JPS6340711A - β型窒化珪素の製造法 - Google Patents
β型窒化珪素の製造法Info
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、β型窒化珪素の製造法に関するものである。
（従来の技術）
窒化珪素にはα型結晶とβ型結晶が存在することが知ら
れている。α型結晶はＪＣＰＤＳカード！１ｋＬ９−２
５０の面間隔を持つ（ＳｉＪｎ）２８Ｈ構造を有するも
のであり、またβ型結晶はＪＣＰＤＳカードＴｈ９−２
５６の面間隔を持つ（ＳｉＪ４）１４Ｈ構造を有するも
のである。
れている。α型結晶はＪＣＰＤＳカード！１ｋＬ９−２
５０の面間隔を持つ（ＳｉＪｎ）２８Ｈ構造を有するも
のであり、またβ型結晶はＪＣＰＤＳカードＴｈ９−２
５６の面間隔を持つ（ＳｉＪ４）１４Ｈ構造を有するも
のである。
このうち、β型窒化珪素は、α型より安定な針状結晶で
あるとともに、α型窒化珪素と比べ窒化珪素焼結体中に
おいて、粒界相に対する溶解度や化学的安定性が異なる
ので液相焼結による緻密化過程が異なる等の特性を有す
る。そのため例えば窒化珪素焼結体の焼結過程で大きな
β型結晶を作るための種結晶等としてβ型窒化珪素を使
用することができる。また、β型窒化珪素は安定な針状
結晶であるから複合材料の分散強化材として有用である
。このように近年実質的にβ型結晶から成り不純物の少
ないβ型窒化珪素を得る必要性が高（なってきた。
あるとともに、α型窒化珪素と比べ窒化珪素焼結体中に
おいて、粒界相に対する溶解度や化学的安定性が異なる
ので液相焼結による緻密化過程が異なる等の特性を有す
る。そのため例えば窒化珪素焼結体の焼結過程で大きな
β型結晶を作るための種結晶等としてβ型窒化珪素を使
用することができる。また、β型窒化珪素は安定な針状
結晶であるから複合材料の分散強化材として有用である
。このように近年実質的にβ型結晶から成り不純物の少
ないβ型窒化珪素を得る必要性が高（なってきた。
（発明が解決しようとする問題点）
従来窒化珪素原料としては、非晶質あるいはα型窒化珪
素の粉末あるいはウィスカしか得ることができずβ型窒
化珪素を直接得ることができなかった。また主として非
晶質あるいはα型結晶よる成る窒化珪素粉末は、これだ
けでは焼成してもβ型結晶が形成されないため、β型窒
化珪素を得るためには窒化珪素の焼結に見られるように
ＳｉＯ□。
素の粉末あるいはウィスカしか得ることができずβ型窒
化珪素を直接得ることができなかった。また主として非
晶質あるいはα型結晶よる成る窒化珪素粉末は、これだ
けでは焼成してもβ型結晶が形成されないため、β型窒
化珪素を得るためには窒化珪素の焼結に見られるように
ＳｉＯ□。
Ｙ２Ｏ３，ＡｌｚＯ＋等の添加剤をα型窒化珪素原料に
添加して焼成することが必要でありその結果焼成助剤等
を多く含んだβ型窒化珪素しか得られず、いずれにして
も近年要望の高い実質的にβ型結晶から成り不純物の少
ないβ型窒化珪素を得ることができない欠点があった。
添加して焼成することが必要でありその結果焼成助剤等
を多く含んだβ型窒化珪素しか得られず、いずれにして
も近年要望の高い実質的にβ型結晶から成り不純物の少
ないβ型窒化珪素を得ることができない欠点があった。
本発明の目的は上述した不具合を解消して、焼結助剤や
β化ための助剤等の不純物の少ない実質的にβ型結晶よ
り成るβ型窒化珪素の製造法を提供しようとするもので
ある。
β化ための助剤等の不純物の少ない実質的にβ型結晶よ
り成るβ型窒化珪素の製造法を提供しようとするもので
ある。
（問題点を解決するための手段）
本発明のβ型窒化珪素の製造法は、主として非晶質ある
いはα型結晶より成る窒化珪素粉末とβ化のための助剤
との混合物を、非晶質あるいはα型結晶が実質的にβ型
窒化珪素に変化するに足る温度と時間焼成して、α型結
晶を実質的にβ型結晶に変化させたのち、結晶質窒化珪
素以外の成分を化学的に溶出分離してβ型窒化珪素を得
ることを特徴とするものである。
