に示すように、基
体（５１）上にコイル導体（５２）をフォトリソグラフ
ィ技４Ｊｉにて形成した後、ハンダ流出によるコイル導
体（５２）間の短絡を防止するために該コイル導体（５
２）上に絶縁ｎり（５３）を形成し、この絶縁欣（５３
）に外部リード線（５４）を接続するための開口部（５
３ａ）を形成し、その後、ハンダ（５５）を介して外部
リード線（５４）を結線する方法が考えられている。

ところが、上述の方法では、絶！！　膜（５３）の形成
工程、開口部（５３ａ）の形成工程、ハンダ付は工程等
の煩雑な工程を要し、生産性や結線の信頼性の点で問題
がある。特に、組立作業の自動化の観点からみた場合、
上記ハンダ付は法は大きな障害となっており、この改善
が望まれている。

そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、外部リード線とコイル導体との簡便な結
線方法を提供し、生産性や信輔性に優れたロータリート
ランスの製造方法を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上述の目的を達成するために、本発明のロータリートラ
ンスの製造方法は、基体上にコイル導体を形成し、該コ
イル導体の端部にワイヤポンディングにより外部リード
線を接続した後、前記コイル導体に対応した溝部を有す
る磁性コアと一体化し、次いで、上記基体を除去するこ
とを特徴とするものである。

〔作用〕

このように本発明では、予めコイル導体と外部リード線
とをワイヤポンディングにより結線しているので、この
ボンディング作業が簡略化され、自動組立が可能となる
とともに、上記結線の信頼性が向上する。

〔実施例〕

以下、本発明を適用したロータリートランスの製造方法
の一実施例をその工程順序に従って図面を参照しながら
説明する。

本発明によりロータリートランスを作成するには、先ず
、第１図に示すように、例えばＡ１等よりなる基体（１
）上にＣｕ等の導電性金属よりなる金属膜（２）を電着
等の手段で形成し、その後、所望のコイルパターンに対
応したフォトレジスト（３）を形成する。ここで、上記
基体（１）はコイル導体を磁性コアに転写するためのダ
ミ一部材であって、ロータリートランスの非構成部品で
ある。

次に、第２図に示すように、上記フォトレジスト（３）
をマスクとし、エツチング液として例えば塩化第２銖（
ＦｅＣＩ！　３）水？８液を用いて、エソナングを施し
コイル与体（４）　、　（５）を形成する。この場合、
上記塩化第２銖水溶液からＡｆ基体（１）を保護するた
めに、基体（１）の裏面側にレジスト膜等を形成してお
くことが好ましい。以上で内径が異なる渦巻状（本実施
例では２チヤンネルでそれぞれ４ターン）のコイル導体
（４）　、　（５）が形成される。

このように本実施例では、コイル８体（４）　、　（５
）をフォトリソグラフィ技術にて形成しているので、該
コイル導体（４）　、　（５）は高精度にパターニング
され、その位置精度も優れたものとなる。したがって、
コイル導体（４）　、　（５）の特性バラツキが減少す
るとともに、ロータリートランスの小型化に有利である
。

次いで、第３図に示すように、上記各コイル導体（４）
　、　（５）の端部（４ａ）　、　（４ｂ）　、　（５
ａ）　、　（５ｂ）に、ワイヤボンディングの手段を用
いて、Ａｆ％ｉｌ、Ａｕ線。

Ｃｕ線等よりなる外部リード線（６ａ）　、　（６ｂ）
　、　（７ａ）　。

（７ｂ）を結線する。

上記ワイヤボンディングには、熱圧着法や超音波溶接法
等積々の結線方法があるが、なかでも熱圧着法を利用し
たポールポンディグ法（ネイルヘッドポンディング法と
も称される）が好適である。

上記ポールポンディグ法は、結線部（コイル導体の端部
）に先端がポール状の外部リード線を融点以下の温度と
圧力のもとて上記端部に一定時間押しつけて、局部的に
合金化し相互接続を行うものである。この結果、結線部
分の該ポールは圧着により偏平となるので、接着面積が
増大し結線の機械的強度が確保される。したがって、信
頼性に優れたロータリートランスが提供できる。

また、上記ワイヤボンディングによる結線は、オートボ
ンダ装置等を利用することにより、自動化が可能である
ので、生産性や量産性が向上し、製造コストの低減が図
れる。

次に、第８図に示すように、コイル導体（４）との結線
部、すなわち端部（４ａ）　、　（４ｂ）を巻回部（４
Ｃ）よりも大面積に形成すれば、上記ボンディングの位
置決めの精度が向上するので、このボンディング作業の
自動化を図る場合有利である。

続いて、第４図に示すように、Ｎ　１−Ｚｎフェライト
やＭｎ−Ｚｎフェライト等の磁性材料よりなる磁性コア
（１０）を用意し、第３図に示す基体く１）と接合一体
化する。この一体化した状態を第５図に示す。

上記磁性コア（１０）は所定厚みを有する円盤形状をな
しており、その−平面（１０ａ）側、すなわち基体（１
）との対向面側には上記コイル導体（４）　、　（５）
の巻回形状に対応した？ｉ　（１１）　、　（１２）が
形成され、さらに上記外部リード線（６ａ）　、　（６
ｂ）　、　（７ａ）　、　（７ｂ）が対向する部分には
リード線の挿過孔（ｌｌａ）　、　（ｌｌｂ）　。

