JP2674635B2 - クリーンルーム用搬送設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送用の移動体の停止
箇所に設けられた地上側嵌合部材と前記移動体に設けら
れた移動体側嵌合部材とが接近し嵌合することにより位
置決めが行われるクリーンルーム用搬送設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかるクリーンルーム用搬送設備にあっ
ては、塵や埃の発生を抑えなければならないことから、
例えば特願平２―５０１４２号に記載されているように
磁気浮上式のリニアモータによって推進する移動体が使
用される。この搬送設備において、磁気浮上用の電磁コ
イルは移動体側に設けられ、リニアモータの一次側コイ
ルは地上側に設けられている。

【０００３】地上側のステーションには、移動体を所定
の位置に停止させるための停止用コイルも設けられてい
る。そして、ステーションと移動体との間で半導体ウエ
ハー等の物品の積卸し作業を自動的に行う。この際に、
停止位置の正確さを期する必要があることから、地上側
及び移動体側に、相互に接近して嵌合する位置決め用嵌
合部材を設けている。

【０００４】この嵌合部材として、上記特願平２―５０
１４２号に記載されたものでは、地上側に上向きのピン
を設け、移動体側にそのピンに外嵌する下向きの凹部を
設けている。そして、地上側のピンを上昇駆動すること
により、移動体側の凹部に嵌合させている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
にしてピンと凹部を嵌合させる際、両者の摺動に起因す
る発塵が避けられない。発生する塵は極微量であって
も、その影響を無視できない場合がある。本発明は、か
かる実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、
上記のような嵌合部材による位置決めを、塵を発生させ
ることなく行うことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
用搬送設備は、搬送用の移動体の停止箇所に設けられた
地上側嵌合部材と前記移動体に設けられた移動体側嵌合
部材とが接近し嵌合することにより位置決めが行われる
ものであって、第１の特徴構成は、前記地上側嵌合部材
と前記移動体側嵌合部材との嵌合部周辺の空気を吸引す
る吸引手段が設けられている点にある。第２の特徴構成
は、第１の特徴構成を実施する際の好ましい具体構成を
特定するものであって、前記移動体側嵌合部材はピン状
に形成され、前記地上側嵌合部材は前記移動体側嵌合部
材に対し外嵌する筒状に形成され、前記吸引手段は前記
嵌合部周辺の空気を前記地上側嵌合部材内部の空洞を通
して吸引するように構成されている点にある。

【０００７】

【作用】第１の特徴構成によれば、地上側嵌合部材が移
動体側嵌合部材と嵌合する際に両嵌合部材の接触や摺動
により発生する塵は、その周辺の空気と共に吸引手段に
よって吸い取られる。そして、第２の特徴構成の場合、
ピン状の移動体側嵌合部材が筒状の地上側嵌合部材に挿
入されるように両者が接近して嵌合するが、その際に発
生する塵は、嵌合部周辺の空気と共に筒状の地上側嵌合
部材内部の空洞を通して吸引手段により吸引される。

【０００８】

【発明の効果】従って、地上側嵌合部材と移動体側嵌合
部材との嵌合により発生する塵はクリーンルーム内に散
乱することがなくなり、その塵による悪影響を回避でき
るようになった。そして第２の特徴構成によれば、筒状
の地上側嵌合部材が吸引手段による吸引経路を兼ねるの
で、設備の簡素化、コスト低減に貢献する。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図３乃至図６に示すように、クリーンルーム内
に、物品搬送用の移動体Ａの移動経路に沿って案内レー
ルＢが設けられている。移動体Ａは後述するようにして
磁気浮上し、リニアモータによる推進力で案内レールＢ
に沿って移動する。又、移動体Ａが停止して物品の積卸
を行うための複数のステーションＳＴが案内レールＢに
沿って設けられている。もって、移動体Ａを各ステーシ
ョン間に自動走行させながら物品搬送作業を行う搬送設
備が構成されている。

【００１０】案内レールＢの上部には、移動体Ａの浮上
用コイル１が吸引作用する浮上用磁性体２が水平鍔部下
面に沿って連続して設けられている。又、底部にはリニ
アモータを構成する一次側コイル３と磁性体プレート４
が間隙を隔てて設けられている。

【００１１】移動体Ａは、浮上用コイル１と浮上用磁性
体２との間隔を検出するギャップセンサ（図示せず）の
検出値に基づいて、浮上用コイル１の励磁電力を制御し
て浮上する。この時、浮上用コイル１と浮上用磁性体２
との吸引力は移動体Ａの横方向についても適正位置に規
制する働きをする。また、移動体Ａの二次導体５が、前
記の一次側コイル３と磁性体プレート４との間隙を通過
するように構成されており、移動体Ａは、一次側コイル
３の励磁により発生する誘導磁界によって二次導体５を
介して推進力を与えられる。

【００１２】一次側コイル３及び磁性体プレート４は、
設備コストを下げるために案内レールＢに沿って一定間
隔毎に設けられており、移動体Ａはその間を慣性走行す
る。但し、図６に示すように、ステーションＳＴにおけ
る移動体Ａの停止箇所、及び、その前後の所定位置には
必ず一次側コイル３及び磁性体プレート４が設けられて
いる。発進時の加速と、停止時の減速を行うためであ
る。

【００１３】ステーションＳＴにおける移動体Ａの停止
箇所には、移動体Ａの停止用磁性体６に吸引作用して、
移動体Ａを停止位置に保持するための停止用コイル７が
設けられている。さらに、機械的な位置決め装置も設け
られている。これは、ステーションＳＴと移動体Ａとの
間で半導体ウエハー等の物品の積卸し作業を自動的に行
う際に、停止位置の正確さを期する必要があるからであ
る。この位置決め装置について以下に説明する。