いはα型結晶より成る窒化珪素粉末とβ化のための助剤
との混合物を、非晶質あるいはα型結晶が実質的にβ型
窒化珪素に変化するに足る温度と時間焼成して、α型結
晶を実質的にβ型結晶に変化させたのち、結晶質窒化珪
素以外の成分を化学的に溶出分離してβ型窒化珪素を得
ることを特徴とするものである。
（作 用）
上述した構成において、β化のための助剤を使用して非
晶質あるいはα型窒化珪素をβ型窒化珪素に変化させた
β型窒化珪素焼結体を得た後、窒化珪素以外の成分例え
ばβ化のための助剤を所定の薬液を使用して化学的に溶
出分離して除去することにより、不純物の少ない実質的
にβ型結晶より成るβ型窒化珪素を得ることができる。
晶質あるいはα型窒化珪素をβ型窒化珪素に変化させた
β型窒化珪素焼結体を得た後、窒化珪素以外の成分例え
ばβ化のための助剤を所定の薬液を使用して化学的に溶
出分離して除去することにより、不純物の少ない実質的
にβ型結晶より成るβ型窒化珪素を得ることができる。
なお、本発明における焼成条件として、非晶質あるいは
α型窒化珪素が実質的にβ型窒化珪素に変化する温度と
時間を規定したのは、非晶質あるいはα型窒化珪素がβ
型窒化珪素に変化する速さは、非晶質あるいはα型窒化
珪素原料の粒度やβ化のための助剤の種類、窒化珪素原
料とβ化のだめの助剤との混合状態等に大きく依存する
ためＸ線回折分析で結晶相を定量し、焼成温度と時間を
決定しなくてはならないためである。
α型窒化珪素が実質的にβ型窒化珪素に変化する温度と
時間を規定したのは、非晶質あるいはα型窒化珪素がβ
型窒化珪素に変化する速さは、非晶質あるいはα型窒化
珪素原料の粒度やβ化のための助剤の種類、窒化珪素原
料とβ化のだめの助剤との混合状態等に大きく依存する
ためＸ線回折分析で結晶相を定量し、焼成温度と時間を
決定しなくてはならないためである。
この場合焼成の温度と時間は相関関係にあり、例えば温
度を高くすると時間を短く、また温度を低くすると時間
を長くすることによりβ化を達成できるが、１５００℃
以上の温度で焼成すると好適である。
度を高くすると時間を短く、また温度を低くすると時間
を長くすることによりβ化を達成できるが、１５００℃
以上の温度で焼成すると好適である。
また、必要に応じてβ型窒化珪素への変化を中途で止め
α型窒化珪素を含んだβ型窒化珪素を製造することも可
能である。
α型窒化珪素を含んだβ型窒化珪素を製造することも可
能である。
（実施例）
第１図は本発明のβ型窒化珪素の製造法の工程順を示す
フローチャートである。以下、第１図に示すフローチャ
ートに従って本発明を説明する。
フローチャートである。以下、第１図に示すフローチャ
ートに従って本発明を説明する。
まず、主として非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪
素原料粉末と焼成中非晶質あるいはα型結晶より成る窒
化珪素をβ型窒化珪素へ変化させるとともに後に化学的
に溶出可能な助剤を準備する。助剤としては、Ａｌ２０
３１ ＭｇＯ＋ Ｙ２Ｏ３１ＳｒＯ，Ｂｅｄ。
素原料粉末と焼成中非晶質あるいはα型結晶より成る窒
化珪素をβ型窒化珪素へ変化させるとともに後に化学的
に溶出可能な助剤を準備する。助剤としては、Ａｌ２０
３１ ＭｇＯ＋ Ｙ２Ｏ３１ＳｒＯ，Ｂｅｄ。
Ｃｅ０ｚ、 ＢＺＯ：ｌ＋ Ｚｒ０ｚ、 ＣａＦｚ、
ＭｇＦ２． Ｓｉｎ、、希土類元素酸化物のうち１種ま
たは２種以上の混合物であるがβ化させ、β化の後に化
学的に溶出可能なものであれば良い。
ＭｇＦ２． Ｓｉｎ、、希土類元素酸化物のうち１種ま
たは２種以上の混合物であるがβ化させ、β化の後に化
学的に溶出可能なものであれば良い。
次に、混合機あるいは粉砕機を用いて乾式あるいは湿式
で、準備した非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪素
粉末とβ化のための助剤を混合あるいは粉砕する。この
とき、装置および使用する玉石からの混入物が少なくか
