JPS6359595A - 携帯可能媒体における実装方法 - Google Patents
携帯可能媒体における実装方法Info
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- JPS6359595A JPS6359595A JP61202652A JP20265286A JPS6359595A JP S6359595 A JPS6359595 A JP S6359595A JP 61202652 A JP61202652 A JP 61202652A JP 20265286 A JP20265286 A JP 20265286A JP S6359595 A JPS6359595 A JP S6359595A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Credit Cards Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的1
(産業上の利用分野)
この発明は、T A B < T ape A ut
omatedBondino)法を用いた携帯可能媒体
における実装方法に関し、例えばICカードやカード電
卓等の製造に利用されるものである。
omatedBondino)法を用いた携帯可能媒体
における実装方法に関し、例えばICカードやカード電
卓等の製造に利用されるものである。
(従来の技術)
携帯可能媒体をICカードに例をとって説明すると、I
Cカードは、ポケットサイズのプラスチック製のカード
基材に、cPUおよびメモリを構成するICチップ(チ
ップ部品)が埋込まれ、カード基材の表面部にはり−ダ
・ライタ等の外部装置とのデータの送受信用および電源
入力用等の複数個の外部端子が設けられている。
Cカードは、ポケットサイズのプラスチック製のカード
基材に、cPUおよびメモリを構成するICチップ(チ
ップ部品)が埋込まれ、カード基材の表面部にはり−ダ
・ライタ等の外部装置とのデータの送受信用および電源
入力用等の複数個の外部端子が設けられている。
l5O([Xl際標準化機構)規格によると、カード基
材の厚さは、0.76mmに規定されている。
材の厚さは、0.76mmに規定されている。
ICカードは、このような薄いカードLl材中にICチ
ップを埋込む必要から、薄形実装が図られ、この実装法
として例えばフィルムキャリアを用いたTAB実装法が
ある。
ップを埋込む必要から、薄形実装が図られ、この実装法
として例えばフィルムキャリアを用いたTAB実装法が
ある。
第5図はおよび第6図は、このにうなフィルムキャリア
を用いた従来のTAB実装法を示すものである。
を用いた従来のTAB実装法を示すものである。
フィルムキャリア21は、ポリイミドフィルム上に銅箔
製の所要個数のフィンガリード22が所要形状にパター
ニングされ、ICチップ等のチップ部品23の取付部に
は、当該チップ部品23の寸法形状に対応した孔25が
穿設されている。
製の所要個数のフィンガリード22が所要形状にパター
ニングされ、ICチップ等のチップ部品23の取付部に
は、当該チップ部品23の寸法形状に対応した孔25が
穿設されている。
チップ部品23における1!極バツド24、またはフィ
ンガリード22の先端部には、フィンガリード22とチ
ップ部品23のエツジ部分との接触を避け、またボンデ
ィングの確実性を高めるために金等のバンブが形成され
る。
ンガリード22の先端部には、フィンガリード22とチ
ップ部品23のエツジ部分との接触を避け、またボンデ
ィングの確実性を高めるために金等のバンブが形成され
る。
またポリイミドフィルムの両側部には、写真フィルムと
同様の図示省略のパーフォレーション孔が穿設されてい
る。パーフォレーション孔は、フィルムキャリア21の
送り等に用いられる。
同様の図示省略のパーフォレーション孔が穿設されてい
る。パーフォレーション孔は、フィルムキャリア21の
送り等に用いられる。
そして、パーフォレーション孔に図示省略のスプロケッ
トギヤが噛合して、リールに巻かれた長尺のフィルムキ
ャリア21が引出され、フィンガリード22にチップ部
品23の電極パッド24が位置合わせされた後、その複
数の接続部が一度で同時にボンディングされる。
トギヤが噛合して、リールに巻かれた長尺のフィルムキ
ャリア21が引出され、フィンガリード22にチップ部
品23の電極パッド24が位置合わせされた後、その複
数の接続部が一度で同時にボンディングされる。
