JPS6358177A - 半導体装置の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、半導体装置の電気的特性を測定するための半
導体装置の測定装置に関し、特に、その搬送機構を改善
し迅速な測定等を行う半導体装置の測定装置に関する。

Ｂ１発明の概要 本発明は、搬入手段、測定手段、搬出手段を具備して半
導体装置の電気的特性を測定する半導体装置の測定装置
において、これら各手段の間の搬送を回転軸上に複数配
設された半導体装置保持手段によって保持しながら該回
転軸の回転動作によって行うことにより、その搬送時間
の短縮等を実現するものである。

Ｃ１従来の技術 半導体装置を製品として出荷する以前に、その製品の良
・不良を電気的にチェックする必要があり、量産される
半導体装置を順次測定するため、所謂ハンドラーを用い
て、測定用のユニットに一定の押圧で測定にかかる半導
体装置を係合させて検査を行っている。

第４図は、従来の製品検査に用いられてなる半導体装置
の測定装置の一例を示すものであり、その動作について
概略説明すると、ＩＣ投入ユニット１０１によって移送
されてきた半導体装置１００は、その連絡位置１０２で
移送アーム１０３に保持され、持ち上げられて平行移動
させられ測定ユニット１０４の測定部１０５にセットさ
れる。

このとき同時に上記測定部１０５にある測定後の半導体
装置１００が移送アーム１０３によって持ち上げられて
平行移動さ一已られ、連絡位置１０６でＩＣ取り出しユ
ニット１０７に送られる。上記／１１．！Ｉ定郡部１０
５持ち込まれた半導体装置１００は、通電や特性等の測
定が行われるが、測定部１０５における端子との電気的
接続を確保するために、回動及び上下動自在なりランプ
レバー１０８によって下方向に押圧操作され、測定が行
われる。測定後は、上記新たな半導体装置１００のセッ
ト動作に伴って、測定された半導体装置１００は上記移
送アーム１０３によって搬出される。

そして、この測定装置における半導体装置１００の１Ｍ
、人から）絞出までのサイクルタイムから測定時間を除
いた１般送時間は、およそ３．６秒程必要となる。

Ｄ１発明が解決しようとする問題点 このような製品検査のための測定は、その時間が短縮さ
れる程、経済的なメリットがある。

しかしながら、搬入から１般出までのサイクルタイムの
うち電気的な測定を行う測定時間を短縮したときは、十
分な検査ができなくなるおそれがあり、従って、測定装
置にあっては、半導体装置を移送する時間である搬送時
間自体を短縮する必要が生ずる。

そこで、本発明は上述の問題点に鑑の、ＩＭ送待時間短
縮し、作業効率の良い半導体装置の測定装置の提供を目
的とする。

Ｅ１問題点を解決するだめの手段 本発明は、回転軸を中心として配設された複数の半導体
装置保持手段を有し、半導体装置搬入手段、半導体装置
測定手段及び半導体装置搬出手段が上記回転軸の周囲の
上記保持手段の延長上にそれぞれ配され、上記回転軸の
回転によって上記半導体装置保持手段を回転させること
により、上記半導体装置搬入手段より半導体装置を受Ｕ
取り、該半導体装置を順次、上記半導体装置測定手段、
上記半導体装置搬出手段へと搬送することを特徴とする
半導体装置の測定装置により上述の技術的な課題を解決
する。

Ｆ０作用 本発明の半導体装置の測定装置は、回転する回転軸を中
心に複数配設された半導体装置保持手段によって、測定
にかかる半導体装置を保持することができ、半導体装置
搬入手段、半導体装置測定手段及び半導体装置搬出手段
がその周囲に配設されるため、上記回転軸の回転動作に
よって各半導体装置保持手段を、上記半導体装置搬入手
段、半導体装置測定手段及び半導体装置搬出手段のそれ
ぞれに次々と対向させることができる。