つ混入物が溶出可能である混合機あるいは粉砕機を用い
ると好ましい。
で、準備した非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪素
粉末とβ化のための助剤を混合あるいは粉砕する。この
とき、装置および使用する玉石からの混入物が少なくか
つ混入物が溶出可能である混合機あるいは粉砕機を用い
ると好ましい。
例えば鉄製の玉石等は塩酸によって溶出できる。
得られた混合物は、Ｎ２雰囲気あるいは非酸化性雰囲気
中で非晶質あるいはα型窒化珪素が実質的にβ型窒化珪
素に変化するに足る温度と時間で焼成し、α型窒化珪素
を実質的にβ型窒化珪素に変化させる。焼成に必要な温
度および時間は、助剤の種類および量によって最適にす
る必要があるが、焼成温度は１５００°Ｃ以上であるこ
とが好ましい。β化の過程としては液相を形成し溶解析
出過程による非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪素
のβ化が考えられるが、この他固相反応の場合もあり得
る。
中で非晶質あるいはα型窒化珪素が実質的にβ型窒化珪
素に変化するに足る温度と時間で焼成し、α型窒化珪素
を実質的にβ型窒化珪素に変化させる。焼成に必要な温
度および時間は、助剤の種類および量によって最適にす
る必要があるが、焼成温度は１５００°Ｃ以上であるこ
とが好ましい。β化の過程としては液相を形成し溶解析
出過程による非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪素
のβ化が考えられるが、この他固相反応の場合もあり得
る。
また、この焼成工程により最終的に得られるβ型窒化珪
素結晶粒子の粒径およびα型窒化珪素の残留量を制御す
ることが可能である。すなわち、温度が高いほどまた時
間が長いほどα型窒化珪素の残留量は少なく、β型窒化
珪素の粒径が大きくなる。さらに、温度、時間の変化に
よる針状結晶のアスペクト比も変化する。もちろんこれ
らの変化の度合はβ化のための助剤の種類や量に大きく
依存する。
素結晶粒子の粒径およびα型窒化珪素の残留量を制御す
ることが可能である。すなわち、温度が高いほどまた時
間が長いほどα型窒化珪素の残留量は少なく、β型窒化
珪素の粒径が大きくなる。さらに、温度、時間の変化に
よる針状結晶のアスペクト比も変化する。もちろんこれ
らの変化の度合はβ化のための助剤の種類や量に大きく
依存する。
得られたβ型窒化珪素と助剤より成る焼成体は、必要に
応して粉砕あるいは解砕により結晶質窒化以外の成分の
溶出反応を促進することができる。
応して粉砕あるいは解砕により結晶質窒化以外の成分の
溶出反応を促進することができる。
このときも、粉砕あるいは解砕による混入物が少な（、
かつ溶出可能である粉砕機、解砕機、乳鉢等を使用する
と好適である。最終形状は特に限定されるものではなく
、粉末にすることも焼結体の形状を残したものにするこ
とも可能である。焼結体の形状を残した場合は、後述す
る助剤の溶出によりできた微小孔部に例えばアルミニウ
ムを含浸させアルミニウムとの複合材を得ることができ
る。
かつ溶出可能である粉砕機、解砕機、乳鉢等を使用する
と好適である。最終形状は特に限定されるものではなく
、粉末にすることも焼結体の形状を残したものにするこ
とも可能である。焼結体の形状を残した場合は、後述す
る助剤の溶出によりできた微小孔部に例えばアルミニウ
ムを含浸させアルミニウムとの複合材を得ることができ
る。
その後、必要に応じて粉砕された窒化珪素焼結体からβ
化のための助剤を溶出、分離する。溶出に用いる薬品は
助剤との組合せにより決まり、１１□Ｓ０４゜ＨＣＩ、
ｌＮ０ｆｆＩ ｌｉＦ、ｌ＋３ｐｏ４．ＣＨｉＣ
Ｏ２Ｈ，ＨＣｌＯ４，１ｌＪｏ３＋ＫＯＩＩ＋ Ｎａ０
１＋、 Ｂａ（ＯＨ）ｚ、 Ｌｉ０Ｈ２ＮａｚＣＯ３，
ＫｚＣＯｉ＋ＮａｚＯｚ＋ＮａＢＯｚ、ＮａｚＢａＯｔ
、 Ｋ２Ｓ２Ｏ５，ＮａｚＳｚＯｔ、 ＫＨＦＺ、