複数個のフィンガリード22および電極パッド24間の
位置合わせは、CCTVカメラ等を用いたパターン認識
または目視等により、電極パッド24またはICチップ
であればチップ上の適宜の回路パターンの一部を用いて
行なわれている。
位置合わせは、CCTVカメラ等を用いたパターン認識
または目視等により、電極パッド24またはICチップ
であればチップ上の適宜の回路パターンの一部を用いて
行なわれている。
このフィルムキャリア21へのチップ部品23のボンデ
ィング侵、検査等が行なわれてから、フィルムキャリア
21はプレス抜きによりボンディング部周囲の所定の打
抜き線の部分で打抜かれ、フィンガリード22の後端側
が他の基板の配線パターンに、導電性接着剤またはりフ
ローソルダリングにより一度に接合される。
ィング侵、検査等が行なわれてから、フィルムキャリア
21はプレス抜きによりボンディング部周囲の所定の打
抜き線の部分で打抜かれ、フィンガリード22の後端側
が他の基板の配線パターンに、導電性接着剤またはりフ
ローソルダリングにより一度に接合される。
このようにして複数個のチップ部品23が、フィルムキ
ャリア21を介して1個の基板上に実装されて所要の回
路が構成される。
ャリア21を介して1個の基板上に実装されて所要の回
路が構成される。
上記のフィルムキャリア21へのチップ部品23のボン
ディングはI LB (Inner Lead 3
onding) 、また、打抜ぎ後のチップ部品付フィ
ルムキャリアの伯の基板への接続は0l−3(QUte
rL 6ad 3 onding)と呼ばれる。
ディングはI LB (Inner Lead 3
onding) 、また、打抜ぎ後のチップ部品付フィ
ルムキャリアの伯の基板への接続は0l−3(QUte
rL 6ad 3 onding)と呼ばれる。
TAB実装法は、前記のように長尺のフィルムキャリア
21がリールから引出され、これにICチップ等のチッ
プ部品23が一度で同時にボンディングされるので、自
動化に適し、量産性に向いている。
21がリールから引出され、これにICチップ等のチッ
プ部品23が一度で同時にボンディングされるので、自
動化に適し、量産性に向いている。
ところで複数個のフィンガリード22および電極パッド
24間の一部ボンデイングの際に、その両者間の位置合
わせに用いられている電極パッド24またはICチップ
の場合のチップ内の回路パターン等は、An膜、シリコ
ン半導体表面またはPSG膜等でパターン化されており
、これらの材質は、全体的にコバルト系色で色調や明度
に大きな違いがない。またその表面は金属光沢を有して
いる。
24間の一部ボンデイングの際に、その両者間の位置合
わせに用いられている電極パッド24またはICチップ
の場合のチップ内の回路パターン等は、An膜、シリコ
ン半導体表面またはPSG膜等でパターン化されており
、これらの材質は、全体的にコバルト系色で色調や明度
に大きな違いがない。またその表面は金属光沢を有して
いる。
このため、CCTVカメラ等を用いたパターン認識また
は目視等の何れの場合であっても、照射円ライトの光量
の具合や角度によっては、電極パターンまたはチップ内
の回路パターン等を正確に確認することは非常に難しく
、認識エラーが発生し易い。
は目視等の何れの場合であっても、照射円ライトの光量
の具合や角度によっては、電極パターンまたはチップ内
の回路パターン等を正確に確認することは非常に難しく
、認識エラーが発生し易い。
(発明が解決しようとする問題点)
従来は、複数個のフィンガリード22および電極パッド
24間の位置合わせを、当該電極パッド自身またはチッ
プ内の適宜の回路パターン等を用いて行なっていたので
、照射用ライトの光量の具合や角度によっては、これら
を正確に確認することが非常に難しくなる。
24間の位置合わせを、当該電極パッド自身またはチッ
プ内の適宜の回路パターン等を用いて行なっていたので
、照射用ライトの光量の具合や角度によっては、これら
を正確に確認することが非常に難しくなる。
このため位置合わせをスムーズに行なうことが困難で、
TAB実装法の量産性が十分に生かされず、また位置合
わせエラーを生じて歩留り低下を招き易いという問題点
があった。
TAB実装法の量産性が十分に生かされず、また位置合
わせエラーを生じて歩留り低下を招き易いという問題点
があった。
この発明は上記事情に基づいてなされたもので、正確な
位置合わせをスムーズに行なうことができて、歩留りを
向上させることのできる携帯可能媒体における実装方法
