JPS6359388A - 純水の製造方法 - Google Patents
純水の製造方法Info
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Landscapes
- Physical Water Treatments (AREA)
- Purification Treatments By Anaerobic Or Anaerobic And Aerobic Bacteria Or Animals (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Treatment Of Biological Wastes In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は比抵抗1MΩ・c +n ntJ後の1次純水
を、さらに逆浸透膜処理およびイオン交換処理すること
により純水を製造する方法であって、待に1次純水中の
コロイド状物質を除去した純水の製造方法に関するもの
である。
を、さらに逆浸透膜処理およびイオン交換処理すること
により純水を製造する方法であって、待に1次純水中の
コロイド状物質を除去した純水の製造方法に関するもの
である。
[従来の技術]
原水の中には金属イオン、有機物、泥、コロイド状シリ
カまたはコロイド状金属(Fe 、 P、 S等)等の
コロイド状物質、酸素および空気等の溶σガスおよびバ
クテリア等が含まれている。
カまたはコロイド状金属(Fe 、 P、 S等)等の
コロイド状物質、酸素および空気等の溶σガスおよびバ
クテリア等が含まれている。
半導体工業、光ディスクおよび陽気ディスク工業、電子
デバイス工業、原子カニ業、医薬および食品工業等の分
野では、これらの不純物を除去した比抵抗15M0・c
lI111′I侵の純水が要求されている。特に、その
中でb電子デバイス工業、半導体工業、原子カニ業にお
いては、コロイド状シリカおよびコロイド状金属等のコ
ロイド状物質が完全に除去された純水が要求されている
。
デバイス工業、原子カニ業、医薬および食品工業等の分
野では、これらの不純物を除去した比抵抗15M0・c
lI111′I侵の純水が要求されている。特に、その
中でb電子デバイス工業、半導体工業、原子カニ業にお
いては、コロイド状シリカおよびコロイド状金属等のコ
ロイド状物質が完全に除去された純水が要求されている
。
第2図は従来の純水製造工程のフロー図である。
その概要を説明する。原水を凝集沈澱濾過し、粗大ごみ
等を除去する。この凝集沈澱濾過2の段階で、殺菌剤で
ある次亜塩素酸が加えられる。次いで、カチオン交換樹
脂塔5でナトリウムイオン、カルシウムイオン等のカチ
オンを捉える。次いで脱炭酸ガス塔6で溶存炭酸ガスを
除去し、アニオン交yA樹脂塔7で塩素イオン等のアニ
オンを捉える。ここに、比抵抗1MΩ・Cl11前後の
1次純水が得られる。
等を除去する。この凝集沈澱濾過2の段階で、殺菌剤で
ある次亜塩素酸が加えられる。次いで、カチオン交換樹
脂塔5でナトリウムイオン、カルシウムイオン等のカチ
オンを捉える。次いで脱炭酸ガス塔6で溶存炭酸ガスを
除去し、アニオン交yA樹脂塔7で塩素イオン等のアニ
オンを捉える。ここに、比抵抗1MΩ・Cl11前後の
1次純水が得られる。
さらにこの1次純水をプレフィルタ−10で濾過し逆浸
透膜(複数個)11で処理する。この逆浸透膜でイオン
の90%、コロイド物質の90%、バクテリアの死骸等
の有機物90%が除去される。
透膜(複数個)11で処理する。この逆浸透膜でイオン
の90%、コロイド物質の90%、バクテリアの死骸等
の有機物90%が除去される。
この逆浸透膜11の工程で、逆浸透膜自身の加水分解を
防ぐためにpHI整薬として、殺菌をも兼ねる次亜塩素
酸を加える。逆浸透膜処理水槽13を経由してぎた純水
はアニオン・カチオン混床塔14でさらに脱イオンされ
、次いでフィルター15で濾過される。そして比抵抗1
5MΩ・Cl11前後後の純水を得ている。
防ぐためにpHI整薬として、殺菌をも兼ねる次亜塩素
酸を加える。逆浸透膜処理水槽13を経由してぎた純水
はアニオン・カチオン混床塔14でさらに脱イオンされ
、次いでフィルター15で濾過される。そして比抵抗1
5MΩ・Cl11前後後の純水を得ている。
このように従来の純水製造工程のフローの特徴は、純水
中のバクテリアを′vli底的に殺菌していることであ
る。すなわち凝集沈澱濾過2工程で、あるいは逆浸透1