【００１４】移動体Ａの底部に設けられた位置決め用の
嵌合部材に対し、地上側の嵌合部材が上昇駆動されて、
接近し嵌合することにより位置決めが行われる。図３に
示すように、移動体Ａの底部に移動体側嵌合部材として
の一対のピン８が下向きに付設されている。一方、移動
体Ａの停止箇所には地上側嵌合部材としての一対のパイ
プ９が昇降自在に設けられている。

【００１５】パイプ９の先端部はコーン状に開口してお
り、上昇するに伴いピン８が挿入されるように嵌合する
ことになる。また、パイプ９はベース１０に立設されて
おり、ステッピングモータ１１によって昇降駆動され
る。即ち、図１及び図２に示すように、ステッピングモ
ータ１１の回転軸にアーム１２が固着され、その先端ロ
ーラ部を案内するカム溝がベース１０に設けられてい
る。そして、ベース１０の両側が一対のガイド軸１３に
摺動しながら昇降できるように構成されている。

【００１６】以上の構成により、ステッピングモータ１
１によるアーム１２の回転運動が、ベース１０の昇降運
動に変換される。又、ベース１０にドグ１４が固着さ
れ、そのドグ１４によって遮光されるフォトインタラプ
タ１５がケース１６に固着されている。これによって、
ベース１０、即ちパイプ９が上昇位置か下降位置かをチ
ェックすることができる。

【００１７】ケース１６は密閉構造にされ、側面に設け
られた孔にチューブ１７が接続されている。チューブ１
７の先端は吸引手段としてのエアポンプ１８に接続され
ている。エアポンプ１８はクリーンルームの床下の排気
室に設けられている。エアポンプ１８が作動すると、ケ
ース１６内は負圧になる。従って、パイプ９の先端部周
辺の空気はコーン状開口から吸い込まれ、パイプ９内の
空洞を通ってパイプ９基底部の開口９ａからケース１６
内に流れる。

【００１８】上記のように、パイプ９の先端部周辺の空
気を吸い込むように構成しているのは、パイプ９とピン
８とが前述のようにして嵌合する際に、接触或いは摺動
によって塵が発生するので、それを吸引するためであ
る。発生する塵は極微量であっても、クリーンルームに
おけるその影響は無視できない。そこで、この塵を嵌合
部周辺の空気と共に吸引し、クリーンルーム内に散乱し
ないようにしているのである。

【００１９】上記実施例においては、パイプ９の先端部
周辺の空気はコーン状開口から吸い込まれ、パイプ９内
の空洞を通り、一旦ケース１６内に流れてからチューブ
１７を通り、エアポンプ１８に至る。従って、エアポン
プ１８を作動させてからパイプ９の先端部周辺の空気が
吸い込まれるまでの応答性があまり良くない。そこで、
図７及び図８に示すように、パイプ９内に吸い込まれた
空気をケース１６内に流さずに、直接、ケース１６側面
の孔からチューブ１７に吸い込むようにすれば、吸引作
用の応答性が良くなる。

【００２０】又、図９に示す別実施例では、地上側嵌合
部材として先端が凸コーン状のピン２０を昇降自在に設
け、移動体側嵌合部材２１の先端を凹コーン形状として
ピン２０に嵌合させる。この場合は嵌合部周辺の空気を
エアポンプ１８によって吸い込むための筒状体２２を図
示のように設けている。ピン２０を筒状体２２の内部に
配置させることは必須ではない。その他、嵌合部周辺の
空気をエアポンプ１８によって吸い込むための空気の経
路を構成する手段は種々変更できる。

【００２１】地上側嵌合部材を昇降駆動させる方法につ
いても、上記実施例のステッピングモータを用いる方法
に限らず、シリンダーを用いる等、種々変更できる。
又、地上側嵌合部材を固定し、移動体側嵌合部材を昇降
駆動させてもよい。尚、特許請求の範囲の項に図面との
対照を便利にするために符号を記すが、該記入により本
発明は添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るクリーンルーム用搬送設
備の位置決め装置の要部側断面図

【図２】同じく、位置決め装置の要部斜視図

【図３】同じく、搬送設備のステーションにおける移動
体進行方向からみた要部断面図

【図４】同じく、搬送設備の位置決め装置の移動体進行
方向からみた要部断面図

【図５】同じく、搬送設備の移動体進行方向側面からみ
た要部断面図

【図６】同じく、搬送設備のステーションにおける平面
図

【図７】別実施例の位置決め装置の要部側断面図

【図８】同じく、別実施例の位置決め装置の要部斜視図

【図９】他の別実施例に係る位置決め装置の嵌合部材の
嵌合部断面図

【符号の説明】

Ａ 移動体 ８ 移動体側嵌合部材 ９ 地上側嵌合部材 １８ 吸引手段

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送用の移動体（Ａ）の停止箇所に設け
   られた地上側嵌合部材（９）と前記移動体（Ａ）に設け
   られた移動体側嵌合部材（８）とが接近し嵌合すること
   により位置決めが行われるクリーンルーム用搬送設備で
   あって、前記地上側嵌合部材（９）と前記移動体側嵌合
   部材（８）との嵌合部周辺の空気を吸引する吸引手段
   （１８）が設けられているクリーンルーム用搬送設備。
2. 【請求項２】 前記移動体側嵌合部材（８）はピン状に
   形成され、前記地上側嵌合部材（９）は前記移動体側嵌
   合部材（８）に対し外嵌する筒状に形成され、前記吸引
   手段（１８）が前記嵌合部周辺の空気を前記地上側嵌合
   部材（９）内部の空洞を通して吸引するように構成され
   ている請求項１記載のクリーンルーム用搬送設備。