ここで、従来の半導体装置の測定装置と比較をしてみる
と、第４図に示す装置では、直線的な平行移動操作が行
われるため、少な（とも１サイクルの中、移送アーム１
０３が往復動作する必要があり更にクランプのためのア
ームも必要となるが、本発明の半導体装置の測定装置で
は、特に一方向に単一の回転軸が回転することで円滑な
搬送が実現される。このため、位置決めや＋ｌｌ送速度
の点で有利となり、その搬送時間は大幅に短縮されたも
のとなる。

Ｇ、実施例 本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の実施例の半導体装置の測定装置１の概
略を説明するための斜視図であり、回転軸２を中心とし
て半導体装置保持手段である保持ユニット３が放射状に
周囲に四箇所に取りイ」けられており、この回転軸２の
周囲には、」二記保持ユ二ソト３とそれぞれ対向し得る
位置で半導体装置搬入手段である投入ユニット４．半導
体装置測定手段である測定ユニット５．半導体装置搬出
手段である取り出し７ユニソト６がそれぞれ配設されて
いる。

上記回転軸２は、当該回転軸２に放射状に取り付けられ
ている保持ユニット３を回転させて、各ユニソ１４，５
．６の間を搬送するだめのものであり、その回転動作の
伝達を行うものである。この回転軸２は、本実施例の場
合、９０°の回転。

停止、９０°の回転、停止、・・・を繰り返し、何ら逆
回転等の複雑な動作をすることなく一定の方向に円滑に
回転する。そして、このような円滑な回転からその搬送
時間の短縮をなし得るものである。

また、回転軸２には、上記保持ユニット３を動作させる
ための機構が内蔵され、さらに上記保持ユニット３に測
定すべき半導体装置を吸着するための機構も内蔵される
。第２図は、このような回転軸２等の断面図であって、
この回転軸２は円筒状のシリンダ部２１と略円錐状の部
分を有する往復動作部材２２によって構成される。上記
シリンダ部２１は、内壁に上記往復動作部材２２を摺動
させると共に、その外周には上記保持ユニット３を当該
回転軸２の軸方向と垂直な方向に四箇所に配設させる機
能を有している。また、上記往復動作部材２２は、空気
圧によってシリンダ部２１の内壁を摺動して往復動作す
るものであって、この往復動作によって上記保持ユニッ
ト３の押圧部２４が上記軸方向と垂直に往復動作する。

即ち、上記シリンダ部２１内部に突き出されて取り付け
られた上記保持ユニット３の押圧部２４は、常時上記往
復動作部材２２に押しつけられており、この往復動作部
材２２が往復動作することで、当該往復動作部材２２の
断面三角形状の周面２３と当接する上記押圧部２４は、
回転軸２の軸方向と垂直方向に往復動作することになる
。そして、このような往復動作によって、測定時には所
定の押圧が可能となり、正確な測定データを容易に得る
ことができる。

なお、この回転軸２の往復動作部材２２の往復動作は、
空気孔２５．２６から出入される空気の圧力によって行
われ、また、この回転軸２には、後述するような半導体
装置の吸着動作を行わせるための吸着用空気排出孔２７
も各保持ユニット３に対応して四箇所に設けられている
。

また、後述するように、複数の保持ユニット３からなる
保持ユニット３の絹を二箇所或いはそれ以上のところに
設ける場合は、これに対応して当該往復動作部材２２の
断面三角形状の周面２３を対応する数だけ設けるように
しても良い。

上記保持ユニット３は、上記投入ユニット４から順次送
り出される半導体装置を受け取り、これを第３図に示す
ような当該保持ユニット３の係合部＋１ｔ３１で係合し
、該係合部材３１の底部に設けられた吸着孔３７によっ
て、回転しても離脱しないように保持することができる
。この保持ユニット３は、本実施例の半導体装置の測定
装置では、上記回転軸２の一円周上に四箇所に設けられ
ているが、特に限定されるものでなく、四個以外の複数
個の保持ユニット３を設けることができる。また、四個
或いはそれ以外の複数個の保持ユニット３からなり回転
軸２の一円周上に配される保持ユニット３の組を複数と
しても良く、この場合には、処理能力が倍増して行くこ
とになる。