を提供することを目的とする。
位置合わせをスムーズに行なうことができて、歩留りを
向上させることのできる携帯可能媒体における実装方法
を提供することを目的とする。
[発明の構成]
(rEI題点を解決するための手段〉
この発明は上記問題点を解決するために、電極パッドを
漏えたチップ部品を、前記電極パッドにボンディングさ
れるフィンガリードを億えたフィルムキャリアを用いて
実装する携帯可能媒体における実装方法において、チッ
プ部品における電極パッドを含むパターンとは形状およ
び色調の異なる第1の位置合わせマークを、前記パター
ンの形成段階で当該チップ部品に形成し、フィルムキャ
リアには前記第1の位置合わせマークに対応した第2の
位置合わせマークを形成したことを要旨とする。
漏えたチップ部品を、前記電極パッドにボンディングさ
れるフィンガリードを億えたフィルムキャリアを用いて
実装する携帯可能媒体における実装方法において、チッ
プ部品における電極パッドを含むパターンとは形状およ
び色調の異なる第1の位置合わせマークを、前記パター
ンの形成段階で当該チップ部品に形成し、フィルムキャ
リアには前記第1の位置合わせマークに対応した第2の
位置合わせマークを形成したことを要旨とする。
(作用)
チップ部品には、その電極パッドを含むパターンとは形
状および色調の異なる第1の位置合わせマークが、当該
電極パッドを含むパターンの形成段階で形成される。
状および色調の異なる第1の位置合わせマークが、当該
電極パッドを含むパターンの形成段階で形成される。
したがってチップ部品には、電極パッドとの位置関係が
正確で且つ認識性の良好な第1の位置合わせマークが形
成される。
正確で且つ認識性の良好な第1の位置合わせマークが形
成される。
一方、フィルムキャリアには、第1の位置合わせマーク
に対応した第2の位置合わせマークが形成される。
に対応した第2の位置合わせマークが形成される。
而してフィンガリードおよび電極パッド間の正確な位置
合わせがスムーズに行なわれる。
合わせがスムーズに行なわれる。
(実施例)
以下、この発明の実施例を第1図および第2図に基づい
て説明する。
て説明する。
第1図はこの実施例に適用されるフィルムキャリアの一
例を示す平面図、第2図はこの実施例に適用されるチッ
プ部品の一例を示す平面図である。
例を示す平面図、第2図はこの実施例に適用されるチッ
プ部品の一例を示す平面図である。
この実施例におけるチップ部品には、ICチップが適用
されている。
されている。
まず、この実施例に適用される各部材から説明する。
第1図中、1はフィルムキャリアで、フィルムキャリア
1の所定位置には、第2図に示すICチップ5を取りつ
けるためのチップ取付孔2が穿設されている。
1の所定位置には、第2図に示すICチップ5を取りつ
けるためのチップ取付孔2が穿設されている。
そして、このチップ取付孔2に臨むように、複数個のフ
ィンガリード3が、銅箔のパターニングにより形成され
ている。4はパーフォレーション孔である。
ィンガリード3が、銅箔のパターニングにより形成され
ている。4はパーフォレーション孔である。
ICチップ5の表面には複数個の電極パッド6が形成さ
れており、この電極パッド6または、フィルムキャリア
1側のフィンガリード3の先端部には、金等のバンプが
形成されている。
れており、この電極パッド6または、フィルムキャリア
1側のフィンガリード3の先端部には、金等のバンプが
形成されている。
上記のICチップ5およびフィルムキャリア1には、複
数個のフィンガリード3および′ir1極バッド6間を
一部ボンディングする際に、当該両者間の位置合わせに
用いるための第1の位置合わせマーク7および第2の位
置合わせマーク8がそれぞれ形成されている。
数個のフィンガリード3および′ir1極バッド6間を
一部ボンディングする際に、当該両者間の位置合わせに
用いるための第1の位置合わせマーク7および第2の位
置合わせマーク8がそれぞれ形成されている。
ICチップ5側の第1の位置合わせマーク7は、図の例
では三角形状で、当該ICチップ5に設けられている電
極パッド6および回路パターンとは、形状、色調および
大きさ等が異なっており、認識性が良好で且つ電極パッ
ド6との位置関係が正確にとられている。
では三角形状で、当該ICチップ5に設けられている電
極パッド6および回路パターンとは、形状、色調および
大きさ等が異なっており、認識性が良好で且つ電極パッ
ド6との位置関係が正確にとられている。