ＮａＨＦｚ＋ＮＨ４ＨＦ２． ＮＨｔＦ 、 ＫＦ、
ＮａＦ、 Ｎ１１４ＣＩ、 ＣａＣ０，、等のうち１種
あるいは２種以上の混合物を使用する。溶出はこれらの
薬品中にβ型窒化珪素と助剤より成る焼成体を浸漬し、
助剤が実質的に全て溶出するに足る温度と時間、回数行
なう。必要に応じて、ある薬品に浸漬した後さらに他の
薬品に浸漬する等の数段階におよぶ溶出を行なうことも
できる。β型窒化珪素と溶出した助剤、薬品との分離は
、ろ過等により行なう。
化のための助剤を溶出、分離する。溶出に用いる薬品は
助剤との組合せにより決まり、１１□Ｓ０４゜ＨＣＩ、
ｌＮ０ｆｆＩ ｌｉＦ、ｌ＋３ｐｏ４．ＣＨｉＣ
Ｏ２Ｈ，ＨＣｌＯ４，１ｌＪｏ３＋ＫＯＩＩ＋ Ｎａ０
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あるいは２種以上の混合物を使用する。溶出はこれらの
薬品中にβ型窒化珪素と助剤より成る焼成体を浸漬し、
助剤が実質的に全て溶出するに足る温度と時間、回数行
なう。必要に応じて、ある薬品に浸漬した後さらに他の
薬品に浸漬する等の数段階におよぶ溶出を行なうことも
できる。β型窒化珪素と溶出した助剤、薬品との分離は
、ろ過等により行なう。
失施炎上
Ｘ線回折によるα型窒化珪素とβ型窒化珪素の量比（以
下α／β比と言う）が９６７４であり、第１表に示す不
純物を含有する窒化珪素原料粉末に、β化のための助剤
としてＹ２Ｏ：＋ １０ｗｔ％、Ｍｇ０４ｗｔ％を添加
し、鉄製玉石を用いた振動ミルで３時間粉砕混合し、乾
燥後Ｎ２雰囲気中１７００’ｃで２時間焼成して焼成体
を得た。次に、この焼成体を１４９μｍ以下に鉄製乳鉢
で解砕した。解砕物を耐圧容器中で＞農ＨＣＩに浸漬し
、温度１７０℃で１０時間保持した後、ろ過、水洗し、
さらに１０％Ｈｐ溶液中に浸漬し、室温で１０時間放置
後ろ過水洗し温度１１０℃で２時間乾燥した。
下α／β比と言う）が９６７４であり、第１表に示す不
純物を含有する窒化珪素原料粉末に、β化のための助剤
としてＹ２Ｏ：＋ １０ｗｔ％、Ｍｇ０４ｗｔ％を添加
し、鉄製玉石を用いた振動ミルで３時間粉砕混合し、乾
燥後Ｎ２雰囲気中１７００’ｃで２時間焼成して焼成体
を得た。次に、この焼成体を１４９μｍ以下に鉄製乳鉢
で解砕した。解砕物を耐圧容器中で＞農ＨＣＩに浸漬し
、温度１７０℃で１０時間保持した後、ろ過、水洗し、
さらに１０％Ｈｐ溶液中に浸漬し、室温で１０時間放置
後ろ過水洗し温度１１０℃で２時間乾燥した。
得られたβ型窒化珪素に対して、含有する不純物量とＸ
線回折によるα／β比を求めたところ、第１表に示した
ように窒化珪素以外の不純物量か少くともα／β比がＯ
／１００であるβ型窒化珪素焼成体が得られていること
がわかった。
線回折によるα／β比を求めたところ、第１表に示した
ように窒化珪素以外の不純物量か少くともα／β比がＯ
／１００であるβ型窒化珪素焼成体が得られていること
がわかった。
α／β比は、Ｘ線回折により以下の式により求めた。
α（１０２） ：α型結晶の面指数（１０２）でのピ
ーク強度 α（２１０） ：α型結晶の面指数（２１０）でのピ
ーク強度 β（１０１） ：β型結晶の面指数（１０１）でＣビ
ーク強度 β（２１０） ：α型結晶の面指数（２１０）でのピ
ーク強度 第１表 第２図に得られたβ型窒化珪素の走査型電子顕微鏡によ
る写真を示した。
ーク強度 α（２１０） ：α型結晶の面指数（２１０）でのピ
ーク強度 β（１０１） ：β型結晶の面指数（１０１）でＣビ
ーク強度 β（２１０） ：α型結晶の面指数（２１０）でのピ
ーク強度 第１表 第２図に得られたβ型窒化珪素の走査型電子顕微鏡によ
る写真を示した。
長さ１〜８μｍ、アスペクト比６の針状結晶が得られた
。
。
実施例２
主としてα型結晶と少量の非晶質より成り、第２表に示
す不純物を含有する窒化珪素原料粉末に、β化のための
助剤としてＳｉＯ□５ｗｔ％、八１□０３１０ｗｔ％、
Ｍｇ０３ｗｔ％を添加し、窒化珪素玉石を用いたボール
