JPS6346846U - - Google Patents

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JPS6346846U
JPS6346846U JP14170886U JP14170886U JPS6346846U JP S6346846 U JPS6346846 U JP S6346846U JP 14170886 U JP14170886 U JP 14170886U JP 14170886 U JP14170886 U JP 14170886U JP S6346846 U JPS6346846 U JP S6346846U
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JP
Japan
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semiconductor wafer
suction
transfer
section
measured
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JP14170886U
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【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案に係る半導体ウエハを搬送
するトランスフアアームの一実施例を示す概略平
面図、第２図は、半導体ウエハプローバにおける
ステージ機構の概略正面図、第３図は、そのウエ
ハチヤツクの一実施例を示す概略断面図である。 ＸＤＭ，ＹＤＭ、ＺＤＭ，ＴＤＭ……パルスモ
ータ、ＲＬ……レール、ＳＢ……軸受、ＸＢＳ…
…Ｘベース、ＹＢＳ……Ｙベース、ＣＴ……ウエ
ハチヤツク、ＣＴ′……中央部、ＸＧＲ……Ｘガ
イドレール、ＸＳ……Ｘシヤフト（リードスクリ
ユー）、ＹＳ……Ｙシヤフト（リードスクリユー
）、ＸＧ……Ｘガイド、Ｘ―ＹＴＢ……ステージ
機構、ＴＲＡＭ……トランスフアアーム、ＩＮＫ
……マーカー、Ｘ―Ｙ……ＸＹステージ、Ｐ１，
Ｐ２……プーリー、Ｗ……ワイヤー、ＣＡＡ……
ウエハカセツト、１，１′……空洞、２，２′…
…吸引孔、３，４……吸引道、４……チユーブ（
吸引管）、５……半導体ウエハ、ＰＭ……パルス
モータ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ その一部が被測定半導体ウエハの受け渡し時
    に基準面に対して持ち上げられる吸着部が設けら
    れる半導体ウエハ受け渡し部と、上記半導体ウエ
    ハをその裏面側における上記吸着部に対応した部
    分以外の部分に対応して設けられた吸着部を持つ
    トランスフアアームと、上記トランスフアアーム
    の吸着部に結合された真空吸引管に設けられ、そ
    の負圧を検出する出力センサーとを含むことを特
    徴とする半導体ウエハ搬送装置。 ２ 半導体ウエハ搬送装置は、半導体ウエハプロ
    ーバに設けられ、上記半導体ウエハ受け渡し部は
    半導体ウエハの測定載置台を含むものであること
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
    の半導体ウエハ搬送装置。 ３ 上記半導体ウエハの測定載置台は、垂直面に
    沿つて移動するＸ／Ｙステージ機構に設けられ、
    被測定半導体ウエハの表面をほゞ垂直状態にして
    吸着固定するものであり、上記トランスフアアー
    ムは、被測定半導体ウエハを水平／垂直移動させ
    る機能を持つものであることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第２項記載の半導体ウエハ搬送
    装置。
JP14170886U 1986-09-16 1986-09-16 Pending JPS6346846U (ja)

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JP14170886U JPS6346846U (ja) 1986-09-16 1986-09-16

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JP14170886U JPS6346846U (ja) 1986-09-16 1986-09-16

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JPS6346846U true JPS6346846U (ja) 1988-03-30

Family

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Family Applications (1)

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JP14170886U Pending JPS6346846U (ja) 1986-09-16 1986-09-16

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JP (1) JPS6346846U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04247638A (ja) * 1991-02-04 1992-09-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 着脱移送装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04247638A (ja) * 1991-02-04 1992-09-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 着脱移送装置

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