このため第1の位置合わせマーク7の材質は、銅または
金等の非コバルト色系の金属膜が用いられている。
金等の非コバルト色系の金属膜が用いられている。
また電極パッド6との位置関係を正確にとるため、上記
の銅、金等の金属膜は、ICのウェーハ処理の段階で堆
積され、第1の位置合わせマーク7は電極パッド6また
は回路パターンのマスク合わせ処理の工程段階で同時に
パターン化されている。
の銅、金等の金属膜は、ICのウェーハ処理の段階で堆
積され、第1の位置合わせマーク7は電極パッド6また
は回路パターンのマスク合わせ処理の工程段階で同時に
パターン化されている。
一方、フィルムキャリア1側の第2の位置合わせマーク
8は、第1の位置合わせマーク7に対応した位置に、当
該用1の位置合わせマーク7とほぼ同形状の三角形に形
成されている。第2の位置合わせマーク8は、フィンガ
リード3形成用の銅箔を用いて、当該フィンガリード3
のエツチングによる形成時に同時にパターン化されてい
る。
8は、第1の位置合わせマーク7に対応した位置に、当
該用1の位置合わせマーク7とほぼ同形状の三角形に形
成されている。第2の位置合わせマーク8は、フィンガ
リード3形成用の銅箔を用いて、当該フィンガリード3
のエツチングによる形成時に同時にパターン化されてい
る。
而して、フィルムキャリア1側においても第2の位置合
わせマーク8は、フィンガリード3との位置関係が正確
にとられている。
わせマーク8は、フィンガリード3との位置関係が正確
にとられている。
次にICチップ5の実装方法および作用を説明する。
図示省略のリールに巻かれた長尺のフィルムキャリア1
が、そのパーフォレーション孔4に噛合するスプロケッ
トギヤ等により駆動されて引出される。
が、そのパーフォレーション孔4に噛合するスプロケッ
トギヤ等により駆動されて引出される。
引出されたフィルムキャリア1のフィンガリード3に、
ICチップ5の電極パッド6が、CCTVカメラ等を用
いたパターン認識手段等により、第1、第2の位置合わ
せマーク7.8を用いて行なわれる。
ICチップ5の電極パッド6が、CCTVカメラ等を用
いたパターン認識手段等により、第1、第2の位置合わ
せマーク7.8を用いて行なわれる。
このとき、第1、第2の位置合わせマーク7.8は認識
性が良好で、且つ電極バッド6およびフィンガリード3
に対する位置関係が正確にとられているので、複数個の
フィンガリード3および電極パッド6間の位置合わせは
、正確、且つスムーズに行なわれる。
性が良好で、且つ電極バッド6およびフィンガリード3
に対する位置関係が正確にとられているので、複数個の
フィンガリード3および電極パッド6間の位置合わせは
、正確、且つスムーズに行なわれる。
位置合わせ後、これら複数のボンディング部が一度で同
時にボンディングされる。位置合わせが、正確に行なわ
れているので、ボンディングは、正確且つ確実に行なわ
れる。
時にボンディングされる。位置合わせが、正確に行なわ
れているので、ボンディングは、正確且つ確実に行なわ
れる。
上記のようなILB工程後、所要の検査等が行なわれて
から、フィルムキャリア1は、プレス抜きによりボンデ
ィング部周囲の所要の打抜き線の部分で打扱かれ、OL
B工程としてフィンガリード3の後端側が他の基板の配
線パターンに、導電性接着剤またはりフローソルダリン
グにより一度に接合される。
から、フィルムキャリア1は、プレス抜きによりボンデ
ィング部周囲の所要の打抜き線の部分で打扱かれ、OL
B工程としてフィンガリード3の後端側が他の基板の配
線パターンに、導電性接着剤またはりフローソルダリン
グにより一度に接合される。
このようにして複数個のICチップ5が、フィルムキャ
リア1を介して1個の基板上に実装されて所要の回路が
構成される。
リア1を介して1個の基板上に実装されて所要の回路が
構成される。
次に第3図には、フィルムキャリア1側に形成された第
2の位置合わせマークの他の例を示す。
2の位置合わせマークの他の例を示す。
この第2の位置合わせマーク9は、第1の位置合わせマ
ークに対応した特定のフィンガリード3の部分に、所要
形状のエツチングパターンを彫り込んで、これにより形
成したものである。
ークに対応した特定のフィンガリード3の部分に、所要
形状のエツチングパターンを彫り込んで、これにより形
成したものである。
また、第2の位置合わせマーク11としては、特定のフ
ィンガリード自体の先端部形状を細くするなど、他のフ
ィンガリード3と異なった特定形状としてもよい。