111の工程で、殺菌剤である次亜塩素酸を投入してい
る。また、逆浸透l1l111が1)H7の純水系で用
いられる種類のものである場合は、殺菌処理には次亜塩
素酸を用いず、その代わりに熱交換機9とプレフィルタ
−10との間で紫外線を用いてバクテリアを殺菌する。
中のバクテリアを′vli底的に殺菌していることであ
る。すなわち凝集沈澱濾過2工程で、あるいは逆浸透1
111の工程で、殺菌剤である次亜塩素酸を投入してい
る。また、逆浸透l1l111が1)H7の純水系で用
いられる種類のものである場合は、殺菌処理には次亜塩
素酸を用いず、その代わりに熱交換機9とプレフィルタ
−10との間で紫外線を用いてバクテリアを殺菌する。
このようにバクテリアの殺菌に注力する理由は、バクテ
リアが繁畑するとフィルター15の目詰まりを起こし、
重大な事態となるからである。
リアが繁畑するとフィルター15の目詰まりを起こし、
重大な事態となるからである。
[発明が解決しようとする問題点1
以上のように従来の純水製造工程では、バクテリアによ
るフィルター目詰まりを防ぐために、バクテリアの繁殖
防止に重点が置かれていた。したがって、純水中の微細
なコロイド状シリカやコロイド状金属(Fe、P、S等
)等のコロイド状物質の除去にはあまり注意が払われて
いなかった。
るフィルター目詰まりを防ぐために、バクテリアの繁殖
防止に重点が置かれていた。したがって、純水中の微細
なコロイド状シリカやコロイド状金属(Fe、P、S等
)等のコロイド状物質の除去にはあまり注意が払われて
いなかった。
その結果、純水中の大きなコロイド物質は逆浸透膜、フ
ィルタ等で約90%まで除去されていたが、残りの直径
0.01μm以下の小さなコロイド物質はこれらによっ
ては捉えられず、部分的にユースポイント16まで通り
扱けてくるという問題があった。
ィルタ等で約90%まで除去されていたが、残りの直径
0.01μm以下の小さなコロイド物質はこれらによっ
ては捉えられず、部分的にユースポイント16まで通り
扱けてくるという問題があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、1次純水中の直径0.01μm以下のコロ
イド物質をも除去できる純水の製造方法を提供すること
を目的とする。
れたもので、1次純水中の直径0.01μm以下のコロ
イド物質をも除去できる純水の製造方法を提供すること
を目的とする。
[問題点を解決するための手段]
この発明にかかるコロイド状物質を含まない純水の製造
方法は、原水を凝集沈澱濾過し、カチオン交換し、脱二
酸化炭素化し、アニオン交換して得た1次純水を、さら
に逆浸透膜処理し、次いでカチオン・アニオン交換する
ことによって純水を製造する方法である。そしてその逆
浸透膜処理に先立ち、従来法の考えとは逆に1次純水中
のバクテリアをむしろ強制的に繁殖させ、次いで殺菌す
る工程を含むことを特徴とする。
方法は、原水を凝集沈澱濾過し、カチオン交換し、脱二
酸化炭素化し、アニオン交換して得た1次純水を、さら
に逆浸透膜処理し、次いでカチオン・アニオン交換する
ことによって純水を製造する方法である。そしてその逆
浸透膜処理に先立ち、従来法の考えとは逆に1次純水中
のバクテリアをむしろ強制的に繁殖させ、次いで殺菌す
る工程を含むことを特徴とする。
[作用]
この発明においては、バクテリアがそのエネルギー源と
してコロイド状物質を餌にすることを利用している。す
なわち、バクテリアを繁殖させ、コロイド状物質をその
バクテリアに良べさせ、バクテリアを大きく成長させる
。そしてこれを殺菌することにより、バクテリアの死骸
である大きな固型微粒子とする。この大ぎな固型微粒子
は逆浸透膜を通過できなくなる。
してコロイド状物質を餌にすることを利用している。す
なわち、バクテリアを繁殖させ、コロイド状物質をその
バクテリアに良べさせ、バクテリアを大きく成長させる
。そしてこれを殺菌することにより、バクテリアの死骸
である大きな固型微粒子とする。この大ぎな固型微粒子
は逆浸透膜を通過できなくなる。
[実施例]
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図はこの発明の一実施例のバクテリアを繁殖させ、
次いでこれを殺菌する工程を取入れた純水製造工程であ
る。
次いでこれを殺菌する工程を取入れた純水製造工程であ
る。
従来法に加えて、アニオン交換樹脂塔7と逆浸透膜11