ミルで５時間粉砕混合し、乾燥後Ｎ２雰囲気中温度１７
００°Ｃで１時間焼成した。次に、この焼成体を耐圧容
器中で濃Ｈ２ＳＯ，に浸漬し、温度１７０℃で２０時間
保持した後ろ過水洗し、さらに１０％肝溶液中に浸漬し
、室温で１０時間放置してろ過、水洗後温度１００℃で
２時間乾燥した。
す不純物を含有する窒化珪素原料粉末に、β化のための
助剤としてＳｉＯ□５ｗｔ％、八１□０３１０ｗｔ％、
Ｍｇ０３ｗｔ％を添加し、窒化珪素玉石を用いたボール
ミルで５時間粉砕混合し、乾燥後Ｎ２雰囲気中温度１７
００°Ｃで１時間焼成した。次に、この焼成体を耐圧容
器中で濃Ｈ２ＳＯ，に浸漬し、温度１７０℃で２０時間
保持した後ろ過水洗し、さらに１０％肝溶液中に浸漬し
、室温で１０時間放置してろ過、水洗後温度１００℃で
２時間乾燥した。
得られたβ型窒化珪素焼成体に対して、含有する不純物
量とＸ線回折によるα／β比を求めたところ、第２表に
示したように窒化珪素以外の不純物量が少なく、α／β
比が５／９５であり、焼成体の形態を残したβ型窒化珪
素が得られていることがわかった。α／β比は実施例１
と同じ方法により求めた。
量とＸ線回折によるα／β比を求めたところ、第２表に
示したように窒化珪素以外の不純物量が少なく、α／β
比が５／９５であり、焼成体の形態を残したβ型窒化珪
素が得られていることがわかった。α／β比は実施例１
と同じ方法により求めた。
第２表
実施例２と同様に作成したβ型窒化珪素と助剤より成る
焼成体をＫＯＨ／ＮａＯＨ重量比１／１の温度３００°
Ｃ融解液中に浸漬し、３０分像保持後冷し水洗した後、
温度１００℃で２時間乾燥した。
焼成体をＫＯＨ／ＮａＯＨ重量比１／１の温度３００°
Ｃ融解液中に浸漬し、３０分像保持後冷し水洗した後、
温度１００℃で２時間乾燥した。
得られたβ型窒化珪素焼成体に対して、含有する不純物
量とα／β比を求めたところ、第３表に示したように窒
化珪素以外の不純物量が少な（、α／β比が５／９５で
あり、焼成体の形態を残したβ型窒化珪素が得られてい
ることがわかった。α／β比は実施例１と同じ方法によ
り求めた。
量とα／β比を求めたところ、第３表に示したように窒
化珪素以外の不純物量が少な（、α／β比が５／９５で
あり、焼成体の形態を残したβ型窒化珪素が得られてい
ることがわかった。α／β比は実施例１と同じ方法によ
り求めた。
第３表
（発明の効果）
以上詳細に説明したところから明らかなように、本発明
のβ型窒化珪素の製造法によれば、β化のための助剤を
加えた非晶質あるいはα型窒化珪素を焼成して実質的に
β型窒化珪素に変化させたのち、窒化珪素以外の成分を
助剤に対応した薬液により化学的に溶出分離しているた
め、不純物の少ない実質的にβ型結晶より成るβ型窒化
珪素を得ることができる。粉末として得られたβ型窒化
珪素はこれまでにない高純度のβ型窒化珪素焼結原料粉
末として用いることができる。また針状結晶として得ら
れたβ型窒化珪素は複合材料の分散材としても使用でき
る。さらに焼結体の形状を残したまま助剤を溶出させた
場合は、溶出によりできた微小孔部に例えばアルミニウ
ムを含浸させてアルミニウムとの複合材を簡単に得るこ
とができる。
のβ型窒化珪素の製造法によれば、β化のための助剤を
加えた非晶質あるいはα型窒化珪素を焼成して実質的に
β型窒化珪素に変化させたのち、窒化珪素以外の成分を
助剤に対応した薬液により化学的に溶出分離しているた
め、不純物の少ない実質的にβ型結晶より成るβ型窒化
珪素を得ることができる。粉末として得られたβ型窒化
珪素はこれまでにない高純度のβ型窒化珪素焼結原料粉
末として用いることができる。また針状結晶として得ら
れたβ型窒化珪素は複合材料の分散材としても使用でき
る。さらに焼結体の形状を残したまま助剤を溶出させた
場合は、溶出によりできた微小孔部に例えばアルミニウ
ムを含浸させてアルミニウムとの複合材を簡単に得るこ
とができる。
第１図は本発明のβ型窒化珪素の製造法の工程順を示す
フローチャート、 第２図は本発明の製造法で得られたβ型窒化珪素の粒子