ここで、このような保持ユニット３の先端部に取り付け
られる係合部材３１について、簡単に説明する。第３図
に示すように、例えば係合部材３１の上部より投入され
る半導体装置３０はそれぞれ四方にピン３２が設けられ
ているが、投入されて落下したときには、これらピン３
２はそれぞれ上記係合部材３１の突設部３３の」二面３
４に位置し、同時に、微小距離だけ位置ずれが生じた場
合であっても、該突設部３３の傾斜部３５に沿って上記
半導体装置３０のパッケージ部３６が填まり込むことに
なる。このため投入によって迅速かつ確実に半導体装置
３０は係合部材３１に係合し、さらに上記吸着孔３７に
よって測定から搬出に至るまで保持されることになる。

そして、測定時には、上記突設部３３の上面３４によっ
て、上記半導体装置３０のピン３２が測定ユニット５に
測定に必要な圧力（例えば１ピン当たり１００ｇ）で押
圧される。

上記投入ユニット４は、半導体装置を上記回転軸２に配
設された保持ユニット３に導くための手段であって、当
該投入ユニット４の排出部が上記保持ユニット３と対向
して設けられ、半導体装置を順次送り込むことができる
。この投入ユニット４と上記保持ユニット３の間には、
概略上記半導体装置の平面形状に相当するスリットを設
けて、半導体装置の投入を確実なものとすることができ
る。本実施例の半導体装置の測定装置では、投入ユニソ
ｌ−４は、回転軸２の上部に形成されるが、特に限定さ
れるものではない。なお、当該投入ユニット４では、半
導体装置はピンを上向きとして搬送される。

上記測定ユニット５は、回転軸２の回転によって対向し
た保持ユニット３に保持されてなる半導体装置の電気的
特性等を測定するためのものであり、不作動に支持され
るテストパッケージ７が取り付けられている。この測定
ユニット５に、半導体装置を押圧するときには、従来は
搬送用のアームとは別のクランプレバ−を用いていたが
、本実施例では、上述の回転軸２内の往復動作部材２２
の往復動作によって、上記係合部材３１が軸中心から外
側に向かって出没自在な動作をする。このため、何ら別
個のアーム等を設けることもなく、測定ユニット５に対
して押圧動作を行うことができ、確実な測定がなされる
と共に測定に要する空間を小さな空間とする所謂省スペ
ース化が可能である。

上記取り出しユニット６は、測定後の半導体装置を取り
出して、搬出するためのユニットであり、上記吸着孔３
７の吸着動作によって吸着されてなる半導体装置は、当
該取り出しユニット６に対向したところで開放されて、
当該取り出しユニット６によって搬出されて行くことに
なる。

次に、本実施例の半導体装置の測定装置の動作について
説明する。

まず、本実施例の半導体装置の測定装置の上記投入ユニ
ソ１−４によって、測定を行う半導体装置が順次送られ
、上記回転軸２の上部の位置にある保持ユニット３が投
入ユニット４から投入される１つの半導体装置を受け取
る。このとき上述のように保持ユニット３の先端には係
合部材３１が配されており、この係合部材３１によって
容易に半導体装置を係合させることができ、そして、こ
の係合部材３１の吸着孔３７によって当該半導体装置を
係合部材３１に吸着して安定に保持することができる。

また、投入ユニット４から半導体装置が投下される際に
は、他の半導体装置の測定のための押圧動作と同期して
、当該回転軸２の上部に位置する保持ユニット３も上記
往復動作部材２２の動作によって動作し、半導体装置の
自由落下の距離は短くなる。

先行して測定された半導体装置の測定終了によって、当
該測定装置の回転軸２は９０°旋回する。

このとき保持ユニット３は、上記往復動作部材２２の動
作によって引っ込んだ状態で回転させられ、半導体装置
を投入ユニット４から受け取った保持ユニット３が測定
ユニット５に対向したところで回転動作は停止する。