の間にバクテリア繁殖+ff18と紫外線酸化槽20と
過酸化水素分解塔22と紫外線殺菌灯23の工程が加わ
っている。さらに、逆漫透膜処理水槽13と7ニオン・
カチオン混床塔14の間に真空脱気塔24が加わってい
る。
の間にバクテリア繁殖+ff18と紫外線酸化槽20と
過酸化水素分解塔22と紫外線殺菌灯23の工程が加わ
っている。さらに、逆漫透膜処理水槽13と7ニオン・
カチオン混床塔14の間に真空脱気塔24が加わってい
る。
以下、これらの動作について説明する。
バクテリア繁殖槽18に、凝集沈澱濾過され、カチオン
交換され、脱炭酸ガス化処理され、アニオン交換された
純水を入れて、加熱ヒータ19にて水温を30℃ないし
60”Cに温める。このバクテリア繁殖槽18に、純水
を1ないし4時間以上、可能な限り十分に滞留させる。
交換され、脱炭酸ガス化処理され、アニオン交換された
純水を入れて、加熱ヒータ19にて水温を30℃ないし
60”Cに温める。このバクテリア繁殖槽18に、純水
を1ないし4時間以上、可能な限り十分に滞留させる。
このバクテリア繁殖槽18内で、バクテリアは純水中の
直径0.01μI以下の微細なコロイド状物質を食べて
、直径0.2μ讃以上の大きさになる。
直径0.01μI以下の微細なコロイド状物質を食べて
、直径0.2μ讃以上の大きさになる。
その後、紫外1酸化槽20へこの純水を移す。
この紫外線酸化槽20内に、過酸化水素を添加し、低圧
水銀ランプを用いて低圧紫外線を照射し、バクテリアを
殺菌する。これにJ:り直径0.2μ慣以上の大きさの
固型微粉子(バクテリアの死骸)になる。過酸化水素を
加えたのはバクテリアの殺菌を完全にするためである。
水銀ランプを用いて低圧紫外線を照射し、バクテリアを
殺菌する。これにJ:り直径0.2μ慣以上の大きさの
固型微粉子(バクテリアの死骸)になる。過酸化水素を
加えたのはバクテリアの殺菌を完全にするためである。
次いで純水を過酸化水素分解塔22に移し、活性炭を用
いて、純水中の過酸化水素を分解させる。次いで純水を
1次純水槽8へ移す。ここで02ガスが純水中にバブリ
ングされ、残留コロイド状物質を酸化し、固型状微粒子
にする。
いて、純水中の過酸化水素を分解させる。次いで純水を
1次純水槽8へ移す。ここで02ガスが純水中にバブリ
ングされ、残留コロイド状物質を酸化し、固型状微粒子
にする。
次いで純水は熱交換器9を通過し、紫外穆殺菌灯23で
処理される。この紫外a殺菌処理は1次純水槽8および
熱交換器9で繁殖したバクテリアを殺菌するために行な
われる。
処理される。この紫外a殺菌処理は1次純水槽8および
熱交換器9で繁殖したバクテリアを殺菌するために行な
われる。
次いで、純水は逆浸透II(複数個)′11の濃縮水側
へ入れられる。そして、逆浸透膜(複数個)の最初の膜
での純水の回収率を30ないし50%に下げ、バクテリ
アの死骸である固型微粒子および残留コロイド状物質の
酸化物である固型微粒子を含む残渣の純水を濃縮水側に
残す。この′a縮氷水12工業用水として再利用される
。純水の回収率を30ないし50%に下げたのは、これ
ら固型微粉子の混入をできるだけ防ぐI;めである。
へ入れられる。そして、逆浸透膜(複数個)の最初の膜
での純水の回収率を30ないし50%に下げ、バクテリ
アの死骸である固型微粒子および残留コロイド状物質の
酸化物である固型微粒子を含む残渣の純水を濃縮水側に
残す。この′a縮氷水12工業用水として再利用される
。純水の回収率を30ないし50%に下げたのは、これ
ら固型微粉子の混入をできるだけ防ぐI;めである。
逆浸透膜11を通過してきた純水は逆浸透FA5a理水
槽13に移されて、新たな空気中のバクテリア、ごみ等
が混入しないように、N2ガスシール25される。
槽13に移されて、新たな空気中のバクテリア、ごみ等
が混入しないように、N2ガスシール25される。
次いで、この純水は真空脱気塔24に移されて、真空脱
気される。真空脱気させる理由は、本発明に従って処理
された純水には、たとえば、バクテリアの死骸物の分解
から由来する炭酸ガス等のガスが含まれているから、そ
れを除去するためである。これを除去しないとユースポ
イント16で小さな気泡が発生する。
気される。真空脱気させる理由は、本発明に従って処理
された純水には、たとえば、バクテリアの死骸物の分解
から由来する炭酸ガス等のガスが含まれているから、そ
れを除去するためである。これを除去しないとユースポ
イント16で小さな気泡が発生する。