構造を示す走査型電子顕微鏡による写真である。 特許出願人 日本碍子株式会社 第１図
フローチャート、 第２図は本発明の製造法で得られたβ型窒化珪素の粒子
構造を示す走査型電子顕微鏡による写真である。 特許出願人 日本碍子株式会社 第１図
Claims (1)
- １、主として非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪素
粉末と非晶質あるいはα型結晶より成る窒化珪素をβ型
窒化珪素へ変化（以下β化と称す）させるための助剤と
の混合物を、非晶質あるいはα型結晶が実質的にβ型窒
化珪素に変化するに足る温度と時間焼成したのち、結晶
質窒化珪素以外の成分を化学的に溶出分離することを特
徴とするβ型窒化珪素の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18346686A JPS6340711A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | β型窒化珪素の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18346686A JPS6340711A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | β型窒化珪素の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340711A true JPS6340711A (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=16136281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18346686A Pending JPS6340711A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | β型窒化珪素の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6340711A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365000A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-23 | Ube Ind Ltd | β型窒化珪素ウイスカ−の製法 |
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| US6590046B2 (en) | 2000-12-18 | 2003-07-08 | Samsung General Chemicals Co., Ltd. | Catalyst for polymerization of olefin and the method of polymerization of olefin using the same |
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| JP2009263201A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-11-12 | Mitsubishi Chemicals Corp | 結晶性窒化珪素及びその製造方法、並びに、それを用いた蛍光体、該蛍光体含有組成物、発光装置、照明装置、画像表示装置、焼結体及び顔料 |
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-
1986
- 1986-08-06 JP JP18346686A patent/JPS6340711A/ja active Pending
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