回転が停止して、半導体装置は、測定ユニソ］・５の測
定部に、再び上記回転軸２の往復動作部材２２の動作に
よって係合部材３１が押し上げられることから、押圧さ
れ測定が行われる。このとき上記係合部材３１の突設部
３３の」二面３４が、測定ユニット５の測定端子に密着
するようになり、確実な電気的接続となる。また、同時
に半導体装置は所定の温度（例えば２００℃）に昇温さ
れ、テストされるが、上記係合部材３１を耐熱樹脂によ
って構成することで測定における問題はない。

測定が終了したところで、上記保持ユニット３の係合部
材３１が引っ込められ、さらに上述の投入ユニット４か
ら測定ユニット５までの旋回と同じ方向に同じ保持ユニ
ット３を用いて９０°旋回する。なお、この測定の際に
は、上記係合部材３１の吸着孔３７で真空吸着が継続的
に行われ、半導体装置が横方向に平行移動させられても
、何ら位置ずれ等は生じない。また、保持ユニット３の
係合部材３１の往復動作は、他の３つの保持ユニット３
と共通の動作である。

回転軸２の旋回によって、９０°回転したところで回転
が停止し、保持ユニソ１−３は取り出しユニット６に対
向する。そして、このように対向したところで、続いて
吸着していた半導体装置を上記吸着孔３７の吸着動作を
オフ状態とすることから開放し、当該半導体装置を取り
出しユニット６に落下させて、搬出させることができる
。

半導体装置を開放した保持ユニット３は、さらに９０°
旋回させられて、測定ユニット５と対向して半導体装置
を測定している保持ユニット３の逆方向の位置で、待ち
状態となり、次の９０°旋回で、上述のように投入ユニ
ット４に対向することになる。

以上は、主に１つの保持ユニット３に着目して説明した
が、このような動作が全ての保持ユニット３で継続的に
行われて、円滑な測定動作を実現することができる。

このような機構によっては、まず、大幅な時間の短縮が
可能になる。即ち、同一方向に単一の保持ユニット３を
回転させて搬送させるため、半導体装置の支持位置の精
度や送り距離等の点で有利となり、時間をかけずに確実
な！般送を行うことが実現される。ここで実現された１
１！！送時間の一例について、数字を示すと、およそ２
．０秒が搬送時間となり、従来の機構による３、６秒を
大幅に短縮していることがわかる。

また、従来のような押圧のためのクランプレバ−等は不
要となり、押圧のための機構を回転軸に内在させている
ため、全体的に占有空間Ｌ１小さなものとなり、省スペ
ース化を容易に進めることができる。

Ｈ１発明の効果 本発明の半導体装置の測定装置しＪ、一方向に単一の回
転軸が断続的な回転することで円滑なＩＭ送が実現され
る。このため、位置決めや搬送速度の点で有利となり、
その搬送時間は大幅に短縮されたものとなる。また、占
有空間を小さくすることができ、省スペース化にも有利
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の半導体装置の測定装置の概略構造を説
明するための斜視図、第２図はその回転軸の一例の断面
図、第３図はその係合部材の一例の斜視図である。また
、第４図は従来の半導体装置の測定装置の一例を示す斜
視図である。 ２・・・・回転軸 ３・・・・保持ユニット（半導体装置保持手段）４・・
・・投入ユニット（半導体装置ｉｌｌ入手段）５・・・
・測定ユニット（半導体装置測定手段）６・・・・取り
出しユニット（半導体装置１鮫出手段） 特　許　出　願　人　　ソニー株式会社代理人　　　弁
理士　　　　　小泡　見間　　　　　　　　　田村榮− 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 回転軸を中心として配設された複数の半導体装置保持手
   段を有し、 半導体装置搬入手段、半導体装置測定手段及び半導体装
   置搬出手段が上記回転軸の周囲の上記保持手段の延長上
   にそれぞれ配され、 上記回転軸の回転によって上記半導体装置保持手段を回
   転させることにより、上記半導体装置搬入手段より半導
   体装置を受け取り、該半導体装置を順次、上記半導体装
   置測定手段、上記半導体装置搬出手段へと搬送すること
   を特徴とする半導体装置の測定装置。