（１２ａ）　、　（１２ｂ）が穿設さている。また、上
記溝（１１）。

（１２）内には、絶縁性接着剤（１４）が塗布されてい
る。したがって、上記基体（１）上のコイル導体（４）
　、　（５）は磁性コア（１０）に強固に固定される。

ここで、上記磁性コア（１０）において、各リード線の
挿通孔（ｌｌａ）　、　（ｌｌｂ）　、　（１２ａ）　
、　（１２ｂ）は、それぞれ独立して穿設されているの
で、外部リード線（６ａ）と（６ｂ）または外部リード
線（７ａ）と（７ｂ）とが短絡する心配はない。但し、
（ｄ性コア（１０）の材料として、低抵抗材料を使用し
た場合には、各リード線（６ａ）　、　（６ｂ）　、　
（７ａ）　、　（７ｂ）を１色キ（バイブ等てネ皮覆す
る等の手段を講し上記短絡を防止する必要がある。

さらに、第６図に示すように、Ａβ基体（１）を除去し
、ロータリートランスを構成するローター部（１６）　
（あるいはステータ部（１７））を得る。ここで、基体
（１）の除去方法としては、例えばＡβのみを選択的に
溶解除去できる溶液（ＮａＯＨｉＳ液等）にて該基体（
１）を溶解除去する方法が挙げられる。

最後に、上述の製法で作成されるロータ一部（１６）と
ステーク部（１７）を各コイル導体が対向するように微
小間隙をもって配直し、ロータリートランスを完成する
。

このように本実施例では、外部リード線とコイル導体と
をワイヤポンディグの手段にて結線しているので、従来
のハンダ付は法のような傾雑な工程が不要となり工程が
簡略化される。また、結線の機械的強度も向上するので
、信頼性の点でも有利である。さろに、ワイヤボンディ
ング技術を採用することにより、咳結線工程の自動化が
実現できる。特に、上記結線工程の自動化は、コイル導
体をフォトリソグラフィ技術にて高精度位置にパターニ
ングしていることと相俟って、信頼性、生産性、量産性
の向上に寄与し、さらに製造コストの低減も可能とする
。

なお、上述の実施例では基体（１）としてＡ１を使用し
たが、これに限定されず、ポリイミド系樹脂、環化ゴム
系レジスト、ネガ型レジスト、等の樹脂を使用しても良
い。

具体的には、上記ポリイミド系樹脂としては、日立化成
社製、商品名ＰＩＱ、東し社製、商品名セミコンファイ
ン等が挙げられ、この樹脂の除去には、例えばヒドラジ
ン系エツチング剤を用いたウェットエツチング法、又は
酸素プラズマによる分解アッシング法等が挙げられる。

上記環化ゴム系ホトレジストとしては、例えば東京応化
社製、商品名ＯＭＲ−８３が挙げられ、この除去方法と
しては、フェノール類のレジスト剥離剤、ハロゲン化炭
化水素を主成分とする剥離剤を使用したウェットエツチ
ング法、又は酸素プラズマによる分解除去法等が挙げら
れる。

上記ネガ型レジストとしては、環化ポリイソプレン系樹
脂（例えば日本合成ゴム社製、商品面ＪＳＲ）が挙げら
れ、この除去手段としては、例えばエツチング液（商品
名ＪＳＲストリッパ５３０１）を用いたウェットエツチ
ング法、又は酸素プラズマによる分解除去法等が挙げら
れる。

また、前述の実施例では、金属膜（２）をに対してエツ
チングを施しコイル導体（４）　、　（５）をパターニ
ングしたが、電着等によりコイルパターンを形成しても
良い１例えば、へ１基体の両面側にレジストを形成し、
一方の面のレジストに対してエツチングを施しマスクパ
ターンを形成した後、電気メッキによりＣｕ等の導電性
金属を直接被着し、その後レジストを剥離してコイル導
体を形成するようにしても良い。あるいは、導電性金属
の被着手段としては上記電気メツキ法の他、例えばスパ
ッタリング等の真空ａＷＡ形成技術を用いても良い。

以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は
この実施例に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範
囲内で種々の構造のロータリートランスの製造方法に通
用可能である。

例えば、本発明ではコイル導体を渦巻状の単層構造とし
たが、絶縁膜を介して積層構造としたロータリートラン
スにも本発明が適用されることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、本発明の製造方法で
は、コイル導体をフォトリソグラフィ技術で高精度に形
成すると同時に、該コイル導体と外部リード線との結線
をワイヤボンディングにて行っているので、この結線作
業が簡略化できる。

この結果、該結線作業の自動化が可能となり、生産性、
１産性の向上する。また、上記結線の機械的強度も確保
されるので、信頼性の点でも有利である。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は本発明のロータリートランスの製
造方法の一実施例をその工程順にしたがって示す要部断
面図であり、第１図はフォトレジストの形成工程を、第
２図はコイル導体の形成工程を、第３図は外部リード線
の結線工程を、第４図及び第５図は磁性コアとコイル導
体の接合工程を、第６図は基体の除去工程を、第７回は
ロータ一部とステータ部の一体化工程をそれぞれ示す。 第８図はコイル導体をパターニングした状態の一例を示
す要部平面図である。 第９図は従来のロータリートランスの製造方法を示す要
部断面図である。 １・・・・・・・・基体

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　基体上にコイル導体を形成し、該コイル導体の端部に
   ワイヤボンディングにより外部リード線を接続した後、 前記コイル導体に対応した溝部を有する磁性コアと一体
   化し、 次いで、上記基体を除去することを特徴とするロータリ
   ートランスの製造方法。