次いで、純水はアニオン・カチオン混床塔14でざらに
脱イオンされ、ここにコロイド状物質が完全に除去され
た純水がユースポイント16に提供される。
脱イオンされ、ここにコロイド状物質が完全に除去され
た純水がユースポイント16に提供される。
なお、本実施例においては、バクテリアを繁煽させるの
に、加熱ヒータ19で水温を加熱する方法を示したが、
この発明はこれに限定されない。
に、加熱ヒータ19で水温を加熱する方法を示したが、
この発明はこれに限定されない。
たとえばバイオ用の純水を得る場合のように、特定のウ
ィルスやバクテリアを嫌うとぎは、それに応じ1;他の
特定の培養法を用い得る。
ィルスやバクテリアを嫌うとぎは、それに応じ1;他の
特定の培養法を用い得る。
[発明の効果〕
この発明では、以上説明したとおり、逆浸透膜処理に先
立ち1次純水中のバクテリアを強制的に繁殖させそして
これを殺菌することとしている。
立ち1次純水中のバクテリアを強制的に繁殖させそして
これを殺菌することとしている。
その結果、コロイド状物質はバクテリアを介して大きな
固型微粒子に変えられ、逆浸透膜を通過できなくなるの
で、コロイド物質が完全に除去された純水が得られる。
固型微粒子に変えられ、逆浸透膜を通過できなくなるの
で、コロイド物質が完全に除去された純水が得られる。
第1図はこの発明の一実施例の純水製造工程であり、第
2図は従来の純水製造工程である。 代理人 大 岩 増 雄 第1図 第2図 層7に 手続補正書く自発) 2、発明の名称 純水の製造方法 3、補正をする者 代表者志岐守哉 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 (1) 明細間第5頁第4行のro、01μmJを「0
.1μm」に訂正する。 (2) 明wI@第5頁第9行ないし第10行のro、
01μmJをro、1μmlに訂正する。 (3) 明m書第7頁第10行ないし第11行のro、
01μmJを「0.1umJに訂正する。 以上
2図は従来の純水製造工程である。 代理人 大 岩 増 雄 第1図 第2図 層7に 手続補正書く自発) 2、発明の名称 純水の製造方法 3、補正をする者 代表者志岐守哉 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 (1) 明細間第5頁第4行のro、01μmJを「0
.1μm」に訂正する。 (2) 明wI@第5頁第9行ないし第10行のro、
01μmJをro、1μmlに訂正する。 (3) 明m書第7頁第10行ないし第11行のro、
01μmJを「0.1umJに訂正する。 以上
Claims (4)
- (1)原水を凝集沈澱濾過し、カチオン交換し、脱二酸
化炭素化し、アニオン交換して得た1次純水を、さらに
逆浸透膜処理し、カチオン・アニオン交換することによ
つて純水を製造する方法において、 前記逆浸透膜処理に先立ち、前記1次純水中のバクテリ
アを強制的に繁殖させ、次いで殺菌することを特徴とす
る純水の製造方法。 - (2)バクテリアを強制繁殖させるために加熱ヒータを
用いて1次純水を温めることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の純水の製造方法。 - (3)バクテリアの殺菌のために紫外線を用いることを
特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記載の純
水の製造方法。 - (4)バクテリアの殺菌のために過酸化水素を用いるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第3項のい
ずれかに記載の純水の製造方法。
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JP61204496A Expired - Fee Related JPH0638954B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 純水の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2002179207A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Nix Inc | 収納幅可変式板材収納枠 |
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