ィンガリード自体の先端部形状を細くするなど、他のフ
ィンガリード3と異なった特定形状としてもよい。
次いで第4図には、チップ部品5側に形成された第1の
位置合わせマークの他の例を示づ“。
位置合わせマークの他の例を示づ“。
この第1の位置合わせマーク12は、その形状をトンボ
形として、電極バッド6および回路パターン等と異なっ
た形状としたものである。
形として、電極バッド6および回路パターン等と異なっ
た形状としたものである。
上記の第1の位置合わせマーク12および第2の位置合
わせマーク9.11によっても前記と同様に、正確且つ
スムーズな位置合わせを行なうことができる。
わせマーク9.11によっても前記と同様に、正確且つ
スムーズな位置合わせを行なうことができる。
[発明の効果コ
以上説明したように、この発明の構成によれば、チップ
部品には、電極バッドとの位置関係が正確で且つHrJ
性の良好な第1の位置合わせマークが形成され、一方、
フィルムキャリアには、第1の位置合わせマークに対応
した第2の位置合わせマークが形成されているので、複
数個のフィンガリードおよび電極パッド間の正確な位置
合わせがスムーズに行なわれ、両者間の一部ボンディン
グが正確且つ確実に行なわれて量産性の一周の向上とと
もに歩留りが向上するという利点がある。
部品には、電極バッドとの位置関係が正確で且つHrJ
性の良好な第1の位置合わせマークが形成され、一方、
フィルムキャリアには、第1の位置合わせマークに対応
した第2の位置合わせマークが形成されているので、複
数個のフィンガリードおよび電極パッド間の正確な位置
合わせがスムーズに行なわれ、両者間の一部ボンディン
グが正確且つ確実に行なわれて量産性の一周の向上とと
もに歩留りが向上するという利点がある。
第1図〜第4図はこの発明に係る携帯可能媒体における
実装方法の実施例に適用される各部材を示すもので、第
1図はフィルムキャリアの一例を示す平面図、第2図は
チップ部品の一例を示ず平面図、第3図はフィルムキャ
リアの他の例を示す平面図、第4図はチップ部品の他の
例を承り平面図、第5図は従来のフィルムキャリアを用
いて実装されたチップ部品を示す斜視図、第6図は同上
従来例の一部断面側面図である。 1:フィルムキャリア、 3:フィンガリード、 5:ICチップ(チップ部品)、 6:電極バッド、 7.12:第1の位置合わせマーク、 8.9.11:第2の位置合わせマーク。
実装方法の実施例に適用される各部材を示すもので、第
1図はフィルムキャリアの一例を示す平面図、第2図は
チップ部品の一例を示ず平面図、第3図はフィルムキャ
リアの他の例を示す平面図、第4図はチップ部品の他の
例を承り平面図、第5図は従来のフィルムキャリアを用
いて実装されたチップ部品を示す斜視図、第6図は同上
従来例の一部断面側面図である。 1:フィルムキャリア、 3:フィンガリード、 5:ICチップ(チップ部品)、 6:電極バッド、 7.12:第1の位置合わせマーク、 8.9.11:第2の位置合わせマーク。
Claims (3)
- (1)電極パッドを備えたチップ部品を、前記電極パッ
ドにボンディングされるフィンガリードを備えたフィル
ムキャリアを用いて実装する携帯可能媒体における実装
方法において、 チップ部品における電極パッドを含むパターンとは形状
および色調の異なる第1の位置合わせマークを、前記パ
ターンの形成段階で当該チップ部品に形成し、 フィルムキャリアには前記第1の位置合わせマークに対
応した第2の位置合わせマークを形成したことを特徴と
する携帯可能媒体における実装方法。 - (2)前記第2の位置合わせマークは、フィンガリード
の形成時に当該フィンガリード形成用の銅箔を所要形状
にパターニングして形成したものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の携帯可能媒体における実
装方法。 - (3)前記第2の位置合わせマークは、フィンガリード
部分に所要形状に彫り込まれたエッチングパターンまた
はフィンガリード自体の形状を特定形状としたものの何
れかであることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の携帯可能媒体における実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61202652A JPS6359595A (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 携帯可能媒体における実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61202652A JPS6359595A (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 携帯可能媒体における実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6359595A true JPS6359595A (ja) | 1988-03-15 |
Family
ID=16460892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61202652A Pending JPS6359595A (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 | 携帯可能媒体における実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6359595A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5159211A (en) * | 1989-12-01 | 1992-10-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Extreme level circuit |
JPH0520327U (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-12 | 安藤電気株式会社 | Tabテープと電極の位置合わせ機構 |
WO2001085469A1 (fr) * | 2000-05-12 | 2001-11-15 | Dai Nippon Priting Co., Ltd. | Support de donnees sans contact |
WO2020084691A1 (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置、電力変換装置、及び移動体 |
-
1986
- 1986-08-30 JP JP61202652A patent/JPS6359595A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5159211A (en) * | 1989-12-01 | 1992-10-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Extreme level circuit |
JPH0520327U (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-12 | 安藤電気株式会社 | Tabテープと電極の位置合わせ機構 |
WO2001085469A1 (fr) * | 2000-05-12 | 2001-11-15 | Dai Nippon Priting Co., Ltd. | Support de donnees sans contact |
US6600219B2 (en) | 2000-05-12 | 2003-07-29 | Dainippon Printing Co., Ltd | Non-contact data carrier |
JP4688396B2 (ja) * | 2000-05-12 | 2011-05-25 | 大日本印刷株式会社 | 非接触式データキャリア装置 |
WO2020084691A1 (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置、電力変換装置、及び移動体 |
JPWO2020084691A1 (ja) * | 2018-10-23 | 2021-09-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置、電力変換装置、及び移動体 |
US11996299B2 (en) | 2018-10-23 | 2024-05-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Methods for manufacturing a semiconductor device |
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